1、精選優質文檔-傾情為你奉上實驗報告學院： 專業： 班級：姓名學號實驗組實驗時間10/5/12指導教師成績實驗項目名稱掃描電鏡實驗目的1） 結合掃描電鏡實物，介紹其基本結構和工作原理，加深對掃描電鏡結構及原理的了解。2） 選用合適的樣品，通過對樣品形貌襯度和原子序數襯度的觀察，了解掃描電鏡圖像襯度原理及其應用。實驗要求1） 簡述掃描電鏡的基本結構及特點。2） 舉例說明掃描電鏡表明形貌襯度和原子序數襯度的應用。實驗原理在掃描電鏡中，成象的信息主要是電子信息，根據近代的電子工業技術水平，即使高速變化的電子信息，也能毫不困難的及時接收、處理和儲存，故可進行一些動態過程的觀察，如果在樣品室內裝有加熱、冷

2、卻、彎曲、拉伸和離子刻蝕等附件，則可以通過電視裝置，觀察相變、斷烈等動態的變化過程。用掃描電鏡觀察厚塊試樣更有利，更能得到真實的試樣表面資料。掃描電鏡主要有真空系統，電子束系統以及成像系統。系統主要包括和真空柱兩部分。電子束系統由和電磁透鏡兩部分組成，主要用于產生一束能量分布極窄的、電子能量確定的電子束用以掃描成象。電磁透鏡：熱發射電子需要電磁透鏡來成束，所以在用熱發射電子槍的掃描電鏡上，電磁透鏡必不可少。通常會裝配兩組：匯聚透鏡、物鏡（物鏡為真空柱中最下方的一個電磁透鏡，它負責將電子束的焦點匯聚到樣品表）。電子經過一系列電磁透鏡成束后，打到樣品上與樣品相互作用，會產生次級電子、背散射電子、歐

3、革電子以及X射線等一系列信號。所以需要不同的探測器譬如次級電子探測器、X射線能譜分析儀等來區分這些信號以獲得所需要的信息。工作原理：右圖是掃描電鏡的原理示意圖。由最上邊電子槍發射出來的電子束，經柵極聚 掃描電鏡原理示意圖焦后，在加速電壓作用下，經過二至三個電磁透鏡所組成的電子光學系統，電子束會聚成一個細的電子束聚焦在樣品表面。在末級透鏡上邊裝有掃描線圈，在它的作用下使電子束在樣品表面掃描。由于高能電子束與樣品物質的交互作用，結果產生了各種信息：二次電子、背反射電子、吸收電子、X射線、俄歇電子、陰極發光和透射電子等。這些信號被相應的接收器接收，經放大后送到顯像管的柵極上，調制顯像管的亮度。由于經過掃描線圈上的電流是與顯像管相應的亮度一一對應，也就是說，電子束打到樣品上一點時，在上就出現一個亮點。掃描電鏡就是這樣采用逐點成像的方法，把樣品表面不同的特征，按順序，成比例地轉換為視頻信號，完成一幀圖像，從而使我們在熒光屏上觀察到樣品表面的各種特征圖像。實驗儀器電子掃描顯微鏡、試樣、導電膠實驗步驟一、 制作好試樣、打開電子掃描電鏡二、 用導電膠固定試樣在載物臺上三、 放好試樣后，抽真空，調整試樣的距離、掃描的襯度和最佳倍數四、 選擇不同倍數，照像實驗數據實驗總結可以不同程度的看到試樣的外觀形貌和表面組織，對斷裂的不同區域可以看清楚。纖維區、放射區、瞬斷區三個區域中，放射區占得