1、特氣系統日常維護記錄表文件編號：JSDG-04-09-712-A維護時間維護人員維護措施記錄在舁廳P維護簡要步驟及數據規范數據和狀態記錄異常情況處理記錄1檢查氣柜排風系統，調整風量到30-50Pa2檢查放空N2的流量，調整為0.25-0.35M3/H3檢查CDAE力，調整至ij70-90PSI4檢查氣柜系統壓縮空氣、N2接頭是否完好，如損壞漏氣需更換5檢查房門過濾網能否保持空氣流通通暢，否則清洗或更換6對氣柜盤面閥件、管路、鋼瓶接頭、管路接頭進行檢查有無銹蝕、穿孔現象7用相應毒性、易燃易爆氣體檢測儀對氣柜盤面管路接頭處進行檢測，后無泄漏8檢查緊急關斷是否能正常工作9檢查特氣房內是否為負壓。若不

2、是進行調整10打掃特氣系統衛生1112更換備件記錄在舁廳P料品名稱數量123說明：維護到其他項目時加在“維護簡要步驟及數據規范”并記錄審核人:審核時間:氣柜氣體由口壓力停供和復供前記錄表文件編號：JSDG-04-09-713-A氣柜名稱氣體名稱輸出壓力規范氣體停產前一次壓力（PSD氣體復產前一次壓力（PSDHCL-1HCL35-45PSIHCL-2HCL35-45PSICL2CL225-35PSINF3NF340-55PSIHBrHBrr35-45PSINH3-1NH345-60PSINH3-2NH340-50PSISIH4-1SIH440-55PSISIH4-2SIH440-55PSI15%

3、PH3/SIH4-115%PH3/SIH440-55PSI15%PH3/SIH4-215%PH3/SIH440-55PSIBCL3-1BCL34-8PSIBCL3-2BCL34-8PSISIH2CL2SIH2CL24-8PSIAr-1Ar60-80PSIAr-2Ar45-65PSIHe-1He65-80PSIHe-2He55-70PSIN2ON2O50-65PSISF6-1SF645-55PSISF6-2SF645-55PSICO2CO240-50PSIC2F6-1C2F640-60PSIC2F6-2C2F655-70PSICHF3CHF340-55PSICF4CF440-60PSI記錄人記錄

4、時間:審核人:審核時間:VMB/VM汽體由口壓力停供和復供前記錄表文件編號JSDG-04-09-714-A在耳J丁PVMB/VMP序號氣體名稱輸出壓力規范(PSI)氣體停產前壓力(PSI)氣體復產前壓力(PSD1VMP01He15-252VMP02Ar25-353VMP03C2F620-304VMP04SF620-305VMP05CHF315-256VMP06SF625-357VMP07CF425-308VMP08CF425-309VMP09He25-3010VMP10C2F625-3511VMP11N2O35-4512VMP12Ar10-2013VMB01CL210-2014VMB02HBr

5、20-3015VMB03NF325-3516VMB04NH325-3517VMB05SIH425-3518VMB0615%PH3/SIH425-3519VMB07HCL15-2520VMB08NH320-3021VMB09HCL15-2522VMB1015%PH3/SIH420-3023VMB11SIH420-30記錄人:記錄時間:審核人:審核時間:氣柜/盤面保壓檢查表文件編號：JSDG-04-09-715-A序號氣柜/盆卸名稱氣體名稱保壓壓力檢查壓力1234567891011121HCL-1HCL/2HCL-2HCL/3CL2CL2/4NF3NF3/5HBrHBrr/6NH3-1NH3/7N

6、H3-2NH3/8SIH4-1SIH4/9SIH4-2SIH4/1015%PH3/SIH4-115%PH3/SIH4/1115%PH3/SIH4-215%PH3/SIH4/12BCL3-1BCL3/13BCL3-2BCL3/14SIH2CL2SIH2CL2/15Ar-1Ar/16Ar-2Ar/17He-1He/18He-2He/19N2ON2O/20SF6-1SF6/21SF6-2SF6/22CO2CO2/23C2F6-1C2F6/24C2F6-2C2F6/25CHF3CHF3/26CF4CF4/記錄人審核人：審核時間:氣柜/盤面至VMB/VM睇壓檢查表文件編號：JSDG-04-09-716-

7、A在舁廳PVMB/VMP號氣體名稱保壓壓力檢查壓力1234567891011121VMP01He/2VMP02Arr/3VMP03C2F6/4VMP04SF6r/1/1/r/5VMP05CHF3/6VMP06SF6r/1/1/r/7VMP07CF4/8VMP08CF4/9VMP09He/10VMP10C2F6/11VMP11N2O/12VMP12Arr/1/1/r/13VMB01CL2/14VMB02HBr/n/15VMB03NF3/16VMB04NH3/17VMB05SIH4/18VMB0615%PH3/SIH4/19VMB07HCL/20VMB08NH3/21VMB09HCL/22VMB1

8、015%PH3/SIH4/23VMB11SIH4/t已錄入審核人:審核時間:VMB/VM睡設備端保壓檢查表文件編號：JSDG-04-09-717-A在耳J丁PVMB/%號氣體名稱對應設備保壓壓力檢查壓力12345678910111VMP01He6520、LAM-2、903E-1/-2、903-1/2VMP02Ar6520、LAM-1/-2/3VMP03C2F6903E-1/-2/-3、903-1/4VMP04SF66520/5VMP05CHF3LAM-1/-2、903E-1/-2/-3、903-1、1611-1/-2/-3/6VMP06SF6901E-1/-2、1611-1/-2/-3/7VMP07CF46520、LAM-1/-2/8VMP08CF41611-1/-2/-3/9VMP09He403-1、LAM-1、903E-3/10VMP10C2F6NOV-1/-2/-3/11VMP11N2ONOV-1/-2/-3、B爐/12VMP12ArMRC-1/-2、3180/13VMB01CL21611-1/-2/-3、6520/14VMB02HBr1611-1/-2/-3、6520/15VMB03NF3403-1、LAM-1/-2/16VMB04NH3NOV-1/-2/-3/17VMB05SIH4NOV-1/