1、附件C無塵室管制方案一、工業用無塵室管理需求無塵室的建設工程除了控制污染的重大目的外，還必須達成一般空調設備需要的室內環境所無可比擬的嚴格要求。其要素為溫濕度條件、氣流控制、噪音、振動對策等。另外，無塵室設備與制品的制造設備直接連結，直接影響制品的品質，因此必須提供能夠柔性對應控制制程相關設備 (局部排氣、生產冷卻水等) 或、注重品質、變更生產線 (除塵區域的擴大與縮小、熱源與諸設備的增強等) 的設備 (表1-1、表1-2)。半導體生產用無塵室所代表的工業用無塵室中，由于制造裝置的電氣使用量或排氣風量非常大，因此熱處理設備、送風設備、排氣處理設備極大型化且復雜化，是一般大樓空調設備容量的數倍

2、(圖1-1)。LCD (TPT) 工場0.70.93 kw/m2(600800 kcal/h、m2) 半導體工場1.162.32 kw/m2(10002000 kcal/h、m2)圖1-1 無塵室工場的熱負荷比率與概略模塊值熱負荷構造 (冷熱源) 表1-1 無塵室的要求品質 (256M、IG對應之無塵室規格值例)項 目部位對象規格值備考1.清凈度制成區域服務區域256Mbit1Gbit0.05m等級1(JIS等級1以下)0.05m等級0.1(JIS規定范圍外)0.1m等級1000(JIS等級4)參考半導體工場道路圖S1：T.T.#94062428 B-TRLaser Particle Coun

3、terCNC Counter并用2.溫濕度制成區域服務區域溫度濕度溫度濕度230.5(空間分布) 230.2(時間變動)453232455Photo AreaS1：無規定S1：無規定3.氣流制成區域服務區域形狀速度傾斜角形狀一方向流0.3m/s (-10%20%)14度非一方向流S1：9,37N./s12%施工調整上8度以下(絹系#80之測定值)4.過濾ULPA0.1M粒子99.9999%以上(風速：0.35m/s)測試粒子使用二氧化硅粒子5.噪音全域65Db(A)以下(無設置消音材時)6.振動振域0.2并且0.2Gal(1100Hz(p-p)(暫定標準1G)7.靜電地皮面漏電抵抗105109

4、奧姆(末規定Wafer上之靜電壓)8.磁場交流磁場變動值1mG以下1mG(gauss)=0.1uT(tesla)S2：N. T. R. S. 0.5mG以下9.分子狀污染物質Photolithograph氧化形成接觸胺有機物dopant酸dopant酸有機物1.0ppb以下(Wafer環境)1.0ppb0.1ppt0.18ppb1.0ppb5ppt2ppbS3：T. T. #95052812 A-TR注 S1：Technology Transfer 9406428 B-TR (SEMATECH) S2：THE NATIONAL TECHNOLOGY ROADMAP FOR SEMICONDUC

5、TORS(SIA) S3：Technology Transfer 95052812 A-TR(SEMATECH)表1-2 無塵室建設要求事項高機能高品質Quality 室內環境(溫度、濕度、氣流等) Flexibility 高清靜空間(Particle/Chemical Free)經濟性Cost 基本成本 運轉成本 維修成本安全性Safety Fare Safe 預防二次災害 防震、耐震對策環境安全Environment 資源回收之推進 節約能源 地球環境保全(臭氧層破壞，ISO)保守管理Maintenance 構筑免維修系統 機器簡易操作配置短工期Derive 采用機械化工法 單元化、模塊化

6、下省力化工法之推進基于以上各點，無塵室的施工管理不只在于管理無塵室中細微塵埃，更要同時以基礎技術檢討解決大量化設備機器、輸送管、配管所造成的應力、伸縮、膨脹等構造上問題或接續方法、支撐方法等施工面考慮或建筑構造引發的振動、噪音、Ceiling等各種問題。一般來說，在最后的試運轉調整階段后才能開始評估無塵室整體性能，因此此時所浮現施工粗糙、檢討不足所引起的各種問題，須投入大量相關人員解決改善以符合需求條件。為了避免后期引發此類無謂的浪費，前期的施工管理顯得尤為重要，如表13、表14所示。表13 無塵室工事施工之注意要點特 記 事 項留 意 點1)減少輸送管之外漏。合適的Seal劑 開發輸送管的施

7、工法。接口、調節閥等之氣密性2)選定內裝、修飾方法，須滿足無塵室之條件。須不易堆積垃圾。須方便清掃。經過長時間后也不會成為發塵源。須不易腐蝕。污染物須不致從排水口、下水道口入侵3)送風量、熱源容量較大時。必須有防振動、噪音對策。須檢討針對大量工事量之施工材料4)須有高精確溫濕度、部份必要潔凈度。氣流形狀之確認。換氣回數（適當地）之設定。照明、生產機械之配置5)濾網安裝時間上注意重點。須不使破損。勿弄臟HEPA濾網下流處6) Air Balance(差壓的維持)為重點。無塵室及周圍污染部之隔間不致外泄。確定電氣、衛生配管、設備管路貫通孔之封閉管理人員。排氣多，設計變更多。無管部份多Return用

8、地下Free Access HEPA吹出用Plenum Chamber。重要地點安裝差壓計外氣濾網、HEPA濾網需要差壓之空間中。天花板中不加壓7)工事完成后發生變更、修改工事情形。確保制造裝置大型機材移動出入道。排氣輸送管，設備配管以便利接續方式配置。維修基地、進入辨法在施工時先決定8)生化實驗室中進行消毒、滅菌。瓦斯熏蒸時，須有不外漏至鄰接處內裝及管路構造。是否可單獨滅菌之隔間。洗凈消毒內裝面時，須有完全之漏水防止及排水（Return Grill、吹出口等）9)在作業中之工場內施工。細心假設及小心養護下方有高價之制造生產線。研究不使用火氣之施工法。執行完全之作業管理守秘義務、香煙、破損等1

9、0)一般短工期。確認工程表中對各業種之施工順序與他業種在同一工場時。工場制作品為主體時根據施工圖之確認及早期配置11)使用危險化學藥品或瓦斯之制造工程較多。所選用之材料是否為合適之耐久材、內裝材。針對危險的瓦斯作配管材料的選定及施工方法的檢討（輸送管亦同）。確認緊急時之排氣、警報、避難方法12)無法忍受振動之制造工程。半導體工場之蝕刻工程，特別對露光裝置須有高度之除震對策。光學檢查、測定器、顯微鏡作業等13)工事各階段中必須有之特別污染防治對策。輸送管端口之養護。管線活門之清掃、管理。針對易揚塵作業之對策表14 無塵室建設之要求事項清凈度開口端、尾端疏于養護導至塵埃附著 (輸送管尾端、供給單元

10、開口等)濾網安裝不良，因此破損外泄氣體供給輸送管系統因封閉不良引起外泄 (Frunge、Revet、Packing等)地下Return Plenum因氣流障礙導致橫流、上吹現象錯誤選定無塵室中機材 (劣化、磨損、靜電等)室壓調整不良所引起之壓力逆轉現象系統壓力損失過大所引起之風向不足噪音振動輸送管、管線因支撐不良所引起之振動傳播輸送管內因風速、合流、分岐不良引起之振動、氣穴現象不合適或選擇不當之振震機材 (共振、笛音、振動傳播等)急擴大、急縮小所產生水切音、風切音、動脈音溫度濕度選擇不合適控制方法所引起的變形(蒸氣、冷水)由Sensor安裝位置不良所引起之誤指示、誤動作供給Plenum、回流P

11、lenum內封閉不良 (外氣流入所引起濕度異常等)氣流壓力供給Plenum等因形狀不良引起過大動能壓力感應器安裝位置不良(耐末壓力不足、風量不足)室內氣流偏流、橫流(吹出口、吸入口不良)室內壓異常所引起之內裝材破損(差壓Damper不良等)BCR相關福爾馬林熏蒸臭氣外泄 (輸送管系統、輸送管系統施工不良(seal)等)交差污染導致對實驗動物之惡影響 (不合適之室內壓、氣流、相關支持等)二、施工管理階段與管理項目(1) 無塵室施工管理要點 無塵室施工管理項目中最重要項目為微塵污染防止對策。施工時是否有采取有效污染防止對策將左右往后無塵室各作業或生產產品良率。特別是近年來，除粒子污染外更有擴大化的

12、化學污染問題，故施工階段的管理則更為重要。 為有效實施污染防止管理，對人，也就是包含施工管理者在內的施工者的教育及意識傳達不可或缺。在建設的基礎工事各階段，無塵室內部細部修飾階段、試運轉調整的全部工程中，須確實管理指導參與無塵室建設作業全員對污染防制形成一致概念。在進入無塵室建設區域時，以空氣噴槍從鞋上吹落紙屑、砂粒及統一作業用制服等雖為無塵室中不可或缺的清潔作業，但如能提高作業者的防污染意識則為很有效的手段。無塵室施工管理流程如圖15所示。(2) 無塵室工事施工時的污染防止對策無塵室施工時的污染防止對策代表項目如下所示：輸送管、配管、機器、機材等開口端關閉保養或搬入時清掃防止無塵室因室內送風

13、加壓引起的塵埃入侵防止無塵室室內的空調引起作業員發汗去除搬入前室等配置時引起所搬入資材上附著的塵埃指定進入室內外鞋交換作業或作業服裝上述幾點，雖是施工時污染控制上非常重要的措施，但最重要的還是直接參與無塵室建設的作業人員及環境的管理對策。(3) 無塵室施工階段的管理要領無塵室建設各階段中對作業者之教育管理要領如下例解說。表15無塵室施工管理流程教育入場者，建立觀念勿攜帶臟污物品入內注意材料徹底清潔原則第一階段出入口規制4處重發塵作業終止配置區分(配置)第二階段出入口規制2處搬入材料捆包、清掃內部配置區分(配置)作業服統一第三階段出入口1處搬入處前路線潔凈浴專用服簡易潔凈襯杉 第四階段外調機運轉

14、噴氣浴搬入室潔凈浴專用服第五階段全體運轉主體施工時(1)勿帶入塵埃 材料適時知量地搬入，并隨時徹底清出無用的廢棄材料 規定材料倉儲地點、方法、設施(防止材料臟污，不曝露于風雨中)(2)迅速除去塵埃 作業終止時徹底清掃及整體清掃 施工區域內暫設廁所區域(3)無塵室中作業員進行教育訓練 12/12主體工事完工后(1) 勿帶入塵埃 限定外部入口數，換鞋用鞋柜、鞋的準備(2) 迅速清除塵埃，勿使其堆積 徹底清掃方法、清掃規則 清潔區域設置機材、鐵材的清掃，事前補修徹底(防止水分附著引起生銹)(3) 無塵室中作業員教育訓練實施 無塵室設施的說明(性能及機能) 清凈度、化學污染相關知識 確認無塵室中動線(

15、人、機材) 室內清掃要領 緊急避難方法、安全對策內裝修飾施工時(1) 人員進入不得帶入塵埃 地板涂布、長尺Sheet部入室規制及限制 無塵室入室用粘著墊的設置 無塵室內作業服的指定(2) 迅速清除塵埃，勿使堆積 中央清凈機的設置(3) 無塵室中作業員教育訓練教育內容補充 無塵服類穿脫及入場順序 無塵室內動線(人機材)的確認及攜入機材的清掃，作業方法的規制 緊急時避難方法、安全對策、作業順序(4) 外調機等本設機材、假設機材的無塵室內加壓及假設空調的實施(5) 防止塵埃侵入，防止人體發汗，半潔凈化作業之實施HEPA濾網安裝時(1) 不得帶入塵埃 作業服裝為穿無塵服、鞋、手套、面具(2) 迅速清除

16、塵埃，不得堆積 用無塵紙、托把使用純水擦拭內部構成部材(天花板橫梁、面板、進出樓層等)(2) 無塵室中作業員教育訓練，教育內容補充 入室者的限定及登記 作業場所、作業時間的事前進入許可申請 出入場管理，警備室的配置 發塵作業的限定及事前許可申請無塵室全體運轉(1) 不得帶入塵埃 無塵室內服裝的統一規制(客戶管理要領) 攜入機材、書籍薄(夾)板化(2) 迅速清除塵埃，勿使堆積 發塵作業區隔化 以中央清凈機隨時清掃(3) 無塵室中作業員教育訓練 作業安全、機材防護、確保性能維持、機密保持的再確認 更嚴格持有及攜入機材規則 入場者的事前登錄及平時識別表的明示以上，雖以塵埃及化學污染防止為主所提出的施

17、工階段管理項目，但除此之外，溫濕度、氣流、壓力等品質相關之管理也不可遺忘。三、完工前的施工管理與試運轉調整(1) 完工前的施工管理無塵室建設現場直至完工前，由許多業者、許多人員入場進行工作，因此，常有許多不熟悉現場規則，或工事經驗不足人員入場。并且，作業場所或時間，因為須配合其它相關工事或試運轉事前作業準備，機器的進入通道或作業員的入退室、室內動線就隨之頻繁變動了。換言之，完工前現場有許許多多造成事故、阻礙的潛在因素，而事故一旦發生就產生很大的影響，對往后等待進行的試運轉、生產線運轉有極大障礙。為防止阻礙、事故發生，須細心實行以下相關措施。A無塵室內作業的入場教育 以無塵室來說，具某程度運轉狀

18、態，且因制造裝置關連業者也在場，要求作業安全、機器保護、性能維持機密保持的確立。 機密保持再確認及教育 電氣、瓦斯、藥品等之危險性及阻礙發生時的應對教育 入場者事前登錄制度等的徹底執行B無塵室內作業規則 作業者、作業場所、作業時間的事前報告及許可制 入場者的Card管理及識別卡常備 無塵服、鞋的管理 入場、退場管理，警備員的配置 前室中以純水再清掃搬入物 機器運轉管理者的限定及職責 試運轉調整事項的明示及責任者的公布 緊急連絡時，指揮中心的確立(2) 試運轉前之確認及試運關于試運轉調整項目及實施時期如表16所示表1-6評價試驗項目層流形無塵室非層流形無塵室As-builtAt-restAs-builtAt-rest1濾網泄漏測試0 0 2清凈度000 3氣流速度及均勻性0根據協議 4氣流平行性0 5風量0 0 6溫濕度00007噪音0 0 8振動0根據協議0 9室壓0000試運轉前的最終確認事項及試運轉調整的順序如圖13所示。此外，試運轉調整時之阻礙及其原因、對應方法則如表17所示。表17試運轉調整時的事故、原因、對策事故的現象原因對策無塵室內墻破損1.室內給排氣平衡異常2.排氣端未風管開放3.循環空調維修門開放4.送風端的運轉異常1.運轉前的確認，、操作部的固定等2.開放禁止標示3.實施計劃性的手動運轉程序（暫不采全自動化控制