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文檔簡介

1、4溫度漂移及堇補愕半導體材料硅的栽流子遷移率小也阻率，琉阻系數和結特性辱都是溫度函數，所以 從原理上福，擴散注壓力傳感器的拽術剽數存在湛凜是必燃曲,但從實際應用啊度洪，又希 望侍娠器輸出值與屈力看映注美嘉而與溫度無關,EJ此尋我簡隼而有敢的遍魘洲催辦法是政 善擴敬硅壓力傳感器性能的美通之一，靈敏度溫度系姓和事也沮度系數是二個主要參數，m 5輸州電IE混匿案也 補塔蛹J0圖力敏電阻的電黑率在傳感犒常用工作溫度范國一40V十1胡 間隨斌度升福而贈加，無壓阻系數磕檢度升商而降憾，這兩者又 都是搓雜濃度的函數.所以選用合適的接雜被度就可以通過恒施供 電的辦法來實現靈取度鮑度系數內補於，這是壓力變送器中

2、常町的 方法，己有枝多報道.若采用悒壓供電與二扯管補借法，同拓可 得到較理想的補總敖果而且成蘋慎廉.使用方便.所用線路如圉 5所示,其基本原理是利用三彼管爰肘結正向庠呷、，陶爵度增岸 而降低的瞥性.在忽略基槌電瘟的時候，三極晉壓降F * + R*L鼻 gwf b e令害f 則Fm=W-DF“b右隨濕庶的交化率也比dx/dT改大了 Sr頂)借.傳慈躇工作也壓 H L Fw 配度越 育，Jb.越4廠小更小匕就上才.侍感器轉出廠頊一m-W，蚌壓咀系蜜噫正比 啊靈敏夜5的下降可通過工作電壓的上升而卷到樸梏.通過航算可錚到oat 一 d5_n + idfrbtr；dT 畫匕n-gm* F%-選擇電阻比井

3、，使它浦房下注關系_+1_ dSi-j)rhB dr-ydr這時?二! =.所成從說則上講在密定和血后通過調整電陽/的值*融可以便輸出 t fl. U 1 j J電壓的溢度蒙峻近于零.實驗結果證實這個昔杭，敢果極好,背磁供電胞壓為HV葉，X 不同的，祥品輸出電壓與溫度美篆如圖6所示一甘于不伺的供申.電底.盆出瞄壓就喧系數 與美若如倒；所示-完驗靖果與理論忖算符合良蛀，伯慝器輸出包壓沮座系數一股可降到 2 X 1C-VC以下.采用這神恒醫供電三根管外補璧法.儀枚使用了一個3DG&之魂的三極營 新二個金屬膜電阻，成本糧慨，效果很好.又由于三皓式集成轍壓塊價格十分低廉，性能也 是尊覽蜉，因此實用價值很大十傳慮薜的零位溫度榮象主要由力怨史隍全轎四個橋野電阻的不劉禰和各種封裝應力引起.但不論何種影響，最后都通這祈臂力敏電匿的阻值交化反映出來，可用熱敏電阻蝌并聯 金屬膜電阻網結弛仔樸俺.灑定了痘個新搟力敏電阻9溫度的美系曲線，就可琪出理想的神 信電S1的溫度曲線.再比較熱敏唱阻的實測噩度陶線，用計算機騾出最佳耦合時的率并聯電 阻值.田宓拌的方法可方慢地把琴位濕度系城降到ex其1/以下.陳了直接對俺感器進行溫度衿償外,用信與典電路卷行補降可以達到更高指蜂,只要 傳感器的德定愷息野.用裱機對車也溫涕-輸出電壓湛薄以至非線性等均可送行接近

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