1、 LCD培訓教材(一)圖案制造LCD根本構造(其斷面如以下圖)涂布光阻劑Photoresist Coating顯 影Developing蝕 刻Etching剝 膜Stripe配向膜涂布Polyimide Coating灌 液LC Injection定 向Rubbing印 框Screen Printing印 點Cross-over Printing預 烤Pre-Curing涂 布Spacer Spray組 合Glass Assembly曝 光Exposure清 洗Clean清 洗Clean貼 片Polarizer AssemblyLCD制程流程圖涂布光阻劑Photoresist Coating顯

2、 影Developing蝕 刻Etching剝 膜Stripe配向膜涂布Polyimide Coating灌 液LC Injection定 向Rubbing印 框Screen Printing印 點Cross-over Printing預 烤Pre-Curing撒 布Spacer Spray組 合Glass Assembly曝 光Exposure清 洗Clean貼 片Polarizer Assembly清 洗Clean顯 影Developing蝕 刻Etching剝 膜Stripe配向膜涂布Polyimide Coating灌 液LC Injection定 向Rubbing印 框Screen

3、Printing印 點Cross-over Printing預 烤Pre-Curing撒 布Spacer Spray組 合Glass Assembly曝 光Exposure涂布光阻劑Photoresist Coating涂布光阻劑Photoresist Coating貼 片Polarizer Assembly清 洗Clean涂布光阻劑Photoresist Coating顯 影Developing蝕 刻Etching剝 膜Stripe配向膜涂布Polyimide Coating灌 液LC Injection定 向Rubbing印 框Screen Printing印 點Cross-over Pr

4、inting預 烤Pre-Curing撒 布Spacer Spray組 合Glass Assembly曝 光Exposure曝 光Exposure清 洗Clean涂布光阻劑Photoresist Coating蝕 刻Etching剝 膜Stripe配向膜涂布Polyimide Coating灌 液LC Injection定 向Rubbing印 框Screen Printing印 點Cross-over Printing預 烤Pre-Curing撒 布Spacer Spray組 合Glass Assembly曝 光Exposure顯 影Developing顯 影Developing貼 片Pola

5、rizer Assembly清 洗Clean涂布光阻劑Photoresist Coating顯 影Developing剝 膜Stripe配向膜涂布Polyimide Coating灌 液LC Injection定 向Rubbing印 框Screen Printing印 點Cross-over Printing預 烤Pre-Curing撒 布Spacer Spray組 合Glass Assembly曝 光Exposure蝕 刻Etching蝕 刻Etching貼 片Polarizer Assembly清 洗Clean涂布光阻劑Photoresist Coating顯 影Developing蝕 刻

6、Etching配向膜涂布Polyimide Coating灌 液LC Injection定 向Rubbing印 框Screen Printing印 點Cross-over Printing預 烤Pre-Curing撒 布Spacer Spray組 合Glass Assembly曝 光Exposure剝 膜Stripe剝 膜Stripe貼 片Polarizer Assembly 導電玻璃資料 就是在普通玻璃(不導電)的一個膠面層鍍上透明導電膜的玻璃.目前常用的導電玻璃是氧化銦,氧化錫玻璃,通常簡稱ITO玻璃,在消費過程中,每片玻璃都必經過萬用電表檢 測,導電面為ITO正面,不導電面無ITO面為反

7、面.一、 ITO玻璃的構造,如圖1SIO玻璃ITO圖1二、LCD制造用的ITO導電玻璃規格玻璃厚度: 0.5mm 0.7mm 1.1mm玻璃面積: 14 * 16 (或355.6mm * 406.4mm)300*350SiO2阻撓層: 200 500A (1 A= 1010米)ITO層厚: 250 2000 ASiO2絕緣層厚: 500 1000 AITO導電玻璃的主要技術透光率8%方塊電阻R R10、15、30 、80相對R越小越好 假設R 10/膜厚1000 2000 A R 100-300/膜厚200-300 AITO玻璃的技術要求平整度好,普通要求平整度0.5um/20mm機械強度與化

8、學抗蝕性能,ITO層對玻璃(SiO2)外表的粘附力要強,不易零落,抗劃傷強.ITO膜能抗強堿,但易被酸腐蝕.光刻膠性能的主要指針.感亮度.光刻膠對光敏感的性能. 所以說,對于固定光強的曝光機,光刻膠的感亮度越高,那么曝光時間越短,反之,那么差.分辯率. 光刻精度的標志.它不僅與光刻膠本身有關.還與光刻工藝條件和操作技術等要素有關.抗蝕性 只是在針孔密度小,粘附性能良好的情況下,才干有較強的抗酸.堿才干.接上粘附力 光刻膠與ITO面之間沾附的結實程度也直接影響光刻后的精度,光刻膠的沾附力與光膠本身性質有關.而且與玻璃面有親密關系.平整.清潔.枯燥.無油質污染的外表有利于光刻膠的粘附.此外.光刻膠

9、的配比,前烘條件,顯影液配方要素有關.穩定性 光刻膠在常溫暖暗房內(黃色光).光刻膠不發生暗反響.針 孔 視其光刻膠膜上針孔構成密度盡能夠低,它將直接影響光膠質量.粘度和含固率 光刻膠越濃,粘度就越大,涂膜就越厚,反之.就越薄,因此.我們常采用改動光膠濃度調理粘度,控制膜厚度.例中:光刻細小圖表時,為了提高分辯率,膠層相對薄些故采用濃度較稀的光刻膠. 溫度高.固含率低.粘度變小,膜薄,反之那么厚. 光刻膠的分類負性膠在襯底外表將得到與光刻掩蓋版遮光圖形完全相反的圖形(不適用LCD制造業).正性膠這種膠在曝光前對某些溶劑是不可溶的,而曝光后就變成可溶性,能與掩模遮光圖形一樣的圖案.接上此膠分辨率

10、高,邊緣整齊,邊緣陡度好,以及反刻時易對準等優點,較易顯影,常被LCD制造業采用.正性膠經強紫外線照射后,發生光合反響,經光照后的生成物能溶解于弱堿性水溶液中,而顯示出正圖形.主要不良影響：工位缺陷不良原因后制程產生不良PR涂布PR臟點1.玻璃表面臟物2.涂膠輪本身臟3.環境太差（粒子濃度偏高）4.PR被污染針孔、開路PR空洞1.玻璃表面有水汽和油污2.涂膠輪上有臟物和凸點針孔、開路亮線1.涂膠輪浸潤不夠2.玻璃清洗不干凈3.水汽未干針孔、開路PR不均(厚薄不均)1.涂膠輪與勻均膠輪間的間隙不一致2.玻璃表面局部有水汽、油污）3.膠的粘度大小直接與PR膜的厚薄有關開路與短路，對下一工序造成顯影

11、、蝕刻工位的不足、過度膠泡1.PR中本身有汽泡2.攪拌中產生汽泡3.涂膠輪上有亮線短路、針孔主要不良影響：工位缺陷不良原因后制程產生不良顯影 工 位顯影不足A噴淋支數少B蝕刻液溫度低于工藝要求C濃度低于工藝要求D傳送速度太快短路、字體變形顯影過度A、噴淋太支數太多B、蝕度溫度、濃度高出工藝要求C、傳送太慢開路、針孔多余物A、模板本身多余物B、模板上有臟物C、環境太差（粒子濃度偏高）字體變形、多點針孔A模板上本身有針孔、臟物B涂膠線臟點、空洞、連線針孔缺口A模板上本身有缺口、臟物B涂膠臟點空洞、連線字體變形、缺口短路A模板刮花、聯機、臟物B曝光機內環境太臟C顯影、曝光不足D顯影水洗沖洗不干凈刮花A、模板刮花；B、機臺運行不正常、刮花開路斷線A、模板本身臟物；B、機臺刮花、顯影、曝光過度開路玻璃寸法A、真空不穩定；B、調試不當直接影響PI、絲印定位不準主要不良影響：工位缺陷不良原因后制程產生不良蝕刻針孔、缺口、斷線、短路、多余物同顯影同顯影蝕刻