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文檔簡介

1、探頭維修，維護與保養 以單探頭為例探頭維護與保養 以單探頭為例探頭真空連接電纜連接法蘭BNC接頭常見問題1 水溫不穩水溫不穩, 2 保養不良保養不良, 3 接地不良，接地不良，4 硬件故障硬件故障可造成下列現象1。ACTIVITY值低2。鍍膜速率不穩定3。晶片壽命短4。新晶片實效首先檢查冷卻水 保證冷卻水足夠流量，水溫正常檢測方法：測量探頭出水溫度，整個工藝過程中，水溫穩定，如果升高，則水量過小典型故障：重復性差探頭維護與保養 以單探頭為例標準單探頭結構探頭維護清潔該表面，不許有鍍膜殘渣清潔該表面，不許有鍍膜殘渣簧片調整陶瓷座簧腳調整為45度，陶瓷邊緣變黑后要更換簧片調整探頭維護與保養 卡簧0

2、07-007，4000次換片后要更換探頭維護與保養750-171-P1，4000次換片后要更換水管彎曲水氣管可以彎曲，但不能在根部折彎真空連接電纜接觸面由于高溫氧化造成 接觸不良，或安裝方式造成斷線檢測短路或斷路連接法蘭短路或斷路拆接檢查斷路或短路用萬用表測量圖示聯線電阻值，應1歐姆萬用表針一端測此簧腳萬用表另一端測此接頭內電纜芯震蕩包針腳短路造成元件擊穿XIU檢測DiagnosticsSource 1 Shutter Advance Crucible 1 Output 1 is setSource 2 Shutter Advance Crucible 2 Output 2 is clearSensor 1 Shutter Active XIU Test Output 3 is clearSensor 2 Shutter RS-232 Loopback Output 4 is clearPress TOGL to activate selected test.Press MENU to exit Diagno

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