1、作業：P13P30P36P41P51第三章第三章 激光全息測量與散斑測量技術激光全息測量與散斑測量技術 全息照相術（Holography）由Gabor于1948年首先提出來的，由此獲得了1971年諾貝爾物理學獎。Gabor提出的是同軸全息照相，由于當時沒有高度相干光源，且無法分離同軸全息照相所產生的孿生像，由此全息技術在那以后的十多年間并未得到廣泛關注。直到1960年激光器問世以及1962年Leith和Upatnieks提出離軸全息照相后，全息技術才進入迅速發展的年代，各種不同的全息方法相繼提出，開辟了全息應用的新領域。3.1.全息照相術全息照相術 普通照相（Photography）是通過透鏡

2、把物體成像在感光底片上，感光底片所記錄的光強分布只與物體光波的振幅有關，而與物體光波的相位無關。由此普通照相反映的是物體的平面像，因為普通照相只能記錄物體光波的振幅信息，而不能記錄物體光波的相位信息。 全息照相利用物體光波和參考光波之間的干涉效應將物體光波的振幅和相位信息全部記錄在全息底片上，全息 底片經過顯影和定影后變成全息圖（Hologram）,然后用再現光波（一般采用記錄全息圖時的參考光波）照射全息圖，通過全息圖的衍射效應使物體光波得到再現，進而得到物體的立體圖。因此全息照相與普通照相的不同之處在于全息照相不但能記錄物體光波的振幅信息，而且能同時記錄物體光波的相位信息。這種能同時記錄物體

3、光波振幅和相位信息的技術稱為全息照相術。3.1.1 3.1.1 全息照相原理全息照相原理 全息照相是一種波前記錄和再現技術，它通過引入參考光波與物體光波發生干涉，將物體光波的振幅和相位信息以干涉條紋的形式保存于記錄介質。然后將處理的記錄介質用參考光波再現，提取保存在記錄介質上的物體光波信息，記錄介質經衍射后可再現原理的物體光波，該再現光波將包含物體振幅和相位等全部信息的立體像。全息照相是兩步成像技術：一是波前記錄（Wavefront Recording);二是波前再現（Wavefront Reconstruction).)exp()exp(00rriaRiaO設全息底片處物體光波和參考光波的復

4、振幅分別為：1.波前記錄全息記錄系統如圖。1.波前記錄則全息底片所記錄的光強分布為：)cos(2)()(exp)(exp)()(002200000220rrrrrrrraaaaiaaiaaaaROROI 由此可見，全息底片所記錄的光強分布是按余弦規律變化的干涉條紋（不過干涉條紋很細很密，人眼無法分辨），由此全息圖實際上是一塊余弦光柵，當用再現光波照射全息圖時，全息圖將發生衍射進而產生物體像。假設曝光時間為T，則全息底片記錄到的曝光量為：)(exp)(exp)(0000220rrrrriaTaiaTaaaTITE在一定曝光量范圍內，全息圖的振幅透射率與曝光量成線性關系，若取比例常數為，那么全息圖

5、的振幅透射率可表示為：)(exp)(exp)(0000220rrrrriaTaiaTaaaTEt2. 2.波前再現波前再現該再現系統與記錄系統相同，只是在再現系統中已移走物體，并擋住物體光波。為了觀察物體像，需要把經過顯影和定影的全息底片放回原位，用參考光波照射全息圖。則透過全息圖的光波復振幅為：注意：這里如果用的參考光是)exp(ccciaU)(exp)(exp)exp()(0000220crrccrrccrcRiaaTaiaaTaiaaTaW作業：試解釋為什么A實驗室制作的一全息片可以在B實驗室再現。1100000220)(exp)(exp)exp()(RRRcrrccrrccrcRWWW

6、iaaTaiaaTaiaaTaW如果用的原來的參考光波，則：)2(exp)exp()exp()(020020320rrrrrriaTaiaTaiaaaTRtA第一項：零級衍射光波；第二項：正一級衍射光波，構成物體的虛像；第三項：負一級衍射光波，構成物體的實像，但與原來物體相位相反。上述三個衍射光波沿不同的方向傳播，彼此互相分離，由此當用原來參考光波照射全息圖時，透過全息圖將有三束光波沿不同方向射出，這就是有Leith和Upatnieks提出的離軸全息照相。3.1.2 3.1.2 全息圖的類型全息圖的類型根據全息記錄和再現的方式不同，全息圖有多種分類方法，主要分類方法概括如下。1.振幅全息和相位

7、全息按照全息圖透射率，分為振幅全息圖（Amplitude Hologram）和相位全息圖（Phase Hologram）。一般來說，再現光波通過全息圖時，光波的相位和振幅都會發生變化。如果衍射后光波的相位不變，全息圖僅僅改變再現光波的振幅，該全息圖稱為振幅全息圖。或者吸收全息圖。 如果衍射后光波的振幅透射率與位置無關，全息圖僅僅改變再現改變的相位，該全息圖稱為相位全息圖。相位全息圖分為兩類：一類是浮雕相位全息圖，該類全息圖的記錄介質的厚度在變化，但介質的折射率保持不變；另一類是變折射率相位全息圖，該類相位全息圖的記錄介質的折射率發生變化，而厚度保持不變。2.平面全息圖和立體全息圖全息底片既可記

8、錄為平面全息圖（Plane Hologram），也可以記錄為體積全息圖（Volume Hologram）。平面全息圖（也稱為薄全息圖）的記錄介質的厚度小于所記錄的干涉條紋的間隔；體積全息圖（也稱為厚全息圖）的記錄介質的厚度等于或大于干涉條紋的間隔。應當注意，干涉條紋的間隔不僅與波長有關，還與物體光波和參考光波之間的夾角有關。平面全息圖和立體全息圖的主要區別就是平面全息圖的干涉條紋是記錄在乳膠的表面上，全息圖的衍射主要是介質的面效應，其作用類似于平面光柵；而體積全息圖的干涉條紋是記錄在乳膠的內部，全息圖的衍射主要是介質的體效應。采用光學方法但通過光敏電子器件（如CCD）記錄而得到的全息圖稱為數字

9、全息圖（Digital Hologram）。數字全息圖不需要經過顯影和定影等沖洗處理，通過計算機模擬光學衍射過程來實現光波的數字再現，因而可以實現全息記錄、存儲和再現等過程的數字化。3.光學全息圖，數字全息圖和計算全息采用光學方法通過全息記錄材料（如全息底片）記錄而得到的全息圖稱為光學全息圖（Optical Hologram）。光學全息圖需要經過顯影和定影等沖洗處理，并采用光學系統完成物體光波的再現。通過計算機模擬和經過光學縮放而得到的全息圖，稱為（Computer Production Hologram）。計算全息的特點是先用計算機制作全息圖，然后用光學衍射方法進行再現。由于計算機技術的發展

10、，目前可對復雜物體通過計算機模擬制作全息圖。計算全息利用計算機制作全息圖，由此并不需要物體一定存在，由此計算全息具有很大的靈活性。3.2 3.2 全息干涉法全息干涉法 全息干涉法（Holographic Inteferometry）是基于全息照相的干涉計量技術。它是一種高精度非接觸全場干涉測試方法，其測量靈敏度可以達到可見光的波長量級。全息干涉法可用于物體的變形測量和振動分析。3.2.1 3.2.1 全息干涉原理全息干涉原理1.相位位移關系物點P移到P后物體光波的相位變化可表示為：)()(2)()(0000rererereOPPSPOSP )()(2)()(2)()(0000000rrerre

11、rererereOPPSPOSP 再利用：drrdrr,00dee)(20對于小變形，有eeee，00作業：試推導全息干涉法中相位變化與位移的關系。2. 2.雙曝光全息干涉法雙曝光全息干涉法雙曝光全息干涉法（Double-Exposure Holographic Interferometry）通過兩次系列曝光把對應與物體變形前后的兩個不同狀態記錄于同一張全息底片上。全息底片經過顯影和定影處理后，再放回原記錄系統進行再現，則對應于物體變形前后的兩個物體光波，因相位不同而發生干涉并形成干涉條紋，通過對干涉條紋進行分析，即可實現物體的位移和變形測量。設物體變形前后的物體光波復振幅分別為：)(exp)

12、exp(002001iaOiaO化為物體變形而引起的；和其中，物體光波的相位變波相位分別別為變形前后物體)(00i設參考光波復振幅為：)exp(rriaR那么物體變形前后全息底片記錄光強分別為：)(exp)(exp)()()()(exp)(exp)()()(00002202220000220111rrrrrrrrrriaaiaaaaROROIiaaiaaaaROROI設物體變形前后全息底片的曝光時間分別為T1和T2，則全息底片記錄到的曝光量可表示為：)exp()(exp)exp()(exp)(21002100212202211iTTiaaiTTiaaTTaaTITIErrrrr全息底片經顯影和

13、定影后，設振幅透射率與曝光量成線性關系，取比例常數為，則雙曝光全息圖的振幅透射率為：)exp()(exp)exp()(exp)(2100210021220iTTiaaiTTiaaTTaaEtrrrrr雙曝光全息干涉再現系統如圖所示。)exp(rriaR用參考光波照射經顯影和定影后的全息底片，則透射全息圖的光波復振幅表示為：)exp()2(exp)exp()exp()exp()(21002102021320iTTiaaiTTiaaiTTaaaRtArrrrrr)exp()2(exp)exp()exp()exp()(21002102021320iTTiaaiTTiaaiTTaaaRtArrrrrr

14、第一項是透過全息圖后沿參考光波方向的0級衍射光波；第二項是透過全息圖后沿物體光波方向的1級衍射光波；第三項是物體共軛光波。)exp()exp()exp(210200iTTiaaAir圖的復振幅為：的第二項，則透過全息僅考慮含有相應光強分布為：cos2)(212221220TTTTaaAAIr通常物體變形前后全息底片的曝光時間相等。即TTT21cos1 )(2cos2)(220212221220rraaTTTTaaAAI顯然，當滿足條件：形成暗條紋）（形成亮條紋), 2, 1, 0(12), 2, 1, 0(2nnnn代入上式，得：把dee)(20)(2cos1)(2cos1 )(2022022

15、0deeaaaaIrr時，將形成暗紋；）（時，將形成亮紋；當滿足條件：), 2, 1, 0(21n)(), 2, 1, 0(n)(00ndeendee雙曝光法是測量物體位移和變形常采用的方法，它具有簡單易行，干涉條紋清晰，可以進行定量分析等優點。3. 3.實時全息干涉法實時全息干涉法 實時全息干涉法（Real-Time Holographic Interferometry）是指先把物體變形前的狀態記錄在全息底片上，全息底片經過顯影定影處理后精確復位，再把物體光波和參考光波同時照射復位后的全息圖，如果此時物體發生變形，則可實時觀察到干涉條紋，如果物體發生連續變形，也可觀察到連續變化的干涉條紋。設

16、物體變形前的物體光波和參考光波分別為：)exp()exp(00rriaRiaO則物體變形前全息底片記錄的光強為：)(exp)(exp)()(0000220rrrrriaaiaaaaROROI)(exp)(exp)(0000220rrrrriaTaiaTaaaTEt設曝光時間為T，如果振幅透射率與曝光量成線性關系，設比例常數為，則全息底片經顯影和定影后的振幅透射率為：上述經顯影和定影的單曝光全息圖精確放回原記錄系統進行再現，并用原物體光波和參考光波同時照射單曝光全息圖，如圖所示。如果此時物體發生變形，則物體變形后的物體光波復振幅可表示為：)(exp00iaO其中是因物體變形而引起的物體光波的相位

17、變化，則此時透過單曝光全息圖的光波復振幅為：)2(exp)exp()exp()()(exp)2(exp)(exp)()(0200203202002002030rrrrrrrrrrriaTaiaTaiaaaTiaTaiaTaiaaaTtROA上式中，第一項和第五項與物體光波有關，取出這兩項，得：)exp()(exp)(02002030iaTaiaaaTArr)exp()()exp()exp()(exp)(203020002002030iaaaaaiTiaTaiaaaTArrrr通常：:,2200由此上式簡化為即rraaII)exp(1)exp(020iiaTaAr相應的光強分布為:)cos1 (

18、)(2220raTaAAI代入上式，得：把dee)(20d)e-e (2cos1)(20220raTaAAI時，將形成暗紋；）（時，將形成亮紋；當滿足條件：), 2, 1, 0(21n)(), 2, 1, 0(n)(00ndeendee 實時法不易使處理后的全息底片精確復位,為了克服這一問題可設計一個專用裝置,在底片支架上進行原位顯影和定影等沖洗過程.3.3 3.3 激光散斑干涉測量激光散斑干涉測量散斑特性散斑計量時間相移相位展開數字散斑干涉數字散斑剪切干涉基本要求:1.了解散斑形成、分布和疊加以及散斑照相、散斑干涉；2.熟悉時間相移和相位展開；3.掌握面內位移、離面位移測量。一、散斑特性：散

19、斑形成散斑分布散斑尺寸散斑疊加1）散斑形成： 當激光照射表明粗糙物體時，物面就會散射無數相干子波，這些相干子波在物體周圍空間相互干涉而形成了無數隨機分布的亮點和暗點，這些亮點和暗點就稱為散斑。粗糙表面: 這里所講的粗糙是相對于光波波長而言，相對于物體的尺寸，表面是非常光滑的。 在觀察點得到的是亮點和是暗點取決于來自物體表面個個地方的反射光在該點疊加的結果。在散射面的前方的任意位置都可以得到散斑。散斑圖： 在特定的截面上記錄的散斑分布稱為散斑圖。散斑圖是由激光照射在光學粗糙物面的大量散射子波之間的隨機干涉而形成的具有高對比度的顆粒結構圖像。右邊就是一個激光散斑圖，上面有大量的暗點和亮點，但暗點更

20、多。它的對比度很高。2）散斑分布：強度的概率密度函數：)0()exp(1)(IIIIIp任意給定點的散斑強度遵守負指數統計，強度最可能密度值為零，即散斑圖上大部分的點是相消干涉，即暗點。對比度：1IVI即散斑具有最大對比度。相位概率密度函數：)(21)(p是一個常數，即任意給定點散斑相位均勻分布。3）散斑尺寸通過自由空間產生的散斑稱為客觀散斑。通過成像系統在像面形成的散斑稱為主觀散斑（也稱像面散斑）。對于圓形散射面，橫向平均長度：Dzt22. 1縱向尺寸：228Dzl所以在比較靠近散射面的地方，散斑在空間類似一個球，但由于它的橫向尺寸和縱向尺寸不是按系統規律增加的，所以在遠離散射的時候，散斑會

21、逐漸變得類似于一個橢球。作業：請問散斑在空間的尺寸如何隨著觀察面與散射面間距離的增大而變化。橫向平均長度：Ddit22. 1縱向尺寸：228Ddil我們討論的散斑基本上是主觀散斑。因為散斑計量當中已經沒有客觀散斑，在數字散斑中還有。4）散斑疊加有兩種疊加方式：振幅疊加和強度疊加。振幅疊加后的合成強度為：221AAI當散斑按振幅疊加的時候，它的統計性質沒有發生改變，合成的強度仍然遵守負指數統計，對比度為1.散斑場按強度疊加時合成強度為：2221AAI當兩個光強相等時，對比度為0.707，對比度下降。二、散斑計量二、散斑計量 當高度相干光照射的粗糙物體表面發生位移或者變形時，物面周圍空間所形成的散

22、斑分布將按一定規律發生運動或變化，散斑計量就是將物體表面前方空間的散斑場記錄下來，通過分析記錄在散斑圖上的散斑的運動或變化而得到的物體的位移和變形。散斑計量分為：散斑照相散斑干涉散斑剪切干涉作業：請問散斑計量作業：請問散斑計量分為幾種，簡要介紹分為幾種，簡要介紹它們的區別？它們的區別？如果記錄的散斑圖是由表面粗糙的物體的隨機散射子波之間的干涉效應而形成，則稱為散斑照相，有時也稱它為單光束散斑干涉。如果記錄的散斑圖是由表面粗糙物體的隨機散射子波與另一參考光波之間的干涉效應而形成，則稱為散斑干涉，有時也稱為雙光束散斑干涉。如果記錄的散斑圖是由表面粗糙物體相互錯位的隨機散射子波之間的干涉效應而形成，

23、則稱為散斑剪切干涉。散斑照相和散斑干涉可以進行物體的位移測量和振動分析。散斑剪切干涉可以測量物體的位移導數，包括斜率和應變等。 傳統散斑采用全息底片記錄散斑圖，因此需要進行顯影和定影等沖洗處理。另外，傳統散斑的兩次曝光記錄只能采用相加模式（不能相減），因此需要進行光學濾波，以消除直流分量從而顯現干涉條紋。采用攝像機替代全息底片記錄散斑圖，物體變形后的散斑圖通過電子處理方法，與物體變形前的散斑圖進行比較，在監視器上顯示干涉條紋，這種方法稱為電子散斑。隨著數碼技術、計算機技術和圖像處理技術的發展，出現了數字散斑。數字散斑是傳統散斑的數字版本。數字散斑包括數字散斑照相、數字散斑干涉、數字散斑剪切干涉

24、。現在我們所講的電子散斑實際上就是指數字散斑，只是人們習慣上用電子散斑來指非傳統散斑。數字散斑照相 采用數字散斑照相記錄的散斑圖可以存儲在相同和不同的幀存中，因此數字散斑照相可以采用相加模式、相減模式或相關模式對數字散斑圖進行處理以獲取物體的位移和變形信息。目前數字散斑照相主要采用相關模式，相關模式不需要顯示干涉條紋即可實現散斑計量。當采用相關模式時，數字散斑照相也稱為數字圖像相關(DIC)或數字散斑相關（DSC）。當把基于相關模式的數字散斑照相用于流場測量時，則稱為粒子圖像測速，即通常說的PIV。作業：數字散斑可以采用相加和相減模式，請問相作業：數字散斑可以采用相加和相減模式，請問相比而言相

25、減模式有什么優點？比而言相減模式有什么優點？數字散斑干涉 在數字散斑干涉中，物體變形前后的散斑圖通過采樣和量化變成數字圖像，通過處理可再現干涉條紋和相位分布。 數字方法基本原理和傳統方法相同，差別主要表現在：數字方式通過CCD記錄數字散斑圖，因此不需要顯影和定影等沖洗處理；通過CCD記錄的物體變形前后的數字散斑圖可以存儲在同一幀存中，也可以存儲在不同的幀存中，因此數字方法除了可以采樣相加模式外，還可以采樣相減模式。物體變形前后 的曝光記錄被獨立進行處理，通過相減就能去除直流分量，因此數字散斑干涉和數字散斑剪切干涉主要采樣相減模式，采樣相減模式不需要進行濾波即可以顯示干涉條紋。由于物體變形前后的

26、曝光記錄被獨立進行處理，因此相移技術能方便地應用在數字散斑干涉和數字剪切干涉，從而可以獲得連續相位分布。三、時間相移：三、時間相移：散斑干涉和散斑剪切干涉所記錄的是兩束相干光波相互干涉而形成的強度分布，相位分布信息則是通過干涉效應而編碼在強度分布信息中，因此通過干涉條紋圖所記錄的強度分布信息的解碼可以得到相位分布信息。干涉條紋表示相位等值線，即同一條紋中心線上各點具有相同的相位值，相鄰條紋中心線之間具有相同的相位差。傳統相位檢測需要進行條紋中心定位和條紋級數確定，以便得到干涉條紋圖上條紋中心所在位置各點的相位。傳統相位檢測往往會引起較大誤差，原因有二：一是強度極值位置未必就處在條紋中心線上；二

27、是通過插值才能確定相鄰條紋之間各點相位。為了彌補傳統相位檢測的不足之處，人們對相位檢測技術進行了廣泛研究，提出了各種相位檢測方法。在數字散斑中，常用相位檢測方法主要包括相移干涉法和傅立葉變換法。這些相位檢測方法不需要進行條紋中心定位和條紋級數確定，即可直接得到條紋干涉圖上所有各點的相位信息分布。散斑干涉目前在工程中應用得很廣泛。相移干涉法對相位信息直接進行測量，它是兩束相干光波中的一列光波（如參考光波）的相位發生變化，通過分析和處理采集的干涉條紋圖，即可獲得被測物體的相干信息。以相移干涉法為代表的相位檢測技術可以克服傳統的相位檢測方法的缺點。相移干涉法所具有的主要優點:能夠精確獲取干涉條紋圖上

28、的任意一點相位；低對比度的干涉條紋仍可得到有效測量結果；條紋少于一條仍可采用相移干涉進行測量。 按引入相移方式的不同，相移干涉分為時間相移干涉和空間相移干涉。時間相移干涉法是指在時間序列上采集圖像，在各幀圖像之間形成固定的相位差。空間相移干涉法是指在空間序列上采集圖像，在不同空間位置之間形成固定的相位差。時間相移裝置時間相移原理時間相移算法時間相移方法時間相移原理：在數字散斑干涉和數字散斑剪切干涉中，兩束相干光波相互干涉而形成的干涉條紋圖的強度分布可表示為:),(cos),(1),(),(0yxyxVyxIyxI的改變。是物體變形引起的相位),(yx時間相移方法:物體變形前(后)記錄一副散斑圖

29、,物體變形后(前)記錄多幅相移散斑圖,變形前后的散斑圖進行相減,得到相移干涉圖,然后計算包裹相位分布。以上是采用三步相移得到的三幅干涉圖，相移分別為0，pi/2，pi，由此可以得到包裹相位。物體變形前記錄四幅（以四步相移為例）相移散斑圖，則變形前的相移散斑圖的強度分布可表示為：2/3),(cos),(),(),(),(cos),(),(),(2/1),(cos),(),(),(),(cos),(),(),(4321yxyxByxAyxIyxyxByxAyxIyxyxByxAyxIyxyxByxAyxI物體變形后再記錄四副相移散斑圖，變形后的相移圖的強度分布為：2/3),(),(cos),(),

30、(),(),(),(cos),(),(),(2/1),(),(cos),(),(),(),(),(cos),(),(),(4321yxyxyxByxAyxIyxyxyxByxAyxIyxyxyxByxAyxIyxyxyxByxAyxI利用前面四副圖可以得到：3124arctan),(IIIIyx利用后面得到的四副圖可以得到：3124arctan),(),(IIIIyxyx于是，變形前后的隨機相位相減，可以得到變形包裹相位分布：31243124arctanarctan),(IIIIIIIIyx該方法不能得到干涉條紋，故不直觀。該方法得到的包裹相位范圍在pi , pi.四、相位展開四、相位展開:

31、:相位展開原理相位展開舉例散斑噪聲抑制噪聲抑制舉例采用相移技術，所得到的相位分布可表示為：),(),(arctan),(yxCyxSyx式中，（x,y)是位于pi/2 pi/2范圍的包裹相位。通過變換可擴展到02pi的范圍。作業：為什么說下面式子中得作業：為什么說下面式子中得到的相位是包裹相位？它的范到的相位是包裹相位？它的范圍是多少？其中圍是多少？其中 （x,yx,y) )是什么？是什么？如何進行相位展開？如何進行相位展開？)0),(, 0),(2),()0),(, 0),(2/3)0),(),()0),(, 0),(2/1)0),(, 0),(),(),(yxCyxSyxyxCyxSyxC

32、yxyxCyxSyxCyxSyxyx結果相位擴展后得到的相位仍然是包裹相位，由此要得到連續相位分布則需要進行相位展開。利用二維相位展開算法，如果相鄰像素之間的相位差達到或超過pi，則通過增加或減少2pi的整數倍相位，就可以消除相位的不連續性。展開相位可表示為：),(2),(),(yxnyxyxu散斑噪聲擬制：散斑干涉條紋圖往往存在噪聲，由此在進行相位計算之前，需要進行噪聲抑制或消除。由于空域平滑濾波和頻域低通濾波具有抑制或消除高頻噪聲的作用，由此這兩種濾波技術廣泛應用于數字散斑。空域平滑濾波：空域平滑濾波就是在空域對圖像中的各個像素點的灰度值進行平滑處理，空域平滑濾波包括均值濾波和中值濾波。均

33、值濾波：用一個具有奇數個點的滑動窗口在圖像上滑動，將窗口中心點對應的圖像像素點的灰度值用窗口內的各個點的灰度值的平均值替代。中值濾波：用領域中灰度的中值替代圖像的當前點。均值濾波會使得邊緣模糊，而中值濾波能較好的保護好邊緣。頻域低通濾波：把圖像從空域變換到頻域，在頻域對圖像進行低通濾波，然后再進行反變換，得到處理后的圖像。 對圖像進行傅立葉變換、余弦變換或小波變換可以得到頻譜分布。物體變形信息對應頻譜的低頻分量，而噪聲則對應于頻譜的高頻分量，由此通過濾高頻分量就可抑制或消除噪聲。上面是三步相移得到的三幅散斑圖。如果不用均值濾波，解包裹是得不到包裹相位的，得到的是亂線。均值濾波中值濾波傅立葉變換理想低通濾波余弦變換理想低通濾波小波變換低通濾波五、數字散斑干涉面內位移測量離面位移