LDMCF75/35全自動輔助加熱型脈沖離子氮化爐使用說明書武漢安德熱處理設備有限公司武 漢 安 德 熱 處 理 設 備 有 限 公 司使用設備前請務必仔細閱讀本說明書一 簡介該設備主要用于機械零件的離子氮化、離子氮碳共滲(軟氮化)等離子化學熱處理工藝，使機械零件表面改性，獲得所需要的機械性能和物理化學性能。離子氮化是一種可以顯著提高鋼鐵零件表面硬度、耐磨損、耐疲勞和耐腐蝕的化學熱處理工藝。它具有滲速快，滲層性能好，工藝變形小以及耗氣，耗電少等特點，是無污染，無公害的理想工藝。在國內外得到了廣泛的重視，離子氮化工藝應用范圍在不斷擴大，如機床和工具制造、機車車輛、模具、動力設備制造、塑料機械、輕紡機械及鈦合金零件等均在不同程度上使用了該技術，離子氮化設備在我國已成為熱處理工部的常規設備。將欲處理零件置于真空爐體內，往爐內充以稀薄的含氮氣體。零件接離子電源陰極，爐體接陽極，陰陽極間接數百伏脈沖直流電壓。在真空條件下，由于電場作用，爐內稀薄氣體被電離，氮離子定向撞擊陰極，零件表面產生輝光放電并被加熱。在一定氣氛和一定溫度下，零件表面復合、吸收氮原子，形成高濃度的含氮層并向心部擴散，經過一段時間，得到所需要的氮化層。二 離子氮化工藝對設備的要求2.1.真空度設備的真空爐體必須具有良好的密封性能,通過真空獲得系統，能夠得到工藝所需要的真空度。2.2.電絕緣零件(陰極)對陽極必須有良好的電絕緣，以保證工藝正常進行和設備安全。2.3.良好的滅弧性能在得到穩定的輝光放電前，零件表面不可避免地要產生弧光放電，就是輝光穩定后，也有輝光向弧光轉變的情況。而弧光放電的特點是低電壓、大電流放電，這就要求設備具有良好的滅弧性能，不至損壞零件和設備。2.4水冷卻循環冷卻水由電動水閥+電接點水溫表等完成自動通斷。真空爐體必須有循環水冷卻，以免溫度過高橡膠密封件受熱損壞。2.5隔熱保溫真空爐體必須安裝有隔熱屏，一是為了節約電能，二是減少零件因熱量散發而造成的溫度不均勻。三 輔助加熱型脈沖離子氮化設備主要技術指標供電電源： 三相380V、50HZ輝光脈沖頻率： 1KHz輝光占空比： 1085%輝光輸出直流電壓： 01000V連續可調輝光最大輸出峰值電流： 150 A輝光最大輸出平均電流： 75 A輔助加熱電壓： 0110V連續可調輔助加熱電流： 0160A連續可調控溫精度： 1（穩態）控壓精度： 1Pa（穩態）極限真空度： 6.67Pa壓升率： 0.133Pa/min最大氮化工件面積： 7.5 m2 最大氮化工件重量： 1000Kg最高使用溫度: 650四 脈沖離子氮化設備組成離子滲氮設備(見圖1)由真空爐體，真空獲得系統，測溫系統，供氣系統，輔助加熱電源和LDMC型離子電源組成(LDMC型離子電源另作介紹)。4.1.真空爐體設備的真空爐體分井式（零件吊掛）、罩式（零件堆放）和綜合式三種供用戶選購。真空爐體是進行滲氮工藝的重要部分。真空爐體由爐頂蓋，爐體，爐底盤構成。為了保護密封件不因高溫變形而影響密封性能，爐體均設計為夾層，夾層間充以流動的冷卻水。各密封面(槽)經過機械加工加裝密封圈密封。爐體內部設有輻射屏。根據處理工件的要求，爐頂蓋，爐底盤和爐體上分別有陰極輸電、熱電偶、供氣、抽氣、測壓、觀察窗等裝置。4.1.1.陰極輸電裝置陰極輸電裝置（見圖2）的作用是將陰極導入爐內與陰極盤相接。陰極應與爐殼絕緣，采用聚四氟乙烯和電木與爐體隔離，同時保證陰極輸電裝置與爐體的真空密封性。吊掛陰極由用戶選定。陰極輸電裝置是爐體關鍵部位，氣隙要合理，絕緣要可靠。氣隙的深度為1520mm，寬度為1mm左右。圖1 離子氮化爐設備構成4.1.2.觀察窗爐體上設置有2個觀察窗，以便觀察爐體內工作情況。4.2.真空獲得系統真空獲得系統由機械真空泵、真空電磁閥、蝶閥、真空管道等組成，通過真空管道與爐體相接。機械真空泵使用前，需水冷的先應通冷卻水。機械泵油應加至視窗的油標線位置。電動機皮帶輪應按正確的方向旋轉。真空電磁閥安裝在機械真空泵上，同接一個電源，泵的開啟和停止直接控制電磁閥的開通和關閉。泵開啟時，閥門打開，接通抽氣管道；泵停止時，不僅閥門關閉，同時電磁閥充氣口打開向泵內充氣，防止真空泵返油污染真空系統。設備真空管路上配有蝶閥，可調節氣體抽量。設備配有電容薄膜式真空計，用以測量爐內氣壓，在進氨工作時，數顯壓力指示值。圖2 陰極輸電裝置圖3 測溫系統4.3.測溫系統測溫系統由測溫儀表和鎧裝熱電偶組成。鎧裝熱電偶與離子電源陰陽極絕緣，鎧裝熱電偶頂端與零件距離一般為1520mm左右，放置位置應根據實際零件，經試驗后確定。具體結構見圖3所示。4.4.供氣系統供氣系統由氨瓶、減壓器、質量流量計、輸氣管道等組成。氨瓶的液氨必須經過減壓閥減壓后方可使用。流量計是調節氣源流量和氣壓的重要部件，要求密封性能好，調節靈活，輸送氣源管道盡量短為好。設備配有兩只5L質量流量流量計，一只為氨氣流量計，一只為滲碳氣流量計，兩種氣體經過流量計按比例混合后通入爐內，可實現氮碳共滲(軟氮化)工藝。 4.5.輔助加熱系統輔助加熱系統由輔助加熱電源，電阻帶，絕緣瓷片，電極桿等組成。輔助加熱電源采用電流負反饋型三相交流控壓（雙向可控硅原邊交流調壓），具有可靠的短路，過流保護功能。加熱電阻帶采用三角形連結。五 LDMC型脈沖離子電源的組成LDMC型脈沖離子電源主要由整流電路、濾波電路、斬波電路、動作控制電路等組成。51整流電路整流電路包括整流變壓器、三型全控整流電路、阻容吸收、續流二極管、LD4A型集成控制觸發器等部分。5.1.1.整流變壓器整流變壓器B1容量為90KVA，原邊為380V，付邊兩組365V，按Y0Y6、Y12接法。該變壓器對交流供電和直流脈沖輸出有隔離作用，同時能減小電網與整流電路的干擾，阻止高頻諧波電流流入電網。5.1.2.三相全控整流電路為了降低可控硅的耐壓要求，改善整流電路的紋波，減小對電網的影響，采用兩組三相全控橋式整流電路的串聯。它其有利用率高、功率因素好、脈動小、控制比較靈活等優點。5.1.3.阻容吸收在整流變壓器原邊突然接通或切斷時，變壓器付邊由電阻R1R6及電容C1C6組成的吸收電路能抑制此時產生的振蕩電壓。在可控硅陰陽極兩端由電阻R7R12、R14R19電容C7C12、C14C19組成保護電路。能保證可控硅換向和抑制可控硅積蓄效應產生的電壓。5.1.4.續流二極管整流輸出電路有電抗負載，續流二極管ZP1、ZP2能保證可控硅不受較大的反向電壓和可控硅在電壓過零時能關斷。5.1.5.LD4B型集成觸發控制器“LD4B型集成觸發控制器”完成對三相全控整電路的觸發和電壓反饋控制，確保輸出電壓的穩定。該控制器面板中的“電源A、B、C”為工作電源指示燈，綠燈亮時表示三相電源正常。“觸發A+、B+、C+、A-、B-、C-”為觸發脈沖指示燈，紅燈亮時表示A+、B+、C+、A-、B-、C-各相可控硅的觸發脈沖正常。正常工作時，這六個觸發指示燈應同時點亮或同時點熄滅。 “移相指示”指示可控硅的導通角的大小，“移相指示”全熄滅時可控硅不觸發，觸發指示燈熄滅，此時輸出電壓為零，“移相指示”全點亮時可控硅的導通角最大，觸發指示燈點亮，此時輸出電壓最大（約1000V左右，具體大小與三相電源電壓有關）。“觸發給定”電位器用來調整輸出電壓的大小，逆時針旋到底時輸出電壓為零，此時該電位器左側的“回零”指示燈點亮，順時針旋到底時輸出電壓最大。“暫停/正常”開關處于“正常”位置時輸出電壓由“觸發給定”電位器調整，處于“暫停”位置時輸出電壓為零，輝光熄滅，該開關主要用于目測工件溫度。“內控/外控”開關無作用。5.2.濾波電路濾波電路由電抗器L1、L2和蓄能電容C21、C22組成，該電路能確保對斬波電路的供電紋波小、電壓平滑。5.3.斬波電路斬波電路是LDMC型脈沖離子電源的核心，主要由斬波器和“LDMC3型脈沖電源控制器”構成。5.3.1斬波器斬波器由兩只大功率、高反壓的IGBT串聯而成，每只IGBT都有由電阻、電容及快速二極管構成的保護電路，此電路通過抑制IGBT的電流變化率完成對IGBT的保護。斬波器電路上配置了二極管放電電路，可減小IGBT關斷時因回路電感而產生的反向電壓，實現對IGBT的保護。市場上IGBT器件的耐壓不夠高，一般采用兩只IGBT串聯方式。我公司生產斬波器電路采用獨特的IGBT串聯方式，從根本上避免了由于兩只IGBT不同時導通而造成的IGBT過壓擊穿。5.3.2LDMC3型脈沖電源控制器“LDMC3型脈沖電源控制器”完成對斬波電路的控制，包括過電流檢測保護、平均電流控制和爐內弧光保護和IGBT門極控制信號的控制。該觸發控制器面板中的“電源指示”為工作電源指示燈，綠燈亮時表示工作電源正常。“峰值電流”表指示一個周期中IGBT導通期間的電流。“占空比”表指示占空比的大小（占空比的定義為：一個周期中高電平的持續時間與周期時間的比例）。“占空比給定”電位器調節占空比的大小，正常工作時占空比應在10%-85%之間變化。“內控/外控”選擇開關選擇占空比的控制方式，當該開關處于“內控”位置時占空比由“占空比給定”電位器調節，當該開關處于“外控”位置時占空比由溫度控制儀表根據溫度的偏差自動控制（但此時占空比的最大值由“占空比給定”電位器給定）。 “過流”指示燈亮時表示設備存在瞬間的過流，此時電源處于自動保護狀態。“弧源”指示燈亮時表示設備存在打弧的現象，此時電源處于自動保護狀態。“超溫”指示燈亮時表示爐內工件的溫度高于設定溫度于允許范圍之外，此時電源自動將占空比減小，以減小輝光電流，工件的溫度會降低，以此實現超溫控制。“過壓降” 指示燈亮時表示出現IGBT導通時其飽和壓降超過正常只值，此時電源處于自動保護狀態。一般IGBT導通時其飽和壓降比較低，約3V左右（與器件有關系），在導通電流比較大時，其飽和壓降會升高。“保護”指示燈亮時，表示某些元件或線路的故障造成兩只IGBT工作不平衡，電源處于自動保護狀態，此保護不能自動退出，需按下”復位”鍵才能退出。“LDMC3型脈沖電源控制器”能在爐內出現弧光放電時有效滅弧，很好地保護工件和電器元件；即使出現陰陽短路時也能有效保護。為了限制輝光電流不超過額定允許值，該控制器中的平均電流控制電路能將最大輸出電流限制在額定允許值。為了較好地控制氮化過程中工件的溫度，“LDMC3型脈沖電源控制器”內設計了雙重溫控電路。當控制器面板上的“儀表/手動”開關置于“儀表”位時，由溫度控制儀表經PID調節輸出的420mA信號控制占空比大小（但此時占空比的最大值由“占空比給定”電位器給定），改變輝光電流大小，從而實現溫度的閉環自動控制。當控制器面板上的“儀表/手動”開關置于“手動”位時，面板上的“占空比給定”旋鈕控制占空比大小，改變輝光電流大小，從而實現溫度的人工控制。無論控制器面板上的“儀表/手動”開關置于何位，溫度控制儀表輸出的超溫報警開關信號（超溫時信號接通），能啟動“LDMC3型脈沖電源控制器”中的超溫控制電路，此時“超溫”指示燈點亮，占空比在原基礎上下降約80%，輝光電流也同步下降，迫使工件溫度下降；計算機輸出的超溫報警開關信號消失后，占空比又恢復到原來的大小，輝光電流也恢復到原來的大小，迫使工件溫度上升，由此實現溫度的另一種控制。5.4.限流電路為了限制IGBT導通后電流的上升率和出現弧光、陰陽極短路時有充分的檢測時間，在回路中設計了限流空芯電感。為了減少因出現弧光時的過流保護，在回路中設計了電阻值很小的限流電阻。因其阻值很小，因此就更節能。5.5.動作控制該設備中的高壓啟、停，輔助加熱啟、停，真空泵啟、停，斬波啟、停，電動蝶閥通斷，聲光報警等動作的操作及控制由專用的PLC動作控制程序完成。該動作控制程序能實現各動作的自鎖、互鎖。具體操作見全自動脈沖離子電源計算機操作說明5.7.脈沖離子電源的配線脈沖離子氮化設備配置LDMC-75脈沖離子電源，供電電源使用25mm2銅芯線，地線使用6mm2銅芯線，整流變壓器初級使用25mm2銅芯線，整流變壓器次級使用16mm2銅芯線，爐體A和爐體B陰陽極使用16mm2銅芯線。六 輔助加熱電源的組成輔助加熱電源主要由交流調壓電路、隔離變壓器、控制電路等組成。6.1.電路說明可控硅KP31KP36構成交流調壓電路，R50C50- R53C53回路用于可控硅的過電壓保護。霍爾電流傳感器La、Lb、Lc檢測電流，送控制電路板完成恒流控制。隔離變壓器完成隔離、降壓、升流的作用。控制電路板是輔助加熱電源的控制核心。電流通過霍爾傳感器反饋到控制電路板，確保加熱電流恒定在目標值上。6.2.操作說明當“加熱控制方式”開關處于“手動”位置時，加熱電流由面板上“加熱電流給定”旋鈕控制，調節旋鈕加熱電流可從0160A平滑可調（具體最大電流受電網電壓和加熱元件電阻偏差的影響）。當“加熱控制方式”開關處于“自動”位置時，加熱電流由計算機輸出的信號控制，但最大電流由面板上“加熱電流給定”旋鈕控制。由于控制電路有加熱停止時自動停止可控硅工作的保護電路和緩啟動電路，按“加熱啟動”按鈕啟動加熱電源時，“加熱電流給定”旋鈕不在最小位也不會產生啟動沖擊電流，不會出現沖擊電流造成的過電流跳閘的現象。出現加熱元件局部短路時，由于恒流控制的作用，電壓加熱會下降，加熱電流出現某相上升、另兩相下降但總電流不會上升的現象，此加熱電源不會產生過流保護，加熱電源能繼續工作。因為出現嚴重的短路和器件故障時，會出現過電流現象，會出現過電流保護，此時“加熱過流指示”燈點亮，加熱電源停止工作，報警器會啟動。此后即使過電流現象現象消失，“加熱過流指示”仍繼續點亮，直到人工按“加熱過流復位”按鈕后“加熱過流指示”才熄滅，此時才能重新啟動加熱電源。6.3. 輔助加熱電源的配線加熱變壓器初級使用16mm2銅芯線，加熱變壓器次級使用50mm2銅芯線，爐體加熱電極連線使用50mm2銅芯線。七 可編程序控制器（PLC）及計算機系統7.1. 可編程序控制器包括三菱FX1N-40MR型可編程序控制器、模擬量輸入單元FX2N-2AD、模擬量輸出單元FX2N-2DA，模擬量輸出單元FX2N-4DA。模擬量輸入單元FX2N-2AD用于將溫度、壓力等模擬量輸入到可編程序控制器，再通過串口送到計算機，由計算機完成運算控制。模擬量輸出單元FX2N-4DA，FX2N-2DA，將計算機運算后的控制量變成流量、電壓、占空比，輔助加熱等模擬量，實現對現場物理量的控制。可編程序控制器是控制核心。7.2. 計算機系統計算機系統由研祥工控機，MCGS組態軟件等組成。具體操作見全自動脈沖離子電源計算機操作說明八 脈沖離子氮化設備的操作8.1. 控制方式該控制系統共有兩種控制方式：手動控制方式，半自動控制方式、計算機控制方式（全自動）。8.2.手動控制方式將“LD4B型集成觸發控制器”的“內控/外控”開關處于“內控”位置，此時輸出電壓由“觸發給定”電位器調整，輸出電壓01000V任意可調，操作人員可根據升溫速度和保溫工藝不同選擇不同的電壓。將輔助加熱電源的 “加熱控制方式”置于“手動”位置，此時加熱電流由面板上“加熱電流給定”旋鈕控制，調節旋鈕加熱電流可從0160A平滑可調，操作人員可根據升溫速度和保溫工藝不同選擇不同的加熱電流。將“LDMC3型脈沖電源控制器”的“內控/外控”選擇開關處于“內控”位置，占空比由“占空比給定”電位器調節，正常工作時占空比應在1085%之間變化。將“流量顯示儀”的開關處于“閥控”位置，此時質量流量控制器的NH3和含C氣流量由面板上的電位器調整，正常工作時在05L/Min可調。8.2.1.清洗零件氮化零件上不可避免帶有油污、泥土、鐵銹等臟物，必須清洗干凈。清洗方法有兩種：一是汽油清洗，零件清洗后自然晾干；二是用金屬清洗劑清洗，清洗后用清水沖洗掉金屬清洗劑殘液，然后將零件烘干或自然晾干，不要將水帶入爐內，以免影響爐內真空。零件清洗干凈與否影響打弧時間長短和工藝能否正常進行，請一定注意。8.2.2.裝爐打開手動放氣閥，往爐內充入大氣，待爐內外壓力一致后將爐筒吊起，將零件擺放在陰極盤上。請事先根據零件的幾何形狀及技術要求設計零件在陰極上放置的方式，注意零件間隙及均勻性。用鋼件屏蔽好零件上的小孔和狹縫，必要時采用合適的工裝。對零件不需要氮化的部位用鋼件屏蔽。認真選擇熱電偶測溫位置。裝爐完畢后，關閉手動放氣閥，使真空爐體處于良好的密封狀態。裝爐時要切斷電源，千萬不要帶電工作。8.2.3.抽真空將爐筒蓋好，接通供電電源，開啟“總控”開關，此時真空儀表、溫度儀表、“LD4B型集成觸發控制器”、“LDMC3型脈沖電源控制器”應有電源指示，“高壓停止”、“真空泵停”、“真空泵停”、“斬波停止”按鈕的紅色指示燈點亮。按下“真空泵啟”按鈕和“真空泵啟” 按鈕，啟動真空泵和真空泵，打開碟閥，對爐體抽真空。8.2.4.打弧升溫在此階段可根據需要選擇輔助加熱電源的電流。1.當真空度達到100 Pa左右時，將“LD4B型集成觸發控制器”的“觸發給定”旋鈕左旋到零，此時其左邊的小紅色發光二極管被點亮。按“高壓啟動”按鈕接通高壓，緩慢右旋“觸發給定”旋鈕，電壓應01000 V 平滑可調（此時應確定其“暫停/正常”開關處于“正常”位）。再次將“LD4B型集成觸發控制器”的“觸發給定”旋鈕左旋到零。將“LDMC3型脈沖電源控制器”的“占空比給定”旋鈕左旋到最小使占空比為10 %（此時應確定其“儀表/手動”開關處于“手動”位） ，按“斬波啟動” 按鈕，此時“斬波啟動”按鈕的綠色指示燈點亮，電源開始工作。緩慢右旋“LD4B型集成觸發控制器”的“觸發給定”旋鈕，當“電壓表”指示值達600V左右時，“LDMC3型脈沖電源控制器”的“峰值電流”儀表指示值加大，此時爐內零件會出現閃爍的弧光，“電流表”有相應指示。注：“LD4A型集成觸發控制器”的“觸發給定”旋鈕回零時，其左邊的小紅色發光二極管被點亮，此時方可按“高壓啟動”、“斬波啟動”、“斬波停止”按鈕完成相應的操作，否則操作無效。2根據爐內弧光情況可慢慢加大輸出電壓，當輸出電壓達700V左右時，可慢慢加大“LDMC3型脈沖電源控制器”的“占空比給定”，增加斬波器的占空比，此時“電流表”的指示會慢慢加大。當爐內弧光很少，輝光比較穩定，可加大整流輸出電壓和斬波器的占空比，此時“電流表”指示加大，輝光電流加大。3適當地向爐體中加入氨氣，此時應先將氨氣減壓閥低壓側壓力調整為 0.10.2 MPa， 緩慢調整質量流量控制器面板上的電位器調整的NH3和含C氣流量，正常工作時在05L/Min可調。視輝光穩定情況，調整整流輸出電壓或斬波器的占空比，調整氨氣流量，以調整輝光電流，控制升溫速度。爐體溫度高于35，必須開通爐體的冷卻水。8.2.5.保溫在此階段可根據需要選擇輔助加熱電源的電流。零件快到溫時，要注意監視測溫儀表，并用目測方法觀察零件溫度，防止零件超溫。目測觀察工件溫度時將“LD4B型集成觸發控制器”面板上的“暫停/正常”開關置于“暫停”位，此時整流電壓自動回零，輝光熄滅。觀察工件溫度結束后，將此開關置到“正常”位，自動回到原工藝參數。當零件的溫度接近工藝所需的溫度時，調整流量計的流量(如氮碳共滲等工藝要調整好進氣比例)，調整真空蝶閥開度，控制爐內真空度為工藝所需的真空度,調整整流輸出電壓和斬波器的占空比，控制爐內溫度為工藝所需的溫度。根據零件工藝要求在保溫溫度保溫一定時間。8.2.6.停爐降溫工件保溫結束后，請關閉氨氣罐和流量計，將“LD4B型集成觸發控制器”的“觸發給定”旋鈕和“LDMC3型脈沖電源控制器”的“占空比給定”旋鈕左旋到最小位置，按“斬波停止”按鈕，按“高壓停止”按鈕，斷開高壓。按“輔助加熱停止”按鈕，斷輔助加熱電源。打開真空蝶閥，將爐內氣壓抽至極限真空，關碟閥，停真空泵。關閉總控開關。工件溫度降至200左右，可以關冷卻水。8.2.7出爐爐溫降至150以下時，可起吊爐體取出工件。此時務必先手動打開放氣閥，給爐體充入空氣，待爐內外壓力一致時方可起吊起爐體，否則會出現嚴重問題。8.3.計算機控制方式（全自動）將“自動控制方式”的開關處于“全自動”位置，此時全部工藝參數由計算機控制。將“LD4B型集成觸發控制器”的“內控/外控”開關處于“外控”位置，此時輸出電壓由計算機控制。將“LDMC3型脈沖電源控制器”的“內控/外控”選擇開關處于“外控”位置，此時占空比由計算機輸出的420mA信號控制，但此時占空比的最大值由“占空比給定”電位器控制。將“流量控制方式”的開關處于“自動”位置，此時“質量流量控制器”的NH3和含C氣流量由計算機控制，正常工作時在05L/Min可調。將“輔助加熱控制方式”的開關處于“自動”位置，將“電動閥控制方式”的開關處于“自動”位置， 具體操作見全自動脈沖離子電源計算機操作說明8.4.半自動控制方式將“自動控制方式”的開關處于“半自動”位置，此時升溫，保溫，升壓，保壓由儀表控制。將“LD4B型集成觸發控制器”的“內控/外控”開關處于“內控”位置，此時輸出電壓由“觸發給定”旋鈕控制。將“LDMC3型脈沖電源控制器”的“內控/外控”選擇開關處于“外控”位置，此時占空比由溫控表輸出的420mA信號控制，但此時占空比的最大值由“占空比給定”電位器控制。將“流量控制方式”的開關處于“自動”位置，并將“流量顯示儀”的開關處于“閥控”位置，此時“質量流量控制器”的NH3和含C氣流量由壓力儀表控制，正常工作時在05L/Min可調。九 注意事項1.操作前務必使電柜、爐體、真空泵、變壓器可靠接地。2.務請閱讀所配儀表說明書，按操作程序操作。3.不允許帶電拔下或插入印刷電路板或插件。4.爐體的冷卻水壓力不得小于2/2，冷卻水出水溫度應低于50。5.供電電源電壓不能高于額定電壓110%。6.氨氣減壓閥低壓側壓力不得大于 0.2 Mpa。7.在該設備使用過程中，盡可能使用低電壓、大占空比的模式，這更有利于設備的穩定工作。8.起吊爐體時，務必先手動打開放氣閥，給爐體充入空氣，使爐內外壓力一致。9.真空爐體在不繼續工作時，請保持爐內真空，以減少銹蝕。10.爐體在使用一段時間后，應全面清潔一次隔熱屏內側和底盤，這有利于延長真空泵油的使用時間。真空泵油應定期更換。11計算機全自動控制時不能將開關撥至手動或內控，也不要轉換到半自動控制。12質量流量顯示儀上三檔開關，工作時一定要處于閥控檔。十 報警動作控制系統有多種提示及動作，報警類型可在計算機特定的窗口中查尋每種報警的過程、結果和解除方法見下表。報警的過程、結果及解除方法報警類型動 作解除方法缺錯相來自LD-6A觸發控制器的信號使繼電器ZJ6動作：動作控制電路板、輔助加熱控制電路停止工作。所有動作停止，按鈕指示燈熄滅。查進電源相序及錯相情況。查LD6A觸發控制器的交流側保險管是否損壞。輔助加熱過流來自輔助加熱控制電路