ICS7104040

G04..

中華人民共和國國家標準

GB/T32495—2016/ISO124062010

:

表面化學分析二次離子質譜

硅中砷的深度剖析方法

Surfacechemicalanalysis—Secondary-ionmassspectrometry—

Methodfordepthprofilingofarsenicinsilicon

(ISO12406:2010,IDT)

2016-02-24發布2017-01-01實施

中華人民共和國國家質量監督檢驗檢疫總局發布

中國國家標準化管理委員會

GB/T32495—2016/ISO124062010

:

目次

前言

…………………………Ⅰ

引言

…………………………Ⅱ

范圍

1………………………1

規范性引用文件

2…………………………1

術語和定義

3………………1

符號和縮略語

4……………1

原理

5………………………2

參考物質

6…………………2

用于校準相對靈敏度因子的參考物質

6.1……………2

用于校準深度的參考物質

6.2…………2

儀器

7………………………2

二次離子質譜儀

7.1……………………2

觸針式輪廓儀

7.2………………………2

光學干涉儀

7.3…………………………2

樣品

8………………………2

步驟

9………………………2

二次離子質譜儀的調整

9.1……………2

優化二次離子質譜儀的設定

9.2………………………3

進樣

9.3…………………3

被測離子

9.4……………3

樣品檢測

9.5……………4

校準

9.6…………………4

結果表述

10…………………5

測試報告

11…………………5

附錄資料性附錄硅中砷深度剖析巡回測試報告

A()…………………6

附錄資料性附錄深度剖析步驟

B()NISTSRM2134…………………9

參考文獻

……………………10

GB/T32495—2016/ISO124062010

:

前言

本標準按照給出的規則起草

GB/T1.1—2009。

本標準使用翻譯法等同采用表面化學分析二次離子質譜硅中砷的深度剖析

ISO12406:2010《

方法

》。

與本標準中規范性引用的國際文件有一致性對應關系的我國文件如下

:

表面化學分析詞匯

———GB/T22461—2008(ISO18115:2001,IDT)

本標準由全國微束標準化技術委員會提出并歸口

(SAC/TC38)。

本標準負責起草單位中國電子科技集團公司第四十六研究所

:。

本標準主要起草人馬農農陳瀟何友琴王東雪

:、、、。

Ⅰ

GB/T32495—2016/ISO124062010

:

引言

本標準為使用二次離子質譜對硅中砷的定量深度剖析

(secondary-ionmassspectrometry,SIMS)

而制定

。

對于定量深度剖析濃度和深度定標都是必不可少的國家標準中規定了硅中硼濃

,。GB/T20176

度的測定方法國際標準[1]中規定了硅中硼深度剖析方法國家標準中規定

。ISO17560。GB/T25186

了離子注入參考物質的相對靈敏度因子的測定方法國家標準中建立了表面化學

(RSF)。GB/T22461

分析領域常規術語和譜學術語的詞匯表本標準中硅中砷定量深度剖析方法將會引用這些國家標準

。。

本標準適用于采用二次離子質譜法對單晶硅多晶硅非晶硅中砷元素進行深度剖析及用觸針式

、、,

表面輪廓儀或光學干涉儀深度定標的方法

。

Ⅱ

GB/T32495—2016/ISO124062010

:

表面化學分析二次離子質譜

硅中砷的深度剖析方法

1范圍

本標準詳細規定了用扇形磁場或四極桿式二次離子質譜儀對硅中砷進行深度剖析的方法以及用

,

觸針式輪廓儀或光學干涉儀深度定標的方法本標準適用于砷原子濃度范圍從163

。1×10atoms/cm~

213的單晶硅多晶硅非晶硅樣品坑深在及以上

2.5×10atoms/cm、、,50nm。

2規范性引用文件

下列文件對于本文件的應用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

表面化學分析二次離子質譜用均勻摻雜物測定硅中硼的原子濃度

GB/T20176—2006

(ISO14237:2010,IDT)

表面化學分析二次離子質譜由離子注入參考物質確定相對靈敏度因子

GB/T25186—2010

(ISO18114:2003,IDT)

表面化學分析詞匯第部分通用術語和譜學用術語

ISO18115-11:(Surfacechemicalanaly-

sis—Vocabulary—Part1:Generaltermsandtermsusedinspectroscopy)

3術語和定義

界定的術語和定義適用于本文件

ISO18115-1。

4符號和縮略語

Ci深度剖析第i個周期時砷原子濃度用單位體積原子個數3表示

,,(atoms/cm)

d深度剖析中求相對靈敏度因子用的深度用厘米表示

,(cm)

di在測試第i個周期時的深度用厘米表示

,(cm)

d坑深用厘米表示

t,(cm)

Ii測試第i個周期時砷離子強度用每秒計數