1、目錄（一）PVM空鍍月1技術 1 2 4 5 6 6 9 9 10 11 12PVD真空鍍膜機設備行業分析（一）PVD空鍍膜技術PVD真空鍍膜技術，PVD Physical Vapor Deposition的縮寫，意思是“物理氣相沉積”，指在真空條件下，用物理方法使材料沉積在被鍍工件上的薄膜制備技術。PVD（物理氣相沉積）技術主要分為三類，真空蒸發鍍膜、真空濺射鍍膜和真空離子鍍膜，三種主要的真空鍍膜技術可以滿足常生產、生活領域的所有常見基材（塑料、玻璃、金屬、 薄膜、陶瓷等）的鍍膜需要。近十多年來，真空離子鍍技術發展最快，已經成為當代最先進 的表面處理方法之一。鍍膜技術種類表類型介紹加熱靶材使

2、表面組分以原子團或離子形式被蒸發出來，并且沉降在基片表墓發鍍膜八面，通過成膜過程（散點-島狀結構-迷走結構-層狀生長）形成薄膜。利用電子或高能激光轟擊靶材，并使表面組分以原子團或離子形式被濺射濺射鍍膜出來，并且最終沉積在基片表面，經歷成膜過程，最終形成薄膜。離子鍍是在真空蒸發鍍和濺射鍍膜的基礎上發展起來的一種鍍膜新技術，離子鍍膜將各種氣體放電方式引入到氣相沉積領域，整個氣相沉積過程都是在等離子體中進行。如真空卷繞鍍膜是一種利用物理氣相沉積的方法在柔性基體上連續鍍膜 其他的技術，以實現柔性基體的一些功能性、裝飾性屬性。需要鍍膜的被稱為基片，鍍的材料被稱為靶材，基片與靶材同在真空腔中。蒸發鍍膜是

3、加熱靶材使表面組分以原子團或離子形式被蒸發出來，并且沉降在基片表面，通過成膜過程（散點-島狀結構-迷走結構-層狀生長）形成薄膜。濺射類鍍膜，可以理解為利用電子或高 能激光轟擊靶材，并使表面組分以原子團或離子形式被濺射出來，并且最終沉積在基片表面，經歷成膜過程，最終形成薄膜。離子鍍是在真空蒸發鍍和濺射鍍膜的基礎上發展起來的一種 鍍膜新技術，將各種氣體放電方式引入到氣相沉積領域，整個氣相沉積過程都是在等離子體中進行的。離子鍍大大提高了膜層粒子能量，可以獲得更優異性能的膜層，擴大了 “薄膜”的應用領域，是一項發展迅速、受人青睞的新技術。廣義來講，離子鍍膜的特點是：鍍膜時, 工件（基片）帶負偏壓，工件

4、始終受高能離子的轟擊，形成膜層的膜基結合力好、膜層的繞鍍性好、膜層組織可控參數多、膜層粒子總體能量高，容易進行反應沉積，可以在較低溫度下獲得化合物膜層。相對于PVD技術的三個分類，真空鍍膜設備也就有真空蒸發鍍膜機、真空濺射鍍膜機和真空離子鍍膜機。PVD1層賦予產品表面金屬質感和豐富的顏色，并改善耐磨、耐腐蝕性， 延長壽命，已經廣泛應用于表殼、表帶、手機殼、建筑五金、模具刀具等產品。（二）真空鍍膜技術具體應用領域1、在裝飾品方面隨著經濟的發展和生活水平的提高，人們喜歡將手表殼、表帶、服飾、燈飾、眼鏡架、室內外裝飾件、五金箱包、手機殼、手機視屏、衛生潔具、食品包裝等裝飾品精飾得五彩繽 紛。2、在刀

5、具、模具等金屬切削加工工具方面在生活中，我們會看到金黃色的、 鉆銅色的、黑色的等七雜八色的鉆頭、 銃刀、模具等， 這些就是經過鍍膜技術加工后的涂層工具。3、在建筑玻璃和汽車玻璃方面建筑玻璃有透光和隔熱兩個基本功能。普通玻璃能透過絕大部分太陽光輻射能量，這對采光和吸收太陽光線的能量十分有利。而對于空間紅外輻射， 普通玻璃雖能阻止室內的熱量直接透過室外，但熱量被玻璃吸收后的二次散熱也會造成很大的損失。隨著經濟的發展，普通玻璃已越來越不能滿足人們的要求，而陽光控制膜和低輻射膜正好能彌補了普通玻璃在這一方面的不足。陽光控制膜可以滿足低緯度地區降低室內溫度的要求；而低輻射膜則能滿足高緯度地區充分接受太陽

6、輻射能量和最大限度阻止室內熱量外流的 要求。在玻璃上，鍍涂一層 TiO2就能使其變成防霧、防露和自清潔玻璃，這種工藝在汽車 玻璃上有很好的應用。4、在平板顯示器方面所有各類平板顯示器都要用到各種類型的薄膜，而且，幾乎所有類型的平板顯示器件都需要使用ITO膜，以滿足透明電器的要求。可以毫不夸張的說，沒有薄膜技術，就沒有平板 顯示器件。5、在太陽能利用方面當需要有效地利用太陽熱能時，就要考慮采用對太陽光線吸收較多、而對熱輻射等所引起的損耗較小的吸收面。太陽光譜的峰值大約在波長為2-20 之間的紅外波段。由于太陽輻射與熱輻射光譜在波段上有差異，因此，為了有效地利用太陽熱能，就必須考慮采用具有波長選擇

7、特性的吸收面。 理想的選擇吸收面， 是太陽輻射光譜的波段（可見光波段）吸收率（a ）為1,在熱輻射波段（紅外波段）輻射率（e ）為 0。6、在防偽技術方面防偽膜種類很多，從使用方法可分為反射式和透射式；從膜系附著方式可以分為直接鍍膜式、間接鍍膜式或間接鍍膜剪貼式。7、在飛機防護涂層方面飛機的鈦合金緊固件，原來采用電鍍方法鍍鎘。但在鍍鎘中含有氫，所以在飛行過程中，受到大氣、海水的腐蝕，鍍層上容易產生“鎘脆”，甚至引起“空難”。1964年，采用離子鍍方法在鈦合金緊固件上鍍鋁，解決了飛機零件的“鎘脆”問題。在離子鍍技術中，由于 給工件施加負偏壓，可以形成“偽擴散層”、細化膜層組織，因此，可以顯著提高

8、膜層的耐 腐蝕性能。8、在光學儀器方面人們熟悉的光學儀器有望遠鏡、顯微鏡、照相機、測距儀，以及日常生活用品中的鏡子、眼鏡、放大鏡等，它們都離不開鍍膜技術，鍍制的薄膜有反射膜、增透膜和吸收膜等幾種。9、在信息存儲領域方面薄膜材料作為信息記錄于存儲介質，有其得天獨厚的優勢：由于薄膜很薄，可以忽略渦流損耗；磁化反轉極為迅速；與膜面平行的雙穩態狀態容易保持等。為了更精密地記錄與存儲信息，必然要采用鍍膜技術。10、在傳感器方面在傳感器中，多采用電氣性質相對于物理量、化學量及其變化來說， 極為敏感的半導體材料。此外，其中，大多數利用的是半導體的表面、界面的性質，需要盡量增大其面積，且能工業化、低價格制作，

9、因此，采用薄膜的情況很多。11、在集成電路制造方面晶體管路中的保護層（SiO2、Si3N4）、電極管線（多晶硅、鋁、銅及其合金）等，多 采用CVW術、PVCD術、真空蒸發金屬技術、磁控濺射技術和射頻濺射技術。(三)行業現狀分析根據國民經濟行業分類(GB/T4754-2011 ),從事真空鍍膜機的公司所處行業為“C3441泵及真空設備制造”。我國的真空設備制造業起步于20世紀80年代，此后真空設備產品線的廣度與深度一直在增加，行業產品從最開始的單體已經發展到了目前豐富多樣的各式 真空獲得、應用設備，行業的工業體系比較完整。真空鍍膜設備制造業屬于真空設備制造業 中的一個重要領域，應用廣泛，如平板顯

10、示領域，有機照明行業，太陽能行業，新能源，新 材料領域等。近年來越來越多行業開始對材料、產品進行表面鍍膜以提高性能、改善外觀， 極大地拉動了下游 PVD1膜行業對于真空鍍膜設備的需求。未來預期越來越多的產品會使用鍍膜技術對產品進行表面處理以提高產品性能，真空鍍膜設備制造業的未來增長潛力仍然巨大，前景比較樂觀。在產品性能方面，國產真空鍍膜設備相比進口設備有著較高的性價比，但與同類型的進口真空設備存在明顯的差距，仍沒有達到國際上系列化、 專業化的制造水平。 大部分國內真空設備生產廠商僅能夠生產獨立的一套或數套真空設備，缺乏研發、生產一整條完整真空獲得、應用設備線的能力。隨著我國政府對真空設備行業的

11、重視與扶持，部分國產品牌已經在緊鑼密鼓地研發更新穎的設備以滿足市場需要，我國真空技術及設備制造業水平與國際一流水平的差距有望于未來得到改善，未來國產化設備替代進口設備占領更多市場份額的可能性 較大。在產品銷售方面，國內的真空鍍膜設備生產商大都專攻于某個區域或某個特殊應用的市 場，具備全國性銷售渠道以及全方面應用的公司很少，并未在全國市場建立廣泛的銷售網點形成全國范圍內的競爭， 行業競爭格局較為分散。 各廠商通過一定程度的定制化生產獲得部 分差異化優勢。國際知名廠商的真空鍍膜設備與配套的真空泵在全國范圍內有較高的知名 度，有全國性的銷售渠道與較為統一的價格政策。但其也受到價格高以及售后服務斷層等

12、因素影響。在國內的低端鍍膜設備市場，國產品牌具有極強的競爭力，各國產品牌憑借優秀的性價比與靈活的服務占據著極大的市場份額。在國內的中端鍍膜設備市場，部分國產品牌具備不俗的競爭力，可以憑借良好的穩定性與多樣化的設備功能與國際一線品牌同臺競技。在國內的高端鍍膜設備市場，國際一流品牌憑借多年的工程技術經驗與精湛的設備設計、高穩定性的設備運行能力長期占據壓倒性的優勢。（四）行業市場表現分析真空鍍膜機設備制造屬于泵與真空設備行業，通過將2009年-2019年泵與真空設備行業的市盈率與全部 A股的平均市盈率進行對比發現泵與真空設備行業的市盈率一直高于A股市盈率，顯示市場投資者對泵與真空設備行業看好。將20

13、09-2018年泵與真空設備行業單季度ROEW全部A股進行對比，泵與真空設備行業的RO。直低于A股平均水平，說明該行業投資回報低于全行業平均水平。（五）彳章業詢爭燧indt郴目前，我國生產制造真空獲得、應用設備的廠商較多，據Wind數據庫統計，截止2019年8月9日，國內公司名含關鍵詞 “真空鍍膜”的公司共有968家（包含吊銷、注銷狀態）， 較為知名的廠商有振華科技（證券代碼：835824）、方晟光電（證券代碼：871763）中國科學院沈陽科學儀器股份有限公司（證券代碼：830852）、湘潭宏大真空技術股份有限公司、湖南玉豐褊碌必埸ndii泗、上海子創鍍膜技術有限公司、沈陽深瑞真空設備有限公司

14、 與蘇州新愛可鍍膜設備有限公司等。國際上真空設備的知名品牌有：德國的萊寶光（LeyboldOptics ）、日本的愛發科（ULVAC與美國應用材料（Applied Materials ）等。真空鍍膜設 備行業中大部分設備毛利率低，能夠生產針對平板玻璃、 金屬與陶瓷等基材鍍膜的大型鍍膜設備的廠商較少。在產品銷售方面，國內的真空鍍膜設備生產商大都專攻于某個區域的市場， 具備全國性銷售渠道的公司很少，并未在全國市場形成廣泛的銷售網點并展開全國范圍內的 競爭，行業競爭格局較為分散。各廠商通過一定程度的定制化生產獲得部分差異化優勢。在國內的低端鍍膜設備市場，國產品牌具有極強的競爭力，國產品牌憑借優秀的性

15、價比與靈活的服務占據著極大的市場份額。在國內的中端鍍膜設備市場，部分國產品牌具備不俗的競爭力，可以憑借良好的穩定性與多樣化的設備功能與國際一線品牌同臺競技。國際知名廠商的真空鍍膜設備與配套的真空泵在全國范圍內有較高的知名度和全國性的銷售渠道與統一的價格政策。在國內的高端鍍膜設備市場，國際一流品牌憑借多年的工程技術經驗與精 湛的設備設計、高穩定性的設備運行能力長期占據壓倒性的優勢。（六）行業與上下游的關系真空鍍膜設備制造業的上游為鋼材批發與零售業、機械設備制造業、真空泵行業與生產用特殊氣體供應行業。 下游則比較寬泛，一臺鍍膜設備可以用于多個下游行業的產品表面處 理。一般而言，在真空鍍膜設備行業中

16、，設備按照適用的產業化進行分類，如ITO導電玻璃設備、硬質涂層真空鍍膜設備、新型顯示及有機照明鍍膜設備等。1、與上游行業關系本行業的上游行業主要包括鋼材行業，機械加工行業，真空泵及真空配件行業。鋼材行業：隨著我國政府淘汰鋼鐵產業落后產能的政策逐漸深入、對公共基礎建設項目與房地產項目投資更趨謹慎， 鋼材價格維持低位震蕩的可能性較大不會給真空鍍膜設備制造 業帶來急促的成本上升壓力。根據從中國聯合鋼鐵網得到的數據可知，2017年8月-2019年6月CUSPI綜合（中國鋼鐵價格綜合指數）呈下降趨勢，所以鋼材價格對真空鍍膜機設備行業成本影響不大。機械加工行業：我國機械加工行業已發展一很長時間，行業內的技

17、術，設備、人才等都相對穩定，不會出現成本大幅變化的情況。真空泵及配件：構成真空鍍膜設備的主要組件，真空泵及配件的性能對真空鍍膜設備的整體性能構成重大影響。目前真空泵及配件的制造技術較為成熟，產品標準化程度高、 通用性強。一般真空泵的市場競爭充分，價格穩中有降，成本隨著生產規模的擴大繼續降低。未來褊|比迷器用燧叫女即況爭格式趨于穩定，價格也趨于穩定，透明化。2、與下游行業關系真空鍍膜設備有著非常廣泛的應用性，一種類型的鍍膜設備可以用于多個下游行業的產品表面處理，其中主要的行業有消費電子產品制造業、汽車配件制造業、鐘表制造業、醫療器材制造業、五金、建筑材料制造業與太陽能薄膜制造業等。2018年全球

18、不同應用領域 PVD鍍膜機消費量份額圖設備按照適用的鍍膜基材進行分類，如玻璃真空鍍膜設備、金屬真空鍍膜設備。 而每種基材類型的鍍膜設備可以應用于多個相關的下游產業。在眾多下游PVD鍍膜中，帶觸摸屏的消費電子產品的平板玻璃鍍膜、健康光源的OLED照明面板、Low-E建筑玻璃材料的鍍膜、在金屬表面鍍膜的超硬涂層薄膜及超導材料的研究、太陽能光伏電池的研究，近年來增長得最為顯著，市場需要逐漸增加。平板玻璃鍍膜。根據前瞻產業研究院發布的中國3D玻璃行業發展前景預測與投資戰資料來源：QYResearch略規劃分析報告統計數據顯示，2018年國內平板玻璃產量達到了86864萬重量箱，同比增長截止至2019年

19、一季度，全國平板玻璃產量達到22194萬重量箱，同比增長 OLE/品鍍膜。OLED產品主要包括照明燈、智能手機、電視等。隨著智能手機在手機中所占的比例越來越高， OLE況示屏幕在智能手機中的應用范圍不斷擴大，未來將是中國 OLED產業投資和量產的高峰期，預計中國 OLED面板市場將會保持持續快速的增長。從OLED旨數趨勢可以發現從 2014年-2019年，OLED旨數整體呈上升趨勢，意味著OLEDT業發展整體向好。OLED旨數趨勢圖Low-E玻璃鍍膜。Low-E玻璃又稱低輻射玻璃，是在玻璃表面鍍上多層金屬或其他化合 物組成的膜系產品。其鍍膜層具有對可見光高透過及對中遠紅外線高反射的特性，使其與

20、普通玻璃及傳統的建筑用鍍膜玻璃相比，具有優異的隔熱效果和良好的透光性。隨著各國在推動建筑材料節能環保化努力的深入，Low-E玻璃被越來越多的建筑采用。國內采用Low-E玻璃的新型示范性建筑有央視新總部大樓與深圳京基100大廈。Low-E玻璃中的一大類別離線Low-E玻璃即需要使用真空鍍膜技術進行表面處理以獲得優異的環保與節能性能。參考 德國、歐共體翎aijMd數Low-E玻璃的先例，我國未來推動 Low-E玻璃成為建材玻璃主 流標準的可能性較大。 對比歐美國家普遍在 80%以上的Low-E玻璃普及率，我國Low-E玻 璃的市場增長前景十分廣闊。（七）行業周期性、區域性、季節性特征真空鍍膜設備制

21、造業與下游 PVD鍍膜行業存在著密切的聯動關系，以帶觸摸屏的消費電子產品的平板玻璃鍍膜行業、Low-E建筑玻璃材料的鍍膜行業為例，其與國民經濟的發展周期存在一定的正相關關系，屬于對經濟景氣周期較為敏感的行業。因此真空鍍膜設備制造業受下游設備應用企業、 國民經濟周期波動的影響而具有一定的周期性特征。但目前隨著應用市場的不斷擴大， 真空鍍膜設備的需求仍在不斷擴大，且相關的配套、維修、服務等還有很大的發展空間。隨著居民收入的上升，電子產品升級換代加快、 汽車趨向于普通消費品的趨勢愈發明顯，以及城市發展帶來建筑玻璃材料的不斷革新，真空鍍膜設備制造行業周期將越來越不明顯。本行業的企業分布有一定的區域性。

22、真空鍍膜設備生產企業主要集聚在珠三角、長三角、湖南與沈陽一帶的工業園區，與當地的電子產品制造業、汽車配件制造業、 建材與太陽能光伏薄膜發電等工業集群形成緊密的聯動。在國內公司名含關鍵詞“真空鍍膜”的968家（包含吊銷、注銷狀態）公司中，注冊地在廣東省有341家，浙江省211家，江蘇省106家，上海市63家。本行業的銷售有明顯的季節性特征，每年的主要銷售一般發生在當年第三、第四季度。 由于本行業銷售的真空鍍膜設備構成下游行業生產線的一部分，因此下游行業的企業往往在一年里的第三、第四季度開始為明年的生產計劃安排設備的采購。（八）進入本行業的主要障礙技術壁壘。真空設備的研發、生產過程中，設備設計、生

23、產工藝的高低對設備獲取真空環境的幾個關鍵指標，如極限真空值、抽速與升壓率有顯著的影響。真空設備的研發、生產具有專業性、綜合性與復雜性。要生產出達到甚至高于國家技術標準要求的真空設備需要在 研發、生產過程中引入、應用眾多精密儀器與技術專利，同時也對技術人員的設計能力、開發經驗提出了較高的要求。另外，針對下游大型生產企業研發、生產的大型真空鍍膜生產線 對研發企業的項目把控能力與設備整體設計、施工技術的控制能力都提出了更高的要求。企業研發、生產過程中積累的技術經驗、工程經驗與項目質量控制經驗對生產出性能優異、穩定的真空設備有重要的幫助。 行業新進入者在缺乏充足的制造經驗與技術的前提下，不能輕 易地生

24、產出帶有競爭優勢的真空鍍膜設備。品牌壁壘。真空鍍膜設備的用戶多為大中型制造業企業。客戶在購買真空設備時，除了考慮設備的價格，更注重設備性能的穩定性、設備的安裝、調試、維修與升級服務的水準。由于客戶往往對設備進行批量采購，設備的性能是否穩定、售后服務是否及時迅速對客戶的生產經營具有極其重大的影響。因此客戶往往會謹慎地選擇在本行業中有著較高知名度的著名品牌。 行業新加入者往往較難得到客戶的批量采購訂單，需要憑借優質的產品與較長的時間才能在行業中建立良好的口碑。資本成本壁壘。真空設備的生產需要投入大量資本興建車間、購置多款精密生產設備與研發新一代鍍膜技術。真空設備以銷定產的模式要求生產企業對真空設備

25、的生產具有較高的定制化能力，客觀上要求生產企業投入資金設立研發機構對真空設備的設計、性能等進行自主研發，以更好地滿足客戶的不同需要。研發、 生產上的資金投入要求構成該行業的一個資金壁壘。人力資源壁壘。真空設備的研發、生產需具有專業性、復雜性，特別是新設備的開發對研發、 工程人員都提出了很高的要求。目前我國投入在真空設備制造行業中的專業技術人員不能滿足行業發展的需要，有一定的缺口。行業的新進入者必須在引入技術人員上花費較高的成本與精力，還必須給予這樣的技術人員足夠的試錯空間。（九）影響行業發展的有利因素和不利因素1、有利因素（ 1 ）環保監管促使真空鍍膜成主流隨著國家環保監管標準的逐漸提高，由于

26、以往的化學鍍膜技術產生有污染的廢液，如今已經受到嚴格的限制。而基于真空鍍膜的技術不產生廢液，而且鍍膜后鍍層耐用不易受腐蝕，是未來材料表面處理時首選的鍍膜方式。未來真空鍍膜設備將會承接以往化學鍍膜設備的產能需求， 成為工業產品表面鍍膜處理的主要方式，使用化學鍍膜設備的企業產能將逐漸被淘2）下游產業真空鍍膜需求強烈真空鍍膜設備應用廣泛，下游產業對真空鍍膜需求強烈，我國作為集生產、加工、制造為一體的國家，未來我國各主要產品代工企業、制造企業增加真空鍍膜設備生產線投入的可能性較大。(3)行業設備技術水平逐步提高我國真空設備制造行業已經有較長的發展歷史，真空鍍膜設備行業是其中較新的一個細分行業，近年來各大廠商在真空鍍膜設備的研發、生產技術上都積累了很多經驗，取得了不少技術突破，在鍍膜設備上與歐美的產品的差距越來越小。行業中排名前列的公司有望可以生產出替代進口設備的真空鍍膜設備產品。2、不利因素(1)同質化競爭眾多中低端真空鍍膜設備功能同主動降低利潤空間， 行業內企業行業內大多數企業均在中低端鍍膜設備市場直接競爭, 質化嚴重，各企業為了爭奪市場份額進一步壓低設備價格, 難以塑造自主品牌設備的差異化競爭力與核心實力。(2)專業技術人員缺乏真空專業在國內高等院校中屬于較為冷門的專業，真空設備行業近年來的快速發展所需的高級技術人才缺口較大，導致