靜電技術(shù)培訓(xùn)教材

防靜電組編著者：鐘同雄、劉銀、曾繼祥責(zé)任編輯：湯勇.

教材內(nèi)容提要第一部分：基礎(chǔ)理論 一、靜電，靜電的產(chǎn)生； 二、電子工業(yè)中的靜電問(wèn)題；三、靜電放電損壞、模型； 四、靜電防護(hù)； 五、防護(hù)管理。第二部分：各部門的管理規(guī)范與程序文件.第一部分：基礎(chǔ)理論

一、靜電，靜電的產(chǎn)生.1.0人類對(duì)靜電的認(rèn)識(shí)靜電學(xué)是電學(xué)中最古老的學(xué)科。據(jù)有資料記載，古希臘哲學(xué)家塔勒斯（Thales)公元前640-546年在研究天然磁石時(shí)發(fā)現(xiàn)用絲綢、法蘭絨摩擦琥珀（Amales)之后也有類似于磁石能吸引輕小物體的性質(zhì)。電這個(gè)詞起源于希臘語(yǔ)ελεκτρου（琥珀）。WillianGilbert(英國(guó)人，1540-1603）重復(fù)了塔勒斯的實(shí)驗(yàn)。Electrics，no-electrics發(fā)明了第一臺(tái)驗(yàn)電器（versorium)用來(lái)檢驗(yàn)帶電物體，他被稱為是電學(xué)之父。.富蘭克林(Benjaminfranklin)富蘭克林(Benjaminfranklin,1706-1790)。摩擦后的玻璃棒帶正電，而樹(shù)脂帶的電為負(fù)電。

風(fēng)箏實(shí)驗(yàn)在風(fēng)箏上固定一根金屬線，以便從雷云中獲取更多的電，雨淋濕了連接風(fēng)箏的細(xì)線，而這細(xì)線的一端連在萊頓瓶的一端。當(dāng)雷雨來(lái)臨時(shí)，萊頓瓶上不斷產(chǎn)生火花。德國(guó)科學(xué)家Richman1753年被電死。.靜電物質(zhì)的組成：

物質(zhì)→分子→原子→原子核＋電子在自然狀態(tài)下，物質(zhì)處于電平衡的中性狀態(tài)，即不帶電。在靜電學(xué)中稱不帶電物體為電的中性體。在某種狀態(tài)下，當(dāng)物質(zhì)原子中的電平衡狀態(tài)被打破，丟失或獲得電子，物質(zhì)即由中性狀態(tài)改變?yōu)閹щ姞顟B(tài)。.物體呈現(xiàn)帶電的現(xiàn)象稱為帶電現(xiàn)象，它是一種

自然現(xiàn)象。按照物體所帶電荷的存在與變化狀

態(tài)可分為動(dòng)電（流電）相象和靜電現(xiàn)象。靜電現(xiàn)象指相對(duì)于觀察者而言，所帶的電荷處于靜止或緩慢變化的相對(duì)穩(wěn)定狀態(tài)。動(dòng)電現(xiàn)象則與此相反。在靜電情況下，由于電荷靜止不動(dòng)或其運(yùn)動(dòng)非常緩慢，故它所引起的磁場(chǎng)效應(yīng)較之電場(chǎng)效應(yīng)來(lái)說(shuō)可以忽略不計(jì)。

.庫(kù)侖（CharleAugustinedeCoulomb,1736-1806)法國(guó)物理學(xué)家1777年發(fā)明了庫(kù)侖秤1785年庫(kù)侖設(shè)計(jì)制作了一臺(tái)精確的扭秤，用扭秤實(shí)驗(yàn)證明了同號(hào)電荷的斥力遵從平方反比率---庫(kù)侖定律與靜電學(xué)研究相關(guān)的物理量.庫(kù)侖定律

?12=-?21

=ｋ●

q1

q2

/ｒ212

在真空中，q1和q2兩個(gè)點(diǎn)電荷之間的相互作用力的方向沿著這兩個(gè)點(diǎn)電荷的連線，同號(hào)電荷相斥，異號(hào)電荷相吸，作用力的大小與電量q1和q2的乘積成正比，而與這兩個(gè)點(diǎn)電荷的距離成反比。電荷量的單位就是以他的名字命名的。單電子或質(zhì)子所帶電量以e來(lái)表示，e=1.6021892×10-19C。單位庫(kù)侖和靜電制電量單位之間的關(guān)系：1C=3×109[靜電制電量單位]13年前1772年英國(guó)物理學(xué)家Cavendish發(fā)現(xiàn)了平方反比率，但他的研究成果都沒(méi)有發(fā)表。是一百年后Mmxwell整理他的大量手稿時(shí)才將上述結(jié)果公諸于世的。.法拉弟（MichaelFaraday）法拉弟（MichaelFaraday，1791-1867，英國(guó)人）法拉弟籠實(shí)驗(yàn)法拉弟桶（Faradayice-pail）實(shí)驗(yàn)，當(dāng)一帶電體接觸金屬桶的內(nèi)壁時(shí)，電荷轉(zhuǎn)移到桶的外表面。電容量的單位就是以他的名字命名。.家爾瓦尼，電流的發(fā)現(xiàn)人家爾瓦尼（LuigiGalvani，1737-1798），意大利解剖醫(yī)學(xué)家及物理學(xué)家，發(fā)現(xiàn)了一種不用摩擦就能產(chǎn)生的電。把青蛙腿放在鐵鍋中，然后用銅線觸及青蛙的神經(jīng)，發(fā)現(xiàn)青蛙腿抽畜，當(dāng)用鐵絲觸及青蛙的神經(jīng)時(shí)不會(huì)抽畜，他發(fā)現(xiàn)兩種不同的金屬接觸青娃時(shí)會(huì)發(fā)生抽畜兩種不同的金屬接觸后會(huì)產(chǎn)生電位差.二十世紀(jì)初，靜電學(xué)也從實(shí)驗(yàn)和科學(xué)

階段走向?qū)嶋H應(yīng)用階段1907年FrederikG。Cottrell才制造了世界上第一臺(tái)的實(shí)際應(yīng)用的靜電除塵器用于捕集硫酸酸霧。1922年VandeGraff發(fā)現(xiàn)了實(shí)用的靜電起電機(jī)。1923年DetroitEdison公司安裝了第一臺(tái)靜電除塵器。靜電除塵、靜電噴涂、靜電分離、靜電復(fù)印等。

（利用靜電在實(shí)際生活中的應(yīng)用。）.二十世紀(jì)中后期靜電危害震驚世界美國(guó)從1960年到1975年由于靜電引起的火災(zāi)爆炸事故達(dá)116起1969年底在不到一個(gè)月的時(shí)間內(nèi)荷蘭、挪威、英國(guó)三艘20萬(wàn)噸超級(jí)油輪洗艙時(shí)產(chǎn)生的靜電引起相繼發(fā)生爆炸以后引起了世界科學(xué)家對(duì)靜電防護(hù)的關(guān)注。我國(guó)在石油企業(yè)發(fā)生了30多起較大的靜電事故，其中損失達(dá)百萬(wàn)元以上的有數(shù)起。.工業(yè)生產(chǎn)中靜電危害的形成工業(yè)發(fā)展的高速發(fā)展以及高分子材料的迅速推廣應(yīng)用，一些電阻率很高的高分子材料如塑料，橡膠等的制品的廣泛應(yīng)用以及現(xiàn)代生產(chǎn)過(guò)程的高速化，使得靜電能積蓄到很高的程度。另一方面，靜電敏感材料的生產(chǎn)和使用，如輕質(zhì)油品，火藥，固態(tài)電子器件等，工礦企業(yè)部門受到靜電的危害也越來(lái)越突出，靜電危害造成了相當(dāng)嚴(yán)重的后果和損失。.世界靜電科研組織1953年英國(guó)物理學(xué)會(huì)（Inst。ofPhys。）在倫敦召開(kāi)了第一次靜電學(xué)術(shù)會(huì)議，共有24篇論文，其中8篇有關(guān)靜電防護(hù)，7篇有關(guān)靜電應(yīng)用論文，以后每4年召開(kāi)一次。1970年在維也納奧地利召開(kāi)了歐洲靜電學(xué)會(huì)（EFCE）第一次學(xué)術(shù)交流會(huì)，以后每4年開(kāi)一次。1970年美國(guó)靜電學(xué)會(huì)（ESA）成立，以后每年召開(kāi)一次靜電學(xué)術(shù)年會(huì)，1994年開(kāi)始與日本靜電學(xué)會(huì)（IESJ）聯(lián)合召開(kāi)多次會(huì)。.世界靜電科研組織（續(xù)）1971年IEEE-IAS-EPC第一次召開(kāi)靜電學(xué)術(shù)會(huì)議1976年日本靜電學(xué)會(huì)（IESJ）成立，增田閃一會(huì)長(zhǎng)1981年我國(guó)成立了中國(guó)物理學(xué)會(huì)靜電專業(yè)委員（李瑞年主任），以后各省市及行業(yè)靜電專業(yè)委員會(huì)成立1982年國(guó)際靜電放電協(xié)會(huì)（EOS/ESD）成立并每年召開(kāi)一次大規(guī)模的國(guó)際靜電放電會(huì)議。從此，ESD問(wèn)題越來(lái)越受到重視。.ESD是什么意思ESD是ElectroStaticDischarge“靜電放電”的縮寫。在20世紀(jì)中期以后，隨著工業(yè)技術(shù)的迅速發(fā)展，ESD問(wèn)題越來(lái)越受到人們的重視.

ESD防護(hù)意義1、減少損失（美國(guó)一年的損失達(dá)200多億美金，僅電子工業(yè)的損失超過(guò)100多億美金）。2、提高產(chǎn)品質(zhì)量和可靠性。3、提高生產(chǎn)效率。4、靜電防護(hù)回報(bào)達(dá)1：95以上。.ESD的培訓(xùn)人員領(lǐng)導(dǎo)管理人員設(shè)計(jì)工程師現(xiàn)場(chǎng)工程師維護(hù)、修理技術(shù)人員倉(cāng)儲(chǔ)人員質(zhì)量控制和檢測(cè)人員.代表性的培訓(xùn)內(nèi)容基本知識(shí)與基本原理靜電防護(hù)操作要求防護(hù)器材測(cè)量與標(biāo)準(zhǔn)敏感度分類防靜電工作區(qū).靜電產(chǎn)生的機(jī)理原子結(jié)構(gòu)：原子核+電子摩擦起電 1、接觸 2、分離摩擦起電的實(shí)質(zhì)：

接觸分離起電。任何不同材質(zhì)的物質(zhì)接觸后再分離，即可產(chǎn)生靜電。.

靜電是如何產(chǎn)生的接觸分離起電（本質(zhì)）摩擦起電 ——摩擦實(shí)質(zhì)上是一種接觸分離造成正負(fù)電荷不平衡的過(guò)程。工作中接觸到的物體有：

—桌面、地板、椅子、衣服、電子元件、包裝材料、儀器設(shè)備、 料盒、機(jī)器、紙張、流動(dòng)空氣等等。為什么流動(dòng)空氣會(huì)產(chǎn)生靜電呢？加溫室內(nèi)為何要放水？靜電可因多種原因而發(fā)生，例如物體間的摩擦、電場(chǎng)感應(yīng)、介質(zhì)極化、帶電微粒附著等許多物理過(guò)程都有可能導(dǎo)致靜電。.

感應(yīng)靜電起電當(dāng)帶電物體A接近不帶電物體C時(shí)在導(dǎo)體C的a端和b端分別感應(yīng)出負(fù)電和正電A++++++Ca一一一+++b_____·◎B當(dāng)一個(gè)帶靜電的人，如經(jīng)理、領(lǐng)班、工程師、來(lái)賓······突然靠近您，會(huì)有什么靜電危害？.

其他起電方式熱電起電壓電起電斷裂起電電解帶電亥姆霍茲層噴射起電.不同濕度下各種操作時(shí)的人體電位相對(duì)濕度人體電位（KV）操作（10-20)﹪(65-90)﹪在地板/合成纖維地毯上走動(dòng)351.5在聚乙稀地面上行走120.25從工作椅上站起181.5在工作臺(tái)上操作60.1從印刷電路上拉下膠帶121.5印刷電路板薄膜包裝163用像皮清潔電路121.

器件所能承受的靜電電壓器件類型靜電破壞電壓（V）VMOS30~1800OP-AMP190~2500.器件人體靜電電壓幾百到幾千伏幾千到幾萬(wàn)伏.生產(chǎn)產(chǎn)所中的靜電危害源物體或工藝加工材料或活動(dòng)人站起、行走、操作工作服椅子組裝、清洗、測(cè)試和維修區(qū).

靜電是如何產(chǎn)生的小結(jié)任何兩個(gè)不同材質(zhì)的物體接觸后再分離即可產(chǎn)生靜電。摩擦的實(shí)質(zhì)是一種接觸分離過(guò)程。當(dāng)帶電物體接近不帶電物體時(shí)會(huì)感應(yīng)靜電。大部分器件的靜電破壞電壓都在幾百伏至幾千伏，而在干燥的環(huán)境中人活動(dòng)所產(chǎn)生的靜電電壓可達(dá)幾千伏到幾萬(wàn)伏。靜電危害的特點(diǎn)：隱蔽性、潛在性、隨機(jī)性、復(fù)雜性。.二、電子工業(yè)中靜電問(wèn)題電子工業(yè)中靜電問(wèn)題的產(chǎn)生靜電對(duì)電子產(chǎn)品損害的四種形式靜電對(duì)電子產(chǎn)品損害的四種特點(diǎn)哪些過(guò)程會(huì)產(chǎn)生靜電危害.電子工業(yè)中靜電問(wèn)題的產(chǎn)生40-50年代晶體三極管和二極管60-70年代MOS器件的出現(xiàn)80-90年代二氧化硅膜的厚度越來(lái)越薄（微米-納米），其承受的靜電電壓愈來(lái)愈低，另一方面，生產(chǎn)和積累靜電的材料如塑料、橡膠等大量使用，使得靜電積累到很高的程度。.DRAM（存儲(chǔ)量）256K1M4M16M64M256M1G4GSRAM（存儲(chǔ)量）64K256K1M4M16M64M256M1G線寬（μm）1.81.20.80.5~0.60.35~0.40.25~0.270.18~0.200.1~0.15芯片面積（cm2）0.40.50.91.323710加工次數(shù)（次）140160200270340400460530靜電已成為電子工業(yè)的隱形殺手！靜電是電子工業(yè)普遍存在的一種“病毒”??！.靜電對(duì)電子產(chǎn)品損害的四種形式吸塵（縮短壽命）放電破壞（完全破壞）放電產(chǎn)生熱（潛在損壞）放電產(chǎn)生電磁場(chǎng)（電磁干擾）.靜電對(duì)電子產(chǎn)品損害的四個(gè)特點(diǎn)隱蔽性：人體感知的靜電放電電壓2-3KV潛在性：損傷后性能沒(méi)有明顯的下降隨機(jī)性：從一個(gè)元件產(chǎn)生以后，一直到它損壞以前的所有過(guò)程復(fù)雜性：分析困難，掩蓋了失效的真正原因.電子工業(yè)哪些過(guò)程會(huì)產(chǎn)生靜電危害元件制造過(guò)程：切割、連線、檢驗(yàn)印刷電路版生產(chǎn)過(guò)程：儲(chǔ)存、裝配設(shè)備使用過(guò)程：安裝、試驗(yàn)設(shè)備維修過(guò)程：拆卸、檢驗(yàn)從元件的制造、使用到維修的任一環(huán)節(jié)，靜電已成為電子工業(yè)的隱形的致命殺手。.三、靜電放電損壞模型人體模型帶電器件模型場(chǎng)增強(qiáng)模型機(jī)器模型電容偶合模型. 人體模型HBM人體模型的建立電容為100PF，電阻為1.5KΩ

GJB1649.人體模型放電電流波形Tri:＜10nsTdi:150±20nsIp:±10﹪Ir:15﹪Ip:＜100ns

.級(jí)別Vs/VIp/A15000.33210000.67320001.33440002.67EsIp是電流波形檢測(cè)過(guò)程中流過(guò)R的峰值電流表,大約為Vs/1500Ω.人體模型放電電壓與峰值電流的關(guān)系

.帶電器件模型(CDM)器件本身積累靜電而迅速放電造成元件,如一個(gè)集成電路損壞.管腳上電荷的典型值為3nC(庫(kù)侖),塑料包裝上的電荷小于0.2nC.CDM波形圖 小于10ns過(guò)程太快，以致輸入保護(hù)電路來(lái)不及導(dǎo)通。典型的情況是導(dǎo)致芯片內(nèi)或氧化區(qū)的損壞。CurrentA●幾個(gè)納庫(kù)的電荷能導(dǎo)致器件損壞上升時(shí)間約0.5ns，持續(xù)時(shí)間小于10ns。.

機(jī)器模型由2000PF電容竄500Ω電阻和一個(gè)500nH電感代替通常串聯(lián)的電阻構(gòu)成。機(jī)器模型是如帶電絕緣的面板、小車、金屬盒或任何絕緣的導(dǎo)體等常用靜電電源CurrentA典型的機(jī)器模型放電的峰值電流可達(dá)幾百安培，持續(xù)時(shí)間為幾百納秒。（上升時(shí)間約為5~8ns，周期約80ns。）.人體金屬模型（場(chǎng)增強(qiáng)模型）人體通過(guò)手握金屬體如鑷子放電模型。場(chǎng)集中在工具的最尖處，有效放電電阻減小。這模型由電阻為350Ω~500Ω，電容與人體模型相同的電容構(gòu)成。在電壓相同時(shí)，其放電電流比人體模型更大，所以人手持金屬體如鑷起子時(shí)的靜電放電危害更大。.國(guó)內(nèi)外典型ESD模型器參數(shù)IEC801-2（第一次）15015022。5IEC801-2（第二次）15033049。5IEC1000-4-215033049。5EN61000-2-415033049。5ECMA15033049。5EIA10050050NEMA1001500150MIL-STD883B1001500150DOD-HDBK2631001500150EIA6010000600SAE30050001500MIL-STD-151250050002500GJB73650050002500注：EIA（ElectronicsIndustriesAssociation）NEMA（NationalElectricaManufacturer‘sAssociation）IEC（InternstionalElectrotechchnicalCommission）.

敏感度分類敏感類別敏感電壓閥值（V）Ⅰ類0~1999Ⅱ類2000~3999Ⅲ類4000~15999為定量描述元件的靜電敏感程度進(jìn)行分類大部分敏感度實(shí)驗(yàn)都是以人體模型為依據(jù)組見(jiàn)設(shè)計(jì)應(yīng)用能為最敏感的元器件提供最低2000V的靜電放電設(shè)計(jì)保護(hù)整機(jī)設(shè)計(jì)應(yīng)能為最敏感的元器件提供最低4000V的設(shè)計(jì)保護(hù).靜電放電敏感度實(shí)驗(yàn)參考ESD模型器件敏感度的ESD標(biāo)準(zhǔn)和方法人體模型（HBM）ESDSTM5.1MIL-STD-833Method3015MIL-STD-750Method1020MIL-PRF-19500MIL-PRF-38535機(jī)器模型（MM）ESDSTM5.2充電器件模型(CDM)ESDDS5.3.1.

總結(jié)靜電是即古老又年輕的學(xué)科；任何物質(zhì)接觸分離后都會(huì)產(chǎn)生靜電；靜電的產(chǎn)生與材料、接觸分離的速度、濕度等因素有關(guān)；工業(yè)產(chǎn)生中靜電危害的特點(diǎn)主要有：隱蔽性、淺在性、隨機(jī)性、復(fù)雜性；靜電也可以利用。.四、靜電防護(hù)（一）ESD防護(hù)的意義(如前所敘述)

1、減少損失（美國(guó)一年的損失200多億美金，其中電子工業(yè)的損失超過(guò)100多億美金）

2、提高產(chǎn)品質(zhì)量和可靠性

3、提高生產(chǎn)效率

4、靜電防護(hù)回報(bào)達(dá)1：95以上（二）靜電產(chǎn)生主要有下列幾點(diǎn)

1、盡量減少靜電荷的產(chǎn)生

2、對(duì)已產(chǎn)生的靜電荷盡快予以消除

3、最大限度地減少靜電危害

4、嚴(yán)格靜電防護(hù)管理，以保證各項(xiàng)措施的有效執(zhí)行.

...二、靜電防護(hù)工作的主要特點(diǎn)1、安全（包刮環(huán)境、人身及設(shè)備）防護(hù)與產(chǎn)品防護(hù)有時(shí)是并存的，特別是電子產(chǎn)品。2、加工制造過(guò)程中對(duì)半成品的防護(hù)與使用、維護(hù)、包裝、檢測(cè)、拆包裝、裝配、調(diào)試過(guò)程中對(duì)產(chǎn)成品的防護(hù)并重。3、防止靜電的發(fā)生與消除已產(chǎn)生的靜電荷。4、靜電防護(hù)工作中，技術(shù)措施與管理措施均不可缺少，他們是相輔相成的。.三、靜電防護(hù)工作的主要目的1、靜電防護(hù)工作大體分為兩個(gè)方面，其主要目的有3個(gè)（1）兩個(gè)方面是：安全防護(hù)與產(chǎn)品防護(hù)。（2）3個(gè)目的是：保證人員和生產(chǎn)場(chǎng)所的安全，防止火災(zāi)與爆炸，提高工藝成品率，確保產(chǎn)成品的工作可靠性。.四、靜電防護(hù)技術(shù)提高元器件、組件（線路板）及整機(jī)的抗靜電能力在操作等過(guò)程中控制靜電，使其不能達(dá)到危害的程度.

ESD防護(hù)工作區(qū)ESD防護(hù)工作區(qū)是由各種ESD設(shè)施、器材及有明確定義的區(qū)域界限形成的工作場(chǎng)地。能抑制靜電荷的積累和靜電壓的產(chǎn)生，并能安全、迅速、有效地消除已產(chǎn)生的靜電荷，原則上要求區(qū)域內(nèi)產(chǎn)生的靜電壓小于100V。如：晶體庫(kù)房、A線、C線等。

.靜電材料：指摩擦生電產(chǎn)生超過(guò)100V電壓，并且將產(chǎn)生的電壓保持10秒以上的材料。防靜電材料：包括靜電導(dǎo)電材料（表面電阻值小于105Ω）。靜電耗散材料：表面電阻值大于或等于105Ω但小于1012Ω）。絕緣材料：表面電阻值在1012Ω以上的材料。

. 防靜電材料電阻值（一）１．靜電地線與線體地線、防雷地線、工頻電源中線、地線要分開(kāi)拉設(shè)，其接地電阻值≤4Ω。２．靜電保護(hù)區(qū)內(nèi)的線體、儀器、設(shè)備、工具應(yīng)接地，其接地電阻值≤4Ω。３．靜電手環(huán)、防靜電臺(tái)墊、防靜電地墊限流電阻值為1MΩ～10MΩ。4.鐵頭、電鎖桿的的漏電壓值≤0.2VAC５．靜電膠墊的表面電阻值為106Ω～109Ω。６．靜電元件盒和防靜電周轉(zhuǎn)箱的表面電阻值為105Ω～1011Ω。７．集成電路包裝管的表面電阻值為104Ω～1010Ω。

. 防靜電材料電阻值（二）８．防靜電海綿的表面電阻值為105Ω～1011Ω。９．防靜電鞋的表面電阻值為105Ω～108Ω。１０。防靜電手指套表面電阻105Ω～1011Ω；１１。防靜電手套表面電阻105Ω～1011Ω。１２。防靜電地板的表面電阻值為105Ω～1010Ω。１３。防靜電袋的表面電阻值為105Ω～1011Ω。１４。防靜電服的表面電阻值為105Ω～1010Ω。

.4-1ESD控制原理---接地 靜電導(dǎo)體接地人員的接地（腕帶:（0.8~1.2)109Ω、防靜電/導(dǎo)電膠底鞋對(duì)地電阻:0.5×105~1.0×109Ω）設(shè)備和工具接地:＜4.0Ω(GB50174-93)環(huán)境：地面、貨架、活動(dòng)設(shè)備對(duì)地電阻：

1×105~1×109Ω雷電保護(hù)接地：＜4.0Ω

（最好在1Ω以下）.4-2ESD控制原理靜電非導(dǎo)體離子消電器放射消電器.4-3人體ESD控制原理人體是最普遍存在的靜電危害源對(duì)于靜電來(lái)說(shuō)，人體是導(dǎo)體。對(duì)人體采取接地的措施可以控制人體靜電。.4-4使靜電從腳導(dǎo)到大地使用靜電地面（防靜電地墊、地毯等）防靜電鞋防靜電襪防靜電膠墊地面對(duì)地電阻注意：鞋、地面、襪、鞋墊等必須全是防靜電的，才能保證靜電從腳導(dǎo)向大地。

105Ω＜鞋、地面對(duì)地電阻＜109Ω.4-5使靜電從手導(dǎo)致大地配戴防靜電手環(huán)并接地用手觸摸接地金屬體（如：球）能暫時(shí)釋放人體靜電，但手離開(kāi)接地金屬后又會(huì)產(chǎn)生靜電靜電手環(huán)腕帶對(duì)地電阻：

7.5×105~1×108Ω無(wú)線腕帶不能起到防靜電作用.4-6防靜電鞋與腕帶使用中人

體安全問(wèn)題從防靜電的角度考慮時(shí)，人體總的對(duì)地電阻越小越好安全要求：鞋的最小值不應(yīng)小于1×105Ω人體必須具有一定的對(duì)地電阻，限制意外流過(guò)人體上的電流。.4-7防靜電鞋與腕帶的使用問(wèn)題1、使用腕帶操作時(shí)不允許斷開(kāi)，否則會(huì)失去接地作用2、在穿用防靜電鞋時(shí)應(yīng)有防靜電襪/鞋墊，鞋與地面必須都防靜電。否則靜電不能從人體導(dǎo)向大地。夾在衣服等不導(dǎo)電物體上的接地裝置，不能釋放人體靜電。.4-8防靜電包裝袋/容器材料由基材、金屬鍍膜層和熱封層多層復(fù) 合而成，通常是半透明防靜電和電磁屏蔽雙重功能的包裝袋， 通常是不透明。價(jià)格較高.4-9服裝/手套/指套/帽子不銹鋼纖維或?qū)щ娎w維與普通纖維混紡而成。通過(guò)導(dǎo)電纖維的電暈放電和泄漏作用消除的靜電。耐洗滌，但一般本身不能導(dǎo)靜電?！穹漓o電服裝/手套/指套/帽子單獨(dú)使用時(shí)防靜電作用不大.4-10使用靜電消除器高電壓離子消電器放射線離子消電器臺(tái)式離子消電器感應(yīng)式消電器可用消電器對(duì)一些易起靜電的材料進(jìn)行消電，對(duì)低電壓的靜電不能消除.五、靜電防護(hù)管理靜電防護(hù)/包裝防護(hù)操作一般準(zhǔn)則一般操作要求◆

所有ESDS（靜電放電敏感）產(chǎn)品的加工、裝聯(lián)、檢測(cè)、包裝與拆包等操作都必須在EPA內(nèi)進(jìn)行◆

凡進(jìn)入EPA(靜電放電防護(hù)工作區(qū)）的所有電子元器件都應(yīng)視為ESDS元器件來(lái)對(duì)待◆

在裝配未采用防靜電包裝的零部件時(shí)，應(yīng)在消除靜電后才允許進(jìn)入EPA。.5-2ESDS產(chǎn)品的包裝和標(biāo)志凡存儲(chǔ)、運(yùn)輸ESDS產(chǎn)品，只能在妥善的防靜電包裝條件下進(jìn)行ESDS產(chǎn)品的包裝件上，應(yīng)做出警示標(biāo)記靜電敏感基本符號(hào)靜電敏感設(shè)備標(biāo)記.5-3靜電防護(hù)設(shè)施的定期檢查設(shè)備工具接地：＜1.0Ω人員接地＜35×106Ω

或＜100伏，腕帶：（0.8---1.2）×106ΩEPA環(huán)境：工作臺(tái)面、鞋類、地面、貨架、活動(dòng)設(shè)備＜1×109Ω

，＜200伏.5-4靜電檢測(cè)儀器基本配置靜電電壓表電阻表：接地電阻表、兆歐表、高阻表.六、靜電測(cè)試靜電電壓的測(cè)量靜電電荷的測(cè)試靜電電壓測(cè)試注意事項(xiàng).6-1電阻和電阻率的測(cè)量表面電阻和表面電阻率（系數(shù)） GB1410:80 ASTM:10體積電阻和體積電阻率的測(cè)量.七、靜電防護(hù)領(lǐng)域的常用術(shù)語(yǔ)(一)1、地：任何一點(diǎn)的電位按慣例取為零的大地或?qū)щ娢镔|(zhì)2、接地：電氣連接到能提供或接受大量電荷的物體上（如大地、船舶、運(yùn)載工具的金屬外殼等)3、靜電接地：將金屬導(dǎo)體（通過(guò)接地極）與大地進(jìn)行電氣上的連接，使金屬倒體的電位接近大地電位的措施4、硬接地：直接接地或通過(guò)一個(gè)低阻抗地相連5、軟接地：通過(guò)足夠的阻抗接地，把電流限制在人身安全的電平（通常為5MΩ）之下。軟接地所需要的阻抗取決于靠近接地點(diǎn)的人員可能接觸的電壓電平。.七、靜電防護(hù)領(lǐng)域的常用術(shù)語(yǔ)(二)6、直接接地：將金屬體與大地進(jìn)行導(dǎo)電性連接的一種接地方式7、間接接地：為使金屬以外的物體進(jìn)行靜電接地，將其表面的全部或局部與接地的金屬體緊密相接的一種接地方式8、靜電放電接地裝置：一個(gè)公共裝置，在靜電放電防護(hù)工作區(qū)內(nèi)與該裝置連接的元器件被接地9、人體接地：通過(guò)使用導(dǎo)電墊、導(dǎo)電地面、導(dǎo)電鞋或其他各種接地用具使人體與大地保持通導(dǎo)狀態(tài)的措施10、接地（電）極：埋入大地以便與大地良好接觸的導(dǎo)體或幾個(gè)導(dǎo)體的組合.七、靜電防護(hù)領(lǐng)域的常用術(shù)語(yǔ)(三)11、對(duì)地電壓