1、泓域咨詢/刻蝕設備產(chǎn)業(yè)園項目立項報告目錄第一章 項目背景及必要性8一、 國內(nèi)需求爆發(fā)，國產(chǎn)替代空間快速打開8二、 海外設備廠商在手訂單飽滿，供應鏈限制延續(xù)9三、 項目實施的必要性11第二章 項目緒論12一、 項目名稱及項目單位12二、 項目建設地點12三、 可行性研究范圍12四、 編制依據(jù)和技術(shù)原則12五、 建設背景、規(guī)模14六、 項目建設進度15七、 環(huán)境影響15八、 建設投資估算15九、 項目主要技術(shù)經(jīng)濟指標16主要經(jīng)濟指標一覽表16十、 主要結(jié)論及建議18第三章 行業(yè)、市場分析19一、 刻蝕設備：等離子刻蝕復雜程度高，且步驟逐漸增加19二、 全球市場受海外廠商主導，前五大廠商市占率較高2

2、0三、 全球設備市場創(chuàng)新高，受益于資本開支提升、制程節(jié)點進步21第四章 產(chǎn)品規(guī)劃方案26一、 建設規(guī)模及主要建設內(nèi)容26二、 產(chǎn)品規(guī)劃方案及生產(chǎn)綱領26產(chǎn)品規(guī)劃方案一覽表26第五章 選址分析29一、 項目選址原則29二、 建設區(qū)基本情況29三、 統(tǒng)籌城鄉(xiāng)融合發(fā)展，提升綜合承載能力31四、 堅持創(chuàng)新驅(qū)動發(fā)展，增強轉(zhuǎn)型跨越支撐34五、 項目選址綜合評價36第六章 法人治理結(jié)構(gòu)37一、 股東權(quán)利及義務37二、 董事39三、 高級管理人員44四、 監(jiān)事47第七章 SWOT分析49一、 優(yōu)勢分析（S）49二、 劣勢分析（W）51三、 機會分析（O）51四、 威脅分析（T）52第八章 組織架構(gòu)分析56一、

3、 人力資源配置56勞動定員一覽表56二、 員工技能培訓56第九章 進度計劃58一、 項目進度安排58項目實施進度計劃一覽表58二、 項目實施保障措施59第十章 勞動安全評價60一、 編制依據(jù)60二、 防范措施61三、 預期效果評價67第十一章 項目環(huán)境保護68一、 環(huán)境保護綜述68二、 建設期大氣環(huán)境影響分析68三、 建設期水環(huán)境影響分析69四、 建設期固體廢棄物環(huán)境影響分析70五、 建設期聲環(huán)境影響分析71六、 環(huán)境影響綜合評價71第十二章 工藝技術(shù)設計及設備選型方案72一、 企業(yè)技術(shù)研發(fā)分析72二、 項目技術(shù)工藝分析74三、 質(zhì)量管理75四、 設備選型方案76主要設備購置一覽表77第十三章

4、 投資估算及資金籌措79一、 投資估算的依據(jù)和說明79二、 建設投資估算80建設投資估算表84三、 建設期利息84建設期利息估算表84固定資產(chǎn)投資估算表86四、 流動資金86流動資金估算表87五、 項目總投資88總投資及構(gòu)成一覽表88六、 資金籌措與投資計劃89項目投資計劃與資金籌措一覽表89第十四章 項目經(jīng)濟效益分析91一、 基本假設及基礎參數(shù)選取91二、 經(jīng)濟評價財務測算91營業(yè)收入、稅金及附加和增值稅估算表91綜合總成本費用估算表93利潤及利潤分配表95三、 項目盈利能力分析96項目投資現(xiàn)金流量表97四、 財務生存能力分析99五、 償債能力分析99借款還本付息計劃表100六、 經(jīng)濟評價結(jié)

5、論101第十五章 風險評估分析102一、 項目風險分析102二、 項目風險對策104第十六章 總結(jié)說明107第十七章 附表附件109建設投資估算表109建設期利息估算表109固定資產(chǎn)投資估算表110流動資金估算表111總投資及構(gòu)成一覽表112項目投資計劃與資金籌措一覽表113營業(yè)收入、稅金及附加和增值稅估算表114綜合總成本費用估算表115固定資產(chǎn)折舊費估算表116無形資產(chǎn)和其他資產(chǎn)攤銷估算表117利潤及利潤分配表117項目投資現(xiàn)金流量表118報告說明未來兩年全球晶圓廠設備開支持續(xù)增長。2020年疫情帶來的居家及遠程辦公帶來筆電等消費電子需求激增作為本輪周期的催化劑，2020H2以車用芯片為代

6、表的供應鏈開始緊張，下游持續(xù)增長的需求與上游有限產(chǎn)能的矛盾演繹為2021年全年行業(yè)供需失衡加劇。2022年以來，消費性電子、智能手機、PC等領域需求確有下滑，但更值得注意的是全球正步入第四輪硅含量提升周期，服務器、汽車、工業(yè)、物聯(lián)網(wǎng)等需求大規(guī)模提升。在6月臺積電召開的股東大會上，公司管理層表示未來10年是半導體行業(yè)非常好的機會，主要原因就是5G及高效能運算的普及，生活數(shù)字化轉(zhuǎn)型，帶來對車用（新車半導體含量可達傳統(tǒng)車的10倍）、手機、服務器等終端內(nèi)半導體含量的增加，推動半導體需求大幅成長。中芯國際在22Q1法說會表示，盡管消費電子，手機等存量市場進入去庫存階段，開始軟著陸，但高端物聯(lián)網(wǎng)、電動車、

7、綠色能源、工業(yè)等增量市場尚未建立足夠的庫存，近年來硅含量提升與晶圓廠有限的產(chǎn)能擴充矛盾，疊加產(chǎn)業(yè)鏈轉(zhuǎn)移帶來的本土化產(chǎn)能缺口，使得公司需要大幅擴產(chǎn)，推出新產(chǎn)品工藝平臺，滿足客戶旺盛的增量需求。疫情、全球經(jīng)濟及半導體周期性雖然會帶來短期內(nèi)的不確定性，但是技術(shù)進步、硅含量提升是長期支撐半導體行業(yè)持續(xù)發(fā)展的最關(guān)鍵驅(qū)動力。根據(jù)謹慎財務估算，項目總投資15136.37萬元，其中：建設投資12562.86萬元，占項目總投資的83.00%；建設期利息278.84萬元，占項目總投資的1.84%；流動資金2294.67萬元，占項目總投資的15.16%。項目正常運營每年營業(yè)收入28200.00萬元，綜合總成本費用2

8、2338.43萬元，凈利潤4288.20萬元，財務內(nèi)部收益率21.40%，財務凈現(xiàn)值3566.30萬元，全部投資回收期5.83年。本期項目具有較強的財務盈利能力，其財務凈現(xiàn)值良好，投資回收期合理。此項目建設條件良好，可利用當?shù)刎S富的水、電資源以及便利的生產(chǎn)、生活輔助設施，項目投資省、見效快；此項目貫徹“先進適用、穩(wěn)妥可靠、經(jīng)濟合理、低耗優(yōu)質(zhì)”的原則，技術(shù)先進，成熟可靠，投產(chǎn)后可保證達到預定的設計目標。本報告基于可信的公開資料，參考行業(yè)研究模型，旨在對項目進行合理的邏輯分析研究。本報告僅作為投資參考或作為參考范文模板用途。第一章 項目背景及必要性一、 國內(nèi)需求爆發(fā)，國產(chǎn)替代空間快速打開國內(nèi)晶圓廠

9、投資進入高峰期。根據(jù)集微網(wǎng)統(tǒng)計，20202022年國內(nèi)晶圓廠總投資金額分別約1500/1400/1200億元，其中內(nèi)資晶圓廠投資金額約1000/1200/1100億元。20202022年國內(nèi)晶圓廠投資額將是歷史上最高的三年，且未來還有新增項目的可能。設備國產(chǎn)化率較低，海外龍頭壟斷性較高。我國半導體設備市場仍非常依賴進口，從市場格局來看，細分市場均有較高集中度，主要參與廠商一般不超過5家，top3份額往往高于90%，部分設備甚至出現(xiàn)一家獨大的情況，目前國內(nèi)廠商目標市場主要是國內(nèi)晶圓廠需求，尤其是內(nèi)資投建的需求。制程越先進，設備投資額占比越高。設備投資一般占比7080%，當制程到16/14nm時，

10、設備投資占比達85%；7nm及以下占比將更高。光刻、刻蝕、沉積、過程控制、熱處理等均是重要投資環(huán)節(jié)。國內(nèi)國產(chǎn)化逐漸起航，從0到1的過程基本完成。北方華創(chuàng)產(chǎn)品布局廣泛，刻蝕機、PVD、CVD、氧化/擴散爐、退火爐、清洗機、ALD等設備新產(chǎn)品市場導入節(jié)奏加快，產(chǎn)品工藝覆蓋率及客戶滲透率進一步提高，在集成電路領域主流生產(chǎn)線實現(xiàn)批量銷售，產(chǎn)品加速迭代；第三代半導體、新型顯示、光伏設備產(chǎn)品線進一步拓寬，出貨量實現(xiàn)較快增長。拓荊科技作為國內(nèi)唯一一家產(chǎn)業(yè)化應用PECVD和SACVD設備的供應商，PECVD累計發(fā)貨150臺，廣泛用于中芯國際、華虹集團、長江存儲、合肥長鑫、廈門聯(lián)芯、燕東微電子等國內(nèi)主流晶圓廠，

11、PEALD已實現(xiàn)銷售；中微公司介質(zhì)刻蝕機已經(jīng)打入5nm制程，新款用于高性能Mini-LED量產(chǎn)的MOCVD設備UniMax2022Q1訂單已超180腔；芯源微前道涂膠顯影設備在28nm及以上多項技術(shù)及高產(chǎn)能結(jié)構(gòu)方面取得進展，并實現(xiàn)多種核心零部件的國產(chǎn)替代，公司前道物理清洗設備已經(jīng)達到國際先進水平并成功實現(xiàn)國產(chǎn)替代，新簽訂單結(jié)構(gòu)中前道產(chǎn)品占比大幅提升；華海清科CMP設備在邏輯芯片、3DNAND、DRAM制造等領域的工藝技術(shù)水平已分別突破至14nm、128層、1X/1Ynm，到2021年底，公司CMP設備累計出貨超過140臺，未發(fā)出產(chǎn)品的在手訂單超70臺。Mattson（屹唐半導體）在去膠設備市占

12、率全球第二；盛美半導體單片清洗機在海力士、長存、SMIC等產(chǎn)線量產(chǎn)。精測電子、上海睿勵在測量領域突破國外壟斷。設備國產(chǎn)化率較低，國產(chǎn)廠商成長空間巨大。我國半導體設備市場仍非常依賴進口，目前國內(nèi)廠商目標市場主要是國內(nèi)晶圓廠需求，尤其是內(nèi)資投建的需求，潛在收入目標空間較大。二、 海外設備廠商在手訂單飽滿，供應鏈限制延續(xù)在手訂單依舊強勁，供應鏈限制延續(xù)，設備大廠積極擴產(chǎn)。1）供給高度緊張：ASML22Q1營收yoy-19%，下滑主要系部分訂單確認延遲；毛利率同比-5pt，承壓主要系材料、供應鏈、運輸?shù)瘸杀旧仙粠齑嬷苻D(zhuǎn)率降低。泛林毛利率同比-1.7pt，主要系成本壓力（原材料、物流、通脹等）。2）訂

13、單依舊強勁：ASML新增在手訂單約70億歐元，環(huán)比持平。KLA：當前在手訂單交期總體56個月，部分產(chǎn)品78月。愛德萬客戶訂單提前量增加，由于系半導體等材料和零件短缺，交期延長。3）積極擴產(chǎn)：ASML預計2030年產(chǎn)能至少翻番，2025年年產(chǎn)能增加到約90套0.33孔徑EUV和600套DUV。泰瑞達預計2023研發(fā)費用1900億日元，yoy+20.1%；資本開支750億日元，yoy+31.1%，規(guī)劃金額皆較往年有大幅提升。2022下半年展望樂觀，全年需求強勁將有訂單遞延至明年。泛林2022Q2毛利率指引中樞仍略降，持續(xù)成本和供應壓力影響持續(xù)，二季度訂單積壓不斷增加。隨產(chǎn)能落地、產(chǎn)品競爭力效益顯現(xiàn)

14、及部分訂單延遲多數(shù)企業(yè)對H2展望樂觀。ASML預計2022H2表現(xiàn)強勁，毛利率約54%，高于全年52%指引，主要由EUV和DPV出貨及安裝基礎管理業(yè)務利潤率提升驅(qū)動。Q4部分EUV系統(tǒng)收入將遞延到2023年。泛林預計2022WFE需求將超1000億美元，未滿足的設備需求將遞延至明年。泰瑞達積極建立庫存及擴產(chǎn)，預計H2出貨有更大增量及靈活性，預計Q2實現(xiàn)增長，僅高端產(chǎn)品出貨受限。三、 項目實施的必要性（一）提升公司核心競爭力項目的投資，引入資金的到位將改善公司的資產(chǎn)負債結(jié)構(gòu)，補充流動資金將提高公司應對短期流動性壓力的能力，降低公司財務費用水平，提升公司盈利能力，促進公司的進一步發(fā)展。同時資金補充

15、流動資金將為公司未來成為國際領先的產(chǎn)業(yè)服務商發(fā)展戰(zhàn)略提供堅實支持，提高公司核心競爭力。第二章 項目緒論一、 項目名稱及項目單位項目名稱：刻蝕設備產(chǎn)業(yè)園項目項目單位：xxx投資管理公司二、 項目建設地點本期項目選址位于xxx（以最終選址方案為準），占地面積約48.00畝。項目擬定建設區(qū)域地理位置優(yōu)越，交通便利，規(guī)劃電力、給排水、通訊等公用設施條件完備，非常適宜本期項目建設。三、 可行性研究范圍按照項目建設公司的發(fā)展規(guī)劃，依據(jù)有關(guān)規(guī)定，就本項目提出的背景及建設的必要性、建設條件、市場供需狀況與銷售方案、建設方案、環(huán)境影響、項目組織與管理、投資估算與資金籌措、財務分析、社會效益等內(nèi)容進行分析研究，并

16、提出研究結(jié)論。四、 編制依據(jù)和技術(shù)原則（一）編制依據(jù)1、國家經(jīng)濟和社會發(fā)展的長期規(guī)劃，部門與地區(qū)規(guī)劃，經(jīng)濟建設的指導方針、任務、產(chǎn)業(yè)政策、投資政策和技術(shù)經(jīng)濟政策以及國家和地方法規(guī)等；2、經(jīng)過批準的項目建議書和在項目建議書批準后簽訂的意向性協(xié)議等；3、當?shù)氐臄M建廠址的自然、經(jīng)濟、社會等基礎資料；4、有關(guān)國家、地區(qū)和行業(yè)的工程技術(shù)、經(jīng)濟方面的法令、法規(guī)、標準定額資料等；5、由國家頒布的建設項目可行性研究及經(jīng)濟評價的有關(guān)規(guī)定；6、相關(guān)市場調(diào)研報告等。（二）技術(shù)原則1、政策符合性原則：報告的內(nèi)容應符合國家產(chǎn)業(yè)政策、技術(shù)政策和行業(yè)規(guī)劃。2、循環(huán)經(jīng)濟原則：樹立和落實科學發(fā)展觀、構(gòu)建節(jié)約型社會。以當?shù)氐馁Y源

17、優(yōu)勢為基礎，通過對本項目的工藝技術(shù)方案、產(chǎn)品方案、建設規(guī)模進行合理規(guī)劃，提高資源利用率，減少生產(chǎn)過程的資源和能源消耗延長生產(chǎn)技術(shù)鏈，減少生產(chǎn)過程的污染排放，走出一條有市場、科技含量高、經(jīng)濟效益好、資源消耗低、環(huán)境污染少、資源優(yōu)勢得到充分發(fā)揮的新型工業(yè)化路子，實現(xiàn)可持續(xù)發(fā)展。3、工藝先進性原則：按照“工藝先進、技術(shù)成熟、裝置可靠、經(jīng)濟運行合理”的原則，積極應用當今的各項先進工藝技術(shù)、環(huán)境技術(shù)和安全技術(shù)，能耗低、三廢排放少、產(chǎn)品質(zhì)量好、經(jīng)濟效益明顯。4、提高勞動生產(chǎn)率原則：近一步提高信息化水平，切實達到提高產(chǎn)品的質(zhì)量、降低成本、減輕工人勞動強度、降低工廠定員、保證安全生產(chǎn)、提高勞動生產(chǎn)率的目的。5

18、、產(chǎn)品差異化原則：認真分析市場需求、了解市場的區(qū)域性差別、針對產(chǎn)品的差異化要求、區(qū)異化的特點，來設計不同品種、不同的規(guī)格、不同質(zhì)量的產(chǎn)品以滿足不同用戶的不同要求，以此來擴大市場占有率，尋求經(jīng)濟效益最大化，提高企業(yè)在國內(nèi)外的知名度。五、 建設背景、規(guī)模（一）項目背景在手訂單依舊強勁，供應鏈限制延續(xù)，設備大廠積極擴產(chǎn)。1）供給高度緊張：ASML22Q1營收yoy-19%，下滑主要系部分訂單確認延遲；毛利率同比-5pt，承壓主要系材料、供應鏈、運輸?shù)瘸杀旧仙粠齑嬷苻D(zhuǎn)率降低。泛林毛利率同比-1.7pt，主要系成本壓力（原材料、物流、通脹等）。2）訂單依舊強勁：ASML新增在手訂單約70億歐元，環(huán)比持

19、平。KLA：當前在手訂單交期總體56個月，部分產(chǎn)品78月。愛德萬客戶訂單提前量增加，由于系半導體等材料和零件短缺，交期延長。3）積極擴產(chǎn)：ASML預計2030年產(chǎn)能至少翻番，2025年年產(chǎn)能增加到約90套0.33孔徑EUV和600套DUV。泰瑞達預計2023研發(fā)費用1900億日元，yoy+20.1%；資本開支750億日元，yoy+31.1%，規(guī)劃金額皆較往年有大幅提升。（二）建設規(guī)模及產(chǎn)品方案該項目總占地面積32000.00（折合約48.00畝），預計場區(qū)規(guī)劃總建筑面積49037.47。其中：生產(chǎn)工程35353.12，倉儲工程6314.88，行政辦公及生活服務設施4905.47，公共工程246

20、4.00。項目建成后，形成年產(chǎn)xx套刻蝕設備的生產(chǎn)能力。六、 項目建設進度結(jié)合該項目建設的實際工作情況，xxx投資管理公司將項目工程的建設周期確定為24個月，其工作內(nèi)容包括：項目前期準備、工程勘察與設計、土建工程施工、設備采購、設備安裝調(diào)試、試車投產(chǎn)等。七、 環(huán)境影響本項目所選生產(chǎn)工藝及規(guī)模符合國家產(chǎn)業(yè)政策，在嚴格采取環(huán)評報告規(guī)定的環(huán)境保護對策后，各污染源所排放污染物可以達標排放，對環(huán)境影響較小，僅從環(huán)保角度來看本項目建設是可行的。八、 建設投資估算（一）項目總投資構(gòu)成分析本期項目總投資包括建設投資、建設期利息和流動資金。根據(jù)謹慎財務估算，項目總投資15136.37萬元，其中：建設投資1256

21、2.86萬元，占項目總投資的83.00%；建設期利息278.84萬元，占項目總投資的1.84%；流動資金2294.67萬元，占項目總投資的15.16%。（二）建設投資構(gòu)成本期項目建設投資12562.86萬元，包括工程費用、工程建設其他費用和預備費，其中：工程費用10666.77萬元，工程建設其他費用1526.87萬元，預備費369.22萬元。九、 項目主要技術(shù)經(jīng)濟指標（一）財務效益分析根據(jù)謹慎財務測算，項目達產(chǎn)后每年營業(yè)收入28200.00萬元，綜合總成本費用22338.43萬元，納稅總額2773.15萬元，凈利潤4288.20萬元，財務內(nèi)部收益率21.40%，財務凈現(xiàn)值3566.30萬元，全

22、部投資回收期5.83年。（二）主要數(shù)據(jù)及技術(shù)指標表主要經(jīng)濟指標一覽表序號項目單位指標備注1占地面積32000.00約48.00畝1.1總建筑面積49037.471.2基底面積17600.001.3投資強度萬元/畝250.812總投資萬元15136.372.1建設投資萬元12562.862.1.1工程費用萬元10666.772.1.2其他費用萬元1526.872.1.3預備費萬元369.222.2建設期利息萬元278.842.3流動資金萬元2294.673資金籌措萬元15136.373.1自籌資金萬元9445.863.2銀行貸款萬元5690.514營業(yè)收入萬元28200.00正常運營年份5總成本

23、費用萬元22338.43""6利潤總額萬元5717.60""7凈利潤萬元4288.20""8所得稅萬元1429.40""9增值稅萬元1199.78""10稅金及附加萬元143.97""11納稅總額萬元2773.15""12工業(yè)增加值萬元9560.28""13盈虧平衡點萬元10280.83產(chǎn)值14回收期年5.8315內(nèi)部收益率21.40%所得稅后16財務凈現(xiàn)值萬元3566.30所得稅后十、 主要結(jié)論及建議項目建設符合國家產(chǎn)業(yè)政策，具有前瞻

24、性；項目產(chǎn)品技術(shù)及工藝成熟，達到大批量生產(chǎn)的條件，且項目產(chǎn)品性能優(yōu)越，是推廣型產(chǎn)品；項目產(chǎn)品采用了目前國內(nèi)最先進的工藝技術(shù)方案；項目設施對環(huán)境的影響經(jīng)評價分析是可行的；根據(jù)項目財務評價分析，經(jīng)濟效益好，在財務方面是充分可行的。第三章 行業(yè)、市場分析一、 刻蝕設備：等離子刻蝕復雜程度高，且步驟逐漸增加刻蝕是用化學、物理、化學物理結(jié)合的方法有選擇的去除（光刻膠）開口下方的材料。被刻蝕的材料包括硅、介質(zhì)材料、金屬材料、光刻膠。刻蝕是與光刻相聯(lián)系的圖形化處理工藝。刻蝕就是利用光刻膠等材料作為掩蔽層，通過物理、化學方法將下層材料中沒有被上層遮蔽層材料遮蔽的地方去掉，從而在下層材料上獲得與掩膜板圖形對應的

25、圖形。電容性等離子體刻蝕CCP：能量高、精度低，主要用于介質(zhì)材料刻蝕（形成上層線路）諸如邏輯芯片的柵側(cè)墻、硬掩膜刻蝕、中段的接觸孔刻蝕、后端的鑲嵌式和鋁墊刻蝕等，以及3D閃存芯片工藝（氮化硅/氧化硅）的深槽、深孔和連線接觸孔的刻蝕等。電感性等離子體刻蝕ICP：能量低、精度高，主要用于硅刻蝕和金屬刻蝕（形成底層器件）硅淺槽隔離（STI）、鍺（Ge）、多晶硅柵結(jié)構(gòu)、金屬柵結(jié)構(gòu)、應變硅（Strained-Si）、金屬導線、金屬焊墊（Pad）、鑲嵌式刻蝕金屬硬掩模和多重成像技術(shù)中的多道刻蝕工藝。光刻技術(shù)中許多先進制程涉及多重圖形技術(shù)。即使是EUV，波長為13.5nm，要實現(xiàn)7nm的精度，仍需要依靠多重

26、圖形技術(shù)，即多次刻蝕。因此制程升級，精度越高，需要的刻蝕復雜度、步驟數(shù)量也在提升。所以刻蝕設備和化學薄膜設備成為更關(guān)鍵的設備。刻蝕設備市場超過130億美元，是晶圓設備占比最高的市場。2011年以來，刻蝕在晶圓設備的占比從11%逐漸提升到20%以上，2017年起成為全球晶圓設備中占比最高的裝備類別，重要性不斷提升。刻蝕設備市場基本是干法刻蝕設備，2020年全球干法刻蝕設備市場約137億美元，其中介質(zhì)刻蝕（DielectricEtch）60億美元，導體刻蝕（ConductorEtch）76億美元。從導體刻蝕市場結(jié)構(gòu)看，Lam一家獨大，長期全球市占率超過50%；其次AMAT占據(jù)約30%市場份額。剩下

27、的廠商如日立高新、TEL、KLA、北方華創(chuàng)、SEMES、中微公司等公司合計，在導體刻蝕合計市占率不超過20%。近兩年，國內(nèi)設備龍頭廠商北方華創(chuàng)、中微公司該產(chǎn)品線放量加速，逐步提高半導體設備刻蝕供應鏈份額。從介質(zhì)刻蝕市場結(jié)構(gòu)看，TEL一家獨大，長期全球市占率超過50%；其次Lam占據(jù)接近40%的市場份額，兩家廠商主導整個市場，寡占程度較強。全球介質(zhì)刻蝕設備供應商還有SEMES、中微公司、AMAT、Ulvac、屹唐半導體等。中微公司開發(fā)了系列介質(zhì)刻蝕裝備，并承擔多項重大科研項目，是國內(nèi)領先的介質(zhì)刻蝕設備廠商。二、 全球市場受海外廠商主導，前五大廠商市占率較高全球設備五強占市場主導角色。全球設備競爭

28、格局，主要前道工藝（刻蝕、沉積、涂膠、熱處理、清洗等）整合成三強AMAT、LAM、TEL。另外，光刻機龍頭ASML市占率80%+；過程控制龍頭KLA市占率50%。根據(jù)SEMI，ASML、AMAT、LAMResearch、TEL、KLA五大廠商2021年收入合計788億美元，占全球市場約77%。綜合看下來，設備五強市場在各賽道合計市占率基本在50%以上。AMSL優(yōu)勢在光刻方面遙遙領先；AMAT優(yōu)勢在產(chǎn)品線廣，沉積（CVD、PVD）市占率高；LAM優(yōu)勢在刻蝕領域；TEL優(yōu)勢在小賽道如涂膠、去膠、熱處理；KLA優(yōu)勢在過程控制。三、 全球設備市場創(chuàng)新高，受益于資本開支提升、制程節(jié)點進步2021年全球半

29、導體設備市場規(guī)模創(chuàng)1026億美元新高，大陸首次占比全球第一。根據(jù)SEMI，2021年半導體設備銷售額1026億美元，同比激增44%，全年銷售額創(chuàng)歷史新高。大陸設備市場在2013年之前占全球比重為10%以內(nèi)，20142017年提升至1020%，2018年之后保持在20%以上，份額呈逐年上行趨勢。2020-2021年，國內(nèi)晶圓廠投建、半導體行業(yè)加大投入，大陸半導體設備市場規(guī)模首次在市場全球排首位，2021達到296.2億美元，同比增長58%，占比28.9%。展望2022年，存儲需求復蘇，韓國預計將領跑全球，但大陸設備市場規(guī)模有望保持較高比重。北美半導體設備廠商月銷售額2021年以來穩(wěn)站30億+美金

30、。通過復盤半導體行業(yè)景氣周期歷史，北美半導體設備廠商月銷售額對于全球半導體行業(yè)景氣度分析具有重要意義，北美半導體設備銷售額水平通常領先全球半導體銷售額一個季度。2021年1月，北美半導體設備廠商月銷售額首次突破了30億美金關(guān)口，創(chuàng)歷史新高，達到了30.4億美金。此后月度銷售額逐季創(chuàng)新高，至12月份銷售額達到39.2億美金，同比增長46%。與此同時全球半導體銷售市場自2021年4月以來連續(xù)12個月同比增速超過20%，2022年3月，全球半導體銷售額達到505.8億美金，同比增長23.0%，展望2022全年，從各機構(gòu)當前預測平均值來看，預計2022年全球半導體市場仍將保持10%以上同比增長。半導體

31、設備行業(yè)呈現(xiàn)明顯的周期性，受下游廠商資本開支節(jié)奏變化較為明顯。2017年，存儲廠商的大幅資本開支推動半導體設備迎來巨大需求，且這一勢頭一直延續(xù)到2018年上半年。但隨后產(chǎn)能過剩致使存儲價格走低，導致DRAM和NAND廠商紛紛推遲設備訂單。存儲產(chǎn)能過剩一直持續(xù)到2019年上半年，同時上半年整體半導體行業(yè)景氣度不佳，雖然下半年隨著行業(yè)景氣度恢復，以臺積電為代表的晶圓廠陸續(xù)調(diào)高資本開支大幅擴產(chǎn)，2019年全年半導體設備需求同比仍回落約2%。2020年全球各地先后受疫情影響，但存儲行業(yè)資本支出修復、先進制程投資疊加數(shù)字化、5G帶來的下游各領域強勁需求，全年設備市場同比增長19%。伴隨半導體廠商新一輪資

32、本開支開啟，2021年全球設備市場繼續(xù)大幅增長44%。當前海外設備龍頭應用材料、泛林集團等均預計2022年全球設備市場規(guī)模將進一步增長。未來兩年全球晶圓廠設備開支持續(xù)增長。2020年疫情帶來的居家及遠程辦公帶來筆電等消費電子需求激增作為本輪周期的催化劑，2020H2以車用芯片為代表的供應鏈開始緊張，下游持續(xù)增長的需求與上游有限產(chǎn)能的矛盾演繹為2021年全年行業(yè)供需失衡加劇。2022年以來，消費性電子、智能手機、PC等領域需求確有下滑，但更值得注意的是全球正步入第四輪硅含量提升周期，服務器、汽車、工業(yè)、物聯(lián)網(wǎng)等需求大規(guī)模提升。在6月臺積電召開的股東大會上，公司管理層表示未來10年是半導體行業(yè)非常

33、好的機會，主要原因就是5G及高效能運算的普及，生活數(shù)字化轉(zhuǎn)型，帶來對車用（新車半導體含量可達傳統(tǒng)車的10倍）、手機、服務器等終端內(nèi)半導體含量的增加，推動半導體需求大幅成長。中芯國際在22Q1法說會表示，盡管消費電子，手機等存量市場進入去庫存階段，開始軟著陸，但高端物聯(lián)網(wǎng)、電動車、綠色能源、工業(yè)等增量市場尚未建立足夠的庫存，近年來硅含量提升與晶圓廠有限的產(chǎn)能擴充矛盾，疊加產(chǎn)業(yè)鏈轉(zhuǎn)移帶來的本土化產(chǎn)能缺口，使得公司需要大幅擴產(chǎn)，推出新產(chǎn)品工藝平臺，滿足客戶旺盛的增量需求。疫情、全球經(jīng)濟及半導體周期性雖然會帶來短期內(nèi)的不確定性，但是技術(shù)進步、硅含量提升是長期支撐半導體行業(yè)持續(xù)發(fā)展的最關(guān)鍵驅(qū)動力。202

34、0年開始全球領先的晶圓廠紛紛加速擴產(chǎn)提升資本開支，根據(jù)ICInsights，2021年全球半導體資本開支增速達到36%，預計2022年將繼續(xù)增長24%，2020-2022年將會成為自1993-1995年以來的首次CapEx連續(xù)三年增速超過20%。半導體設備作為晶圓廠擴產(chǎn)的重要開支部分，根據(jù)SEMI，2021年全球晶圓廠前道設備支出增速達到42%，預計2022年將進一步增長18%。臺積電、中芯國際紛紛增加資本開支，CapEx進入上行期。根據(jù)ICInsights，全球代工廠資本開支約占半導體總體的35%，根據(jù)頭部代工廠的資本開支規(guī)劃來看，2022年代工領域資本開支將進一步提升。臺積電從2020年1

35、70億美金增長到2021年的300億美金（用于N3/N5/N7的資本開支占80%），公司2021年4月1日公布未來三年資本開支1000億美金，2022年資本開支將進一步提升至400-440億美金，預計2023年資本開支仍有望超過400億美金；聯(lián)電2021年CapEx18億美金，預計2022年翻倍達到36億美金（其中90%將用于12英寸晶圓）；GlobalFoundries于2021年IPO后資本開支大幅提升用于擴產(chǎn)，公司2020年CapEx4.5億美金，2021年提升至16.6億美金，預計2022年超過40億美金；中芯國際2021年資本開支維持高位，達到45億美金（大部分用于擴成熟制程，尤其是

36、8寸數(shù)量擴4.5萬片/月），預計2022年達到50億美金。第四章 產(chǎn)品規(guī)劃方案一、 建設規(guī)模及主要建設內(nèi)容（一）項目場地規(guī)模該項目總占地面積32000.00（折合約48.00畝），預計場區(qū)規(guī)劃總建筑面積49037.47。（二）產(chǎn)能規(guī)模根據(jù)國內(nèi)外市場需求和xxx投資管理公司建設能力分析，建設規(guī)模確定達產(chǎn)年產(chǎn)xx套刻蝕設備，預計年營業(yè)收入28200.00萬元。二、 產(chǎn)品規(guī)劃方案及生產(chǎn)綱領本期項目產(chǎn)品主要從國家及地方產(chǎn)業(yè)發(fā)展政策、市場需求狀況、資源供應情況、企業(yè)資金籌措能力、生產(chǎn)工藝技術(shù)水平的先進程度、項目經(jīng)濟效益及投資風險性等方面綜合考慮確定。具體品種將根據(jù)市場需求狀況進行必要的調(diào)整，各年生產(chǎn)綱領

37、是根據(jù)人員及裝備生產(chǎn)能力水平，并參考市場需求預測情況確定，同時，把產(chǎn)量和銷量視為一致，本報告將按照初步產(chǎn)品方案進行測算。產(chǎn)品規(guī)劃方案一覽表序號產(chǎn)品（服務）名稱單位單價（元）年設計產(chǎn)量產(chǎn)值1刻蝕設備套xxx2刻蝕設備套xxx3刻蝕設備套xxx4.套5.套6.套合計xx28200.00國內(nèi)國產(chǎn)化逐漸起航，從0到1的過程基本完成。北方華創(chuàng)產(chǎn)品布局廣泛，刻蝕機、PVD、CVD、氧化/擴散爐、退火爐、清洗機、ALD等設備新產(chǎn)品市場導入節(jié)奏加快，產(chǎn)品工藝覆蓋率及客戶滲透率進一步提高，在集成電路領域主流生產(chǎn)線實現(xiàn)批量銷售，產(chǎn)品加速迭代；第三代半導體、新型顯示、光伏設備產(chǎn)品線進一步拓寬，出貨量實現(xiàn)較快增長。拓

38、荊科技作為國內(nèi)唯一一家產(chǎn)業(yè)化應用PECVD和SACVD設備的供應商，PECVD累計發(fā)貨150臺，廣泛用于中芯國際、華虹集團、長江存儲、合肥長鑫、廈門聯(lián)芯、燕東微電子等國內(nèi)主流晶圓廠，PEALD已實現(xiàn)銷售；中微公司介質(zhì)刻蝕機已經(jīng)打入5nm制程，新款用于高性能Mini-LED量產(chǎn)的MOCVD設備UniMax2022Q1訂單已超180腔；芯源微前道涂膠顯影設備在28nm及以上多項技術(shù)及高產(chǎn)能結(jié)構(gòu)方面取得進展，并實現(xiàn)多種核心零部件的國產(chǎn)替代，公司前道物理清洗設備已經(jīng)達到國際先進水平并成功實現(xiàn)國產(chǎn)替代，新簽訂單結(jié)構(gòu)中前道產(chǎn)品占比大幅提升；華海清科CMP設備在邏輯芯片、3DNAND、DRAM制造等領域的工

39、藝技術(shù)水平已分別突破至14nm、128層、1X/1Ynm，到2021年底，公司CMP設備累計出貨超過140臺，未發(fā)出產(chǎn)品的在手訂單超70臺。Mattson（屹唐半導體）在去膠設備市占率全球第二；盛美半導體單片清洗機在海力士、長存、SMIC等產(chǎn)線量產(chǎn)。精測電子、上海睿勵在測量領域突破國外壟斷。第五章 選址分析一、 項目選址原則項目建設區(qū)域以城市總體規(guī)劃為依據(jù)，布局相對獨立，便于集中開展科研、生產(chǎn)經(jīng)營和管理活動，并且統(tǒng)籌考慮用地與城市發(fā)展的關(guān)系，與當?shù)氐慕ǔ蓞^(qū)有較方便的聯(lián)系。二、 建設區(qū)基本情況棗莊，是山東省地級市，批復確定的山東省重要的現(xiàn)代煤化工、能源、建材和機械制造基地，新興科技創(chuàng)新基地，魯南

40、地區(qū)中心城市之一。總面積4564平方公里，占全省總面積的2.97%。棗莊地處中國華東地區(qū)、山東南部，東與臨沂市平邑縣、費縣、蘭陵縣接壤，南與江蘇省徐州市的銅山縣、賈汪區(qū)、邳州市為鄰，西瀕微山湖，北與濟寧市的鄒城市毗連。南北最長96千米，市域面積占山東省總面積的2.97%。地勢北高南低，東高西低，呈東北向西南傾伏狀。丘陵約占總面積的54.6%，平原約占總面積的26.6%，洼地約占總面積的18.8%。屬中緯度暖溫帶季風型大陸性氣候區(qū)，兼有南方溫濕氣候和北方干冷氣候的特點。市駐地棗莊，在唐宋時形成村落，因多棗樹而得名棗莊，1961年設市后正式使用該名。棗莊是中國首個“海峽兩岸交流基地”和“全國健身秧

41、歌城市”，因鐵道游擊隊和臺兒莊大戰(zhàn)而聞名中外。作為新興的旅游城市，截至2016年6月，境內(nèi)A級景區(qū)共有47家，其中5A級景區(qū)1家、4A級景區(qū)12家、3A景區(qū)18家，4處國家級濕地公園。棗莊境內(nèi)著名旅游景點有臺兒莊古城、抱犢崮、微山湖濕地紅荷風景區(qū)、冠世榴園、鐵道游擊隊影視城、墨子紀念館等。到二三五年，基本建成新時代現(xiàn)代化強市，綜合實力、創(chuàng)新能力、開放活力、文化軟實力大幅躍升，發(fā)展質(zhì)量進入全省前列。高效協(xié)同、深度融合的新型工業(yè)化、信息化、城鎮(zhèn)化、農(nóng)業(yè)農(nóng)村現(xiàn)代化加快推進，現(xiàn)代產(chǎn)業(yè)體系建設取得重大進展；優(yōu)秀傳統(tǒng)文化保護傳承弘揚體系更加完善，全社會精神文明素質(zhì)明顯提升；生態(tài)環(huán)境根本好轉(zhuǎn)，形成節(jié)約資源和

42、保護環(huán)境的空間格局、產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)、生產(chǎn)方式、生活方式，實現(xiàn)經(jīng)濟社會發(fā)展和生態(tài)環(huán)境保護協(xié)同共進；各方面制度體系更加系統(tǒng)完善，治理體系和治理能力現(xiàn)代化達到更高水平；城鄉(xiāng)居民人均收入邁上新臺階，城鄉(xiāng)區(qū)域發(fā)展差距和居民生活水平差距顯著縮小，基本公共服務實現(xiàn)均等化；人民生活更加富裕和諧，社會文明繁榮進步，充分展現(xiàn)現(xiàn)代化建設豐碩成果。綜合實力邁上新臺階，預計二二年全市生產(chǎn)總值完成一千七百億元，城市轉(zhuǎn)型加快推進，動能轉(zhuǎn)換初見成效；創(chuàng)新驅(qū)動實現(xiàn)新突破，創(chuàng)新平臺規(guī)模不斷壯大，創(chuàng)新人才加速集聚，企業(yè)創(chuàng)新能力明顯增強，成功創(chuàng)建國家可持續(xù)發(fā)展議程創(chuàng)新示范區(qū)；協(xié)調(diào)發(fā)展邁出新步伐，積極融入淮河生態(tài)經(jīng)濟帶和魯南經(jīng)濟圈一體化發(fā)展

43、戰(zhàn)略，區(qū)域融合更加緊密，城市功能不斷完善，重大工程全面提速，成功創(chuàng)建國家衛(wèi)生城市、國家節(jié)水型城市，莊里水庫建成并已發(fā)揮綜合效益，棗木高速東延、新臺高速一期、棗菏高速等建成通車，世紀大道、蟠龍河綜合整治、棗莊機場、濟棗高鐵加速推進；綠色發(fā)展取得新成效，環(huán)境質(zhì)量全面提升，成功創(chuàng)建國家園林城市；改革開放取得新進展，重點領域改革扎實推進，對外開放步伐持續(xù)加快；共享發(fā)展達到新水平，就業(yè)形勢保持穩(wěn)定，居民收入逐年提高，教育醫(yī)療條件明顯改善，社會保障更加充分，市域社會治理現(xiàn)代化水平進一步提升，雙擁模范城市創(chuàng)建工作取得新進展，各項社會事業(yè)協(xié)調(diào)并進；鄉(xiāng)村振興呈現(xiàn)新面貌，美麗鄉(xiāng)村建設成效顯著，農(nóng)業(yè)現(xiàn)代化步伐加快，

44、農(nóng)村改革持續(xù)深化，農(nóng)業(yè)綠色發(fā)展扎實推進，脫貧攻堅取得決定性勝利。三、 統(tǒng)籌城鄉(xiāng)融合發(fā)展，提升綜合承載能力實施新型城鎮(zhèn)化戰(zhàn)略，加快城市集聚和品質(zhì)提升，努力形成城鄉(xiāng)融合發(fā)展、生產(chǎn)要素有序流動、基本公共服務趨于均等的協(xié)調(diào)發(fā)展新格局，提升城市綜合承載能力和競爭力。（一）優(yōu)化市域發(fā)展布局立足我市組團城市發(fā)展現(xiàn)狀，優(yōu)化資源要素配置，構(gòu)建“一主、一強、兩極、多點”的市域發(fā)展格局，提高區(qū)域整體競爭力。一主，由薛城區(qū)、市中區(qū)、嶧城區(qū)、棗莊高新區(qū)共同組成中心城區(qū)，按照“西城擴容、東城提質(zhì)、一體化發(fā)展”思路，提升中心城區(qū)綜合承載力。薛城區(qū)、棗莊高新區(qū)組成西城區(qū)，突出擴容量、聚人氣，推動人口、產(chǎn)業(yè)、公共設施集聚，打造

45、區(qū)域性行政、科創(chuàng)、商務、金融、文體中心；市中區(qū)、嶧城區(qū)組成東城區(qū)，突出提品質(zhì)、促融合，推進城市更新，拓展城市空間，增強發(fā)展動能，打造產(chǎn)業(yè)升級引領區(qū)、城市轉(zhuǎn)型示范區(qū)。中心城區(qū)重點圍繞新能源、新材料、新醫(yī)藥、新一代信息技術(shù)等產(chǎn)業(yè)，大力實施智能制造戰(zhàn)略，依托世紀大道、光明大道，強化張范節(jié)點支撐，推進東西城區(qū)相向融合發(fā)展。一強，滕州市作為縣域經(jīng)濟發(fā)展強市，重點打造先進制造業(yè)基地、商貿(mào)物流集散地、城鄉(xiāng)一體化發(fā)展先行區(qū)，持續(xù)走在全省縣域經(jīng)濟高質(zhì)量發(fā)展第一方陣。兩極，山亭區(qū)和臺兒莊區(qū)作為市域發(fā)展兩極，山亭區(qū)圍繞食品加工、醫(yī)養(yǎng)健康、生態(tài)旅游等產(chǎn)業(yè)，打造綠色農(nóng)產(chǎn)品供應基地、休閑養(yǎng)生旅游目的地；臺兒莊區(qū)圍繞新材料

46、、港航物流、文化旅游等產(chǎn)業(yè)，打造中華運河文化傳承核心區(qū)、國際旅游度假目的地。多點，推進各類園區(qū)產(chǎn)業(yè)培育、鏈條延伸、集群膨脹，促進產(chǎn)城融合發(fā)展；科學統(tǒng)籌城鎮(zhèn)區(qū)劃，培育壯大若干省級以上示范鎮(zhèn)、重點鎮(zhèn)、特色小鎮(zhèn)及優(yōu)勢產(chǎn)業(yè)集聚區(qū)。提升城市品質(zhì)，實施“碧水繞城”工程，優(yōu)化城市自然生態(tài)環(huán)境，創(chuàng)建國家生態(tài)園林城市；因地制宜建設地下綜合管廊，推進海綿城市建設，打造城市水循環(huán)系統(tǒng)；持續(xù)實施城市有機更新，加快推進城鎮(zhèn)老舊小區(qū)、老舊街區(qū)和城中村改造。增強城市服務能力，高標準建設世紀大道、蟠龍河綜合整治重大工程，統(tǒng)籌布局“城市、組團、社區(qū)”三級公共服務設施，鞏固BRT公交發(fā)展成果，優(yōu)化城區(qū)路網(wǎng)結(jié)構(gòu)和公交線網(wǎng)布局，構(gòu)建

47、15分鐘生活服務圈。（二）推進城鄉(xiāng)融合發(fā)展扎實推進國家可持續(xù)發(fā)展議程創(chuàng)新示范區(qū)和省級城鄉(xiāng)融合發(fā)展試驗區(qū)建設，促進新型城鎮(zhèn)化高質(zhì)量發(fā)展。促進城鄉(xiāng)要素融合，強化服務資源供給，實現(xiàn)城鎮(zhèn)基本公共服務全覆蓋、均等化，推進農(nóng)村轉(zhuǎn)移人口市民化，完善公共就業(yè)創(chuàng)業(yè)服務體系，加強城鄉(xiāng)居民基本醫(yī)保、大病保險與醫(yī)療救助有效銜接，提高基本公共服務質(zhì)量和水平。促進城鄉(xiāng)設施融合，以市域為整體，推進設施一體化規(guī)劃、建設和管護，大力提升基礎設施和公共設施服務能力，改善城鄉(xiāng)人居環(huán)境。促進城鄉(xiāng)產(chǎn)業(yè)融合，大力發(fā)展縣域經(jīng)濟，引導勞動密集型產(chǎn)業(yè)、縣域特色經(jīng)濟及農(nóng)村二三產(chǎn)業(yè)集聚發(fā)展。（三）強化基礎設施保障堅持優(yōu)化提升、適度超前原則，構(gòu)建現(xiàn)

48、代化基礎設施體系。打造魯南綜合交通樞紐，全力構(gòu)建“四縱五橫一機場一環(huán)線一體系”的綜合交通運輸新格局。建成濟棗旅游高鐵并預留京滬二通道連線，加快臨沂棗莊菏澤城際高鐵規(guī)劃建設。完成京臺高速改擴建、新臺高速二期等工程，加快推進臨滕高速、京臺高速至新臺高速臺兒莊連接線等工程，打造高等級公路交通網(wǎng)絡。建成棗莊機場，打造省內(nèi)重要支線機場、旅游機場。依托京杭運河“黃金水道”，打造綜合性水運樞紐。完善水利基礎設施，強化防洪抗災工程、水資源保障供應工程、農(nóng)田水利工程建設，提高城鄉(xiāng)供水安全保障能力。增強能源供應保障能力，優(yōu)化新能源供應保障格局。四、 堅持創(chuàng)新驅(qū)動發(fā)展，增強轉(zhuǎn)型跨越支撐堅持創(chuàng)新在現(xiàn)代化建設全局中的核

49、心地位，深入實施創(chuàng)新驅(qū)動發(fā)展戰(zhàn)略，大力推進國家創(chuàng)新型城市建設，加快形成以創(chuàng)新為主要引領和支撐的經(jīng)濟體系和發(fā)展模式，持續(xù)催生高質(zhì)量發(fā)展新動能。（一）提升企業(yè)創(chuàng)新能力強化企業(yè)創(chuàng)新主體地位，支持企業(yè)加大研發(fā)投入，構(gòu)建多層次研發(fā)創(chuàng)新體系，打造一批科技創(chuàng)新型領軍企業(yè)。深化產(chǎn)學研合作交流，鼓勵企業(yè)牽頭組建創(chuàng)新聯(lián)合體，培育一批“單項冠軍”“瞪羚”企業(yè)和政產(chǎn)學研金服用創(chuàng)新共同體。引導創(chuàng)新要素向企業(yè)聚集，鼓勵企業(yè)加強原始創(chuàng)新和引進消化吸收再創(chuàng)新，聯(lián)合實施產(chǎn)業(yè)關(guān)鍵共性技術(shù)攻關(guān)，促進一批關(guān)鍵核心技術(shù)轉(zhuǎn)化落地。（二）構(gòu)建創(chuàng)新平臺體系聚焦自主創(chuàng)新能力提升，加快推進中科院、中建材科創(chuàng)新技術(shù)研究院、浙大山東工研院、北理工魯

50、南研究院、華數(shù)智能制造研究院等更多高能級科創(chuàng)平臺建設，積極創(chuàng)建未來科學平臺、創(chuàng)新公共空間、科創(chuàng)中心等新型研發(fā)機構(gòu)。以山東省無機功能材料與智能制造創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)共同體為樣板，打造一批產(chǎn)業(yè)方向聚焦、創(chuàng)新要素集聚、功能特色鮮明、體制機制靈活的創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)共同體，推動源頭創(chuàng)新、產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新、技術(shù)創(chuàng)新，打造區(qū)域性創(chuàng)新高地。（三）優(yōu)化創(chuàng)新生態(tài)系統(tǒng)深化科技體制機制改革，建立健全市場導向的科研立項機制，創(chuàng)新分類實施機制，完善科技評價機制，健全市場激勵創(chuàng)新機制。圍繞研發(fā)設計、孵化育成、技術(shù)交易、知識產(chǎn)權(quán)等領域，完善技術(shù)市場，促進成果交易，健全技術(shù)創(chuàng)新網(wǎng)絡，壯大技術(shù)經(jīng)紀人隊伍，加快科技成果轉(zhuǎn)移轉(zhuǎn)化。健全多渠道資金投入機制，加強

51、財政資金、產(chǎn)業(yè)基金對科技創(chuàng)新的引導扶持，支持科技型企業(yè)上市融資，拓寬資金市場化供給渠道。（四）激發(fā)人才創(chuàng)新活力牢固確立人才引領發(fā)展的戰(zhàn)略地位，堅持黨管人才，制定實施吸引力更強、含金量更高的人才政策，大力加強人才管理者隊伍建設，積極倡導科學家、企業(yè)家精神和工匠精神，建立高端化、專業(yè)化、特色化人才隊伍。精準引進人才，完善提升棗莊英才集聚工程，面向海內(nèi)外廣攬一批領軍人才和拔尖人才，以高層次人才集聚引領產(chǎn)業(yè)轉(zhuǎn)型升級。用心培養(yǎng)人才，加強緊缺高技能人才、高素質(zhì)工匠人才、高水平企業(yè)領軍人才培育，形成多層次人才隊伍梯次發(fā)展格局。著力留住人才，健全人才服務體系，加大人才公寓建設力度，優(yōu)化留才成才環(huán)境，切實增強人

52、才獲得感，打造聚才強磁場。五、 項目選址綜合評價項目選址應統(tǒng)籌區(qū)域經(jīng)濟社會可持續(xù)發(fā)展，符合城鄉(xiāng)規(guī)劃和相關(guān)標準規(guī)范，保證城鄉(xiāng)公共安全和項目建設安全，滿足項目科研、生產(chǎn)要求，社會經(jīng)濟效益、社會效益、環(huán)境效益相互協(xié)調(diào)發(fā)展。 第六章 法人治理結(jié)構(gòu)一、 股東權(quán)利及義務1、公司股東享有下列權(quán)利：（1）依照其所持有的股份份額獲得股利和其他形式的利益分配；（2）依法請求、召集、主持、參加或者委派股東代理人參加股東大會，并行使相應的表決權(quán)；（3）對公司的經(jīng)營進行監(jiān)督，提出建議或者質(zhì)詢；（4）依照法律、行政法規(guī)及本章程的規(guī)定轉(zhuǎn)讓、贈與或質(zhì)押其所持有的股份；（5）查閱本章程、股東名冊、公司債券存根、股東大會會議記錄

53、、董事會會議決議、監(jiān)事會會議決議、財務會計報告；（6）公司終止或者清算時，按其所持有的股份份額參加公司剩余財產(chǎn)的分配；（7）對股東大會作出的公司合并、分立決議持異議的股東，要求公司收購其股份；（8）法律、行政法規(guī)、部門規(guī)章或本章程規(guī)定的其他權(quán)利。2、公司股東承擔下列義務：（1）遵守法律、行政法規(guī)和本章程；（2）依其所認購的股份和入股方式繳納股金；（3）除法律、法規(guī)規(guī)定的情形外，不得退股；（4）不得濫用股東權(quán)利損害公司或者其他股東的利益；不得濫用公司法人獨立地位和股東有限責任損害公司債權(quán)人的利益；公司股東濫用股東權(quán)利給公司或者其他股東造成損失的，應當依法承擔賠償責任。公司股東濫用公司法人獨立地位

54、和股東有限責任，逃避債務，嚴重損害公司債權(quán)人利益的，應當對公司債務承擔連帶責任。（5）法律、行政法規(guī)及本章程規(guī)定應當承擔的其他義務。3、持有公司5%以上有表決權(quán)股份的股東，將其持有的股份進行質(zhì)押的，應當自該事實發(fā)生當日，向公司作出書面報告。4、公司的控股股東、實際控制人員不得利用其關(guān)聯(lián)關(guān)系損害公司利益。違反規(guī)定給公司造成損失的，應當承擔賠償責任。公司控股股東及實際控制人對公司和公司社會公眾股股東負有誠信義務。控股股東應嚴格依法行使出資人的權(quán)利，控股股東不得利用利潤分配、資產(chǎn)重組、對外投資、資金占用、借款擔保等方式損害公司和社會公眾股股東的合法利益，不得利用其控制地位損害公司和社會公眾股股東的利

55、益。違反規(guī)定的，給公司造成損失的，應當承擔賠償責任。公司董事會建立對控股股東所持公司股份“占用即凍結(jié)”機制，即發(fā)現(xiàn)控股股東侵占公司資產(chǎn)立即申請司法凍結(jié)，凡不能以現(xiàn)金清償?shù)模ㄟ^變現(xiàn)股權(quán)償還侵占資產(chǎn)。二、 董事1、公司設董事會，對股東大會負責。2、董事會由12人組成，其中獨立董事4名；設董事長1人，副董事長1人。3、董事會行使下列職權(quán)：（1）負責召集股東大會，并向股東大會報告工作；（2）執(zhí)行股東大會的決議；（3）決定公司的經(jīng)營計劃和投資方案；（4）制訂公司的年度財務預算方案、決算方案；（5）制訂公司的利潤分配方案和彌補虧損方案；（6）在股東大會授權(quán)范圍內(nèi)，決定公司對外投資、收購出售資產(chǎn)、資產(chǎn)抵押

56、、對外擔保事項、委托理財、關(guān)聯(lián)交易等事項；（7）決定公司內(nèi)部管理機構(gòu)的設置；（8）聘任或者解聘公司總裁、董事會秘書，根據(jù)總裁的提名，聘任或者解聘公司副總裁、財務總監(jiān)及其他高級管理人員，并決定其報酬事項和獎懲事項；擬訂并向股東大會提交有關(guān)董事報酬的數(shù)額及方式的方案；（9）制訂公司的基本管理制度；（10）制訂本章程的修改方案；（11）管理公司信息披露事項；（12）向股東大會提請聘請或更換為公司審計的會計師事務所；（13）聽取公司總裁的工作匯報并檢查總裁的工作；（14）決定公司因本章程規(guī)定的情形收購本公司股份事項；（15）法律、行政法規(guī)、部門規(guī)章或本章程授予的其他職權(quán)。公司董事會設立審計委員會，并根據(jù)需要設立戰(zhàn)略、提名、薪酬與考核等相關(guān)專門委員會。專門委員會對董事會負責，依照本章程和董事會授權(quán)履行職責，提案應當提交董事會審議決定。專門委員會成員全部由董事組成，其中審計委員會、提名委員會、薪酬與考核委員會中獨立董事占多數(shù)并擔任召集人，審計委員會的召集人為會計專業(yè)人士。董事會負責制定專門委員會工作規(guī)程，規(guī)范專門委員會的運作。4、公司董事會應當就注冊會計師對公司財務報告出具的非標準審計意見向股東大會作出說明。5、董事會依照法律、法規(guī)及有關(guān)主管機構(gòu)的要求制定董事會議