ICS1304035

CCSC.70.

中華人民共和國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)

GB/T2591510—2021/ISO14644-102013

.:

潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境第10部分

:

按化學(xué)物濃度劃分表面潔凈度等級(jí)

Cleanroomsandassociatedcontrolledenvironments—

Part10Classificationofsurfacecleanlinessbchemicalconcentration

:y

ISO14644-102013IDT

(:,)

2021-08-20發(fā)布2022-03-01實(shí)施

國(guó)家市場(chǎng)監(jiān)督管理總局發(fā)布

國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)

GB/T2591510—2021/ISO14644-102013

.:

目次

前言

…………………………Ⅲ

引言

…………………………Ⅳ

范圍

1………………………1

規(guī)范性引用文件

2…………………………1

術(shù)語(yǔ)和定義

3………………1

分級(jí)

4………………………2

化學(xué)污染的表面潔凈度檢測(cè)測(cè)量監(jiān)測(cè)及符合性證明

5/、………………4

附錄資料性表面化學(xué)物各種濃度的換算

A()…………6

附錄資料性影響測(cè)試與結(jié)果的因素

B()………………12

附錄資料性潔凈度評(píng)定的基本要素

C()………………13

附錄資料性按化學(xué)物濃度測(cè)試表面潔凈度的方法

D()………………14

附錄資料性測(cè)試報(bào)告

E()………………23

參考文獻(xiàn)

……………………24

Ⅰ

GB/T2591510—2021/ISO14644-102013

.:

前言

本文件按照標(biāo)準(zhǔn)化工作導(dǎo)則第部分標(biāo)準(zhǔn)化文件的結(jié)構(gòu)和起草規(guī)則的規(guī)定

GB/T1.1—2020《1:》

起草

。

本文件是潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境的第部分已經(jīng)發(fā)布了以下

GB/T25915《》10。GB/T25915

部分

:

第部分按粒子濃度劃分空氣潔凈度等級(jí)

———1:;

第部分潔凈室空氣粒子濃度的監(jiān)測(cè)

———2:;

第部分檢測(cè)方法

———3:;

第部分設(shè)計(jì)建造啟動(dòng)

———4:、、;

第部分運(yùn)行

———5:;

第部分詞匯

———6:;

第部分隔離裝置潔凈風(fēng)罩手套箱隔離器微環(huán)境

———7:(、、、);

第部分按化學(xué)物濃度劃分空氣潔凈度等級(jí)

———8:(ACC);

第部分按粒子濃度劃分表面潔凈度等級(jí)

———9:;

第部分按化學(xué)物濃度劃分表面潔凈度等級(jí)

———10:;

第部分監(jiān)測(cè)空氣中納米粒子濃度的技術(shù)要求

———12:。

本文件等同采用潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境第部分按化學(xué)物濃度劃分表面

ISO14644-10:2013《10:

潔凈度等級(jí)

》。

請(qǐng)注意本文件的某些內(nèi)容可能涉及專(zhuān)利本文件的發(fā)布機(jī)構(gòu)不承擔(dān)識(shí)別專(zhuān)利的責(zé)任

。。

本文件由全國(guó)潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)提出并歸口

(SAC/TC319)。

本文件起草單位中國(guó)工程物理研究院激光聚變研究中心深圳市吉隆潔凈技術(shù)有限公司蘇州市

:、、

計(jì)量測(cè)試院中國(guó)電子系統(tǒng)工程第二建設(shè)有限公司蘇州宏遠(yuǎn)凈化技術(shù)有限公司陜西中電精泰電子工

、、、

程有限公司蘇州安泰空氣技術(shù)有限公司煙臺(tái)寶源凈化有限公司深圳市麗風(fēng)凈化工程有限公司中國(guó)

、、、、

標(biāo)準(zhǔn)化協(xié)會(huì)中國(guó)合格評(píng)定國(guó)家認(rèn)可中心上海市室內(nèi)環(huán)境凈化行業(yè)協(xié)會(huì)上海風(fēng)神環(huán)境設(shè)備工程有限

、、、

公司無(wú)錫漢佳醫(yī)療科技有限公司上海浩澤諾瑞空氣凈化科技有限公司茂盟上海工程技術(shù)股份有

、、、()

限公司

。

本文件主要起草人袁曉東黃吉輝張秀春侯憶孫玉澄苗心向范國(guó)鋒施紅平王大千

:、、、、、、、、、

邴紹同金真童廣才夏薇佳呂海兵王芳崔艷楊云濤陳漢青閆彩萍陳晶晶袁有華陶清寶

、、、、、、、、、、、、。

Ⅲ

GB/T2591510—2021/ISO14644-102013

.:

引言

是采用系列國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)各部分設(shè)置與國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)保持一致擬由個(gè)部分

GB/T25915ISO14644,,15

構(gòu)成

。

第部分按粒子濃度劃分空氣潔凈度等級(jí)目的是區(qū)分粒子污染程度

———1:。。

第部分潔凈室空氣粒子濃度的監(jiān)測(cè)目的是指導(dǎo)監(jiān)測(cè)粒子污染以避免可能產(chǎn)生的污染

———2:。,

風(fēng)險(xiǎn)

。

第部分檢測(cè)方法目的是指導(dǎo)對(duì)潔凈室內(nèi)各種污染和相關(guān)環(huán)境要素的檢測(cè)

———3:。。

第部分設(shè)計(jì)建造啟動(dòng)目的是指導(dǎo)潔凈室的設(shè)計(jì)建造啟動(dòng)

———4:、、。、、。

第部分運(yùn)行目的是指導(dǎo)潔凈室的運(yùn)行

———5:。。

第部分詞匯目的是統(tǒng)一規(guī)范技術(shù)術(shù)語(yǔ)

———6:。。

第部分隔離裝置潔凈風(fēng)罩手套箱隔離器微環(huán)境目的是提出潔凈室用隔離裝置的基

———7:(、、、)。

本要求

。

第部分按化學(xué)物濃度劃分空氣潔凈度等級(jí)目的是區(qū)分空氣化學(xué)污染程度

———8:(ACC)。。

第部分按粒子濃度劃分表面潔凈度等級(jí)目的是區(qū)分表面粒子污染程度

———9:。。

第部分按化學(xué)物濃度劃分表面潔凈度等級(jí)目的是區(qū)分表面化學(xué)污染程度

———10:。。

第部分監(jiān)測(cè)空氣中納米粒子濃度的技術(shù)要求目的是提出納米級(jí)別的粒子污染的檢測(cè)

———12:。

要求

。

第部分達(dá)到粒子和化合潔凈度要求的表面清潔目的是提出潔凈室內(nèi)表面的清潔要求以

———13:。

避免可能產(chǎn)生的粒子和化學(xué)污染的風(fēng)險(xiǎn)

。

第部分按粒子污染濃度評(píng)估設(shè)備適用性目的是通過(guò)對(duì)相關(guān)設(shè)備可能在潔凈室產(chǎn)生粒子

———14:。

污染的測(cè)試確定設(shè)備的適合性

,。

第部分按化學(xué)污染物濃度評(píng)定設(shè)備及材料的適合性目的是通過(guò)對(duì)相關(guān)設(shè)備可能在潔凈

———15:。

室產(chǎn)生化學(xué)污染的測(cè)試確定設(shè)備的適合性

,。

第部分提高潔凈室和空氣凈化裝置能效目的是節(jié)約潔凈室運(yùn)行的能源消耗

———16:。。

本文件以第部分為基礎(chǔ)進(jìn)一步確定表面分子態(tài)污染物的分級(jí)方法由于分子態(tài)污染物通常情

8,。

況下以多種形態(tài)包括分子離子原子顆粒物等存在于被污染元件表面很難用尺寸和數(shù)量來(lái)表征

(、、、),,

本文件采用單位面積上污染物的質(zhì)量作為劃分表面潔凈度的依據(jù)同時(shí)考慮到某些應(yīng)用領(lǐng)域?qū)Ψ肿?/p>

。,

態(tài)污染非常敏感允許的表面污染物的量非常小因此對(duì)于極低的濃度采用了單位面積上的分子原子

,,、、

離子的數(shù)量來(lái)表示同時(shí)給出了原子濃度的換算公式

,。

Ⅳ

GB/T2591510—2021/ISO14644-102013

.:

潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境第10部分

:

按化學(xué)物濃度劃分表面潔凈度等級(jí)

1范圍

本文件定義了潔凈室中有關(guān)化合物或化學(xué)物質(zhì)包括分子離子原子顆粒物存在情況的表面潔

(、、、)

凈度分級(jí)系統(tǒng)

。

本文件適用于潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境中所有表面如墻面頂棚地面工作環(huán)境工具設(shè)備和

,、、、、、

裝置

。

注1本文件僅考慮微粒子的化學(xué)性質(zhì)未考慮微粒子的物理性質(zhì)本文件不包括污染物與表面之間的相互作用

:,。。

注2本文件不涉及污染產(chǎn)生的過(guò)程不涉及與時(shí)間有關(guān)的影響因素沉降沉積老化等以及與過(guò)程有關(guān)的活動(dòng)

:,(、、)

如轉(zhuǎn)移處理等也不涉及為確保符合性的統(tǒng)計(jì)質(zhì)量控制技術(shù)指南

(、),。

2規(guī)范性引用文件

下列文件中的內(nèi)容通過(guò)文中的規(guī)范性引用而構(gòu)成本文件必不可少的條款其中注日期的引用文

。,

件僅該日期對(duì)應(yīng)的版本適用于本文件不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于

,;,()

本文件

。

潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境第部分詞匯

GB/T25915.66:(GB/T259