修補設備及修補原理介紹第1頁/共18頁修補設備使用激光進行修補那激光是什么？激光如何產生？如何使用激光進行修補？修補有什么用途呢？第2頁/共18頁一激光相關知識介紹二修補設備種類及用途介紹三修補設備原理及修補技能介紹Menu：第3頁/共18頁一、激光相關知識介紹1、激光的形成

激光的最初中文名叫做“鐳射”、“萊賽”，是它英文名Laser的音譯，是取自LightAmplificationbyStimulatedEmissionofRadiation的縮寫，意思是“受激輻射的光放大”。

那什么是受激輻射呢？它是基于偉大的科學家愛因斯坦在1916年提出了的一套全新的理論。當頻率為（E2-E1)/h的光子入射時，會引發粒子以一定的概率，迅速地從能級E2躍遷到能級E1，同時輻射一個與外來光子頻率、相位、偏振態以及傳播方向相同的光子，這個過程叫做受激輻射。

可以設想，如果大量原子處在高能級E2上，當有一個頻率=（E2-E1）/h的光子入射，從而激勵E2上的原子產生受激輻射，得到兩個特征完相同的光子，這兩個光子再激勵E2能級上原子，又使其產生受激輻射，可得到四個特征相同的光子，這意味著原來的光信號被放大了，這中在受激輻射過程中產生并被放大的光就是激光。第4頁/共18頁一、激光相關知識介紹2、激光的特性

①.單色性好：普通光源發射的光子，在頻率上是各不相同的所以包含有各種各樣顏色。而激光發射的各個光子頻率相同，因此激光是單色性最好的單色光源； ②.相干性好：由于受激輻射的光子再相位上是一致的，再加上諧振腔的選模作用，使激光束橫截面上各點間有固定的相位關系，所以激光的空間相干性很好。 ③.方向性好：激光束的發散角很小，幾乎是一平行的光線，激光照射到月球上形成的光斑直徑僅有1公里左右，最好的探照燈投射到月球上，光斑直徑將擴大到1000公里以上。

④.亮度高：激光的亮度科比普通光源高出1012~1019倍，是目前最亮的光源，強激光甚至可產生上億度的溫度。第5頁/共18頁一、激光相關知識介紹3、激光產生的條件 ①.受激輻射：首要條件，也是必要條件。 ②.工作物質必須具有亞穩態能級

如果讓這些受激光子一個一個地發射出來，是不能形成強大的能量的。（自發輻射）

一般的，電子被激發到高能級后，在高能級上停留的時間是短暫的。

而有些物質的電子處于第二能級的時間較長，僅次于基態能級。這個能級就叫做亞穩態能級。 ③.粒子數反轉

外來的光子能激發出光子，產生受激輻射，但也可能被低能級所吸收。

在激光工作介質中，受激輻射和受激吸收這兩個過程都同時存在。在常溫下，吸收多于發射。

選擇適當的物質，使其在高（亞）能級上的電子比低能級上的電子還多，即形成粒子數反轉，使受激發射多于吸收。 ④.諧振腔

激光器中開始產生的光子是自發輻射產生的，其頻率和方向雜亂無章。

要使頻率單純，方向集中，就必須有一個諧振腔 ⑤.增益大于損耗

激光工作物質和諧振腔都會使光子產生損耗。

只有使光子在腔中振蕩一次產生的光子數比損耗掉的光子多得多時，才能有放大作用第6頁/共18頁一、激光相關知識介紹4、激光的主要種類

對激光器有不同的分類方法，一般按工作介質的不同來分類，在可以分為固體激光器、氣體激光器、液體激光器和半導體激光器。 ①.固體激光器

一般講，固體激光器具有器件小、堅固、使用方便、輸出功率大的特點。這種激光器的工作介質是在作為基質材料的晶體或玻璃中均勻摻入少量激活離子，常用的還有釔鋁石榴石（YAG）晶體中摻入三價釹離子的激光器，它發射1060nm的近紅外激光。 ②.氣體激光器

氣體激光器具有結構簡單、造價低；操作方便；工作介質均勻，光束質量好；工作物質主要以氣體狀態進行發射的激光器在常溫常壓下是氣體，有的物質在通常條件下是液體（如非金屬粒子的有水、汞），及固體（如金屬離子結構的銅，鎘等粒子），經加熱使其變為蒸氣，利用這類蒸氣作為工作物質的激光器，統歸氣體激光器之中。 ③.半導體激光器

半導體激光器是以半導體材料作為工作介質的。這種激光器體積小、質量輕、壽命長、結構簡單而堅固。常用材料有砷化鎵（GaAs）、硫化鎘（CdS）、磷化銦(InP)、硫化鋅(ZnS)等。激勵方式有電注入、電子束激勵和光泵浦三種形式。 ④.液體激光器

常用的是染料激光器，采用有機染料最為工作介質。大多數情況是把有機染料溶于溶劑中（乙醇、丙酮、水等）中使用，也有以蒸氣狀態工作的。利用不同染料可獲得不同波長激光（在可見光范圍）。第7頁/共18頁一、激光相關知識介紹5、激光的主要用途

根據激光產生的原理及特性，激光被廣泛使用：

①.激光通訊.

光纖傳像容量大，距離遠 ②.激光醫學.

夠扮演鉆頭、手術刀、焊槍等多種角色，或激光手術治療、弱激光生物刺激作用的非手術治療和激光的光動力治療。 ③.激光測距，定位.

激光測距（laserdistancemeasuring）是以激光器作為光源進行測距。與光電測距儀相比，不僅可以日夜作業、而且能提高測距精度，顯著減少重量和功耗，使測量到人造地球衛星、月球等遠目標的距離變成現實。 ④.激光加工

包括切割、焊接、表面處理、打孔、打標、劃線、微調等各種加工工藝。 ⑤.激光唱片能夠用來貯存各種信息和聲音。

影碟能夠貯存和再現畫面和影片，而得到計算機幫助、運轉自如的光盤只讀存儲器(CD-ROM)可以包容所有范圍的信息，從字詞、音樂一直到畫面和活動的電視連續鏡頭。 ⑥.軍事激光，激光武器，激光雷達。激光通訊激光醫學激光切割激光武器第8頁/共18頁序號設備代碼設備名稱使用工程主要作用1RPL光刻膠修正裝置PH曝光顯影后對多余光刻膠進行剝離4REN陣列修正裝置TFT完了對TFT完了后Short類缺陷修正5RVD配線修正裝置金屬剝離后對金屬斷線進行鍍膜修正二、修補設備種類及用途介紹面板制作完成按照不良數量分等根據面板等級按照不同價格出售面板制作面板帶有不良不良實施修補面板制作面板帶有不良面板制作完成優等品數量上升根據面板等級按照不同價格出售按照不良數量分等※經過修補的面板，優等品數量上升，工廠獲得的利潤增加。第9頁/共18頁三、修補設備原理及修補技能介紹

1、陣列修正裝置------REN 1-1.設備結構圖 1-2.設備加工原理

激從發振器發出，經過光學聚焦和均勻性擴散后照射在加工材料表面，利用激光的高溫對加工材料進行燒蝕氣化，從而起到加工效果，日常生產中可能需求不同的加工效果，需要針對不同加工材料進行條件引出，驗證合格后才能導入使用。光 1-3.激光波長選擇

每個工廠會根據自身的產品特點及經費考量激光種類、數量以及波長，但大部分工廠常見的激光波長有266nm、355nm、532nm及1064nm，目前CPD工廠內陣列修正裝置的波長選擇了266nm及1064nnm。

第10頁/共18頁 1-4.激光加工對象

陣列修正設備主要對Short類缺陷進行修正，修正的原則是輝點暗點化、暗點正常化及SGS化；

①.S-DLeak、G-DLeak、D斷及IGZO缺陷，實施輝點暗點化修正； ②.D-COMLeak實施暗點正常化修正；

③.S-GLeak實施S化；

第11頁/共18頁二、修補設備原理介紹

1、光刻膠修正裝置------RPL 1-1.設備結構圖

1-2.設備加工原理

激從發振器發出，經過光學聚焦和均勻性擴散后照射在加工材料表面，利用激光的高溫對加工材料進行燒蝕氣化，從而起到加工效果，日常生產中可能需求不同的加工效果，需要針對不同加工材料進行條件引出，驗證合格后才能導入使用。光

1-3.激光波長選擇

每個工廠會根據自身的產品特點及經費考量激光種類、數量以及波長，但大部分工廠常見的激光波長有266nm、355nm、532nm及1064nm，目前CPD工廠內光刻膠修正裝置的波長選擇了266nm。

第12頁/共18頁

1-4.激光加工對象

光刻膠修正設備主要對光刻膠殘留缺陷進行修正，修正的原則是將多余的光刻膠剝離掉；

①GT層PR殘留缺陷②IGZO層PR殘留缺陷③GT層PR殘留缺陷（成膜異物）④GT層膜破缺陷第13頁/共18頁二、修補設備原理介紹

1、配線修正裝置-----RVD

1-1.設備結構圖

1-2.設備加工原理

切割及剝離加工原理：激從發振器發出，經過光學聚焦和均勻性擴散后照射在加工材料表面，利用激光的高溫對加工材料進行燒蝕氣化，從而起到加工效果，日常生產中可能需求不同的加工效果，需要針對不同加工材料進行條件引出，驗證合格后才能導入使用。

成膜加工原理：利用氣化的六羰基鎢與激光發生化學反應，在基板表面缺陷位置沉積金屬鎢原子，達到修正目的。

1-3.激光波長選擇

每個工廠會根據自身的產品特點及經費考量激光種類、數量以及波長，但大部分工廠常見的激光波長有266nm、355nm、532nm及1064nm，目前CPD工廠內陣列修正裝置的波長選擇了266nm、355nm、532nm及1064nnm。

第14頁/共18頁 1-4.配線修正裝置示意圖LaserCVDchamberLaserCVDprocess反射照射圖像背面照射圖像第15頁/共18頁