1、浙江昱輝陽光能源有限公司文件編號：Q02-09單晶爐操作規程版本號:A/1頁碼：第1頁共35頁生效日期：2008年5月30日、目的:為正確、規范地操作單晶爐，確保生產作業正常進行，特制訂本規程。適用于FT-CZ2008型單晶爐的操作。圖1 FT-CZ2008型單晶爐圖2操作柜依據:依據為直拉法生長硅單晶的工藝和 FT-CZ2008型單晶爐的性能。批準審核編制修改履歷頁碼內容狀態備注浙江昱輝陽光能源有限公司文件編號：Q02-09單晶爐操作規程A肩* 口 八頁碼：第2頁共35版本號：A/1頁生效日期：2008年5月30日四、權責單位： 本規程的權責單位為浙江昱輝陽光能源有限公司硅單晶三廠技術部。五

2、、作業流程： 作業內容：八、1作業準備進入單晶車間須穿戴好潔凈工作服、鞋。、開爐前，按工藝要求檢查水、電、氣，確認無異常后方能開爐。、準備好一次性潔凈手套、耐高溫手套、毛巾、紙巾、研磨布、酒精、吸塵刷、吸塵管、防塵口罩。、準備好鉗子、扳手和各類裝拆爐專用工具。、準備取單晶用的專用取棒車、裝石墨件的不銹鋼長條車、裝堝底料的不銹鋼筒和裝硅料的不銹鋼小車，并處理干凈。用毛巾將爐體從上到下擦掃一遍，擦掃時注意不要將所有控制接線及開關碰斷或碰壞，并把爐子周圍清掃干凈。2、取單晶和籽晶、點擊【氬氣】進入氬氣控制菜單，在【MFC流量值】中分步遞增到100.0SLM，并先后點擊【MFC】和【上爐體氣閥】的【開

3、啟】按鈕。爐體壓力達到760Torr后，先后點擊【上爐體氣閥】和【MFC】的【關閉】按鈕。版本號：A/1 生效日期：2008年5月30日浙江昱輝陽光能源有限公司文件編號：Q02- 09頁碼：第3頁共35頁單晶爐操作規程圖3【氬氣】操作界面、擰開上爐體螺母，將操作手柄上的【HOIST】旋鈕打向UP位置點動上升爐筒至適 當位置，將操作手柄上的【SEED】旋鈕打向UP位置上升晶棒到翻板閥室以上，順時針轉動翻板閥手柄，關閉翻板閥。 圖4隔離閥手柄、上升上爐體至上限位，上升晶體至上爐體內。轉動晶棒托架，通過【SEED】UP/DOWN鍵調整晶棒的高度，使其與托架接觸，但不承重。生效日期：2008年5月30

4、日浙江昱輝陽光能源有限公司文件編號：Q02- 09版本號：A/1頁碼：第4頁共35頁單晶爐操作規程圖5晶棒托架、打開上爐體定位開關，轉動上爐體到一側，放下上爐體定位開關，便于取晶棒。 圖6定位開關、將操作手柄上的【SEED!按鈕打向UP位置，上升晶棒，轉動托架。再將【SEED! 打向DOWN下降晶體，用晶棒專用車承接晶棒，每進入一格，用鎖扣鎖住。下降晶棒使其與晶棒車有充分接觸，但不全部承重到晶棒車上。操作者一手拿住籽晶一手用鉗子將籽晶從細頸處鉗斷，鉗斷籽晶后，應穩定重錘，防止重錘快速轉動，損壞鋼絲繩。、將籽晶從重錘上取下，觀察籽晶積渣情況和有無機械損傷，取下的籽晶放在指定場所，再將重錘升至付室

5、內適當位置。、將晶棒移到中轉區，及時、準確的將晶棒編號寫在晶棒上，觀察晶棒顏色并做相應記錄，待晶棒自然冷卻后，由生產檢驗人員對晶棒進行各項參數檢測并做好記錄。浙江昱輝陽光能源有限公司文件編號：Q02-09單晶爐操作規程版本號：A/1頁碼：第5頁共35 頁生效日期：2008年5月30日圖7晶棒中轉專用車3、石墨件取出冷卻、石墨小件的取出 、打開上爐體定位開關，旋轉到爐蓋上方，合上上爐體定位開關，將操作手柄上的【HOIST】按鈕打向DOWN位置下降上爐體至爐蓋，擰緊上爐體螺母，將【HOIST】 按鈕打向UP位置，上升至限位，打開上爐體定位開關，再旋轉爐蓋到側面，合上 上爐體定位開關。 、戴好耐高溫

6、手套按順序取出導流筒及保溫蓋放在裝石墨件的不銹鋼長板車上，注意要拿穩并輕放。 、觀察石英坩堝的堝口積渣情況，然后戴好耐高溫手套用鉗子夾住石英坩堝的上端 部分提起，使其松動，將石英坩堝取出。若石英坩堝能將堝底料全部帶出，則直接 放入不銹鋼筒；若不能，則將先取出石英坩堝，然后將大塊料拿出放入不銹鋼筒， 剩下的堝底料隨石墨三瓣堝一并取出后， 再將堝底料放入不銹鋼筒內。取出堝底料 時要觀察堝底是否有滲硅情況并做相應記錄。若出現悶爐等意外情況則用鉗子像裝 料一樣一塊塊取出，直至徹底取出。最后將不銹鋼筒放在堝底料推車上移到指定地 方，并寫上單晶編號，自然冷卻。冷卻后對堝底料進行重量檢測并作好記錄。圖8堝底

7、料筒與堝底料推車浙江昱輝陽光能源有限公司文件編號：Q02-09頁碼：第7頁共35頁單晶爐操作規程版本號：A/1生效日期：2008年5月30日 、戴好耐高溫手套依次取出石墨三瓣堝、石墨堝托放在裝石墨件的不銹鋼長板車上，放上后要注意放穩當，觀察三瓣堝是否有微裂紋并做相應記錄。 、取出的石墨件一并放在不銹鋼長板車上，在不銹鋼長板車邊掛上石墨件所屬爐號牌，移到指定的位置，自然冷卻，移動過程中注意石墨件放置，防止墜落。、石墨大件的取出（一般3爐做一次，需作好大清記錄） 、取出上成型碳氈和上保溫筒放在不銹鋼長板車上。 、將操作手柄上的【CHAMBER】按鈕打向UP位置，升起爐筒至限位，旋轉爐筒到一側。 、

8、取出中成型碳氈和中保溫筒放在不銹鋼長板車上。 、先取下加熱器螺絲蓋，用專用工具取下加熱器螺絲后，取下加熱器放在不銹鋼長板車上。 、依次取出石墨托柄、坩堝軸擋料罩、排氣套管、底保溫板、下保溫筒、爐底防漏板、石英電極環、石墨電極、爐底板、坩堝軸護套、底保溫支撐環、爐底碳 氈等放在不銹鋼長板車上。在小車邊掛上石墨件爐號牌，移到指定的位置，自 然冷卻，移動過程中注意石墨件放置，防止墜落。圖9主要石墨件4、真空過濾器清掃準備好吸塵刷、吸塵管、酒精、紙巾、扳手，帶好手套、防塵口罩。、打開波紋管和真空過濾器頂蓋的連接法蘭，擰開真空過濾器頂蓋螺絲，取出過濾網。、用吸塵刷仔細清掃過濾網及過濾器內的揮發物。、將清

9、掃后的過濾網緩慢放進過濾器內。浙江昱輝陽光能源有限公司文件編號：Q02- 09頁碼：第10頁共35頁單晶爐操作規程版本號：A/1、用吸塵刷清掃過濾器蓋，用沾酒精的紙巾擦凈密封圈，并檢查密封圈是否完全就位，防止出現脫落或出槽影響抽空。、蓋好過濾器頂蓋并用扳手擰好過濾器頂蓋螺絲，擰上波紋管和過濾器頂蓋的連接法蘭。圖10真空泵與真空泵房5、真空泵油檢查與更換、確認關閉主泵手閥和真空泵，在放油單晶爐上掛檢修牌，將廢油桶置于真 空泵放油口下方，打開上下腔放油開關，放完油后關閉上下腔放油閥，廢油倒 入指定油桶。、清掃真空泵（每3爐清掃一次），用扳手打開真空泵側蓋，置于適當位置, 用毛巾徹底清理真空泵腔、側

10、蓋和下腔濾油網的油污，清掃完畢后，安裝好濾 網，安裝好側蓋。側蓋在打開、安裝時小心操作，防止損壞側蓋及油封而漏油。 泵腔內禁止遺留紙屑或其它異物，不然會造成油路的堵塞導致真空泵卡死。清 理真空泵的廢棄物放入指定垃圾桶。、打開真空泵注油口，將真空泵油注入真空泵注油孔，觀察真空泵油位至油 位觀察窗1/2位置，停止注油，打開泵側的油路管道閥門向下腔放油，關閉油 口。、啟動真空泵工作5min后關閉泵側的油路管道閥門，察看油位是否處于油位 觀察窗1/3-1/2位置，關閉真空泵，在放油單晶爐上移去檢修牌。若低于下限 重復（四）、（五）操作。6、石墨件清掃、石墨件清掃 、石墨件必須在指定的通風廚室進行清掃，

11、準備好清掃用品（吸塵刷、紙巾、吸塵管、研磨布、除硅粒的專有工具、放石墨件的潔凈長板車等）戴好手套、 防塵口罩。清掃好清掃臺及周圍環境。 、依次用吸塵刷清掃各類石墨件直至確認無污物，溝槽及接口等吸附揮發物較多的部位要用研磨布認真打磨后再吸塵清掃。、清掃時注意檢查各石墨件是否有損壞及粘硅，有損壞及粘硅要及時更換和 處理。、操作時要輕拿輕放以免造成石墨件的損壞。、清理完畢的石墨件放到事先準備好的潔凈不銹鋼長板車上。禁止疊加，移動不銹鋼小車要穩當。、清掃后垃圾放入垃圾指定處，清掃好清掃臺及周圍環境。、石墨大件爐內清掃（適用于每爐小清，石墨大件未取出時在爐內清掃）、用吸塵刷吸凈爐筒、保溫筒和加熱器上沿拆

12、爐時掉落的殘渣。、用吸塵刷仔細清掃保溫筒和加熱器所能觸及到的部位。、取出加熱器螺絲蓋，檢查電極螺絲是否松動、脫落或粘硅。有松動須擰緊, 有脫落或粘硅須更換。然后蓋好加熱器螺絲蓋。在拆爐時不小心引起熱場移動或轉動，一定要檢查熱場是否對稱，測溫孔要重新校正。如果測溫孔與溫度傳感器沒有對準，會導致無法對爐內溫度 進行自動控制，無法成晶。圖11測溫裝置、檢查底保溫板H盤和加熱器電極腳的距離是否對稱，若距離不一致要調整間距。檢查是否有石墨碎屑伸出；若有，要將碎屑吸除。 、兩段式的石墨托柄，要檢查是否松動和機械損傷，若發現松動，要擰緊。檢查石墨托柄和坩堝軸護套四周間隙是否一致。 、用吸塵刷吸凈底保溫板、排

13、氣孔和排氣套筒內的附塵及殘渣。 、用帶有酒精的紙巾清理爐壁上部。生效日期：2008年5月30日7、單晶爐室清掃、上爐體的清掃安裝、準備好清掃棒、紙巾、酒精。 、在清掃棒上纏上沾有酒精的紙巾，清掃上爐體內部至上部，直至確認無污物。 、快速降下籽晶夾頭，用沾有酒精的紙巾認真擦掃重錘及鉬夾頭。需要時要將重錘摘下用研磨布認真打磨，并清掃干凈。摘下重錘時要慎重作業，防止鋼 絲繩上彈造成鋼絲繩出槽。清掃鋼絲繩時要檢查其接頭部位是否老化或損壞， 若有應截去一截鋼絲繩，防止在拉晶過程中單晶掉下。清掃后，上升重錘到 一定位置，升重錘時，不要使重錘晃動，防止重錘掛住上爐體下沿，拉斷鋼 絲繩。、爐蓋清掃 、觀察爐頸

14、處的積渣情況，然后用紙巾擦掃內壁 （氧化物過多先用吸塵刷清理）。 、小孔部位、觀察窗部位、照相機部位、閥口部位各處的接口及焊接口等不易清掃的部位要用沾有酒精的紙巾認真擦掃，直至確認無污物。 、硅粉強力附著時或爐蓋局部發黑、發白時要用研磨布認真研磨直至爐蓋整個內壁出現光亮無污物。 、觀察窗、相機窗口要認真清理，所有小孔的位置要把紙巾卷成卷以便伸進氣孔內部更容易清理直至沒有污物。、用沾有酒精的紙巾認真擦掃抽氣口、其它小孔及翻板閥四周及轉軸。打開翻 板閥，翻板閥的溝槽部位及焊縫處先用紙巾卷成利于操作的形狀再認真擦掃。 檢查翻板閥對中情況和翻板閥冷卻水。、爐筒清掃 、先用紙巾擦掃內壁（氧化物過多先用吸

15、塵刷清理）。 、取光孔部位要用沾有酒精的紙巾認真擦掃，直至確認無污染。 、硅粉強力附著時或爐筒局部發黑、發白時要用研磨布認真研磨直至爐筒整個內壁出現光亮無污物。、抽氣管道清掃。 、打開抽氣管道上的封蓋螺圈，取下封蓋和密封圈。 、用一頭纏鋼絲球的長棒伸入管道抽動，另一頭用吸塵刷吸除抽氣管道內的揮發物。浙江昱輝陽光能源有限公司文件編號：Q02- 09單晶爐操作規程版本號：A/1頁碼：第10頁共35頁生效日期：2008年5月30日、用沾有酒精的紙巾認真擦掃封蓋和密封圈，再安裝好。8、石墨件安裝、清掃后的石墨大件安裝（一般 3爐做一次）、將清理完畢的石墨大件不銹鋼長板車移到單晶爐旁邊，移動過程要穩當。

16、 依次裝好石墨電極、爐底碳氈、底保溫支撐環、坩堝軸護套、爐底板、爐底 防漏板、坩堝軸擋料罩、下保溫筒、底保溫板、排氣套管、石英電極環。安 裝電極時，要檢查電極柱冷卻水，然后檢查電極接觸面是否平整，上下接觸 面要放一層石墨紙，防止熱場打火。、將清掃后的加熱器裝好，擰上石墨螺絲，要擰緊，兩邊受力均勻，并蓋上石 墨螺絲蓋。、檢查底保溫板H盤和加熱器電極腳的距離是否對稱，若距離不一致要調整間 距。檢查是否有石墨碎屑伸出；若有，要將碎屑吸除。 、將清掃后的中保溫筒裝好，卡口接到位。并校正與加熱器的間距，要均勻一致，否則需調整好。然后放中成型碳氈。若轉動了保溫筒，需重新校正加熱器 電極腳和底保溫板的間隙。

17、 、用沾有酒精的紙巾擦掃下爐筒上部的結合部和中爐筒下部的結合部，同時轉動爐筒到適當位置。 、將【CHAMBER】按鈕打向DOWN位置，爐筒降到位后，校對測溫孔，防止測光信號過小無法溫度自控。 、將清掃后的上保溫筒裝好，并卡口接到位，然后放上成型碳氈。、清掃后石墨小件的安裝。 、裝好石墨托柄，一定要擰緊石墨托柄，防止因松動造成液面晃動。檢查石墨托柄和坩堝軸護套四周的間隙是否一致。檢查石墨托柄是否擰緊。 、依次裝好石墨堝托、石墨三瓣堝。安裝時要確認堝桿、堝托、三瓣堝是否尺寸配合，要認真、細心，防止碰壞保溫材料或加熱器。 、裝好后要打開堝轉旋轉一下，以檢查三瓣堝與加熱器間距是否一致。若不一浙江昱輝陽

18、光能源有限公司文件編號：Q02- 09單晶爐操作規程生效日期：2008年5月30日致，需及時調整。升降坩堝，檢查是否有異常響聲。圖13熱場組裝!注意：熱場組裝到位后，要檢查操作屏幕上【原點】是否為紅色顯示，若沒有紅色顯示，則需進行【初始化】操作。9、石英坩堝安裝、爐筒、爐蓋的外側及周遍，用沾有酒精的紙巾擦掃平干凈，爐體周圍地面認真打掃。、從指定的場所將指定石英坩堝取來。穿好潔凈的專用工作服及工作帽，戴好防塵口罩和裝料用的潔凈手套。、檢查石英坩堝包裝上標識與配料單上是否一致， 打開石英坩堝包裝，對光確認有無裂紋、污物、氣泡、黑點。若有異常及時處理并報告班長或主任。、在石墨三瓣堝內裝好石英坩堝，注

19、意保證四周間隙和高度一致。、在操作記錄單上記好所用石英坩堝的生產廠家、編號和高度，同時保管好石英坩堝標簽號，放入指定地方。10、硅料安裝、取來裝料不銹鋼小車和硅料，仔細核對配料單的各項內容是否與單晶爐號、配料實物一致，若有異常及時處理并報告班長或主任。、雙手各戴上1副棉手套，再戴上3至5副一次性手套，如有母合金，先放入石英坩堝，將 版本號：A/1頁碼：第13頁共35頁袋留下，以便及時將所裝入的母合金填寫在操作記錄單上。浙江昱輝陽光能源有限公司文件編號：Q02- 09單晶爐操作規程生效日期：2008年5月30日、在石英坩堝高度的1/3以下盡量使硅料采用面接觸，料的高度達到石英坩堝的2/3 后，盡

20、量使硅料與石英坩堝點接觸。大塊硅料不要裝在底部。裝料時要慎重作業， 輕拿輕放，防止碰撞石英坩堝，不要使料掉在保溫筒的縫隙，以免造成打火。、裝料時注意不要使硅料探出石英坩堝， 否則會在熔料過程中引起硅液流下， 損壞石墨件，甚至燜爐。、裝料完成后打開堝轉旋轉一下，確認四周間隙一致，再快速將堝降至下限，停止旋轉。、三瓣堝上部、加熱器上部、保溫筒上部再用干凈吸塵刷吸凈浮塵及硅渣。、依次裝好保溫大蓋、導流筒，保溫大蓋和導流筒用無塵紙擦拭干凈。安裝保溫罩、導流時要相互吻合，安裝導流筒時要慎重作業，如果與硅料發生接觸時要調整硅 料的擺放，防止在化料過程中發生粘硅。11、籽晶安裝、將操作手柄上的【SEED】按

21、鈕打向DOWN位置，下降籽晶夾頭至適當位置。、從指定的場所將腐蝕好的籽晶取來，用沾有酒精的紙巾認真擦掃籽晶。!注意：不要直接用手接觸籽晶，防止汗漬污染籽晶。、將重錘取下，使籽晶吊繩處于自由狀態，觀察籽晶吊繩的彎曲狀態，觀察其是否處于自由彎曲、是否有折痕或鉚接處毛刺等。圖14籽晶吊繩確認籽晶和籽晶吊繩沒有異常后， 把籽晶裝在夾頭上，裝好鉬銷。用力向下拉一下籽晶使其牢固，穩定好籽晶后把【SEED!按鈕打向UP，上升至適當位置。!注意：安裝籽晶時不要旋轉籽晶，裝好后垂直下拉籽晶，防止有間距在拉晶時晶棒下滑。、用沾有酒精的紙巾擦掃爐蓋和爐筒接合部的密封圈，打開上爐體定位開關，旋轉至爐筒上部。、將操作手

22、柄上的【HOIST】按鈕打向DOWN位置，降下爐蓋，降爐蓋時要注意螺絲吻合。爐蓋降到位后確認爐蓋是否合好，防止漏氣。12、抽空、檢漏、打開真空泵電源,然后點擊【壓力】操作菜單下的【打開】按鈕。、緩慢打開手動閥,爐內壓力在 400Torr以下完全打開手動閥。圖15手動閥圖16【壓力】操作菜單、抽空后爐內壓力達到400Torr時，充氬氣15秒左右，抽真空1小時左右，使爐內壓力v40mTorr。、待爐內壓力v40mTorr后，關閉手動閥30秒后，按下【泄漏檢測】按鈕，打開檢漏菜單，按下【開始】按鈕，開始檢漏，檢漏時間 5分鐘，按下【停止】按鈕,此時屏幕上的漏氣量和時間就是檢測結果。要求爐子漏氣速率v

23、0.8mTorr/min （即5分鐘小于4mTorr），檢漏合格進入加熱熔料工序。、若爐子極限真空40mTorr,需重復1、2、3步驟；若爐子漏氣速率0.8mTorr/min，則需重復1、2、3、4步驟進行抽空檢漏，若不合格報告維修人員處理。并進行 相應記錄。13、充氬氣、升功率、熔料、抽空檢漏合格后，點擊【壓力】菜單下的【打開】按鈕，然后緩慢打開手動閥。、調節【MFC流量值】為3050SLM，分別點擊MFC【開】和上爐體氣閥【打開】 按鈕，【壓力設定】值為1015Torr,然后點擊【自動】按鈕。!注意：若打開的氬氣流量值比較大時，要采用分布遞增的方法逐漸增大氬氣流量，停止時則分步遞減，這樣做

24、可以使氬氣流量計不會因為流量突然變化太大，而發生零點偏移。、點擊控制面板上的加熱開關。、將操作屏幕旁邊的狀態控制旋鈕打到自動檔，按下屏幕下方的【工序開始】，屏幕 中會跳出是否執行化料程序的確認對話框，點擊【接受】，開始自動化料程序。、在熔料過程中，要觀察硅料的熔化過程，是否有掛邊，是否有不熔性雜質，檢查電流值是否穩定，功率值是否 、若手動熔料，將操作屏幕旁旋鈕打到手動檔，調出【加 單，根據參考表1,分步增 功率均作相應記錄。對加熱 應小心操作，防止功率迅速 變壓器負荷過大，或對整個 瞬間電流過大而打火或損 加熱順序進行加熱，否則可 上升造成石英坩堝破裂、漏時間功率0mi n30KW20min6

25、0KW50min80KW70min90KW100min98KW穩定。邊的狀態控制 熱器】控制菜 加功率。每次加 器功率的使用 增大，瞬時造成 加熱回路造成 壞。應嚴格按照 能會溫度突然 硅。表1分步升功率參考、熔料過程中注意觀察爐內的情況，若無異常塌料后點擊操作屏幕上【坩堝】，給定堝轉為2r/min，使用操作手柄上的【CRUCIBLE】鍵，打向【UP】上升適當堝位。原則上爐內條件允許，能開堝轉盡量開堝轉；能升堝位，盡量升堝位，并進行相應記錄。升堝時注意不要使硅液面觸到導流筒下沿，兩者之間保持一個安全距離。升完堝位后，通過對屏幕上坩堝位置的確認，保證坩堝無動作，方可完成，否則會使導流筒粘硅，發生

26、跳硅。、熔料過程中，注意觀察有無掛邊、漏硅等情況，若發現要及時處理。浙江昱輝陽光能源有限公司文件編號：Q02- 09版本號：A/1頁碼：第17頁共35頁單晶爐操作規程生效日期：2008年5月30日圖17【加熱器】菜單圖18操作手柄圖19【坩堝】菜單14、溫度穩定、觀察爐內硅料是否完全熔化，是否有掛邊。如有掛邊，要及時處理，按下屏幕下方的【工序復位】按鈕，在彈出的對話框中選擇【接受】，然后將操作面板旁邊的狀態旋鈕打向手動檔，將操作手柄上的【CRUCIBLE】打向DOWN位置，降低坩堝至適當位置，按屏幕上的【加熱器】按鈕，在【功率】中輸入適當的高功率值，點擊【DC功率控制】的【開】按鈕；掛邊消失后

27、,浙江昱輝陽光能源有限公司文件編號：Q02-09版本號：A/1頁碼：第16頁共35頁單晶爐操作規程生效日期：2008年5月30日迅速按屏幕上的【加熱器】按鈕，在【功率】中輸入適當的低功率值，點擊【 DC功率控制】的【開】按鈕，然后將操作手柄上的【CRUCIBLE】打向【UP】位置，上 升坩堝至適當位置，升堝時注意不要使硅液面觸到導流筒下沿，升完石英坩堝后通 過檢查屏幕上的坩堝位置確認坩堝無動作，方可完成，否則會使導流筒粘硅，發生 跳硅；掛邊處理完后，手動進入【溫度穩定】工序。如無掛邊，則按【下一步】進入【溫度穩定】工序。、自動熔料時間已到還沒有熔完料，爐臺會有提示音，彈出是否結束熔料工序的對話

28、框，待料完全熔化后，點擊【接受】按鈕，進入【溫度穩定】工序。、若手動進行溫度穩定，則按下操作面板上的【工序復位】，點擊【接受】按鈕,將狀態控制按鈕打向手動檔。、點擊屏幕上的【坩堝】鍵，調出坩堝控制菜單，在【旋轉速度】中分步輸入坩堝 轉速，然后點擊旋轉欄中的【ON】按鈕，直到坩堝轉速為目標值 610r/min。、通過調整操作手柄上的【CRUCIBLE】UP鍵，使坩堝位置停留在引晶堝位，即液面與導流筒的距離在20mn左右，引晶堝位可在上爐堝位基礎上根據投料量增加 /減少量，來確定本次引晶堝位，具體可參照附錄a引晶位置變化參考表，并進行相應記錄。、調出功率控制菜單，參考上爐引晶功率，輸入本爐穩定所需

29、的引晶功率值，點擊DC溫度控制】5C以上，否則會由【DC功率控制】的【開】按鈕，進入功率穩定時期；根據上爐引晶溫度，在【加熱器溫度控制】中輸入本爐所需的溫度穩定的引晶溫度值，點擊【的【開】按鈕，開始溫度穩定。!注意：打開溫度穩定時，設定溫度值要分多次慢降，實際溫度相對于設定溫度不要大于 于功率到零而發出報警。15、引晶和縮頸、取樣測電阻率 、在手動狀態下，將操作手柄上的【SEED】鍵打向DOWN位置，下降籽晶停留在從主觀察窗剛能看到的位置， 并點擊操作面板上的【SEED!鍵進入籽晶控制菜單，在【旋轉速度】欄中分布輸入晶轉速度，點擊【旋轉】的【開】按鈕, 直到晶轉速度為目標值810r/min。

30、、10分鐘后，降籽晶至距液面10mm處預熱。20分鐘后，降籽晶使之與硅液面 接觸，浸潤10分鐘，根據接觸光圈的形狀，確定引晶溫度是否合適，若合適開 始引晶；若不合適，通過調整溫度或堝轉，10分鐘后開始引晶。浙江昱輝陽光能源有限公司文件編號：Q02-09單晶爐操作規程版本號:A/1頁碼：第17頁共35頁生效日期：2008年5月30日 、適當引晶到一定長度，降S/L為0.5mm/min左右，進入自動放肩程序，放肩至直徑5060mm，將【操作手柄】上的【SEED!鍵打向UP位置，提離液面 上升到導流筒中部停留5分鐘，然后提升到上爐體內，緩慢調節籽晶轉速為0r/min，確認吊肩升過翻板閥室后，緩慢順時

31、針關閉隔離閥，當傳感器燈亮時 停止關閉動作。 、點擊【氬氣】，調出氬氣控制菜單，在【MFC流量值】欄中輸入100,并依 次點擊【MFC】的【開】按鈕，【上爐體氣閥】的【打開】按鈕，【下爐體氣 閥】的【打開】按鈕。、當上爐體的壓力到達760Torr時，點擊【上爐體氣閥】的【關閉】按鈕，停止上爐體的氬氣供應。然后調節氬氣流量為50SLM。、擰開上爐體與翻板閥室的連接螺母，將操作手柄上的【 HOIST】旋鈕打向UP位置點動上升上爐體至適當位置，打開上定位開關，旋轉上爐體至一側，下降 籽晶至適當位置。 、用鉗子取出籽晶下放肩部位，取籽晶時要慎重作業，不可用手直接接觸籽晶,防止燙傷等冷卻后測電阻率。 、

32、待籽晶冷卻后用紙巾擦掃干凈，并順勢向下拽拉籽晶。 、清潔翻板閥室和上爐體連接法蘭的密封圈，并檢查是否完好，旋轉上爐體至爐蓋上方，將操作手柄上的【HOIST】旋鈕打向DOWN位置下降上爐體和爐蓋40mn以合緊，合緊過程中注意入孔要吻合，合上爐體定位開關，擰上上爐體和爐蓋的 連接螺母。!注意：在打開和合攏上爐體之前要確認坩堝升降動作停止，且保證導流筒和液面之間的距離在上。、上爐體抽空作業、打開輔泵電源。、慢慢打開上爐體抽氣球閥，直至全開。、用輔泵將上爐體的壓力抽到100Torr時，點擊【上爐體氣閥】的【開】按鈕,當壓力充至650Torr時，點擊【上爐體氣閥】的【關】按鈕。如此反復三次,將上爐體的壓

33、力抽至與下爐體接近時，關閉上爐體球閥，然后關閉輔泵電源。 、緩慢打開翻板閥，打開翻板閥時要緩慢操作，防止損壞或擠出閥口密封圈。 、重新輸入氬氣流量值為4050，點擊【MFC的【開】按鈕，依次點擊【下爐體氣閥】的【關閉】按鈕，【上爐體氣閥】的【打開】按鈕。 、補摻母合金浙江昱輝陽光能源有限公司文件編號：Q02-09版本號：A/1頁碼：第18頁共35頁單晶爐操作規程生效日期：2008年5月30日、若電阻率測試結果在目標范圍時，可進行下一步預熱接觸引晶；若有偏離,須補摻母合金，由相關人員根據電阻率測試結果和投料量計算出補摻母合金的 類型和數量，并去取出稱量，進行補摻，作好相應記錄。 、補摻過程同A取

34、樣測電阻率一樣，只是放肩放到 100150mm,盡量放平肩。 、將上爐體旋轉到一側后，不取下籽晶，將已稱量的母合金放在平肩上。放母合金時要慎重作業，不可用手直接接觸籽晶，防止燙傷。、再按B上爐體抽空作業后，適當調節熔硅溫度，把籽晶和母合金降到液面中,使其熔化摻入。、再重復A取樣測電阻率，B上爐體抽空作業，C補摻母合金，直到電阻率測試合格進入下一工序。、預熱接觸、電阻率合格后，將操作手柄上的【SEED】鍵打向DOWN位置，下降籽晶停留在從主觀察窗剛能看到的位置，在【旋轉速度】欄中分步輸入晶轉速度，點 擊【旋轉】的【開】按鈕，直到晶轉速度為目標值810r/min。!注意：為防止籽晶由0轉速到大轉速

35、而產生晃動的話，可以分多次增加轉速。、20分鐘后,將操作手柄上的【SEED!鍵打向DOWN，降籽晶至距液面10mm處預熱。、20分鐘后,降籽晶使之與硅液面接觸，浸潤 20分鐘，若不合適，通過屏幕上的【加熱器】控制菜單下的【DC溫度控制】和【坩堝】轉速調整溫度，20分鐘后開始引晶。!注意：必須預熱，不然會由于籽晶由低溫區到高溫區、由固態到液態轉變時，溫差太大造成籽晶產生位錯。、籽晶快速上升或下降的位置必須確認，升降操作方可完成，否則會溶掉籽晶 甚至重錘，升至上限時會導致重錘掉下進入溶硅內，造成漏硅或整爐料徹底報廢，無法再次利用。、引晶、點擊【工序參數】進入參數修改畫面，將【NECK目標直徑】中的

36、直徑值設定到接近籽晶粗細的值，并按【執行】按鈕。、將狀態控制按鈕打向自動檔，點擊【工序開始】鍵，彈出對話框，點擊【確認】鍵，進入自動模式。點擊【工序控制】進入程序控制畫面，選擇【引晶模式】并按【執行】，進入浙江昱輝陽光能源有限公司文件編號：Q02-09單晶爐操作規程版本號：A/1頁碼：第19頁共35頁生效日期：2008年5月30日 、自動引晶模式。 、程序會通過控制拉速自動往設定的直徑控制，若進一步減小直徑，可以多次修改【工序參數】中【NECK目標直徑】的設定籽晶直徑值。!注意：由于實際直徑與設定直徑偏差過大會導致拉速變化過大而將所引細晶拉斷，每次只做小量的修改（0.2mm/次左右）。 、可以

37、點擊【籽晶】調出籽晶控制菜單，在【低拉速值】中輸入需要對拉速進行微調的量，點擊【低拉速】欄下的【+】和【一】按鈕，對拉速進行微調。 、引晶過程中若溫度不適，可通過【加熱器】和【坩堝】適當進行溫度的調整，但不宜過大。引晶開始時，應先引10mm左右直徑較粗的細頸，可作為下次接 觸使用，這樣避免籽晶的浪費。圖20引晶 、引晶過程中若籽晶熔斷，則重新進行引晶溫度的調整，籽晶插入液面，重新進行引晶。作好相應記錄。 、若自動引晶不理想，可以隨時考慮進入手動狀態來手動引晶。點擊【工序復位】，在彈出的對話框中選擇【確認】，隨后將狀態控制旋鈕打到【手動】檔。 、通過操作手柄上的籽晶拉速鍵來調整拉速，使籽晶的直徑

38、達到理想值。也可以點擊【SEED!鍵調出籽晶控制菜單，在【低拉速值】中輸入所要的拉速，然 后點擊【低拉速】欄中的【UP】鍵，執行所設定的籽晶拉速值。可通過【加熱 器】和【坩堝】適當進行溫度的調整，但不宜過大。6寸參考引晶直徑在3mm左右，長度不低于150mm； 8寸參考引晶直徑在5mm左右，長度不低于200mm。浙江昱輝陽光能源有限公司文件編號：Q02- 09版本號：A/1頁碼：第20頁共35頁單晶爐操作規程生效日期：2008年5月30日16放肩、弓I晶達到預定的長度后，如果在自動引晶狀態下，點擊【下一步】，在彈出的對 話框中點擊【確認】，進入自動放肩程序。引晶達到預定的長度后，如果在手動引晶

39、狀態下，將狀態控制旋鈕打到自動檔， 點擊【工序開始】，在彈出的對話框中選擇【確認】，進入自動模式。點擊【工序控制】進入程序控制畫面，選擇【放肩模式】并按【執行】鍵，進入 自動放肩程序。、在自動放肩過程中，晶體的直徑會慢慢變大，用觀察窗上的測徑儀測量晶體的實 際直徑，并比較相機的讀數直徑，計算兩者的差別。放肩盡量要放平肩。注意放肩的形態，放肩時要時刻觀察肩的形狀，放肩過快過 慢時應及時進行適當地溫度或拉速調整。圖21放肩、點擊【工序參數】調出工序控制菜單，在參數【轉肩提升直徑】中輸入開始轉肩 時相機所要達到的數值，點擊【執行】按鈕。注意：輸入的數值和相機讀數的差值要與此時的實際直徑和所需的目標直

40、徑的差值一致。、放肩壞時，則重新進行溫度的調整，插入液面，熔去放肩和引晶部位，再引晶。 若料較臟時，將肩放至直徑150160mm提離液面上升到導流筒中部停留 5分鐘, 然后上升到上爐體，緩慢調節籽晶轉速為 點擊【氬氣】，調出氬氣控制菜單，在【 擊【MFC】的【開】按鈕，【上爐體氣閥】【打開】按鈕。當上爐體的壓力到達760Torr時，點擊【上爐體氣閥】的【關閉】按鈕，停止上爐 體的氬氣供應，然后調節氬氣流量為 50SLM。0r/min，順時針緩慢關閉隔離閥。MFC流量值】欄中輸入100,并依次點 的【打開】按鈕，【下爐體氣閥】的浙江昱輝陽光能源有限公司文件編號：Q02-09版本號：A/1頁碼：第

41、24頁共35頁單晶爐操作規程生效日期：2008年5月30日(11)、擰開上爐體和爐蓋的連接螺母，將操作手柄上的【HOIST】旋鈕打向UP位置上升 上爐體至適當位置，打開上爐體定位開關，旋轉上爐體至一側，下降籽晶至適當位 置。(12)、取出不成晶品放到指定位置待其冷卻后做好標識放入指定場所。17、轉肩、根據目標直徑的不同，將肩放到合適直徑，達到【轉肩提升直徑】的設定直徑值 時，自動進入轉肩程序、轉肩后，程序自動進入等徑程序，此時相機的讀數會有所變化。圖22相機、點擊【工序參數】進入參數修改頁，將【等徑目標直徑】中的值修改成此時的相機讀數值，并按【執行】按鈕執行。!注意：若此時晶棒直徑的實際值與目

42、標值有偏差，可以通過多次設定接近目標值的方法來達到目標直徑。、密切關注單晶的生長速度，適當調整拉速。圖23轉肩、待單晶生長到目標直徑時點擊【工序參數】進入參數修改頁，在【坩堝進度比率】中輸入坩堝跟進比率。坩堝跟進比率的設定可參照附錄B堝跟比參考表。(6)、一定要注意單晶生長的起始階段直徑是否穩定。!注意：若等徑起始階段直徑生長不穩定，可以嘗試手動待直徑穩定后，再切換到自動，但需點擊【工序參數】進 入參數修改頁，將【Body起始長度】的值修改為手動穩定的長度值。18、等徑生長、正常等徑控制 、等徑過程中應時常觀察爐內單晶生長情況， 每隔10分鐘對爐內巡視1次，確認有無異常，每隔1小時對爐內晶體測

43、量一次直徑。等徑過程中每 1個小時做1次Body目標拉晶記錄。注意觀察硅液面與導流筒之間的距離。 、若有直徑偏大或偏小現象，點擊【工序參數】進入參數修改頁，將【直徑】的值往需要的直徑修改，需變大則在此時的相機讀數上加大，需變小則在 此時的相機讀數上減小，并按【執行】鍵。若實際直徑與目標直徑偏差較大，可 以分次修改，待前次的修改值達到后再行修改。圖24等徑 、根據情況的不同，等徑至硅料液面下降到石英坩堝內徑變小處時，應該適當增大坩堝跟進比率。!注意：自動狀態下的手動修訂，只能在原數據的基礎上進行加減操作，且在拉晶恢復正常時，務必將原來設 定參數上的加減項去掉，否則會影響程序的正常拉晶控制。 、若

44、需要直接手動修訂拉速、坩堝堝隨、溫度等拉晶條件，可以點擊【0PRATION】進入手動干預菜單，分別選擇需要修改的項目，如【籽晶】、【加熱器】，點擊 其中一項則會出現各自的操作界面，在各自的值中輸入需要修改的參數的差值, 然后點擊【+】/【】來對原來的參數進行修訂。、在自動等徑過程中，可以點擊【工序參數】和【子參數表】進入各自的操作畫 面，進行相應的修改，然后按【執行】鍵執行。、等徑斷棱時回熔、6寸單晶在300mm內，8寸單晶在400mm以內斷棱時，進行回熔處理。作好相應記錄。、點擊【工序復位】，在彈出的對話框中選擇【確認】按鈕，然后將狀態控制按鈕打向手動檔。、點擊【坩堝】鍵調出坩堝控制菜單，在

45、【旋轉速度】中輸入 2r/min，點擊【旋轉】的【開】按鈕；點擊【低速升降】的【關】按鈕，將坩堝的升降停止，下降坩堝到高溫區。、點擊【籽晶】鍵調出籽晶控制菜單，在【旋轉速度】中輸入 2r/min，點擊【旋、轉】的【開】按鈕；點擊【低速升降】的【關】按鈕，將籽晶的升降停止。點擊【加熱器】鍵調出加熱器控制菜單，點擊【DC溫度控制】的【關】按鈕,關閉溫度控制。在【功率】中輸入比引晶功率高出1015KW的功率值，點擊【DC功率控制】的【開】按鈕。、觀察爐內狀態，慢慢下降晶體進行回熔，晶體過長需要熔化一段后，經確認經已熔化后，再慢慢下降一段晶體進行回熔，直到全部回熔。!注意：觀察回熔過程中和回熔結束后液

46、面和導流筒之間的距離，適當調整坩堝位置，不要涮導流筒。、回熔完成后重新開始引晶操作工序。、等徑斷棱時晶體收尾提出、6寸單晶在300mm以上斷棱，8寸單晶在400mm以上斷棱時，且估計本次晶體提前收尾并提出后還能正常等徑 6寸在300mm或以上，8寸在400mm或以上時應將單晶提前收尾并提出。收尾過程見十九收尾工序。、提前收尾要求收尾長度在100120mm。收尾長度計算是從實際晶體斷棱處到收小后晶體提出處的距離。、收好尾后點擊【工序復位】按鈕，在彈出的對話框中選擇【確認】，然后將狀態控制按鈕打向手動檔。、點擊【籽晶】鍵調出籽晶控制菜單，緩慢降低旋轉速度到5r/min，點擊【低速升降】的【停浙江昱

47、輝陽光能源有限公司文件編號：Q02-09版本號：A/1頁碼：第24頁共35頁單晶爐操作規程生效日期：2008年5月30日止】按鈕；點擊【坩堝】鍵調出坩堝控制菜單，緩慢降低旋轉速度到2r/min，點擊【低速升降】的【停止】按鈕;、使用操作手柄上的【CRUCIBLE】DOWN下降坩堝液面40mm,點擊【籽晶】調出籽晶控制菜單，在【低速度值】中輸入4.0mm/min,點擊【低速升降】的【上】 按鈕，上升2.5小時，作好相應記錄。而后用操作手柄上的【SEED! UP鍵上升晶棒到上爐體內，等1小時后關閉隔離閥。、點擊【氬氣】調出氬氣控制菜單，設定【MFC流量值】為100,并依次點擊【MFC】的【開】按鈕

48、、【上爐體氣閥】和【下爐體氣閥】的【打開】按鈕。、當上爐體壓力達到760Torr時，點擊【上爐體氣閥】的【關閉】按鈕。同二 .2.8步驟，取出斷棱單晶。作好相應記錄。 、對籽晶、上爐體和爐蓋的密封圈進行 、根據斷棱單晶的長度，修改【子參數表】中下次等徑的起始長度、尋找再次引晶放肩的溫度。 、重新開始引晶準備和引晶操作。、等徑斷棱時晶體收尾停爐、6寸晶體等徑在300mm以上，8寸晶體等徑在400mm以上斷棱時，且估計本次晶體提前收尾并提出后已不能再正常等徑 6寸300mm或8寸400mm時，可進行提前收尾停爐。收尾過程見十九收尾工序。 、提前收尾要求收尾長度在100120mm。收尾長度計算是從實

49、際晶體斷棱處到收小后晶體提出處的距離。 、收好尾后轉入二十降功率、停爐冷卻工序。19、收尾、當晶體等徑長度達到【工序參數】里的【收尾提升等徑長度】設定的預定長度（根據堝內實際剩料多少計算，可參照附錄 C晶體收尾長度參考表）時，自動進入【收尾模式】；斷棱或其它異常情況需要提前收尾時，點擊【下一步】，直接進入【收尾模式】。、進入【收尾模式】后,每半小時記錄一次收尾數據，查看收尾情況，通過【op eration】下的【籽浙江昱輝陽光能源有限公司文件編號：Q02-09版本號：A/1頁碼：第25頁共35頁單晶爐操作規程生效日期：2008年5月30日晶】和【加熱器】對拉速和溫度做適當調整，注意液面是否結晶

50、、液體所剩料是否足夠收尾、尾巴直徑是否在變小等情況。圖25收尾、正常收尾長度應為晶體等徑直徑的大小， 收成尖尾后使單晶脫離液面，轉入二十降功率、停爐冷卻工序。、若自動收尾不理想，可以轉入手動收尾。通過操作手柄上【 SEED!鍵調節拉速,通過屏幕上的【加熱器】調節溫度。20、降功率、停爐冷卻、收尾完成或收斷，晶棒與液體脫離后。點擊【下一步】進入停爐冷卻階段。、進入【冷卻模式】后籽晶會上升一定距離，籽晶轉速和坩堝轉速會慢慢停止，氬氣繼續保持。30mn左右）!注意：若收尾結束后，觀察液面與導流筒接近且剩料比較多時，應轉為手動將坩堝下降一段距離（ 且確認坩堝下降動作停止。、超過【冷卻模式】程序設定的時

51、間，機器會報警提示冷卻過程可以結束。從而轉入下一輪拉晶。、若手動降功率、停爐：在收尾完成或收斷后，下降堝位30mm后確認堝降動作停止。、晶升拉速調整到1.0mm/min,使單晶自動上升。、緩慢調節晶轉為5r/min，緩慢調節堝轉為2r/min。、溫度控制退出自動，分步降低功率，作好操作記錄。0.5小時后功率降至0,關閉加熱電源。作好操作記錄。21、熱態檢漏、冷卻2.5小時后關閉堝轉，進行熱態檢漏，將狀態控制旋鈕打向手動檔，點擊【氬氣】進入氬氣控制菜單，點擊【MFC】然后分步遞減【MFC流量值】至30.0SLM后點擊【關閉】按鈕，并點擊【上爐體氣閥】的【關閉】按鈕，開始抽高真空。浙江昱輝陽光能源

52、有限公司文件編號：Q02- 0 9單晶爐操作規程版本號:A/1頁碼：第26頁共35頁生效日期：2008年5月30日、待爐內壓力到達極限（要求達到 40mTorr以下）后，先關閉手動閥，然后關閉真空泵電源，按下操作屏幕上的【泄漏檢測】按鈕，打開檢漏菜單，進行檢漏，并作相應記錄。、檢漏要求5分鐘，漏氣速率v0.80mTorr/min（5分鐘漏4mTorr以下）為正常，同時作好漏氣速率記錄。檢漏極限真空和漏氣速率合格后， 充氬氣至600Torr后，讓晶體隨爐自然冷卻。、若極限真空不合格，貝M故相應記錄，擰緊手柄，關閉真空泵電源，充氬氣至600Torr后，停止氬氣供應讓晶體隨爐自然冷卻；若漏氣速率不合格，則做相應記錄，充氬氣至600Torr后，停止氬氣供應，關閉真空泵電源，讓晶體隨爐自然冷卻。通知設備科人員進行確認，停爐后檢修。（5）、冷卻5小時后，緩慢調節晶轉為0,關閉晶轉。轉入下一輪拉晶。!注意：從【引晶模式】到【冷卻模式】過程的操作中，均可以進行手動和自動的切換。高真空-HIGHVACUUM熔料-MELT;穩定-STABILIZE