1、靜電產品檢測規范 文件編號: 版 次: 頁 數: 9/9 1. 目的:1.1編擬本靜電防護外圍環境設施檢測辦法是要以一有系統之管制方式,以求達到本廠靜電防護設備之完善管理檢測系統.1.2避免經過長時間使用,防護設備或材料由于自然或人為之破壞以致喪失其ESD作用.2. 范圍: 適用于XX電子有限公司,保護ESD敏感性電子組件及產品所使用的所有相關材料.3.權責:3.1工程部:負責制訂靜電防護外圍設施材料檢測規范.3.2各相關部門:依循靜電防護外圍設施材料檢測辦法實施,及相關資料歸檔.4.參考文件:4.1 ANSI/EIA-625 4.2 ANSI/ESD S20.20-19995.定義及相關朮語

2、:5.1 ESD(Electrostatic Discharge):靜電放電 5.2 EOS(Electrical Over Stress):電壓過應力5.3 CGP(Common Ground Point)共同接地點5.4 EPA(ESD Protected Area)靜電防護區6 流程圖: 6.1 無.7 內容7.1.導電地板測試Floor Materials test spec: Resistance to Ground point : 104 106Resistance top to top :104 106測試儀器:數顯式雙錘表面阻抗測試器(測試電壓:10V) 7.1.1測試方法7.

3、1.1.1將表面阻抗測試儀撥至10伏檔位.7.1.1.2用潮濕的抹布將地面和雙錘擦拭干凈.7.1.1.3連接表面阻抗測試儀,分別將雙錘放在地板上或一端放在地板上另一端接接地測試點.(注意兩測試點的距離不可超過90cm)7.1.1.4按住測試鍵(約3秒)后,讀取儀器上所顯示的數值.7.1.2作業規范7.1.2.1平均每1000平方英尺必須有壹個測試點.7.1.2.2地板檢測及清洗周期為每30天1次.7.1.2.3地板清洗時需先用洗地機將地板澈底洗干凈,再進行打臘將地板表面恢復原貌及光亮的最佳方式,打臘后的地板須經ESD檢測合格方可.7.2 ESD接地系統量測ESD Common Ground t

4、est spec: ESD Ground Resistance:R 10 測試儀器: MK-8406 數顯Ground System Monitor 7.2.1測試方法7.2.1.1插上電源,按下極性選擇開關,此時極性燈亮方可測試,否則表示接線極性錯誤.7.2.1.2開啟主機電源,此時屏幕顯示OPEN FAIL字樣,且有警報聲伴隨.7.2.1.3插入測試線,并將測試末端之鱷魚夾夾在欲測的接地在線.7.2.1.4警報聲隨即停止,此時屏幕顯示出測試值及OK字樣.7.2.2作業規范7.2.2.1生產線ESD工作站變更時,變更產線之部門應及時通知部門ESD負責人對其重新檢測;否則后果由變更部門負責.7

5、.2.2.2 ESD接地系統檢測周期為每30天1次.7.3 設備接地系統量測Device Ground test spec: Device Ground Resistance:R 10測試儀器: MK-8406 數顯Ground System Monitor 7.3.1測試方法7.3.1.1插上電源,按下極性選擇開關,此時極性燈亮方可測試,否則表示接線極性錯誤.7.3.1.2開啟主機電源,此時屏幕顯視OPEN FAIL字樣,且有警報聲伴隨.7.3.1.3插入測試線,并將測試末端之鱷魚夾夾在欲測試的機器外殼上7.3.1.4警報聲隨即停止,此時屏幕顯示出測試值及OK字樣.7.3.2作業規范 7.3

6、.2.1生產線的設備變更時,變更產線之部門應及時通知部門ESD負責人對其重新檢測;否則后果由變更部門負責.7.3.2.2 設備接地檢測周期為每30天1次.7.4 靜電衣帽測試Antistatic Smock test spec: Resistance Antistatic Smock top :106 109測試儀器: 數顯式雙錘表面阻抗測試器(測試電壓:100V)7.4.1測試方式7.4.1.1將表面阻抗測試儀撥之100伏檔位.7.4.1.2用潮濕的抹布將鉛錘擦拭干凈.7.4.1.3連接表面阻抗測試儀,將衣服展開平放于普通絕緣桌面上.7.4.1.4分別將雙錘放在衣服的兩個袖口除處(注意兩錘間

7、的距離保持在90cm內).7.4.1.5按住測試鍵(約3秒)后,讀取儀器上所顯示的數值.7.4.2驗收規范7.4.2.1靜電衣帽驗收標準值為106109.7.4.2.2靜電衣帽驗收量為5%(含100件內);驗收時出現0.5%不良時應及時給予判退貨.7.4.2.3在線作業員靜電衣檢測周期為每30天1次.7.5導電車測試 Conductive Racks Mats test spec: Resistance Conductive Racks Mats top :104 109測試儀器: 數顯式雙錘表面阻抗測試器(測試電壓:100V) 7.5.1 測試方式7.5.1.1將表面阻抗測試儀撥之100伏檔

8、位.7.5.1.2用潮濕的抹布將車子表面和鉛錘擦拭干凈.7.5.1.3連接表面阻抗測試儀,分別將雙錘一端放在車子上另一端放在導電地板上.(注意兩測試點的距離不可超過30cm)7.5.1.4按住測試鍵(約5秒)后,讀取儀器上所顯示的數值.7.5.2作業規范7.5.2.1導電車必須在規定的日期內按控管標簽準時檢測檢測,否則后果由使用部門負責. 7.5.2.2導電車的導電輪必須每30天清洗1次.7.5.2.3導電車檢測周期為每30天1次.7.6 導電桌墊測試Conductive Table test spec: Resistance Table top :106 109測試儀器: 數顯式雙錘表面阻抗

9、測試器(測試電壓:100V)7.6.1測試方法7.6.1.1將表面阻抗測試儀撥之100伏檔位.7.6.1.2用潮濕的抹布將桌墊表面和鉛錘擦拭干凈.7.6.1.3接表面阻抗測試儀,分別將雙錘放在桌墊上或一端放在桌墊上另一端接ESD接地點.(注意兩測試點的距離不可超過90cm)7.6.1.4按住測試鍵(約5秒)后,讀取儀器上所顯示的數值. 7.6.2作業規范7.6.2.1桌墊檢測周期為每個月1次.7.6.2.2導電桌墊必須經1M的電阻接地,且每日上班前要對其進行清潔.7.6.2.3工作臺或流水線之桌墊在2米內必須有一接地線接地.7.7 導電容器(料盒,導電箱)的測試 Antistatic Cont

10、ainer test spec:Resistance Container top :104 106測試儀器:簡易型表面阻抗測試儀7.7.1測試方法7.7.1.1用潮濕的抹布將待測物體擦拭干凈.7.7.1.2將表面阻抗測試儀放置與待測物體上(注意:測試儀背面導電軌要與被測物體充分接觸).7.7.1.3按下面板上的TEST鍵,讀取LED燈亮處所顯示的值.7.7.2作業規范7.7.2.1 所有物料在ESD防護區內必須做好靜電防護動作.(如:包裝或儲存時使用靜電屏蔽袋,翠盤,真空包裝袋,靜電泡棉;運輸時使用靜電箱,導電料盒,導電車;維修及作業時使用導電毛刷,防靜電溶劑瓶,導電鑷子,防靜電套板).7.7

11、.2.2 所有容易產生靜電的物料或絕緣材質必須使用離子風扇.7.8其它靜電產品的測試屏蔽袋: 109 1011 泡棉: 109 1011 輸送帶: 109 1011 毛刷: 104 106 鑷子: 104 106 溶劑瓶: 109 1011 手套: 106 109 瓦楞紙: 104 106測試儀器:簡易型表面阻抗測試儀7.8.1測試方法7.8.1.1用潮濕的抹布將待測物體擦拭干凈.7.8.1.2將表面阻抗測試儀放置待測物體上(注意:測試儀背面的導電軌要與被測物體充分接觸).7.8.1.3按下面板上的TEST鍵,讀取LED燈亮處所顯示的值.7.8.2作業規范7.8.2.1 ESD防護區外嚴禁使用

12、不防靜電和靜電放電物質來貯存(普通塑料袋,塑料盒,普通泡棉)所有容易產生靜電或靜電放電的物品(如:塑料袋,梳子)未經ESD人員確認嚴禁帶入ESD防護區內.7.8.2.2 ESD防護區外物料包裝或儲存時使用靜電屏蔽袋,真空包裝袋;運輸時使用靜電箱,導電料盒,導電車.7.9 各設備的EOS測試(烙鐵頭、輸送帶、屏幕接頭、電動起子) 7.9.1測試方法7.9.1.1取三用電表將指針播到AC250V以上檔位.7.9.1.2將紅棒接到待測設備外殼.7.9.1.3黑棒分別接觸電源接座的基準線孔、大地孔及ESD接地線.7.9.1.4得到三個數值,記錄于EOS檢查記錄表. 基準線大地孔 ESD接地線正常數值應

13、小5.5V(如果大于標準值既為漏電，原因是大地孔未接地)正常數值應小于0.3V正常數值應小于0.3V7.9.2作業規范7.9.2.1每日上班前各線全能員必須對其在線治工具及進行EOS檢測,并認真填寫記錄.7.9.2.2 領班在線檢測過程如有發現漏電時應及時反應給部門負責人.7.10靜電手環(腳環)檢驗. 7.10.1測試方法7.10.1.1將有線靜電環內部金屬片緊貼檢驗者手腕上,7.10.1.2靜電環鱷魚夾子與靜電儀夾子相交(手不要觸碰夾子相結處,以免測試不準確)7.10.1.3另一只手按下“PRESS HERE” 檢測結果如下:中間綠燈亮(GOOD)且有響聲： 靜電環回路檢測正常左邊紅燈亮(

14、HIGH)： 靜電環阻抗偏高右邊紅燈亮(LOW)： 靜電環阻抗偏低7.10.2 作業規范7.10.2.1靜電手環的佩戴和檢測時內部金屬片必須緊貼皮膚.7.10.2.2靜電環在作業當中嚴禁擅自借給他人使用.7.10.2.3每次檢測前,請先用800Kohm和10Mohm標準電阻件對其靜電環測試儀進行驗證.7.11導電鞋檢驗.7.11.1測試方法7.11.1.1先將兩腳站于踏板上,按下測試按鈕.7.11.1.2亮綠燈(PASS)時,表示導電鞋良好.7.11.1.3亮紅燈(HI-FAIL)或紅燈(LOW-FAIL)時,表示導電鞋不良應立即更換. HI FAIL: R35M PASS: 750KR35M LO FAIL:R750K7.11.2 作業規范7.11.2.1導電鞋檢測時,請勿將鞋子濕水,以免測試不準確.7.11.2.2所有人員(包括來賓)進入EPA生產車間時必須做導電鞋檢測,否則嚴禁入內.7.11.2.