1、文檔來源為：從網絡收集整理.word版本可編輯歡迎下載支持程序文件DoCume nt Gf PrGCedUre文件編號：QP-755-22版次：A/1第1頁共9頁靜電防護管理程序文件編號：QP-755-22文件版次：A/1牛效日期：2012-07-01文件受控印章：文件分發部門：總經理管理者代表業務部資材部研發部工程部品質部生產部人力資源部其他（）編制審核批準靜電防護管理程序文件編號：QP-755-22版次：A/1第2頁共9頁版次修改原因/修改內容生效日期批準人文件編號：QP-755-22靜電防護管理程序版次：A/1第3頁共9頁1.1.0目的防止靜電對靜電敏感器件造成早期損壞或縮短使用壽命；使

2、靜電放電防護工作具有較強的可操作性。2.0適用范圍從靜電敏感器件進貨到產品形成的全過程。3.0定義3.1靜電放電（ESD處于不同電位的兩個物體之間，由于直接接觸或者電場感應導致的電荷傳輸。3.2靜電敏感器件（ESDS）在常規處理、測試或運輸中可能會受到靜電場或者靜電放電損害的分 立器件、集成電路或組件。4.0職責4.1工程部確定靜電防護控制點、區域和控制要求；4.2倉庫負責靜電敏感器件的靜電防護，品質部負責靜電敏感器件檢驗時的靜電防護，生產車間負 責生產過程中的靜電防護；4.3電工負責對接地主干線的檢測和維護，一般每一年一次檢測（特殊情況可作調整）；各部門負 責本部門靜電地線與設備地線的檢驗和

3、維護；4.4工廠各車間日常點檢工作由生產車間指點人員進行，工程部、品質部、資材部由各部門指定 人員進行；4.5工程部負責ESD防護措施的抽檢抽查；每月一次。4.6靜電防護的控制點和區域組裝車間、包裝車間、電子料倉、組裝料倉；5.0靜電說明5.1靜電的發生及帶電，分子是由原子組成，原子是構成一切化學元素的最小微粒，由帶正電的原子核和帶負電的圍繞 原子核旋轉的電子組成。在正常狀況下，原子所帶的正負電荷相等，所以對外表現出電中性。但是 在某種條件下，當物質原子中的這種電平衡狀態被打破，丟失或獲得電子，物質即由電中性狀態改變為帶電狀態。丟失電子，則表現為帶正電；獲得電子，則表現為帶負電。這種物體表面所

4、帶過剩 或不足的相對靜止不動電荷，稱之為靜電。,這里主要講述與電子制程緊密相關的接觸起電、感應起電、剝離起電、摩擦起電；其它如：粉體帶電、液體靜電、氣體帶電、飛沫帶電、噴出帶電在此 不進行講述。,其間距小于2.5 ×10-8cm時在其間即發生電子的轉移界面文件編號：QP-755-22靜電防護管理程序版次：A/1第4頁共9頁 兩側出現大小相等，符號相反的兩種電荷；,在不同部位表面感應出不同符號的電荷；,在外力作用下突然分開，由于剝離的原因使物 體帶電；,熱使離子（電子）的活性增加，容易向其他物體轉移。,會由于靜電放電產生的瞬間沖擊電流流過人體某一部位而引起電擊。或者是原來不帶電的人體接

5、近一個帶電物體時，帶電物體對人 體放電而引起的電擊。次性擊穿、燒毀，產品在拿取、傳遞、作業時由于靜電放電造成的產品完全破壞，永久失效； 潛在性緩慢失效即靜電放電使產品造成毫無規律可循的潛在性失效，導致其可靠性下降。5.2絕緣體與導體,一般大于或等于1012。產生靜電時即使接地電荷也不會 泄放到大地，物體仍處于帶電狀態；如：普通塑料制品、乙烯等。,電荷具有良好的流動性，進行接地電荷會大量流向大地，造成大電流而損壞電子元器件或擊傷人體。5.3防靜電材料根據防靜電材料的導電性能，可分為靜電絕緣、耗散、導電、屏蔽四種。靜電絕緣材料：表面電阻率1012;靜電耗散材料：表面電阻率105-1011;靜電導電

6、材料：表面電阻率103-105;靜電屏蔽材料：表面電阻率V 103;5.4靜電發生源5.4.1人：人是最大的靜電發生源。人在作業過程中的任何操作都可能使人的皮膚、頭發、 衣服等帶上靜電。5.4.2環境：地板、工作臺面、儀器設備等都是靜電發生源。5.4.3材料：生產中的一些原材料、生產輔助材料、包裝材料等也可能是靜電發生源。文件編號：QP-755-22靜電防護管理程序版次：A/1 第5頁共9頁 表1常見物體的靜電發生序列序號材料序號材料1空氣12棉布2人手13鋼3兔毛14木材4玻璃15琥珀5云母16硬橡膠6頭發17鎳、銅7尼龍18黃銅、銀8羊毛19聚脂人造纖維9絲綢20聚乙烯10鋁21聚丙烯11

7、紙22聚氯乙烯5.5漏電測試工具如測試儀、電源等；由于使用 220V電進行供電，會產生對地的漏電；漏電電壓較 低，不會超出供電電壓；不會像靜電那樣具有幾千伏的電壓；但漏電電流較強，進行可靠設備 接地后要求漏電電壓小于IV。5.6電子元器件的靜電耐壓表2 一些器件類型的靜電敏感電壓值器件類型耐靜電放電電壓（V）器件類型耐靜電放電電壓（V）VMoS30-1800運算放電器190-2500MoSSEFT100-200JEFT140-1000PROM100STTL300-2500GaASFET100-300SCL680-1000CMOS250-2000DTL380-7000HMOS50-500肖特基二

8、極管300-3000E/DMOS200-1000雙極型晶體管380-7000ECL300-2500石英壓電晶體器件<10000靜電防護管理程序文件編號：QP-755-22 版 次：A/1第6頁共9頁6.0工廠防靜電對策6.1作業員手環；6.1.2組裝車間及包裝車間員工需配戴防靜電手環；工好的PCBA等）需配戴防靜電手環，當沒有靜電地線時應戴無繩靜電手環進行作業;,方可開始作業；,防靜電腕帶戴在不影響作業的一只手上；6.1.7 一定要使防靜電腕帶緊貼到手腕皮膚；不能戴在手套、衣袖上,防止將內部導線拉斷；6.2修理臺、組件加工、生產作業臺面。灰等變臟時會影響接觸效果，要清潔金屬接觸部位;9,

9、防止漏電損傷電子元器件；接地時直接接到設備地，電阻小于10。漏電電壓要求在 VaCV IV。,防止漏電損傷電子元器件；接地時需在電烙鐵與設備地之間接120K± 10%或 150K± 10%的電阻進行限流。漏電電壓要求在 VaCv 0.3V。,接地電阻V 10o6.3周轉箱用于PCBA半導體電子元器件、機芯周轉的周轉箱要求使用防靜電周轉箱或使用中性的紙箱進行周轉。防靜電周轉箱表面電阻要求在CA A1010 ;表面電壓V 150V。6.4防靜電袋、物料盒文件編號：QP-755-22 靜電防護管理程序版次R第7頁共9頁半導體元器件供應商供貨要求使用防靜電材料（一般使用防靜電的 聚

10、乙烯）包裝；防靜電袋的使用壽命和防靜電效果會隨時間而消失，原則上為一次性使用。對重復使用的防靜電袋要求在使 用前進行防靜電測試，合格后才能投入使用。測試標準表面電阻要求在1051011 ;表面電壓V150V。6.5治具、機架6.5.1通常情況要求測試機架使用防靜電材料進行制作，表面電阻要求在10510116.5.2如果使用一般不防靜電材料（如有機玻璃）制作，必須采取防靜電措施，如需在測試機 架上加防靜電膠皮或包錫箔紙并實施接地；或者噴防靜電液使其表面電阻達到1051011o6.6相對濕度：工廠要求相對濕度在 40%-70%6.7倉庫、車間在對靜電敏感器件做防塵處理時，要確保防塵膜不能直接和靜電

11、敏感器件接觸， 需先在靜電敏感器件上蓋上防靜電材料，然后再圍防塵膜。6.8地線6.9設備接地規則以接地的都必須接在后面，后面不能接地的則可以選擇左側或者前面）；連接儀器設備支線使用0.5mn2的黑線或AV線；7.0防靜電措施檢測7.1防靜電腕帶的檢測,同時將另一只不佩帶防靜電腕帶的手按在“ PRESS HERE上（靜電TESTERh的白色按鍵）；戴防靜電手環的手進行左右搖動 2-3 秒;,則表明佩帶防靜電腕帶良好；紅色“ LoW或“ HlGH指示燈亮,則表明所佩帶防靜電腕帶未戴好或有故障；如紅色與綠色燈交替閃爍表面防靜電腕帶未 戴好或接觸不良。7.1.4在測試中發現有故障的防靜電腕帶由作業員交

12、給拉長處理，并要求立即更換；7.2電烙鐵漏電測試在熱工作狀態下用萬用表測量烙鐵頭與電源地的阻抗在120K± 10%或 150 K ± 10%,AC電壓0.3V以下，記錄在烙鐵溫度點檢表；（萬用表一支表筆接設備地線，一支表筆接烙鐵上錫 面）o文件編號：QP-755-22 靜電防護管理程序版次：A/1第8頁共9頁7.3電批漏電測試在工作轉動狀態下用萬用表測量電批頭與電源地的阻抗V10 ,AC電壓1V以下；（萬用表一支表筆接設備地線，一支表筆接電批頭上）7.4測試儀器、機架漏電測試10,AC電壓1V以下;在工作狀態下用萬用表測量測試機架、測試儀器與電源地的阻抗V（萬用表一支表筆接

13、設備地線，一支表筆接測試儀器外殼、測試機架輸出端口地）8.0儀器使用說明8.1靜電手環測試儀使用前要先檢查儀器是否正常，簡易確認方法：將測試儀接地線與測試按壓片短路并按下，正常應顯示紅燈LOW直接按壓測試按壓片（測試儀接地線懸空不與任何物體接觸），正常應顯 示紅燈HIGH,9.0靜電的點檢及記錄8.2確認儀器正常后方可使用，使用時儀器接靜電地線，然后開始檢測。9.1防靜電手環9.1.1由各生產線指定專人每天進行點檢；同時將每個測試結果記錄在靜電手環點檢記錄 表中；,可在作業員與靜電手環金屬片接觸的皮膚處涂抹潤膚保濕霜，2小時涂一次；9.2電批、電烙鐵由各生產線指定專人每天進行點檢；同時將每個測

14、試結果記錄在電批扭力 與漏電測試記錄表、烙鐵溫度點檢表中；9.3儀器、設備、機架、治具由各生產線指定專人每周進行點檢；同時將每個測試結果記錄在 相應周點檢表中；9.4相對濕度指定專門的人員點檢，同時將每個測試結果記錄在溫濕度記錄表中；靜電防護管理程序文件編號：QP-755-22版次：A/1第9頁共9頁10.質量記錄10.1溫濕度記錄表10.2電批扭力與漏電測試記錄表10.3防靜電日常檢查表10.4設備地線與靜電地線間電阻點檢記錄10.5烙鐵溫度點檢表電批扭力點檢表10月度:電批編號:期扭機 力型12345678910111213141516171819202122232425262728293

15、031(KGF/CM)0.50.60.81.01.21.41.61.8備注：1、PE每天上班前或機型切換前根據作業指導書上的扭力進行確認并記錄；2、測試記錄用藍筆在對應的日期和扭力交接點畫圈點檢人:確認:FM-PD-O6-A/1溫濕度記錄表年月:日期溫度值濕度值記錄人備注記錄時間是每天下午14:00 （溫度15°C-35°C,濕度70% ±10%）。FM-PD-O7-A/111防靜電日常檢查表14生產線:201年 月 日序 號編號使用者H期 測試 記錄 時 間123456789101112131415161718192021222324252627282930311上午下午2上午下午3上午下午4上午下午5上午下午6上午下午7上午下午8上午下午9上午下午10上午下午11上午下午12上午下午備注：測試時靜電環的連接線要與測試儀連接線緊密連接，然后一手接觸靜電環金屬片，一手按住測試以金屬器，當綠燈且有“嘟”聲的響聲時表示 OK則打“”，若是紅燈亮表示 NG則打“X”。制表：確認：FM-PD-O3-A/1烙鐵溫度點檢表生產線:201年 月 日序 號編號溫度標準日期記錄 時