1、真空泵選型真空泵的作用就是從真空室中抽除氣體分子，降低真空室的氣體壓力，使之達到 要求的真空度。概括地講從大氣到極高真空有一個很大的圍，至今為止還沒有一 種真空系統能覆蓋這個圍。因此，為達到不同產品的工藝指標、工作效率和設備 工作壽命要求、不同的真空區段需要選擇不同的真空系統配置。為達到最佳配置, 選擇真空系統時，應考慮下述各點：確定工作真空圍：一一首先必須檢查確定每一種工藝要求的真空度。因為每一種 工藝都有其適應的真空度圍，必須認真研究確定之。確定極限真空度一在確定了工藝要求的真空度的基礎上檢查真空泵系統的極限真空度，因為系 統的極限真空度決定了系統的最佳工作真空度。一般來講，系統的極限真空

2、度比 系統的工作真空度低20%,比前級泵的極限真空度低50機被抽氣體種類與抽氣量檢查確定工藝要求的抽氣種類與抽氣量。因為如果被抽氣體種類與泵 液體發生反應，泵系統將被污染。同時必須考慮確定合適的排氣時間與抽氣過程 中產生的氣體量。真空容積檢查確定達到要求的真空度所需要的時間、真空管道的流阻與泄漏。 考慮達到要求真空度后在一定工藝要求條件下維持真空需要的抽氣速率。主真空泵的選擇計算S=2.303V/tLog（Pl/P2）其中：S為真空泵抽氣速率（L/s）V為真空室容積（L）t為達到要求真空度所需時間（s）Pl為初始真空度(Torr)P2為要求真空度(Torr)例如:V=500Lt=30sPl=7

3、60TorrP2=50Torr則：S=2. 303V/t Log(Pl/P2)=2.303x500/30xLog(760/50)=35. 4L/s當然上式只是理論計算結果，還有若干變量因素未考慮進去，如管道 流阻、泄漏、過濾器的流阻、被抽氣體溫度等。實際上還應當將安全系數考慮在。 目前工業中應用最多的是水環式真空泵和旋片式真空泵等一般的要：1、真空度、真空容積、主要介質、溫度、主要容積類設備。2、真空流入介質及流量、壓力、溫度、規律。3、抽氣量、抽出氣體介質、溫度。4、真空設備的占地面積、自動化程度、真空管道規格選用真空泵時需要注意事項：1、真空泵的工作壓強應該滿足真空設備的極限真空及工作壓強

4、要求。如：真空 鍍膜要求1X10-5mmHg的真空度，選用的真空泵的真空度至少要5X 10-6mmHg。 通常選擇泵的真空度要高于真空設備真空度半個到一個數量級。2、正確地選擇真空泵的工作點。每種泵都有一定的工作壓強圍，如：擴散泵為 10-310-7mmHg,在這樣寬壓強圍，泵的抽速隨壓強而變化，其穩定的工作壓強 圍為5X 10-45X 10-6mmHg。因而，泵的工作點應該選在這個圍之，而不能讓它 在10-8mmHg下長期工作。又如鈦升華泵可以在10-2mmHg下工作，但其工作壓強 應小于1X10-5mmHg為好。3、真空泵在其工作壓強下，應能排走真空設備工藝過程中產生的全部氣體量。4、正確

5、地組合真空泵。由于真空泵有選擇性抽氣，因而，有時選用一種泵不能 滿足抽氣要求，需要幾種泵組合起來，互相補充才能滿足抽氣要求。如鈦升華泵 對氫有很高的抽速，但不能抽氮，而三極型濺射離子泵，（或二極型非對稱陰極 濺射離子泵）對氫有一定的抽速，兩者組合起來，便會使真空裝置得到較好的真 空度。另外，有的真空泵不能在大氣壓下工作，需要預真空；有的真空泵出口壓 強低于大氣壓，需要前級泵，故都需要把泵組合起來使用。5、真空設備對油污染的要求。若設備嚴格要求無油時，應該選各種無油泵，如: 水環泵、分子篩吸附泵、濺射離子泵、低溫泵等。如果要求不嚴格，可以選擇有 油泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、擋油阱

6、等，也能達到清潔真空 要求。6、了解被抽氣體成分，氣體中含不含可凝蒸氣，有無顆粒灰塵，有無腐蝕性等。 選擇真空泵時，需要知道氣體成分，針對被抽氣體選擇相應的泵。如果氣體中含 有蒸氣、顆粒、及腐蝕性氣體，應該考慮在泵的進氣口管路上安裝輔助設備，如 冷凝器、除塵器等。7、真空泵排出來的油蒸氣對環境的影響如何。如果環境不允許有污染，可以選 無油真空泵，或者把油蒸氣排到室外。8、真空泵工作時產生的振動對工藝過程及環境有無影響。若工藝過程不允許， 應選擇無振動的泵或者采取防振動措施。9、真空泵的價格、運轉及維修費用。這個化工手冊有公式的，可以去查下！ S=QRT/（P*M）S是抽氣率Q是系統漏氣量，放氣

7、量。T是溫度，P系統壓力M是系統氣體分子量！真空計算常用公式1、玻義爾定律體積V,壓強P, PV =常數（一定質量的氣體，當溫度不變時,氣體的壓強與氣體的體積成反比。即 P1/P2=V2/V1）2、蓋呂薩克定律當壓強P不變時，一定質量的氣體，其體積V與絕對溫度T成正比: （V1/V2=T1/T2 =常數）當壓強不變時，一定質量的氣體，溫度每升高（或P降低）1, 則它的體積比原來增加（或縮小）1/273。3、查理定律當氣體的體積V保持不變，一定質量的氣體，壓強P與其 他絕對溫度T成正比，即:P1/P2=T1/T2在一定的體積下，一定質量的氣體，溫度每升高（或 降低）1,它的壓強比原來增加（或減少

8、）1/273。4、平均*程：X =（5X10-3）/P （cm）5、抽速：S=dv/dt （升/秒）或 S=Q/PQ=流量（托*升/秒）P=壓強（托） V=體積（升）t =時間（秒）6、通導：C=Q/（P2-P1）（升/秒）7、真空抽氣時間：對于從大氣壓到1托抽氣時間計算式：t = 8V/S （經驗公式）（V為體積，S為抽氣速率，通常t在510分鐘選擇。）8、維持泵選擇：S維=5前/109、擴散泵抽速估算：S = 3D2 （D =直徑 cm）10、羅茨泵的前級抽速：S=（0.r0. 2）S 羅（1/s）1k漏率：Qift=V（P2-Pl）/（t2-tl）Q漏一系統漏率（mmHg1/s）V-系統

9、容積Pl 真空泵停止時系統中壓強（mmHg）P2真空室經過時間t后達到的壓強（mmHg）t 壓強從Pl升到P2經過的時間（s）12、粗抽泵的抽速選擇：S=Q1/P 預（1/s）S=2. 3V« lg（Pa/P 預）/tQ1 真空系統V真空系統Pa 一大氣壓值S 機械泵有效抽速漏氣率（托-升/秒）P預一需要達到的預真空度（托）容積（升）t 一達到P預時所需要的時間（托）13、前級泵抽速選擇：排氣口壓力低于一個大氣壓的傳輸泵如擴散泵、油增壓泵、 羅茨泵、渦輪分子泵等，它們工作時需要前級泵來維持其前級壓力低于臨界值， 選用的前級泵必須能將主泵的最大氣體量排走，根據管路中，各截面流量恒等的

10、原則有：PnSgPgS 或 Sg2Pgs/PnSg 前級泵的有效抽速（1/s）Pn 一主泵臨界前級壓強（最大排氣壓強）（1/s）Pg真空室最高工作壓強（托）S 主泵工作時在Pg時的有效抽速。（1/s）14、擴散泵抽速計算公式：S=Q/P=(K n)/(P- t)(升/秒)式中：S 一被試泵的抽氣速率（1/s）n 滴管油柱上升格數（格）t 一油柱上升n格所需要的時間（秒）P一在泵口附近測得的壓強（托）K一滴管系數（托 升/秒） K=VO （L/n） （YO/Ym） +PaAVt其中VO 滴管和真空膠管的原始容積（升）L一滴管刻度部分的長度（mm）n一滴管刻度部分的格數（格）Y0 一油的比重（克/

11、厘米3）Ym一汞的比重（克/厘米3）Pa當地大氣壓強（托）Vt 滴管的刻度上的一格的對應的容積（升/格）15、旋片真空泵的幾何抽速計算公式：S = n ZnLKv（D2-d2）/（24 X104） （1/s）式中：Z為旋片數，n為轉速（轉/分），L為泵腔長度，D為泵腔直徑, d為轉子直徑（cm）, Kv為容積利用系數（一般取95%）。16、0型橡膠槽深B = 0.7DD為橡膠直徑，槽寬C=1.6B17、方形橡膠槽深B=0.8AA 為方形橡膠邊長，槽寬 C = 1.67B選用真空泵時，需要注意下列事項：1、真空泵的工作壓強應該滿足真空設備的極限真空及工作壓強要求。如: 真空鍍膜要求1X10-5m

12、mHg的真空度，選用的真空泵的真空度至少要 5X10-6mmHgo通常選擇泵的真空度要高于真空設備真空度半個到一個數量級。2、正確地選擇真空泵的工作點。每種泵都有一定的工作壓強圍，如：擴 散泵為10-310-7mmHg,在這樣寬壓強圍，泵的抽速隨壓強而變化，其穩定的工 作壓強圍為5X 10-45X 10-6mmHg。因而，泵的工作點應該選在這個圍之，而不 能讓它在10-8mmHg下長期工作。又如鈦升華泵可以在10-2nimHg下工作，但其工 作壓強應小于1 X 10-5mmHg為好。3、真空泵在其工作壓強下，應能排走真空設備工藝過程中產生的全部氣 體量。4、正確地組合真空泵。由于真空泵有選擇性

13、抽氣，因而，有時選用一種 泵不能滿足抽氣要求，需要幾種泵組合起來，互相補充才能滿足抽氣要求。如鈦 升華泵對氫有很高的抽速，但不能抽氮，而三極型濺射離子泵，（或二極型非對 稱陰極濺射離子泵）對氫有一定的抽速，兩者組合起來，便會使真空裝置得到較 好的真空度。另外，有的真空泵不能在大氣壓下工作，需要預真空；有的真空泵 出口壓強低于大氣壓，需要前級泵，故都需要把泵組合起來使用。5、真空設備對油污染的要求。若設備嚴格要求無油時，應該選各種無油 泵，如：水環泵、分子篩吸附泵、濺射離子泵、低溫泵等。如果要求不嚴格，可 以選擇有油泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、擋油阱等，也能達到 清潔真空要求。6、

14、了解被抽氣體成分，氣體中含不含可凝蒸氣，有無顆粒灰塵，有無腐 蝕性等。選擇真空泵時，需要知道氣體成分，針對被抽氣體選擇相應的泵。如果 氣體中含有蒸氣、顆粒、及腐蝕性氣體，應該考慮在泵的進氣口管路上安裝輔助 設備，如冷凝器、除塵器等。7、真空泵排出來的油蒸氣對環境的影響如何。如果環境不允許有污染， 可以選無油真空泵，或者把油蒸氣排到室外。8、真空泵工作時產生的振動對工藝過程及環境有無影響。若工藝過程不 允許，應選擇無振動的泵或者采取防振動措施。9、真空泵的價格、運轉及維修費用。水環式真空泵的選擇一、泵類型的確定泵的類型主要由工作所需的氣量、真空度或排氣壓力而定。泵工作時，需要注意以下兩個方面：盡

15、可能要求在高效區，也就是在臨界真空度或臨界排氣壓力的區域運行。應避免在最大真空度或最大排氣壓力附近運行。在此區域運行，不僅效率極低， 而且工作很不穩定，易產生振動和噪音。對于真空度較高的真空泵而言，在此區 域之運行，往往還會發生汽蝕現象，產生這種現象的明顯標志是泵有噪音和振動。 汽蝕會導致泵體、葉輪等零件的損壞，以致泵無法工作。根據以上原則，當泵所需的真空度或氣體壓力不高時，可優先在單級泵中選 取。如果真空度或排氣壓力較高，單級泵往往不能滿足，或者，要求泵在較高真空度情況下仍有較大氣量，即要求性能曲線在較高真空度時較平坦，可選用兩級 泵。如果真空度要求在一710mmHg以上，可選用水環一大氣泵

16、或水環一羅茨真空 機組作為抽真空裝置。如果只作真空泵用，則選用單作用泵比較好。因為單作用泵的構造簡單，容 易制造和維護，且在高真空情況下抗汽蝕性好。如果僅作較大氣量的壓縮機使用，則選用雙作用的泵比較合適。因為雙作用泵的 氣量大，體積小，重量輕，徑向力能得到自動平衡，軸不容易產生疲勞斷裂，泵 的使用壽命較長。二、根據系統所需的氣量選擇真空泵初步選定了泵的類型之后，對于真空泵，還要根據系統所需的氣量來選用泵 的型號。關于真空泵的抽速選擇及抽氣時間計算可參照我公司網頁.面對各種型式的水環式真空泵及壓縮機，我們特將其各自特點收集如下，以利于用戶選型代號主要特點極限真空度mmHg工作真空度mmHg抽速圍

17、密封形式sk國設計單級水環真空泵，結構簡單、維修方便。目前國主流-700一300-6500.15120盤根、機械密封2sk國設計雙級水環真空泵，相當于兩臺SK水環泵串聯使用，比較單級水環泵具有真空度高及高真空下抽速較大的特點。目前國主流水環式真空-735-300-7001.530盤根、機械密封2BV采用西門子先進技術，機泵同軸，結構緊湊，效率高，真空度高，性能穩定，將逐漸替代SK、2SK系列0.46nl3/min抽速的水環真空 泵。-735-300-7000.458.33機械密封2BE1采用西門子先進技術，效率高，真空度高，性能穩定，將逐漸替代SK、2SK系列6120m3/min抽速的水環真空泵。-735-640-300-700-300-6005400盤根、機械密