ICS0104029

CCSK.04.

中華人民共和國國家標準

GB/T2900104—2021/IEC60050-5232018

.:

電工術語微機電裝置

Electrotechnicalterminology—Micro-electromechanicaldevices

IEC60050-5232018Internationalelectrotechnicalvocabular—

(:,y

Part523Micro-eletromechanicaldevicesIDT

:,)

2021-10-11發布2022-05-01實施

國家市場監督管理總局發布

國家標準化管理委員會

GB/T2900104—2021/IEC60050-5232018

.:

前言

本文件按照標準化工作導則第部分標準化文件的結構和起草規則的規定

GB/T1.1—2020《1:》

起草

。

本文件是電工術語的第部分已經發布了多個部分

GB/T2900《》104。GB/T2900100。

本文件等同采用國際電工詞匯第部分微機電裝置

IEC60050-523:2018《523:》。

本文件做了下列最小限度的編輯性修改

:

修改了標準名稱

———;

增加了參考文獻

———。

請注意本文件的某些內容可能涉及專利本文件的發布機構不承擔識別專利的責任

。。

本文件由全國電工術語標準化技術委員會提出并歸口

(SAC/TC232)。

本文件起草單位中機生產力促進中心蕪湖中集瑞江汽車有限公司廣東瑞克斯智能科技有限公

:、、

司北京大學蕪湖市標準化研究院東莞市吉錸升電機股份有限公司漳州市太龍照明工程有限公司

、、、、、

福州華虹智能科技股份有限公司廣東萬江配電有限公司浙江博亞精密機械有限公司

、、。

本文件主要起草人蒯勇張威李桂芳李婧范遠斌申延智倪圣叨李英王本雄藍秀堂姜圓

:、、、、、、、、、、、

陸學貴

。

Ⅰ

GB/T2900104—2021/IEC60050-5232018

.:

引言

電工術語系列國家標準對應國際電工詞匯系列國際標準根據對電

GB/T2900IEC60050。IEC

工領域的分類將電工術語系列標準分為類基本概念電工材料儀器儀表電工設備電

,9:1);2);3);4);5)

子設備發電輸電和配電電信技術特殊應用標準化

;6)、;7);8);9)。

本文件等同采用國際電工詞匯第部分微機電裝置歸于第部分電

IEC60050-523:2018《523:》,5

子設備為微機電裝置方面通用基礎術語可為本領域技術標準制修訂技術交流提供幫助

,、,、。

電工術語系列國家標準第部分電子設備已發布標準包括

GB/T29005“”:

電工術語電力電子技術

———GB/T2900.33—2004(IEC60050-551:1998,IEC60050-551-20:

2001,IDT);

電工術語半導體器件和集成電路

———GB/T2900.66—2004(IEC60050-521:2002,IDT);

電工術語電子設備用機電元件

———GB/T4210—2015(IEC60050-581:2008,IDT)。

Ⅱ

GB/T2900104—2021/IEC60050-5232018

.:

電工術語微機電裝置

1范圍

本文件界定了微機電裝置的通用科學與工程材料科學功能元素加工技術鍵合裝配技術測量

、、、、、、

技術和應用相關術語

。

本文件適用于微機電技術領域

。

2規范性引用文件

本文件沒有規范性引用文件

。

3術語和定義

31通用術語

.

523-01-01

微機電裝置micro-electromechanicaldevice

微機電器件

集成了敏感器執行器傳感器諧振器振蕩器機械部件和或電路的微型裝置

、、、、、/。

注在微尺度上相關技術與基礎技術如設計材料加工功能元件系統控制能源供應鍵合和組裝電路基

:,(、、、、、、、)、

礎科學如微觀科學和工程以及熱力學和摩擦學都極為不同如果微機電器件構成一個系統它有時被稱為

(),。,

是微機電系統的縮寫

MEMS,“”。

來源

[:IEC62047-1:2016,2.1.1]

523-01-02

微系統技術microsystemtechnologyMST

;

利用微機械加工實現微電光學和機械系統及其部件的技術

、。

注術語主要用于歐洲

:MST。

來源

[:IEC62047-1:2016,2.1.2741-01-03]

523-01-03

微機械micromachine

小型化裝置其部件尺寸為幾毫米或更小

,。

注包括各種功能裝置如采用微機械技術的傳感器

: