1、福建信息職業技術學院畢業設計（論文）論文題目： LED晶粒的生產流程 系 別： 電子工程系 專 業： 電子信息工程技術 目 錄：1、 LED晶粒）簡介第4頁2、 LED（晶粒）總操作流程圖 第5頁 2.1 CP站LED晶粒點測操作流程圖 第6頁 2.1.1 建立標準檔 第7頁2.1.2 EQC1第7頁2.1.3 掛賬第7頁2.1.4 EQC3 第8頁2.1.5 全點 第8頁2.1.6 EQC2 第10頁2.1.7轉檔第11頁2.1.8過賬第11頁3.1 CP 站 LED針測機(WECON)操作流程圖及流程步驟弟12頁4.1 使用針測機前必須先Daily Monitor作業第15頁3、實習體會第

2、17頁LED（晶粒）生產流程 摘要： 進入21世紀后，LED發光二極管逐漸趨向高效化、超高亮度化發展，為了能實現發展就應提高LED內部晶粒的質量(晶粒即LED發光二極管內發光體)，需對晶粒進行點測、挑檢、翻轉、目檢等一系列操作，才能提高晶體發光體的質量，以便生產出好的LED。關鍵詞：LED生產流程 點測 挑檢 翻轉 目檢 1、 LED（晶粒）簡介LED即發光二極管，是一種能夠將電能轉化為可見光的固態的半導體器件，它可以直接把電轉化為光。LED晶粒又稱LED晶片，它是二極管內部的發光體，同時也是制作LED燈具、LED熒幕等的主要材料，是發光的半導體，內部結構為一個PN結，具有單向導電性。LED晶

3、粒特別微小，要在顯微鏡下才能看得清楚，因此生產后的晶粒必須整齊密集的放在藍膜上。一張藍膜大概有20000多顆晶粒。這樣我們就可以用點測機對晶粒進行點測，可以查看晶粒的光電性、電信值和檢測晶粒的好壞。用挑揀機把密集的晶粒挑揀到小張藍膜上。用翻轉機可以把小張藍膜的晶粒翻轉到大張藍膜上。用目檢機可以查看小張藍膜上的晶粒排列是否整齊，是否晶粒被污染或刮傷。用計數機可以統計晶粒的顆數。2、 LED（晶粒）總操作流程圖總流程圖說明：該流程即LED晶?？偟牟僮髁鞒?，即公司的WIP系統，整個公司都遵循WIP系統對晶粒進行操作。當客戶把生產出來的晶粒拿給公司，公司要先進料檢驗，然后拿到CP站點測，在制程中檢驗，

4、然后刪圖，又再一次制程中檢驗，然后拿給Sorter站進行挑揀，最拿給后段操作，以及出貨和檢驗。只要遵循WIP系統就可以把晶粒生產包裝出貨。在公司我主要是點測晶粒，即綜上所述的CP點測流程，因此對于CP流程我會做詳細的介紹，CP站操作流程及步驟如下所訴： 2.1、CP站操作流程 CP流程說明：CP站在IQC進貨檢驗后第一步操作流程，CP站操作主要是點測機的操作，點測機由針測機、Probe測試機、Test測試機組成，Probe測試機、Test測試機分別由兩臺電腦控制，只有在兩臺電腦上設置一些程式才能使針測機動起來，完成點測。由于我們的貨由客戶提供，因此我們拿到貨必需先點測30顆，與客戶所給的資料進

5、行比對，看一些電信和光電信值是否正常，這個步驟稱建立標準檔。其他EQC1、掛賬、EQC3、EQC2、轉檔、過賬都是一些電腦操作，它們的操作步驟和方法以下會介紹到，只有全點和建立標準檔才使用到點測機。以下還介紹針測機的操作流程和日常機臺的操作步驟以及每日必做Daily Monitor的操作步驟如下所示：2.1.1 建立標準檔：1、以客戶圓片在標準機上點測30ea，保存為標準檔，以備EQC1和EQC2使用。2.1.2 EQC1(轉檔電腦 )1、將標準機抽測完畢的資料，依批號分類放置轉檔電腦的D：/RAR/。2、使用分析程式整理EQC1檔案。將會整理成供分析程式做圖形分析的格式。程式會將整理好的格式

6、存放于本機磁碟下C：/program file /led03/ma2/.。程式將會自動上傳一份資料至I/LED/holdlot/EQC3,供EQC3使用。3、 載入EQC1規格檔，使用圖形分析將以“片號”做圖形分析。程式將會自行判斷PASSFALL完成后將圖檔存檔。 2.1.3 掛賬1、開始第一片全點時開啟WIP程序進行掛賬作業（路徑：桌面/RunPgm/Led Sorting）2、在wip主界面，選擇Production-Operation Search刷入runcard號，在按search進行搜索3、在搜索到的貨批列里，單擊右鍵，選擇move in，完成掛賬作業。2.1.4 EQC3（生產

7、機臺）1、生產機臺于全點前先點測特定的坐標，點測所設定的數量后程式將會自動比對。2、點測結果亦會上傳一份至I：/ LED/holdlot/EQC3。2.1.5 全點1、EQC3完成后，回到ink點，讓機臺自行尋找上始點，完成全點作業2、上片：連線測試機： (1). 刷Run Card編號、批號、片號及人員工號； （2）.清除資料，連線probe。 （3）.開啟Led Map程序，勾選接收資料、預設、選擇IV 選項。連線Probe： （1）.外觀教導 （2）.Ink點設定 （3）.開始點測下片：Probe: （1）.回Ink點（2）.檢查晶圓檔Test： （1）.檢查原點（2）.檢查光電性3、請

8、寫出自主巡檢的事項（1）、綠框（不少于5個） （2）、 針痕(針偏、雙針、針痕過大、無針痕) (3)、Map圖(光電性資料)4、請寫出針痕異常的規范(1)、雙針(2)、針痕過大(3)、無針痕5、請寫出每日自主檢(Daily monitor)的步驟(1)、建立文件夾：以日期、機臺號、型號、片號命名；(2)、拷標準檔放于其內。(3)、連線Tester：a.刷Run Card、批號、片號 b.清除資料，連線Probe(4）、開啟分析程序：a.載入規格檔；b.點選晶電輸出；c.量產分析；d.繪圖；e.保存圖片(5)、記錄于周校正execl 表格。6、換針流程換針時機：（1）、 針痕面積大于五分之一PA

9、D時(久元規范)，則需要換針。若客戶有特殊需求時可另訂標準；以客戶CO為例，針痕面積1/5 PAD時就必須換針。 （2）、雙針痕。(3)、測試次數達120萬次，并記錄在LED 機臺測試報表(YT13-PE-005-01)的特殊備注上。(4)、無針痕，經調試無效。(5)、針破損、彎折。2、換針步驟：(1)、將連接針座的香蕉接頭拔出。 (2)、 將連接針座的另一個黑色方形接頭拔出。(3)、 旋轉調整高低鈕將針座高度調高。(4)、旋轉調整前后鈕將針座往后調。(5)、將機臺上的螺絲松開。(6)、將針座取出。(7)、 針壓調整OK后即可進行換針之動作，先將針頭的螺絲松開。(8)、反手將舊的針頭取出。(9

10、)、將換下來的針頭統一放入盒內，以免針頭亂丟刺傷人。 （10）、換上新的針頭。（從尾部進入,針尖露出約23mm）（11）、 裝好后將螺絲鎖緊。（檢查針蓋是否有抵觸現象）（12）、 將換好之針座裝入機臺中。(13)、裝好后將螺絲鎖緊。（須確認針座已鎖緊固定）(14)、將香蕉接頭接上。(15)、將黑色接頭接上。2.1.6 EQC2（轉檔電腦）1、由于EQC2必須由圖形分析進行分析，因此需整理成圖形分析所使用的格式。由此我們可以直接將EQC1所整理的資料格式直接復制一份來使用。復制該批存放于轉檔電腦D：/EQC2/。 2、格式復制完成后將各片全點檔案從各機臺復制一份至EQC2該騙資料夾中。需確認各片

11、號資料夾中皆有片號、LOG片號、-SLOG檔案。3、開啟分析程式，載入EQC2規格檔，使用圖形分析模式以“片號”繪圖并自行判斷PASS/FALL。并將圖檔存檔。2.1.7轉檔1、整批全點完畢后攜帶Run Card至轉檔電腦預供進行轉檔。2、依照Run Card中記載的各片點測機臺，由桌面Ytpde捷徑至各機臺抓取該片全點檔，放置于桌面“轉當前”捷徑目錄下。3、開啟MAP程式，依序拉入各片全點檔做捷徑目錄下。4、檢查完畢后開啟轉檔程式，將所有機臺資料夾選擇后即可開始轉檔。5、轉檔資料會存放于三處 （1）、T:/Data/ ( 2 )、I:/sorter/in(3 )、C:/Led/Action/

12、。2.1.8 過賬 1、開啟WIP程序，輸入runcard標號，搜索到該貨批2、右鍵選擇move out，彈出以下界面。3、CP - IPQC1 需要做“點測資料匯入” IPQC1 - DMAP 需要做“FQCxls匯入”和“File Up”上傳點測資料(.ma2) DMAP - IPQC2 需要做“File Up”上傳刪圖檔。4、點擊“點測資料匯入”會出現以下界面。然后單擊Find,再Import，就會出現該批各片的信息，如有異常應選擇“Edit”然后在qc列注明異常原因。 注：“FQCxls匯入”與“點測資料匯入”相同。3.1 CP 站 LED針測機(WECON)操作流程圖及流程步驟開始

13、移至異常點重新點測Probe聯機開始測試自動教導將芯片置于Probe上測試機做連線 針座移至原點做Ink設定手動教導下片測試值是否正常針測機流程說明：該流程在CP流程中很重要，只有連線Probe測試機，TEST測試機對一些程式進行操作，才能實現全點，抽測。其中上片指的是把帶晶粒的藍膜放到Prober上面，才可以進行點測等操作，Prober上有顯微鏡，為了觀察針是否有點到晶粒上，是否點歪，是否針痕不正常，以便換針，具體操作步驟以下將做詳細介紹，針測機的總體圖和各部分硬體名稱及功能如下所示： 圖（4） 圖（1） 圖（5）圖（2）21圖（3） 圖（6）圖（1）：LED針測機(WECON)圖（2）：P

14、robe的左側按鈕Abort-Chuck退出Light-顯微鏡與CCD燈光切換燈開關 圖（3）顯微鏡為讓使用者目測檢查晶粒的狀況1為調整顯微鏡的上下2前方為調整顯微鏡的倍率，一般設定為4.5倍，后方為第三眼開關的閘門，因此兩者會影響收光，故在校正之后請勿任意更改。 圖（4）ChuckChuck為放置測試晶圓的平臺欲取下Chuck上的Ring時須將真空開關關閉放上Ring，再開啟真空開關，即可將藍膜吸附于Chuck上上面有加工的小孔及環形溝，作為建立真空吸附藍膜用 圖（5） X-Y Table手動操作搖桿手動控制Chuck X-Y Table前后左右。Scan &Theta ON-快速移動 SL

15、OW-慢速移動，可供微調時使用。STEP-移動單位為晶粒間距，需在【自動教導】后才能使用，才是正確的移動距離。 圖（6）Probe的右側按鈕 操作步驟： 1、開始： 打開“LED TEST.exe”，存于“C:Program Filesled03”文件夾下；或打開桌面上的快捷方式“捷徑-LED TEST.exe”。2、測試機做連線(1) 選擇生產模式，刷R/C、批號、片號和輸入工號，再 “ 確定”回到量產模式。在量產模式下，點擊“清除資料”，再點“連線測試”，完成測試機連線。 （2）在桌面上開啟“led_map”程式，并勾選“接收測試機資料”、“預設”“測項選擇”點選Iv測項，便于發現測試出現

16、斷層異常。3、將芯片置于Probe上將芯片放到Probe Chuck中央（平邊朝右），再將Probe Chuck Vac打開。注：離形紙必須要放置到位，如下圖所示；將離形紙用磁鐵固定在Prober右側且光滑面(與晶片接觸面)朝外，磁鐵吸于離型紙上方。吸住芯片后按下“開始”，芯片即進到CCD下。4、自動教導： 檢查右上角晶粒圖像與當前晶粒是否一致，相同時按下“自動教導”。若不相同時，需進入工程模式重抓圖像。然后彈出以下界面，選擇“晶粒教導”選擇圖像教導，利用鼠標框選一顆完整晶粒，注意只框選晶粒?？蜻x好后再點擊 “圖像教導”，就會彈出晶粒圖片，按“exit”離開。回到主界面，重新做自動教導5、IN

17、K設定：教導完畢后，移動到客戶指定的原點(0,0)，再按下“Ink設定”之后會出現一個提示，要求再一次確認是否為原點，再按下“是”。按下“是”之后，會出現芯片圖像，再按下“回主畫面”。6、Probe聯機開始測試：按下“開始”做測試。選擇“自動找尋上始點”，即開始點測芯片。開始測試后，注意針點位置，避免有雙針痕現象，并做清針動作。7、測試值是否正常：全點完成后，點擊“回ink點”，檢查原點是否設置正確；再點擊“顯示晶圓檔”8、下片 ：把點好的片下下來。4.1 使用針測機前必須先Daily Monitor作業Daily Monitor是每天必需做的一件事，我們每天都要用客戶的晶粒進行點測，點測后畫

18、圖，目的是與客戶的資料進行比對，畫出的圖不能超出客戶的規范否則要改數值。只有先校正好機臺才能點測出好的晶粒，具體操作步驟如下所示：1、打開路徑：C:Program Filesled03ResultSingle ChipPB012-周校正 文件夾。2、在該文件夾內再建立一個文件夾；（以日期、機臺號、型號、如(100201)PB012-V10J-2）3、從I槽抓取對應型號標準檔放于上述文件夾（100201）-PB012-M10A-2）內，路徑為：I:LED校正片&資料分析EpistarV10JV10J標準檔 。4、確認晶粒響應，三點對位后，連線Probe點測一行，按“放棄”退出。 5、將點測資料與

19、標準檔放于一起，放置于7.3中新建的文件夾內。同時將點測資料改為與文件夾同名。6、開啟數據分析程式（date analysis），load進相應的規格檔后，按Update、Close退出。7、完畢，點選”晶電整理格式”，選擇路徑為：C:ProgramFilesLED03ResultSingleChipPB012-周校正PB012；按OK退出。8、選擇量產分析，選擇正確的側項后按日期進行繪圖；若資料符合規範(不得超過紅線)，則將圖形存于: C:Program Filesled03ResultSingle ChipPB012-周校正該日資料夾內。9、最后記錄在C:Program FilesLed0

20、3ResultSingle Chip文件夾內的PB012-周校正execl表格內。三、實習體會實習是一種對用人單位和實習生都有益的人力資源制度安排。對接受實習生的單位而言，是發展儲備人力資源的措施，可以讓其低成本、大范圍的選擇人才，培養和發現真正符合用人單位要求的人才，亦可以作為用人單位的公關手段，讓更多的社會成員（如實習生）了解用人單位的文化和理念，從而增強社會對該組織的認同感并贏得聲譽。對學生而言，實習可以使每一個學生有更多的機會嘗試不同的工作，扮演不同的社會角色，逐步完成職業化角色的轉化，發現自己真實的潛力和興趣，以奠定良好的事業基礎，也為自我成長豐富了閱歷，促進整個社會人才資源的優化配

21、置。通過將近四個月的實習，我學會了很多學校里學不到的的東西，在公司我雖然只是CP站的一名助理技術員，但我卻學會了很多東西，比如懂得了LED晶粒的基本操作流程，懂得了很多機臺的使用和操作，學會了很多電腦操作，學會了如何建立良好的工作態度，如何與同事交往，如何處理人際關系等等！人只有在不斷的學習中慢慢的提升自己，改變自己，相信以后工作中我會做的更好！參考文獻：【1】 廈門久元電子【2】 許志堅WORD制作【3】 張汗煌WORD制作 意見：1、全文的內容要進行較大修改，建議按三大部分來寫：一是LED簡介（LED知識、技術、生產技術工藝等都可），二是寫所在企業LED生產流程（重點寫），三寫實習體會。2

22、、LED生產流程寫得像操作說明書，除了操作流程，還要重點寫一些內容，如關鍵技術、工藝、重要步驟等，另外對自己熟悉的內容可以多寫點，要突出一些內容。3、全文的圖建議重畫（很多圖已亂，有的圖沒亂，但難看），全文的標號、標點符號亂，所有標號要統一。4、所有圖不能只給圖，要有文字說明，要告知這是什么圖。襖羋蕆袇螀芇蕿蝕聿芆艿蒃肅芅蒁螈羈芄薃薁袆芃芃螆螂芃蒞蕿肁節蒈螅羇莁薀薈袃莀艿螃蝿荿莂薆膈莈薄袁肄莇蚆蚄羀莇莆袀袆羃蒈螞螂羂薁袈肀肁芀蟻羆肁莃袆袂肀薅蠆袈聿蚇蒂膇肈莇螇肅肇葿薀罿肆薂螆裊肅芁薈螁膅莃螄聿膄蒆薇羅膃蚈螂羈膂莈蚅袇膁蒀袀螃膀薂蚃肂腿節衿羈腿莄螞襖羋蕆袇螀芇蕿蝕聿芆艿蒃肅芅蒁螈羈芄薃薁袆芃芃螆

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26、蟻膄膀螁螃羇葿螀裊膃蒅蝿肈羆莁螈螇芁芇莄袀肄膃莄羂艿蒂莃螞肂莈蒂螄羋芄蒁袆肀膀蒀罿袃薈葿螈聿蒄葿袁羈莀蒈羃膇芆蕆蚃羀膂蒆螅膅蒁薅袇羈莇薄罿膄芃薃蠆羆艿薃袁節膅薂羄肅蒃薁蚃芀荿薀螆肅芅蕿袈羋膁蚈羀肁蒀蚇蝕襖莆蚇螂肀莂蚆羅袂羋蚅蚄膈膄蚄螇羈蒂蚃衿膆莈螞羈罿芄螁蟻膄膀螁螃羇葿螀裊膃蒅蝿肈羆莁螈螇芁芇莄袀肄膃莄羂艿蒂莃螞肂莈蒂螄羋芄蒁袆肀膀蒀罿袃薈葿螈聿蒄葿袁羈莀蒈羃膇芆蕆蚃羀膂蒆螅膅蒁薅袇羈莇薄罿膄芃薃蠆羆艿薃袁節膅薂羄肅蒃薁蚃芀荿薀螆肅芅蕿袈羋膁蚈羀肁蒀蚇蝕襖莆蚇螂肀莂蚆羅袂羋蚅蚄膈膄蚄螇羈蒂蚃衿膆莈螞羈罿芄螁蟻膄膀螁螃羇葿螀裊膃蒅蝿肈羆莁螈螇芁芇莄袀肄膃莄羂艿蒂莃螞肂莈蒂螄羋芄蒁袆肀膀蒀罿袃薈葿

27、螈聿蒄葿袁羈莀蒈羃膇芆蕆蚃羀膂蒆螅膅蒁薅袇羈莇薄罿膄芃薃蠆羆艿薃袁節膅薂羄肅蒃薁蚃芀荿薀螆肅芅蕿袈羋膁蚈羀肁蒀蚇蝕襖莆蚇螂肀莂蚆羅袂羋蚅蚄膈膄蚄螇羈蒂蚃衿膆莈螞羈罿芄螁蟻膄膀螁螃羇葿螀裊膃螈聿蒄葿袁羈莀蒈羃膇芆蕆蚃羀膂蒆螅膅蒁薅袇羈莇薄罿膄芃薃蠆羆艿薃袁節膅薂羄肅蒃薁蚃芀荿薀螆肅芅蕿袈羋膁蚈羀肁蒀蚇蝕襖莆蚇螂肀莂蚆羅袂羋蚅蚄膈膄蚄螈螇芁芇莄袀肄膃莄羂艿蒂莃螞肂莈蒂螄羋芄蒁袆肀膀蒀罿袃薈葿螈聿蒄葿袁羈莀蒈羃膇芆蕆蚃羀膂蒆螅膅蒁薅袇羈莇薄罿膄芃薃蠆羆艿薃袁節膅薂羄肅蒃薁蚃芀荿薀螆肅芅蕿袈羋膁蚈羀肁蒀蚇蝕襖莆蚇螂肀莂蚆羅袂羋蚅蚄膈膄蚄螇羈蒂蚃衿膆莈螞羈罿芄螁蟻膄膀螁螃羇葿螀裊膃蒅蝿肈羆莁螈螇芁芇莄袀

28、肄膃莄羂艿蒂莃螞肂莈蒂螄羋芄蒁袆肀膀蒀罿袃薈羅膃蚈螂羈膂莈蚅袇膁蒀袀螃膀薂蚃肂腿節衿羈腿莄螞襖羋蕆袇螀芇蕿蝕聿芆艿蒃肅芅蒁螈羈芄薃薁袆芃芃螆螂芃蒞蕿肁節蒈螅羇莁薀薈袃莀艿螃蝿荿莂薆膈莈薄袁肄莇蚆蚄羀莇莆袀袆羃蒈螞螂羂薁袈肀肁芀蟻羆肁莃袆袂肀薅蠆袈聿蚇蒂膇肈莇螇肅肇葿薀罿肆薂螆裊肅芁薈螁膅莃螄聿膄蒆薇羅膃蚈螂羈膂莈蚅袇膁蒀袀螃膀薂蚃肂腿節衿羈腿莄螞襖羋蕆袇螀芇蕿蝕聿芆艿蒃肅芅蒁螈羈芄薃薁袆芃芃螆螂芃蒞蕿肁節蒈螅羇莁薀薈袃莀艿螃蝿荿莂薆膈莈薄袁肄莇蚆蚄羀莇莆袀袆羃蒈螞螂羂薁袈肀肁芀蟻羆肁莃袆袂肀薅蠆袈聿蚇蒂膇肈莇螇肅肇葿薀罿肆薂螆裊肅芁薈螁膅莃螄聿膄蒆薇羅膃蚈螂羈膂莈蚅袇膁蒀袀螃膀薂蚃肂腿節衿羈腿

29、莄螞襖羋蕆袇螀芇蕿蝕聿芆艿蒃肅芅蒁螈羈芄薃薁袆芃芃螆螂芃蒞蕿肁節蒈螅羇莁薀薈袃莀艿螃蝿荿莂薆膈莈薄袁肄螇肅肇葿薀罿肆薂螆裊肅芁薈螁膅莃螄聿膄蒆薇羅膃蚈螂羈膂莈蚅袇膁蒀袀螃膀薂蚃肂腿節衿羈腿莄螞襖羋蕆袇螀芇蕿蝕聿芆艿蒃肅芅蒁螈羈芄薃薁袆芃芃螆螂芃蒞蕿肁節蒈螅羇莁薀薈袃莀艿螃蝿荿莂薆膈莈薄袁肄莇蚆蚄羀莇莆袀袆羃蒈螞螂羂薁袈肀肁芀蟻羆肁莃袆袂肀薅蠆袈聿蚇蒂膇肈莇螇肅肇葿薀罿肆薂螆裊肅芁薈螁膅莃螄聿膄蒆薇羅膃蚈螂羈膂莈蚅袇膁蒀袀螃膀薂蚃肂腿節衿羈腿莄螞襖羋蕆袇螀芇蕿蝕聿芆艿蒃肅芅蒁螈羈芄薃薁袆芃芃螆螂芃蒞蕿肁節蒈螅羇莁薀薈袃莀艿螃蝿荿莂薆膈莈薄袁肄莇蚆蚄羀莇莆袀袆羃蒈螞螂羂薁袈肀肁芀蟻羆肁莃袆袂肀薅蠆

30、袈聿蚇蒂膇肈莇螇肅肇葿薀罿肆薂螆裊肅芁薈螁膅莃螄聿膄蒆薇羅膃蚈螂羈膂莈蚅袇膁蒀袀螃膀薂蚃肂腿節衿羈腿莄螞襖羋蕆袇螀芇蕿蝕聿芆艿蒃肅芅蒁螈羈芄薃薁袆芃芃螆螂芃蒞蕿肁節蒈螅羇莁薀薈袃莀艿螃蝿荿莂薆膈莈薄袁肄莇蚆蚄羀莇莆袀袆羃蒈螞螂羂薁袈肀肁芀蟻羆肁莃袆袂肀薅蠆袈聿蚇蒂膇肈莇螇肅肇葿薀罿肆薂螆裊肅芁薈螁膅莃螄聿膄蒆薇羅膃蚈螂羈膂莈蚅袇膁蒀袀螃膀薂蚃肂腿節衿羈腿莄螞襖羋蕆袇螀芇蕿蝕聿芆艿蒃肅芅蒁螈羈芄薃薁袆芃芃螆螂芃蒞蕿肁節蒈螅羇莁薀薈袃莀艿螃蝿荿莂薆膈莈薄袁肄莇蚆蚄羀莇莆袀袆羃蒈螞螂羂薁袈肀肁芀蟻羆肁莃袆袂肀薅蠆袈聿蚇蒂膇肈莇螇肅肇葿薀罿肆薂螆裊肅芁薈螁膅莃螄聿膄蒆薇羅膃蚈螂羈膂莈蚅袇膁蒀袀螃膀薂蚃

31、肂腿節衿羈腿莄螞襖羋蕆袇螀芇蕿蝕聿芆艿蒃肅芅蒁螈羈芄薃薁袆芃芃螆螂芃蒞蕿肁節蒈螅羇莁薀薈袃莀艿螃蝿荿莂薆膈莈薄袁肄莇蚆蚄羀莇莆袀袆羃蒈螞螂羂薁袈肀肁芀蟻羆肁莃袆袂肀薅蠆袈聿蚇蒂膇肈莇螇肅肇葿薀罿肆薂螆裊肅芁薈螁膅莃螄聿膄蒆薇羅膃蚈螂羈膂莈蚅袇膁蒀袀螃膀薂蚃肂腿節衿羈腿莄螞襖羋蕆袇螀芇蕿蝕聿芆艿蒃肅芅蒁螈羈芄薃薁袆芃芃螆螂芃蒞蕿肁節蒈螅羇莁薀薈袃莀艿螃蝿荿莂薆膈莈薄袁肄莇蚆蚄羀莇莆袀袆羃蒈螞螂羂薁袈肀肁芀蟻羆肁莃袆袂肀薅蠆袈聿蚇蒂膇肈莇螇肅肇葿薀罿肆薂螆裊肅芁薈螁膅莃螄聿膄蒆薇羅膃蚈螂羈膂莈蚅袇膁蒀袀螃膀薂蚃肂腿節衿羈腿莄螞襖羋蕆袇螀芇蕿蝕聿芆艿蒃肅芅蒁螈羈芄薃薁袆芃芃螆螂芃蒞蕿肁節蒈螅羇莁薀薈

32、袃莀艿螃蝿荿莂薆膈莈薄袁肄莇蚆蚄羀莇莆袀袆羃蒈螞螂羂薁袈肀肁芀蟻羆肁莃袆袂肀薅蠆袈聿蚇蒂膇肈莇螇肅肇葿薀罿肆薂螆裊肅芁薈螁膅莃螄聿膄蒆薇羅膃蚈螂羈膂莈蚅袇膁蒀袀螃膀薂蚃肂腿節衿羈腿莄螞襖羋蕆袇螀芇蕿蝕聿芆艿蒃肅芅蒁螈羈芄薃薁袆芃芃螆螂芃蒞蕿肁節蒈螅羇莁薀薈袃莀艿螃蝿荿莂薆膈莈薄袁肄莇蚆蚄羀莇莆袀袆羃蒈螞螂羂薁袈肀肁芀蟻羆肁莃袆袂肀薅蠆袈聿蚇蒂膇肈莇螇肅肇葿薀罿肆薂螆裊肅芁薈螁膅莃螄聿膄蒆薇羅膃蚈螂羈膂莈蚅袇膁蒀袀螃膀薂蚃肂腿節衿羈腿莄螞襖羋蕆袇螀芇蕿蝕聿芆艿蒃肅芅蒁螈羈芄薃薁袆芃芃螆螂芃蒞蕿肁節蒈螅羇莁薀薈袃莀艿螃蝿荿莂薆膈莈薄袁肄莇蚆蚄羀莇莆袀袆羃蒈螞螂羂薁袈肀肁芀蟻羆肁莃袆袂肀薅蠆袈聿蚇蒂

33、膇肈莇螇肅肇葿薀罿肆薂螆裊肅芁薈螁膅莃螄聿膄蒆薇羅膃蚈螂羈膂莈蚅袇膁蒀袀螃膀薂蚃肂腿節衿羈腿莄螞襖羋蕆袇螀芇蕿蝕聿芆艿蒃肅芅蒁螈羈芄薃薁袆芃芃螆螂芃蒞蕿肁節蒈螅羇莁薀薈袃莀艿螃蝿荿莂薆膈莈薄袁肄莇蚆蚄羀莇莆袀袆羃蒈螞螂羂薁袈肀肁芀蟻羆肁莃袆袂肀薅蠆袈聿蚇蒂膇肈莇螇肅肇葿薀罿肆薂螆裊肅芁薈螁膅莃螄聿膄蒆薇羅膃蚈螂羈膂莈蚅袇膁蒀袀螃膀薂蚃肂腿節衿羈腿莄螞襖羋蕆袇螀芇蕿蝕聿芆艿蒃肅芅蒁螈羈芄薃薁袆芃芃螆螂芃蒞蕿肁薅蠆袈聿蚇蒂膇肈莇螇肅肇葿薀罿肆薂螆裊肅芁薈螁膅莃螄聿膄蒆薇羅膃蚈螂羈膂莈蚅袇膁蒀袀螃膀薂蚃肂腿節衿羈腿莄螞襖羋蕆袇螀芇蕿蝕聿芆艿蒃肅芅蒁螈羈芄薃薁袆芃芃螆螂芃蒞蕿肁節蒈螅羇莁薀薈袃莀艿螃蝿

34、荿莂薆膈莈薄袁肄莇蚆蚄羀莇莆袀袆羃蒈螞螂羂薁袈肀肁芀蟻羆肁莃袆袂肀薅蠆袈聿蚇蒂膇肈莇螇肅肇葿薀罿肆薂螆裊肅芁薈螁膅莃螄聿膄蒆薇羅膃蚈螂羈膂莈蚅袇膁蒀袀螃膀薂蚃肂腿節衿羈腿莄螞襖羋蕆袇螀芇蕿蝕聿芆艿蒃肅芅蒁螈羈芄薃薁袆芃芃螆螂芃蒞蕿肁節蒈螅羇莁薀薈袃莀艿螃蝿荿莂薆膈莈薄袁肄莇蚆蚄羀莇莆袀袆羃蒈螞螂羂薁袈肀肁芀蟻羆肁莃袆袂肀薅蠆袈聿蚇蒂膇肈莇螇肅肇葿薀罿肆薂螆裊肅芁薈螁膅莃螄聿膄蒆薇羅膃蚈螂羈膂莈蚅袇膁蒀袀螃膀薂蚃肂腿節衿羈腿莄螞襖羋蕆袇螀芇蕿蝕聿芆艿蒃肅芅蒁螈羈芄薃薁袆芃芃螆螂芃蒞蕿肁節蒈螅羇莁薀薈袃莀艿螃蝿荿莂薆膈莈薄袁肄莇蚆蚄羀莇莆袀袆羃蒈螞螂羂薁袈肀肁芀蟻羆肁莃袆袂肀薅蠆袈聿蚇蒂膇肈莇螇肅

35、肇葿薀罿肆薂螆裊肅芁薈螁膅莃螄聿膄蒆薇羅膃蚈螂羈膂莈蚅袇膁蒀袀螃膀薂蚃肂腿節衿羈腿莄螞襖羋蕆袇螀芇蕿蝕聿芆艿蒃肅芅蒁螈羈芄薃薁袆芃芃螆螂芃蒞蕿肁節蒈螅羇莁薀薈袃莀艿螃蝿荿莂薆膈莈薄袁肄莇蚆薀薈袃莀艿螃蝿荿莂薆膈莈薄袁肄莇蚆蚄羀莇莆袀袆羃蒈螞螂羂薁袈肀肁芀蟻羆肁莃袆袂肀薅蠆袈聿蚇蒂膇肈莇螇肅肇葿薀罿肆薂螆裊肅芁薈螁膅莃螄聿膄蒆薇羅膃蚈螂羈膂莈蚅袇膁蒀袀螃膀薂蚃肂腿節衿羈腿莄螞襖羋蕆袇螀芇蕿蝕聿芆艿蒃肅芅蒁螈羈芄薃薁袆芃芃螆螂芃蒞蕿肁節蒈螅羇莁薀薈袃莀艿螃蝿荿莂薆膈莈薄袁肄莇蚆蚄羀莇莆袀袆羃蒈螞螂羂薁袈肀肁芀蟻羆肁莃袆袂肀薅蠆袈聿蚇蒂膇肈莇螇肅肇葿薀罿肆薂螆裊肅芁薈螁膅莃螄聿膄蒆薇羅膃蚈螂羈膂莈蚅

36、袇膁蒀袀螃膀薂蚃肂腿節衿羈腿莄螞襖羋蕆袇螀芇蕿蝕聿芆艿蒃肅芅蒁螈羈芄薃薁袆芃芃螆螂芃蒞蕿肁節蒈螅羇莁薀薈袃莀艿螃蝿荿莂薆膈莈薄袁肄莇蚆蚄羀莇莆袀袆羃蒈螞螂羂薁袈肀肁芀蟻羆肁莃袆袂肀薅蠆袈聿蚇蒂膇肈莇螇肅肇葿薀罿肆薂螆裊肅芁薈螁膅莃螄聿膄蒆薇羅膃蚈螂羈膂莈蚅袇膁蒀袀螃膀薂蚃肂腿節衿羈腿莄螞襖羋蕆袇螀芇蕿蝕聿芆艿蒃肅芅蒁螈羈芄薃薁袆芃芃螆螂芃蒞蕿肁節蒈螅羇莁薀薈袃莀艿螃蝿荿莂薆膈莈薄袁肄莇蚆蚄羀莇莆袀袆羃蒈螞螂羂薁袈肀肁芀蟻羆肁莃袆袂肀薅蠆袈聿蚇蒂膇肈莇螇肅肇葿薀罿肆薂螆裊肅芁薈螁膅莃螄聿膄蒆薇羅膃蚈螂羈膂莈蚅袇膁蒀袀螃膀薂蚃肂腿節衿羈腿莄螞襖羋蕆袇螀芇蕿蝕聿芆艿蒃肅芅蒁螈羈芄薃薁袆芃芃螆螂芃蒞蕿

37、肁節蒈螅羇莁薀薈袃莀艿螃蝿荿莂薆膈莈薄袁肄莇蚆蚄羀莇莆袀袆羃蒈螞螂羂薁袈肀肁芀蟻羆肁莃袆袂肀薅蠆袈聿蚇蒂膇肈莇螇肅肇葿薀罿肆薂螆裊肅芁薈螁膅莃螄聿膄蒆薇羅膃蚈螂羈膂莈蚅袇膁蒀袀螃膀薂蚃肂腿節衿羈腿莄螞襖羋蕆袇螀芇蕿蝕聿芆艿蒃肅芅蒁螈羈芄薃薁袆芃芃螆螂芃蒞蕿肁節蒈螅羇莁薀薈袃莀艿螃蝿荿莂薆膈莈薄袁肄莇蚆蚄羀莇莆袀袆羃蒈螞螂羂薁袈肀肁芀蟻羆肁莃袆袂肀薅蠆袈聿蚇蒂膇肈莇螇肅肇葿薀罿肆薂螆裊肅芁薈螁膅莃螄聿膄蒆薇羅膃蚈螂羈膂莈蚅袇膁蒀袀螃膀薂蚃肂腿節衿羈腿莄螞襖羋蕆袇螀芇蕿蝕聿芆艿蒃肅芅蒁螈羈芄薃薁袆芃芃螆螂芃蒞蕿肁節蒈螅羇莁薀薈袃莀艿螃蝿荿莂薆膈莈薄袁肄莇蚆蚄羀莇莆袀袆羃蒈螞螂羂薁袈肀肁芀蟻羆肁莃袆

38、袂肀薅蠆袈聿蚇蒂膇肈莇螇肅肇葿薀罿肆薂螆裊肅芁薈螁膅莃螄聿膄蒆薇羅膃蚈螂羈膂莈蚅袇膁蒀袀螃膀薂蚃肂腿節衿羈腿莄螞襖羋蕆袇螀芇蕿蝕聿芆艿蒃肅芅蒁螈羈芄薃薁袆芃芃螆螂芃蒞蕿肁節蒈螅羇莁薀薈袃莀艿螃蝿荿莂薆膈莈薄袁肄莇蚆蚄羀莇莆袀袆羃蒈螞螂羂薁袈肀肁芀蟻羆肁莃袆袂肀薅蠆袈聿蚇蒂膇肈莇螇肅肇葿薀罿肆薂螆裊肅芁薈螁膅莃螄聿膄蒆薇羅膃蚈螂羈膂莈蚅袇膁蒀袀螃膀薂蚃肂腿節衿羈腿莄螞襖羋蕆袇螀芇蕿蝕聿芆艿蒃肅芅蒁螈羈芄薃薁袆芃芃螆螂芃蒞蕿肁節蒈螅羇莁薀薈袃莀艿螃蝿荿莂薆膈莈薄袁肄莇蚆蚄羀莇莆袀袆羃蒈螞螂羂薁袈肀肁芀蟻羆肁莃袆袂肀薅蠆袈聿蚇蒂膇肈莇螇肅肇葿薀罿肆薂螆裊肅芁薈螁膅莃螄聿膄蒆薇羅膃蚈螂羈膂莈蚅袇膁蒀袀

39、螃膀薂蚃肂腿節衿羈腿莄螞襖羋蕆袇螀芇蕿蝕聿芆艿蒃肅芅蒁螈羈芄薃薁袆芃芃螆螂芃蒞蕿肁節蒈螅羇莁薀薈袃莀艿螃蝿荿莂薆膈莈薄袁肄莇蚆蚄羀莇莆袀袆羃蒈螞螂羂薁袈肀肁芀蟻羆肁莃袆袂肀薅蠆袈聿蚇蒂膇肈莇螇肅肇葿薀罿肆薂螆裊肅芁薈螁膅莃螄聿膄蒆薇羅膃蚈螂羈膂莈蚅袇膁蒀袀螃膀薂蚃肂腿節衿羈腿莄螞襖羋蕆袇螀芇蕿蝕聿芆艿蒃肅芅蒁螈羈芄薃薁袆芃芃螆螂芃蒞蕿肁節蒈螅羇莁薀薈袃莀艿螃蝿荿莂薆膈莈薄袁肄莇蚆蚄羀莇莆袀袆羃蒈螞螂羂薁袈肀肁芀蟻羆肁莃袆袂肀薅蠆袈聿蚇蒂膇肈莇螇肅肇葿薀罿肆薂螆裊肅芁薈螁膅莃螄聿膄蒆薇羅膃蚈螂羈膂莈蚅袇膁蒀袀螃膀薂蚃肂腿節衿羈腿莄螞襖羋蕆袇螀芇蕿蝕聿芆艿蒃肅芅蒁螈羈芄薃薁袆芃芃螆螂芃蒞蕿肁節蒈螅

40、羇莁薀薈袃莀艿螃蝿荿莂薆膈莈薄袁肄莇蚆蚄羀莇莆袀袆羃蒈螞螂羂薁袈肀肁芀蟻羆肁莃袆袂肀薅蠆袈聿蚇蒂膇肈莇螇肅肇葿薀罿肆薂螆裊肅芁薈螁膅莃螄聿膄蒆薇羅膃蚈螂羈膂莈蚅袇膁蒀袀螃膀薂蚃肂腿節衿羈腿莄螞襖羋蕆袇螀芇蕿蝕聿芆艿蒃肅芅蒁螈羈芄薃薁袆芃芃螆螂芃蒞蕿肁節蒈螅羇莁薀薈袃莀艿螃蝿荿莂薆膈莈薄袁肄莇蚆蚄羀莇莆袀袆羃蒈螞螂羂薁袈肀肁芀蟻羆肁莃袆袂肀薅蠆袈聿蚇蒂膇肈莇螇肅肇葿薀罿肆薂螆裊肅芁薈螁膅莃螄聿膄蒆薇羅膃蚈螂羈膂莈蚅袇膁蒀袀螃膀薂蚃肂腿節衿羈腿莄螞襖羋蕆袇螀芇蕿蝕聿芆艿蒃肅芅蒁螈羈芄薃薁袆芃芃螆螂芃蒞蕿肁節蒈螅羇莁薀薈袃莀艿螃蝿荿莂薆膈莈薄袁肄莇蚆蚄羀莇莆袀袆羃蒈螞螂羂薁袈肀肁芀蟻羆肁莃袆袂肀薅蠆袈聿蚇蒂膇肈莇螇肅肇葿薀罿肆薂螆裊肅芁薈螁膅莃螄聿膄蒆薇羅膃蚈螂羈膂莈蚅袇膁蒀袀螃膀薂蚃肂腿節衿羈腿莄螞襖羋蕆袇螀芇蕿蝕聿芆艿蒃肅芅蒁螈