1、潔凈室送風系統(tǒng)作者:日期:2潔凈室送風系統(tǒng)(1)集中送風方式 這種送風方式一般是數(shù)臺大型新風處理機組和凈化循環(huán)機組集中 設置在空調(diào)機房內(nèi)， 空調(diào)機組可位于潔凈室的側(cè)面或頂部。經(jīng)過溫濕度處理和過濾后的空氣由離心風機或軸流風機加壓后通過風道送入送風靜壓箱，再由高效空氣過濾器或超高效空氣過濾器過濾后送入潔凈室。 回風經(jīng)格柵地板系統(tǒng)， 流入回風靜壓箱再回到凈化循環(huán)系統(tǒng)，如此反復循環(huán)運行。集中送風方式的結(jié)構(gòu)形式如圖5-8和圖5-9所示。O100削鳳靜圧箭超高效專 i過謔器丄t席粗散消I昔5巾斶込述B于.8 ft中送風方式空調(diào)機在W面、軸濾鳳桃送鳳9 / 7二二二1 -1HI HBI I 11H I H

2、H I I I I I I H I II I I I II I U I Id ATII I I III I I I I®5占 集中送風方式(空調(diào)機在頂部)(2)隧道潔凈室送風方式這種送風方式一般將潔凈室劃分為生產(chǎn)核心區(qū)和維護區(qū)，生產(chǎn)核心區(qū)要求高潔凈度和嚴格的溫濕度控制，設在單向流送風區(qū)內(nèi)；維護區(qū)要求較低，設置在生產(chǎn)輔助設備或無潔凈要求的生產(chǎn)設備的尾部或配管配線等。生產(chǎn)區(qū)為送風區(qū)，維護區(qū)為回風區(qū)，構(gòu)成空氣循環(huán)系統(tǒng)。一般隧道式送風是由多個空氣循環(huán)系統(tǒng)組成，所以其中一臺循環(huán)機組出現(xiàn)故障不會影響其他區(qū)域生產(chǎn)環(huán)境的潔凈度，并且各個循環(huán)系統(tǒng)可根據(jù)生產(chǎn)需要進行分區(qū)調(diào)控。隧道送風方式結(jié)構(gòu)形式如圖5-

3、10所示。彷化箱環(huán)現(xiàn)rnR三三牛嚴區(qū)/ri-n w圖5-KI St道送鳳方式結(jié)構(gòu)抵式H J IT 送鳳靜箱【叫戲辭圧箱FFU）機組，F(xiàn)FU送到潔凈一般在回風夾處理后的新風直接送人送風靜壓。因但由于FFU機組臺數(shù)較多，在滿FFU噪聲較大，選用時需要注意。FFU送（3）風機過濾單元送風方式在潔凈室的吊頂上安裝多臺風機過濾單元（構(gòu)成循環(huán)系統(tǒng)，不需要配置凈化循環(huán)空調(diào)機房，送風靜壓箱為負壓。空氣由 室，從回風靜壓箱經(jīng)兩側(cè)夾道回至送風靜壓箱。根據(jù)潔凈室的溫度調(diào)節(jié)需要，道設干式表冷器。新風處理機可集中設在空調(diào)機房內(nèi)， 送風靜壓箱為負壓，有利于高效空氣過濾器頂棚的密封； 布率較高時，一般投資較大，運行費用也高

4、。有些 風方式如圖5-11所示。圖,風執(zhí)過«單元（FFU）送鳳方式1新鳳址理機組 2 FHI 3表冷毎一析動地板（4）模塊式風機單元送風方式它是送風機安裝在高效空氣過濾器（ High EfficiencyParticulate Air Filter,HEPA）或超高效空氣過濾器（Ultra Low Penetration Air Filter,ULPA ）之上，1臺送風機可配置數(shù)臺過濾器的空氣循環(huán)系統(tǒng)。這種模塊式風機單元（Fan Module U-nit，F(xiàn)MU）循環(huán)系統(tǒng)屬無管道方式，空氣輸送速度較低，送風機和過濾器維修較方便，能量消耗較少， 其送風方式如圖5-12所示。風機室I II M 1 11潔凈室冷yc pc過漣器H回鳳夾道B 5FMU送風方戎示童圖（5）微環(huán)境+開放式潔凈室的送風方式這種方式可以確保極為嚴格的半導體芯片生產(chǎn)環(huán)境或設備的微環(huán)境控制達到高潔凈度等級（如0.050.1卩m, ISO 1級），而其周圍的開放式大面積潔凈環(huán)境僅保持在相對較差的潔凈度等級（如ISO 5級或ISO 6級），微環(huán)境內(nèi)為潔凈度控制嚴格的單向流潔凈環(huán)境，而開放式潔凈室為單向流或混合流潔凈室。這種方式的能量消耗較少，工藝布置靈活性好，建設投資和運行費用都可以降低。如圖5-13所示為微環(huán)境潔凈廠房示意圖。JUS血”壓祁r*>