半導體潔凈廠房的節能分析與對策部門：*****姓名：***時間：年月日前言集成電路潔凈廠房的建設成本：

100級(0.3um)凈化間造價在3000USD/m2。****廠房的運轉成本：每年消耗的水費、電費、蒸汽費、冷凍水等的費用在3000萬元以上，平均每平方米12000元。半導體潔凈廠房空調系統的特點溫濕設定點恒定，控制精度高：

T=23±2℃、RH=45±5%C/R的換氣次數每小時在200次以上，循環風量為1460000m3/h。新風補充量很大：90000m3/h以上就是造成凈化間耗能巨大的原因！****的耗電量分布圖圖1

所以我們重點從“如何降低新風處理所消耗的能源”來進行分析！冷凍空調系統能耗分布情況類別每小時費用所占比例

新風處理1500元60%循環風處理1000元40%總計2500元OAOAP=10PaRAPt=24CP=15PaFABt=23CP=130PaSAPt=22.5CRASHAFTRASHAFTAHUAHU18℃60%RH前工序凈化間空調系統BADCCC/RExhaust凈化間熱負荷計算（1）表1狀態點ABCD溫度（℃）22.5231824濕度（%RH)40456043焓值(kJ/kg)40433844風量(m3/h)146萬8.9萬8.9萬137萬凈化間熱負荷計算（2）能量平衡式：

QD=QA-QB+QC+q其中：

QD

：回風能量

QD=pDVDhD

QA：送風能量

QA=pAVAhAQB：排氣能量

QB=pBVBhBQC：新風能量

QC=pCVChCq：凈化間的熱負荷將相應的數據代入上面的公式：

q=221.6USRT凈化間床下冷盤管的負荷：

q1=180.0USRT新風提供的負荷：

q2=41.6USRT凈化間熱負荷計算（3）如何降低新風處理所消耗的能源

優化新風的處理過程

1.降低新風機的送風溫度

2.降低新風機的預熱溫度

3.利用帶熱回收的新風機

降低新風補充量

1.減少凈化間的排氣量

2.降低凈化間正壓新風機流程圖預熱段加濕段噴淋段表冷段再熱段風機段18℃60%室外大氣1.降低新風機的送風溫度g/kg-10CDB2468101214161820222426283032-505101520253035404550kJ/kg50%RH75%RH25%RHWBDP5560干球溫度空氣含濕量預熱加濕噴淋冷卻再熱空氣焓濕圖續上頁：新風機送風溫度由18℃降到15℃的節能計算：

q1”=pCVC(hC–hC‘

)=16.7USRT由于床下冷盤管的冷凍水用量與外調機再熱盤管的蒸汽用量同時減少，所以總能量為16.7×2=33.4USRT。

2.降低新風機的預熱溫度在冬季工況下，為保證外調機的預熱蒸汽盤管不凍裂就要盡可能的提高預熱溫度。但是這樣就會增加蒸汽和冷凍水的用量。預熱溫度由30℃降到23℃時的節能情況在空氣焓濕圖上的表示見下頁。2.降低新風機的預熱溫度g/kg-10CDB2468101214161820222426283032-505101520253035404550kJ/kg50%RH75%RH25%RHWBDP5560干球溫度空氣含濕量預熱加濕噴淋冷卻再熱空氣焓濕圖3.利用帶熱回收的新風機壓縮機CFC室外大氣18℃60%降低新風的補充量1.減少凈化間的排氣量。

2.降低凈化間正壓。1.減少凈化間的排氣量排氣種類主要來源風量比例一般排氣包括熱排氣和酸堿排氣。設備發熱和濕刻液槽46000m3/h65%有機排氣IPA槽和光刻涂布設備、有機光刻膠剝離設備11000m3/h15%CVD排氣化學氣相淀積工藝設備14000m3/h20%續上頁如果采取措施將一部分熱排氣排入下夾層，可以減少的新風量11000m3/h。節約的費用計算：q2”=pCVC(hC–hC‘

)=14.5USRT2.降低凈化間正壓保持正壓的目的：防止外界的空氣從凈化間的縫隙中泄露進來，從而破壞凈化間的潔凈度。當前工序C/R的正壓由20Pa降到15Pa時，新風補充量就可以減少5000m3/h。其他節能措施調節辦公樓的空調系統開啟時間。在過度季節情況下，盡可能增加新風的補充量，一方面可以利用新風將房間的熱量帶走；另一方面也可以提高房間的舒適度。各項節能措施節約費用統計序號節能項目節約的費用1降低外調機的送風溫度16.6萬2降低凈化間的排氣量7.95萬3降低凈化間的正壓設定值3.