1、7.2 氣敏傳感器氣敏傳感器定義定義：是利用半導體氣敏元件同氣體接觸，造成半導體性質變化，借此來檢測特定氣體的成分或者測量其濃度的傳感器的總稱。檢測氣體中的特定成分（CO、CO2、甲醛、酒精、氧氣、氫氣等），將其變換成電信號輸出。應用場合應用場合：一般用于易燃、易爆、有毒、有害氣體的檢測和報警。 基本要求：1、對被測氣體有高的靈敏度。2、氣體選擇性好。3、能夠長期穩定工作。4、響應速度快。 一、氣敏傳感器一、一、 氣敏電阻的工作原理氣敏電阻的工作原理 氣敏電阻的材料是金屬氧化物, 在合成材料時, 通過化學計量比的偏離和雜質缺陷制成金屬氧化物半導體 金屬氧化物在常溫下是絕緣的, 制成半導體后卻顯

2、示氣敏特性，其導電率隨氣體的吸附而發生改變。 通常器件工作在空氣中, 空氣中的氧和NO2 這樣的電子兼容性大的氣體, 接受來自半導體材料的電子而吸附負電荷, 結果使N型半導體材料的表面空間電荷層區域的傳導電子減少, 使表面電導減小, 從而使器件處于高阻狀態。一旦元件與被測還原性氣體接觸, 就會與吸附的氧起反應, 將被氧束縛的電子釋放出來, 敏感膜表面電導增加, 使元件電阻減小。 該類氣敏元件通常工作在高溫狀態（200450）, 目的是為了加速上述的氧化還原反應。 例如, 用氧化錫制成的氣敏元件, 在常溫下吸附某種氣體后, 其電導率變化不大, 若保持這種氣體濃度不變, 該器件的電導率隨器件本身溫

3、度的升高而增加, 尤其在100300范圍內電導率變化很大。顯然, 半導體電導率的增加是由于多數載流子濃度增加的結果。 氧化錫、 氧化鋅材料氣敏元件輸出電壓與溫度的關系如圖所示。氣敏元件工作時需要本身的溫度比環境溫度高很多。氣敏元件輸出電壓與溫度的關系 因此, 氣敏元件結構上, 有電阻絲加熱, 結構如圖所示, 1和2是加熱電極, 3和4是氣敏電阻的一對電極。 氣敏元件的基本測量電路 電阻中氣敏電阻值的變化引起電路中電流的變化, 輸出電壓（信號電壓）由電阻Ro上取出。 因此, 常用來檢查可燃性氣體泄漏并報警等。 EH為加熱電源, EC為測量電源二、二、 電阻型氣敏器件電阻型氣敏器件 氣敏電阻元件種

4、類很多, 按制造工藝上分燒結型、薄膜型、厚膜型。 （1） 燒結型 將元件的電極和加熱器均埋在金屬氧化物氣敏材料中, 經加熱成型后低溫燒結而成。（2）薄膜型）薄膜型 在石英基片上蒸發或濺射一層半導體薄膜制成（厚度0.1 m以下） 。上下為輸出電極和加熱電極，中間為加熱器。（3）厚膜型）厚膜型 將金屬氧化物粉末、添加劑粘合劑等混合配成漿料，將漿料印刷到基片上，制成數十微米的厚膜。靈敏度、工藝性、機械強度和一致性等方面，厚膜氣敏元件較好。 以上三種氣敏器件都附有加熱器, 在實際應用時, 加熱器能使附著在測控部分上的油霧、塵埃等燒掉, 同時加速氣體氧化還原反應, 從而提高器件的靈敏度和響應速度。 燒結

5、型厚膜型薄膜型輸出極加熱電極輸出極加熱器金屬氧化物金屬氧化物氧化鋁基片半導體氧化物Pt電極加熱器加熱電極工作原理工作原理利用半導體材料與氣體相接觸時，材料電阻發生變化的效應來檢測氣體的成分或濃度。氣敏元件多采用SnO2、ZnO等。 SnO2、ZnO屬于N型半導體，工作時加熱。元件加熱到穩定狀態時，當有氣體吸附時，吸附分子在氣敏元件表面自由擴散，一部分分子蒸發，一部分分子固定在吸附處。 當吸附還原性氣體時，半導體的功函數大于吸附分子的離解能，吸附分子向半導體釋放電子成為正離子吸附。載流子數增加，半導體電阻率減少阻值降低。 當吸附氧化性氣體時，半導體的功函數小于吸附分子的電子親和力，吸附分子從半導體奪走電子成為負離子吸附。半導體載流子數減少，電阻率增大，阻值增大。三、三、 氣敏傳感器的應用氣敏傳感器的應用 實用酒精測試儀實用酒精測試儀 測試駕駛員醉酒的程度 。氣體傳感器選用二氧化錫氣敏元件。當氣體傳感器探測不到酒精時, 加在A5腳的電平為低電平; 當氣體傳感器探測到酒精時, 其內阻變低, 從而使A5腳電平變高。 A為顯示驅動器, 它共有10個輸出端, 每個輸出端可以驅動一個發光二極管, 顯示推動器A根據第5腳電壓高低來