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文檔簡介
1、主要成分:主要成分:玻璃粉,氧化鋁粉亞克力樹脂及添加特定的粘接劑及有機/無極溶劑。特點:特點:通過改變材料類型及配比,可獲得預期設計要求(如熱傳導特性、介電常數、損耗因子、絕緣電阻、擊穿電壓等)的基板。 流延 裁片 沖孔 填孔 印刷 疊片 靜壓 切割 燒結 調阻 測試目的:由陶瓷漿料制作出陶瓷基板坯料。配料流延刮刀成型及預固化 流延 裁片 沖孔 填孔 印刷 疊片 靜壓 切割 燒結 調阻 測試目的:將坯料切割成一定尺寸的陶瓷薄片,每一片將成為多層陶瓷基板的一層。過程中,對流延不良的薄片進行剔除。切刀生陶瓷 流延 裁片 沖孔 填孔 印刷 疊片 靜壓 切割 燒結 調阻 測試目的:在薄陶瓷片上制作出用
2、以進行電氣互聯的過孔、通孔。方法:機械沖孔,激光沖孔 流延 裁片 沖孔 填孔 印刷 疊片 靜壓 切割 燒結 調阻 測試機械沖孔,激光沖孔 原理對比PET film生瓷片PinDieVacuum激光束PET film生瓷片Vacuum機械沖孔激光沖孔目的:將過孔填充劑填入過孔中,作為層與層之間電路連接的垂直通路,以制備多層陶瓷基板內部的過孔。多孔臺板刮刀漿料真空吸引印刷網版 特制紙 流延 裁片 沖孔 填孔 印刷 疊片 靜壓 切割 燒結 調阻 測試目的:使用絲網印刷方法,將導電漿料或介質材料印刷在陶瓷片上,用以制作電氣互聯的導線及印制元器件(電阻、電容、壓敏電阻等)。 流延 裁片 沖孔 填孔 印刷
3、 疊片 靜壓 切割 燒結 調阻 測試目的:將已印刷電路圖形的陶瓷片按照次序,依次疊放在一起,使得圖形符合電路結構要求,并揭除印刷時的PET膜。 流延 裁片 沖孔 填孔 印刷 疊片 靜壓 切割 燒結 調阻 測試目的:將疊片后的生瓷片利用高壓使之粘粘接牢固。 流延 裁片 沖孔 填孔 印刷 疊片 靜壓 切割 燒結 調阻 測試方法:機械軸壓 液體等靜壓目的:將較大面積的生瓷基板,按照各元件、模塊的切割邊界進行切割分離,便于進行燒結。而燒結后,陶瓷片將不易切割。方法:金剛刀切割 激光切割 流延 裁片 沖孔 填孔 印刷 疊片 靜壓 切割 燒結 調阻 測試金剛刀切割金剛刀切割激光切割激光切割01020304
4、050607080901001101201301402004006008001000INOUTABC 流延 裁片 沖孔 填孔 印刷 疊片 靜壓 切割 燒結 調阻 測試目的:將生瓷基板加熱燒結成熟瓷,使之瓷材硬化、內部漿料固化、結構穩定。對LTCC基板,加熱溫度一般低于900。目的:對通過印刷制成的電阻等元器件進行精細調節,以修正印刷誤差、適配器件參數差異,以達到最佳系統性能。 方法:激光脈沖加熱 流延 裁片 沖孔 填孔 印刷 疊片 靜壓 切割 燒結 調阻 測試自動光學檢測系統可檢缺陷包括:過焊、缺焊、污跡、線寬過窄、鼠嚙、通孔、污染物、印制漂移、基板收縮、絲網老化等,同時系統還可分辨隨機缺陷和
5、系統缺陷。 流延 裁片 沖孔 填孔 印刷 疊片 靜壓 切割 燒結 調阻 測試目的:產品加工過程中,對質量進行監察,避免不良品流入下道工序。主要包括外觀檢查、電氣特性測量、內部結構檢查。 方法:光學檢測 探針測試 X光檢測方法1:光學檢測方法2:飛針測試 流延 裁片 沖孔 填孔 印刷 疊片 靜壓 切割 燒結 調阻 測試目的:使用探針對印制的導線、金屬化孔等進行電氣特性判定。 流延 裁片 沖孔 填孔 印刷 疊片 靜壓 切割 燒結 調阻 測試目的:使用X光檢測LTCC基板內部電層的不可見缺陷。 方法3:X光檢測 技術優勢:高密封裝減小了體積,減輕了重量,提高了系統工作頻率,減少了系統焊點數量,提高了系統環境適應性,提升了系統性能及可靠性。 應用領域:無線電通訊電子元器件、微波毫米波基板、微波毫米波功能模塊、大功率器件。 生產流程:
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