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文檔簡介

1、浙江元眾新能源有限公司一次清洗減溥量監 控操作規程文件編號版本號實施日期頁次文件修訂記錄序號修改內容修改人日期版本1首次發行謝超凡編制/日期審核/日期審批/日期精品文檔1.目的： 對一次清洗減薄量進行監控，確保制絨質量。2.適用范圍：156多晶一次清洗工序3.責任： 本工藝說明由工藝部制定修改，生產人員按照要求執行。4.設備： 電子天平5.操作步驟：5.1在電腦上打開“一次清洗減薄量監控”表格，找到當日日期及時間，在對應表格中填寫 硅片廠家、批次、硅片型號信息，為數據記錄做好準備。5.2在已拆盒的原硅片中取8片，層疊整齊后置于電子天平內，待數值顯示穩定后讀取數值， 輸入到表格“清洗前”一欄中，

2、保存數據。5.3將稱重后的硅片按每道一片進行放片，同時通知下料人員注意收片。為了區分出稱重片，在放置這8片硅片時要與其他正常生產的硅片隔出一定距離， 使下料人員能夠區分出這8片5.4到設備主操作臺處讀取制絨參數，包括制絨槽設定溫度、實際溫度、滾輪速度、稱重片 數的信息，將數據分別填入對應表格中。5.5待8片稱重片傳出設備后，下料人員收集好，到電腦桌處進行再次稱重，將讀到的數據 填入“清洗后”一欄中，表格會自動算出減薄量。稱重作業完成。稱重前務必保持電子天平處于水平狀態，可觀察水平浮泡進行調整。5.6電子天平操作說明：5.6.1電子天平定置后，接通電源，調節水平調節鈕，使水平浮泡置于中間圓心處。

3、562待“OK指示燈常亮綠色后，按TARE POWER零，使界面顯示0.00,此時電子天平 準備好，可以進行稱重操作。6.減薄量SPEC線：6.1控制線：一次清洗工序減薄量控制線CL=4.0g,控制上限UCL=4.2pm,控制下限LCL=3.8m。6.2規格線：一次清洗工序減薄量規格上限USL=4.5r,規格下限LSL=3.5pm6.3控制要求：6.3.1換班后的第一次稱重，減薄量不小于3.6 pm時即可上片。6.3.2生產過程中減薄量測得數據超出控制線，生產繼續，并及時通知工藝人員進行確認調 整，使減薄量數據符合控制線要求。6.3.3生產過程中減薄量測得數據超出規格線，馬上停止生產，并通知工藝人員，待工藝調 整正常后方可繼續生產。2歡迎。下載精品文檔7.監控頻率7.1換班次生產前要進行本班第一次稱重，生產過程中每隔一個小時進行7.2生產中途停產超過半個小時以上，恢復生產后進行稱重。7

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