標準解讀

《YS/T 1059-2015 硅外延用三氯氫硅中總碳的測定 氣相色譜法》是一項國家標準，旨在規定使用氣相色譜技術測定用于硅外延工藝中的三氯氫硅樣品里總碳含量的方法。該標準適用于評估三氯氫硅純度，特別是針對其中可能存在的各種形式的碳雜質（如甲基、乙基等有機物以及CO、CO2等形式）進行定量分析。

根據此標準，測試過程主要包括樣品準備、進樣、色譜條件設定及數據處理幾個步驟。首先，需要將待測樣品與特定溶劑混合制成適合氣相色譜儀分析的形式；接著，通過精確控制的進樣系統將制備好的溶液引入到氣相色譜柱內；在預設條件下，不同類型的碳化合物會按照其沸點差異依次從色譜柱中流出，并被檢測器捕捉記錄下來形成色譜圖；最后，依據峰面積或峰高計算出各組分濃度，進而得出樣品中總碳含量。

在整個實驗過程中，對于儀器設備的選擇、操作參數的設置都有嚴格要求，以確保結果準確性與重復性。例如，推薦使用帶有火焰離子化檢測器(FID)或者電子捕獲檢測器(ECD)的氣相色譜儀；同時，在樣品前處理階段也需注意避免外界環境對試樣的污染，保證最終測量值能夠真實反映原物料狀態。此外，還提供了方法精密度和準確度的相關信息，為實驗室間比對提供了參考依據。


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  • 2015-04-30 頒布
  • 2015-10-01 實施
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YS/T 1059-2015硅外延用三氯氫硅中總碳的測定氣相色譜法_第1頁
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文檔簡介

ICS7704030

H17..

中華人民共和國有色金屬行業標準

YS/T1059—2015

硅外延用三氯氫硅中總碳的測定

氣相色譜法

Determinationoftotalcarboncontentintrichlorosilaneforsiliconeqitaxy—

Gaschromatographicmethod

2015-04-30發布2015-10-01實施

中華人民共和國工業和信息化部發布

YS/T1059—2015

前言

本標準按照給出的規則起草

GB/T1.1—2009。

本標準由全國有色金屬標準化技術委員會提出并歸口

(SAC/TC243)。

本標準起草單位中鍺科技有限公司昆明冶研新材料股份有限公司江蘇中能硅業科技發展有限

:、、

公司新特能源股份有限公司

、。

本標準主要起草人劉英杰鄭華榮柯尊斌劉新軍趙建為王桃霞張京張云暉楊紅燕陳喜清

:、、、、、、、、、、

楊帥

。

Ⅰ

YS/T1059—2015

硅外延用三氯氫硅中總碳的測定

氣相色譜法

1范圍

本標準規定了硅外延用三氯氫硅中總碳含量的氣相色譜測定方法

。

本標準適用于硅外延用三氯氫硅中總碳含量的測定測定范圍為

,0.00005%~0.005%。

2方法提要

三氯氫硅樣品在惰性氣體保護下注入氣相色譜儀其中的含碳組分在高溫富氫還原爐內全部轉

,,、

化為甲烷然后用氫火焰離子化檢測器檢測甲烷的含量計算出三氯氫硅中的總碳量轉化反應如下

,,。:

850℃

xyz+z+y-x+z+y

HSiCCl1/2(4)H2→SiHClCH4

3試劑和材料

31氫氣體積分數

.,≥99.999%。

32惰性氣體體積分數

.,≥99.999%。

33壓縮空氣經活性炭干燥

.,。

34丙酮分析純

.,。

35甲烷標準氣體補充氣為氫氣

.,。

4儀器設備

41氣相色譜儀配有氫火焰離子化檢測器氫氣還原爐以及相應的色譜工作站

.:(FID)、,。

42色譜柱碳分子篩色譜柱或其他等效色譜柱尺寸為?

.:,3mm×50cm。

43氫氣還原爐爐內配備長內徑左右的內裝石英砂的石英管

.:40cm,3mm。

44微量注射器

.:10μL。

5干擾因素

51樣品應置于冰箱中冷凍保存防止樣品揮發損失

.,。

52室內濕度應控制在以下防止環境濕度對樣品的影響

.40%,。

53惰性氣體操作箱內的空氣必須用高純氣體置換干凈否則樣品水解影響測試結果

.,,。

54樣品應避免和有機物質接觸儀器進樣系統避免引入有機物質否則會造成測試結果偏高

.,;。

6分析步驟

警告移取三氯氫硅樣品時要防止樣品泄露建議在惰性氣體保護下轉移樣品并佩戴好防護用

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