中華人民共和國國家計量技術規范 JJF13062011 X 射線熒光鍍層測厚儀校準規范 CalibrationSpecificationfor X-RayFluorescenceCoatingThicknessInstruments 2011-09-14發布 2011-12-14實施 國 家 質 量 監 督 檢 驗 檢 疫 總 局 發 布 JJF13062011 射線熒光鍍層測厚儀校準規范 X CalibrationSecificationfor JJF13062011 p X-RayFluorescenceCoatingThicknessInstruments 本規范經國家質量監督檢驗檢疫總局于 年 月 日批準 并自 2011 9 14 , 年 月 日起施行2011 12 14 。 歸 口 單 位 全國幾何量長度計量技術委員會 : 起 草 單 位 中國計量科學研究院 : 深圳市計量質量檢測研究院 江蘇天瑞儀器股份有限公司 本規范委托全國幾何量長度計量技術委員會負責解釋 JJF13062011本規范主要起草人 : 朱小平 中國計量科學研究院 ( ) 王強兵 深圳市計量質量檢測研究院 ( ) 李玉花 江蘇天瑞儀器股份有限公司 ( ) 參加起草人 : 杜 華 中國計量科學研究院 ( ) 王蔚晨 中國計量科學研究院 ( ) JJF13062011 目 錄 范圍1 (1) 引用文獻2 (1) 概述3 (1) 計量特性4 (1) 厚度測量重復性4.1 (1) 示值穩定性4.2 (1) 厚度測量示值誤差4.3 (1) 校準條件5 (2) 環境條件5.1 (2) 校準所用標準器及配套設備5.2 (2) 校準項目和校準方法6 (2) 校準前準備6.1 (2) 厚度測量重復性6.2 (2) 示值穩定性6.3 (2) 厚度測量示值誤差6.4 (3) 校準結果表達7 (3) 復校時間間隔8 (3)附錄 測量結果不確定度評定 示例 A ( ) (4)附錄 厚度標準塊的技術要求 B (7)附錄 常見典型鍍層材料的厚度范圍 C (9) JJF13062011 X 射線熒光鍍層測厚儀校準規范1 范圍 本規范適用于 射線熒光鍍層測厚儀的校準 X 。2 引用文獻 本規范引用下列文獻 : 通用計量術語及定義 JJF10011998 測量不確定度評定與表示 JJF10591999 測量儀器特性評定 JJF10942002 金屬覆蓋層 覆蓋層厚度測量 射線光譜方法 GB/T169212005 X 使用本規范時 應注意使用上述引用文獻的現行有效版本 , 。3 概述 射線熒光鍍層測厚儀是一種基于能量色散方法的非破壞性定量分析儀器 具有分 X ,析測量多種金屬材料成份和多種鍍層厚度的功能 廣泛應用于電子 半導體 首飾 材 , 、 、 、料分析等行業 射線熒光鍍層測厚儀測量鍍層厚度的原理 射線管產生的 初 級 。X :X X射線照射在被分析的樣品上 樣品受激發而輻射出二次 射線被探測器接收 此二次 , X ,輻射具有該樣品材料的波長和能量特征 鍍層厚度和二次輻射強度有一定的關系 經多 , ,道分析器及計算機進行能譜分析處理后 計算被測樣品的鍍層厚度 , 。 射線熒光鍍層測厚儀的工作原理示意圖見圖 X 1。 圖 射線熒光鍍層測厚儀工作原理示意圖 1 X4 計量特性 厚度測量重復性4.1 鍍層厚度測量重復性不超過 3%。 示值穩定性4.2 在 內其示值變化不大于儀器最大允許示值誤差 1h 。 厚度測量示值誤