1、 擴散車間安全生產注意事項擴散車間主要是對硅片進行磷擴散的場所，其中主要存在的安全隱患有，高溫、高電壓、有毒化學藥劑等。為了保證車間安全生產，擴散車間要注意一下幾點：一、高溫危害由于硅片要在800以上進行擴散工藝，此溫度對人構成極大威脅，并且對決大多數物品構成破壞性作用。因此在要從以下幾點防止高溫所產生的安全隱患。1、在擴散爐爐口打開時，要人員遠離爐口位置，防止燙傷；2、在碳化硅槳進出擴散爐管時要注意，槳上以及要進入爐管的石英舟上是否有手套、無塵紙、無塵布等易燃物品和鐵、鋁等金屬物品，防止火災發生以及污染工藝衛生。3、在石英舟出爐后，要將石英舟抬下卸片時，要戴好隔熱手套，防止燙傷。二、化學品危

2、害擴散車間常用的化學品有POCl3和乙醇。POCl3有強腐蝕性、毒性，可對人體造成極大傷害，乙醇為易燃物品，在高溫下極易引起火災事故，并對人體也可構成傷害。三氯氧磷正式名稱為氧氯化磷，又名磷酰氯。為無色透明發煙液體，有辛辣氣味。熔點2，沸點105.1，密度1.68kg/l。有強腐蝕性、毒性，不燃燒。三氯氧磷遇水或水蒸汽劇烈反應生成磷酸與氯化氫等有毒的腐蝕性煙霧，對皮膚、粘膜有刺激腐蝕作用。三氯氧磷可引起急性中毒，在短期內吸入大量三氯氧磷蒸汽可引起上呼吸道刺激癥狀、咽喉炎、支氣管炎，嚴重者可發生喉頭水腫窒息、肺炎、肺水腫、紫紺、心力衰竭，亦可發生貧血、肝臟損害、蛋白尿?？诜妊趿卓梢鹣雷?/p>

3、傷，眼和皮膚接觸引起灼傷，長期低濃度接觸可引起口、眼及呼吸道刺激癥狀。乙醇為無色、透明，具有特殊香味的液體（易揮發），其蒸氣與空氣可形成爆炸性混合物，遇明火、高熱能引起燃燒爆炸。與氧化劑接觸發生化學反應或引起燃燒。在火場中，受熱的容器有爆炸危險。其蒸氣比空氣重，能在較低處擴散到相當遠的地方，遇火源會著火回燃。本品為中樞神經系統抑制劑。首先引起興奮，隨后抑制。急性中毒：急性中毒多發生于口服。一般可分為興奮、催眠、麻醉、窒息四階段?；颊哌M入第三或第四階段，出現意識喪失、瞳孔擴大、呼吸不規律、休克、心力循環衰竭及呼吸停止。慢性影響：在生產中長期接觸高濃度本品可引起鼻、眼、粘膜刺激癥狀，以及頭痛、頭暈

4、、疲乏、易激動、震顫、惡心等。長期酗酒可引起多發性神經病、慢性胃炎、脂肪肝、肝硬化、心肌損害及器質性精神病等。皮膚長期接觸可引起干燥、脫屑、皸裂和皮炎。在生產中應做到以下幾點已杜絕安全隱患：1、在車間中要帶好口罩，防止吸入有害氣體。2、如果在生產過程中有聞到異味，通知設備人員，檢查POCl3是否有泄露，防止吸入有害氣體。3、在生產過程中由于工藝出現問題，需要中途停止工藝，請確認爐內是否有POCl3，如有，要先將POCl3反應完后才能將石英舟抬出。防止POCl3擴散到生產車間。4、在使用乙醇時，要帶好口罩以及手套，防止對人體造成傷害。5、乙醇在不使用時要密封保存，防止揮發形成安全隱患。6、在車間

5、大量使用乙醇后，要注意通風，并盡量不要打開爐管或使用明火，防止火災產生。三、高電壓及其他危害在擴散車間，由于設備需要，其電路屬于高壓線路，在生產過程中要避免接觸這些高壓電路。1、在設備人員不在場時禁止打開機器設備的擋板。2、設備人員在機器維護結束后及時將擋板安裝上，防止車間人員意外接觸電路接頭。3、在機臺上的硅片碎塊及時清理干凈，防止碎塊掉進機械手等行動導軌，造成機器故障或掉進電路接頭造成漏電。4、操作臺上的制程或制造的碎片及時集中處理，防止硅片碎片的尖銳部位割傷操作人員。5、機械臂在運行時，操作人員應遠離機械臂工作區域，防止人員受傷或感應器感應到人而引發機械故障。 緊急情況應急處理辦法如果在

6、生產過程中出現以外傷害應及時處理，將傷害降到最低。一、POCl3緊急情況應急處理 由于POCl3的危害，在生產過程中意外接觸，應按以下方法采取應急處理1、吸入: 1.迅速脫離現場至空氣新鮮處。保持呼吸道通暢。如呼吸困難，給輸氧。如呼吸停止，立即進行人工呼吸。2.立即就醫。2、皮膚接觸：立即用大量清水沖洗患處,并脫掉受污染的衣物,包括被污染的鞋，并立即就醫。 3、眼睛接觸：立即提起眼瞼，用大量流動清水或生理鹽水徹底沖洗至少15分鐘，隱形眼鏡必先除去或用水沖出來，并立即就醫。 4、食入：用水漱口，無腐蝕癥狀者洗胃。忌服油類，并立即就醫。5、急救人員防護：橡膠耐酸堿手套、不宜用口對口人工呼吸。二、乙

7、醇緊急情況應急處理1、皮膚接觸：脫去污染的衣著，用肥皂水和清水徹底沖洗皮膚。 2、眼睛接觸：提起眼瞼，用流動清水或生理鹽水沖洗。就醫。3吸入：迅速脫離現場至空氣新鮮處。保持呼吸道通暢。如呼吸困難，給輸氧。如呼吸停止，立即進行人工呼吸。就醫。 4食入： 飲足量溫水，催吐。就醫。 5、防護措施：加強通風、空氣中濃度較高時，應該佩戴自吸過濾式防塵口罩、戴橡膠手套、戴化學安全防護眼鏡、工作完畢，淋浴更衣。保持良好的衛生習慣。三、燙傷緊急處理燙傷緊急處理口訣：沖、脫、泡、蓋、送。1、沖： 迅速將受傷部位浸泡于冷水中內，或以流動的自來水沖洗，以快速降低皮膚表面熱度。2、脫：充分泡濕后，再小心除去衣物，必要時可以用剪刀剪開衣服，或暫時保留沾粘住部分。盡量避免將水泡弄破。3、泡：進一步浸泡于冷水中，可減輕疼痛及穩定情緒。但若燙傷面積廣大，年齡較小，則不必浸泡過久，以免體溫下降過低，或延誤治療時機。4蓋：用清潔干凈的床單或布條，紗布等覆蓋受傷部位。5不要在受傷部位涂抹米酒、醬油、牙膏、漿糊、草藥等，這些東西不但無助于傷口的復元，并且容易引起傷口感染，及影響醫護人員的判斷和緊急處理。四、割傷緊急處理1、割傷之后，不用緊張，對于小而淺的割傷，要先止血，如手指切傷時，只要把手指舉高，捏住指根兩側，出血即可止??；2、然后用碘酒、酒