標準解讀
GB/T 16944-1997是一項中華人民共和國國家標準,全稱為《電子工業用氣體 氮》。該標準規定了電子工業中所使用的氮氣的質量要求、試驗方法、檢驗規則以及包裝、標志、運輸和儲存要求,旨在確保氮氣產品滿足電子工業的特定應用需求,保證其純度與可靠性,從而促進電子元件和器件的性能穩定性和生產過程的高效性。
標準內容概覽:
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范圍:明確了標準適用的氮氣類型及其在電子工業中的應用范疇,比如作為保護氣體、置換氣體或工藝氣體使用。
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規范性引用文件:列出了執行本標準時需要參考的其他相關標準文獻,這些文獻提供了測試方法、術語定義等基礎信息。
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要求:
- 純度:規定了氮氣中氧、氬、水、二氧化碳、烴類等雜質的最大含量限值,以ppm(百萬分之一)或更高精度單位表示,確保氮氣的高純凈度。
- 露點:設定了氮氣的最低干燥要求,通常以露點溫度表示,確保氣體無凝結水,適合電子元件的加工環境。
- 氣味與外觀:要求氮氣應無臭、無色,且在正常條件下為透明氣體,確保其不會對電子材料造成污染。
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試驗方法:詳細說明了如何通過氣相色譜分析、露點測定等方法來檢測氮氣的純度、濕度等關鍵指標,確保測試結果的準確性和可重復性。
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檢驗規則:包括了產品出廠前的檢驗項目、抽樣方法及合格判定準則,確保每批次氮氣都符合標準要求。
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包裝、標志、運輸和儲存:規定了氮氣容器的材質、密封要求,以及在運輸和儲存過程中應采取的措施,以防止氣體受到污染或物理性損害,保持其質量穩定。
實施意義:
該標準的實施對于提升電子工業產品的質量和生產效率具有重要意義,它不僅為氮氣供應商提供了明確的產品質量控制標準,也為電子制造商在選擇和使用氮氣時提供了可靠依據,有助于保障整個產業鏈的高質量發展。
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文檔簡介
TCE71.100.20G86中華人民共和國國家標準GB/T16944一1997電子工業用氣體氮Gasesforelectronicindustry-Nitrogen1997-08-13發布1998-05-01實施國家技術監督局發布
GB/T16944-1997本標準是根據SEMIC3.28-92《瓶裝VLSI級氮標準》1995年版)制定的,在技術要求上與之等同,檢驗方法與之等效在將SEMIC3.28-92轉化為本國家標準時,結合我國的實際情況,將標準的適用范圍擴大至液態氮和管道輸送氮,刪去了SEMIC3.28-92中僅作為參考的物理常數和注釋等內容,試驗方法中增加了抽樣和氮氣純度兩條,各項雜質含量的測定,分別采用我國相應的通用試驗方法國家標準,同時對檢測限和標樣要求按SEMI標準規定進行了適當的調整。以上變動與SEMI標準無實質性差異,并使標準的技術內容更加完整。本標準由中華人民共和國化學工業部提出。本標準由化學工業部西南化工研究院歸口。本標準起草單位:化學工業部西南化工研究院、北京普萊克斯實用氣體有限公司。本標準主要起草人:何道善。
中華人民共和國國家標準電子工業用氣體GB/T16944-1997Gasesforelectronicindustry-Nitrogen本標準規定了電子工業用液態和氣態氮的技術要求、檢驗方法以及包裝、標志等,適用于從分離空氣或氨還原法制得的氮在超大規模集成電路制造中用作凈化、覆蓋、保護、加壓,也用于化學氣相淀積時的載氣等。氮氣化學性質不活潑,不可燃,是一種室息性氣體,分子式:N:。相對分子質量:28.0134(按1991年國際相對原子質量)2引用標準下列標準所包含的條文,通過在本標準中引用而構成為本標準的條文。本標準出版時,所示版本均為有效。所有標準都會被修訂,使用本標準的各方應探討使用下列標準最新版本的可能性。GB/T3864-—1996工業氮GB/T5832.1-86氣體中微量水分的測定電解法GB/T5832.2—86氣體中微量水分的測定露點法GB/T6285—86氣體中微量氧的測定電化學法GB/T8981—88氣體中微量氫的測定氣相色譜法GB/T8984.1-1997,氣體中一氧化碳、二氧化碳和甲烷的測定氣相色譜法氣體中總烴的測定GB/T8984.3-1997:火焰離子化法3要求電子工業用液態、氣態氮的技術指標應符合表1的要求。表1技術指標V/v指標氮氣純度,10-99.9996-氧化碳含量,10-0.5二氧化碳含最,10-0.5氫含量,10~.(氧含量,10-0.5總烴(以甲烷計)含量,1
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