1、1半導體工廠超純水簡報Mark22/Jul./20142總流程3原水1.自來水由原水泵將水抽至CUB(中央動力廠房)。CUB是半導體工廠的心臟，制程用的水電空調化學品等一般都是從這里輸出。運行參數運行參數：原水一般水量為195m/h，最大水量為250m/h，水壓3bar。4多介質過濾器(MMF/砂濾）1.原水加10%NaOCl后通過熱交換器再次加10%PAC后進入多介質過濾器。2.桶內裝填石英砂和無煙煤。3.配有風機，定期反洗。用途用途：主要去除不能溶解的懸浮顆粒和膠體雜物。運行參數運行參數：產水量最大為250m/h，壓力1.5bar，溫度20-20。5玻璃鋼水箱(FRP水箱)1.過濾水回收至

2、玻璃鋼水箱。2.過濾水箱前有兩組泵（每組兩臺），一組用于反清洗，一組用于給ACF活性炭過濾器供水。3.桶身直徑5m，桶高5m。運行參數運行參數：出口壓力為7bar，溫度為20-30。邁博瑞生物膜技術南通有限公司邁博瑞生物膜技術南通有限公司6活性炭過濾器(ACF/碳濾）1.三支，內部填充顆粒活性炭。2.此段過濾器分為正洗與反洗，正反洗水都回收至廢水池，產水為過濾水。用途用途：再次處理水中不能溶解的懸浮顆粒和膠體雜物。運行參數運行參數：產水量為200-260m/h，出口壓力為6bar，溫度20-30。7陰陽離子交換床1.ACF出水先經過CIX（陰離子桶）加HCl，后AIX（陰離子桶）加NaOH處理

3、，CIX和AIX 可以單獨運行。用途用途：處理水中的陰陽離子。2.沖洗水進入過濾水箱，再生水進入廢水池，出水為去離子水。運行參數運行參數：產水量為207m/h，壓力為3bar，溫度為20-30。8保安過濾器(SFL)1.去離子水加30%NaOH后進入保安過濾器。2.產水為去離子水。用途用途：微濾過濾器保護后端RO膜，不達標的水質和頻繁清洗都會影響RO膜的壽命、提升成本。運行參數運行參數：280m/h，出口壓力2.6bar，溫度21-30。9反滲透過濾膜（RO膜）1.RO是前段水處理的核心。2.達標產水進入RO水箱，不達標產水進入過濾水箱，濃水進入廢水池。3.產水為反滲透水。運行參數運行參數：產

4、水水量為248m/h，出水壓力為2bar，溫度為21-30；濃水水量為18m/h，出水壓力為2bar，溫度為24-30。10RO水箱1.水箱采用玻璃鋼材質，并使用氮氣密封。2.RO水箱有三組水泵輸出 ，一組UV供水，一組陰陽離子交換床沖洗水，一組冷凝設備供水。運行參數運行參數：產水水量為185m/h，出口為6bar，溫度21-30。邁博瑞生物膜技術南通有限公司邁博瑞生物膜技術南通有限公司11紫外線殺菌設備（UV裝置）1.兩組，一用一備，單組使用44跟紫外燈管。2.出水為反滲透產水。用途用途：殺滅水中的微生物，降低有機物含量。運行參數運行參數：產水水量為185m/h，出水壓力為5.5bar，操作

5、溫度26。12初級混床（MBX混床）1.內裝陰離子樹脂和陽離子樹脂。用途用途：全面去除水中的陰陽離子，電阻率由4m/cm提升至17-18m/cm。2.定期對混床進行再生，使用HCl和NaOH。3.再生水進入廢水池，沖洗水進入過濾水箱，產水為純水。運行參數運行參數：產水量為185m/h，出口壓力為4bar，溫度23-30。13脫氣膜(MD)1.由兩臺真空泵和12支膜殼組成。2.水由上向下流出，氣體由下向上抽出，主要氣體為CO2和N2。3.出水為純水進入純水箱。運行參數運行參數：產水水量為180m/h，出口水壓為1.5bar，溫度為21-30。邁博瑞生物膜技術南通有限公司邁博瑞生物膜技術南通有限公

6、司14純水水箱1.玻璃鋼材質，內襯PP，氮封。2.有一組泵輸出，輸出水為純水。運行參數運行參數：產水水量為230m/h，出口水壓為8.5bar，溫度為22-30。15冷交換器1.純水進入交換器，溫度降低為5。2.出水為純水，進入UV裝置。運行參數運行參數：產水水量為230m/h，出口水壓為7.5bar。邁博瑞生物膜技術南通有限公司邁博瑞生物膜技術南通有限公司16UV裝置1.三組紫外線殺菌裝置，每組44根燈管。2.出水為純水進入增壓泵。3.運行在恒溫5環境中。用途用途：再次殺滅水中細菌，降低有機物含量。運行參數運行參數：產水量為230m/h，出水水壓7.5bar。17拋光混床（MBP）1.樹脂為一次性，使用完后不需要再生。2.出水為超純水，進入超濾裝置。用途用途：進一步降低水中的陰陽離子含量，提高電導率至18m/cm以上。運行參數運行參數：產水量為190m/h，出水水壓為9bar，回純水箱10m/h，水壓3bar。18超濾（UF）1.分兩組，拋光混床出水分兩路，一路直接進入超濾，另一路通過熱交換將水溫提升至65-75再進入超濾。2.產水送至潔