5-基于六西格瑪的某產線項目良率改進方案設計報告目錄TOC\o"1-3"\h\u16956基于六西格瑪的某產線項目良率改進方案設計報告 -1-180111.1良率改進項目的總計劃（D階段） -2-36251.1.1良率改進項目的對象 -2-324971.1.2良率改進項目的質量目標 -4-179021.1.3良率改進項目的周期計劃 -5-38801.1.4良率改進項目的團隊及章程 -5-231261.2測量系統分析（M階段） -5-163631.2.1流程分析 -6-181131.2.2C/E矩陣分析 -7-93931.2.3MSA分析 -11-102321.3過程分析（A階段） -14-106331.3.1數據取樣分析 -14-68071.3.2顯著因子確立 -15-241581.4質量改進（I階段） -17-96431.1.1DOE分析計劃 -17-208751.1.2全因子DOE實驗設計 -17-234281.1.3DOE分析 -19-71681.1.4DOE響應優化 -20-270771.5實施控制（C階段） -21-49881.2.1確定控制對象及關鍵制程點 -21-233471.2.2制定控制計劃 -22-31659第3章效果評價及完善措施 -24-84122.1效果評價 -24-54202.1.1項目質量目標的效果評價 -24-259892.1.2項目收益的效果評價 -25-86482.1.3項目質量管理方案實施效果評價 -25-14162.2完善措施 -26-六西格瑪項目以項目為主體，通過創建項目時間計劃和目標計劃，使用六西格瑪的方法分析項目過程中要解決的問題并實施，其中客戶滿意度、產品或服務的市場份額、企業的效益與利潤狀況以及其他企業生產經營活動都可以作為問題的來源。本章主要基于DMAIC流程模型對A產品良率改進項目進行研究，表1.1為結合項目質量管理與六西格瑪管理形成的良率改進項目質量管理方案概況。表1.1良率改進項目質量管理方案概況項目內容項目內容分類六西格瑪對應階段實施步驟與說明準備實施方法項目質量管理資源項目質量保證項目質量立案階段確定人力、機臺、材料、硬件及軟件支持情況檢查表項目質量目標項目質量計劃定義D階段根據項目質量目標，確定項目對象、Y及小y指標流程圖

VOC分析項目團隊成員職責項目質量計劃細化項目工作質量流程，確認周期計劃直方圖項目質量管理運作過程項目質量計劃

項目質量保證測量M階段1.識別Y及y的工作質量流程，建立因子參考矩陣2.分析項目工作質量流程，測量系統誤差魚骨圖&C/E矩陣

測量系統分析（MSA）項目質量計劃

項目質量控制分析A階段搜集對應數據，建立假設檢定計劃，以明確影響Y及y的重要工作質量流程因子抽樣計劃

假設檢定

項目質量計劃改善I階段建立項目質量過程顯著因子試驗計劃、分析計劃，確定總體最優方案DOE實驗設計項目質量控制控制C階段根據項目最優參數，建立項目質量控制計劃，更新對應SOP控制計劃

控制圖1.1良率改進項目的總計劃（D階段）在六西格瑪質量管理DMAIC的定義階段，良率改進項目質量管理方案概況作為綱領文件，為進一步展開方案計劃提供指導。定義階段的起點是獲得客戶聲音，并將客戶聲音轉換為關鍵質量因子CTQ，之后通過流程分析、因果分析等方法逐步確定影響客戶滿意度的關鍵輸出變量Y，Y即項目改進的重點。1.1.1良率改進項目的對象六西格瑪項目的目的是提高客戶滿意度和企業收益，重點強調傾聽客戶的聲音（VOC，VoiceofCustomer），從客戶端追溯分解獲得的問題就是六西格瑪管理項目需要解決的重點問題，所以，確定改進目標關鍵點時借助過程關鍵質量特性CTQ樹圖，將客戶反饋的實際需求轉換并細化到團隊可以把握的層次。A產品的客戶為模組與整機組裝廠，客戶端的產品質量主要通過確認后線上不良率（VLRR，VerifiedLineRejectRate）的數據進行反饋，VLRR在分析和確定影響客戶滿意度的質量特性時起到重要的參考作用，并且已成為衡量液晶面板及ODM代工行業產品品質的重要參數之一。下圖1.1為A產品客戶端不良分類餅圖，從匯總數據來看，2018年A產品在客戶端不良占比最多為S斷，占比55%，其次外觀不良占比15%，POL類不良占比10%，因此S斷線為A產品良率改進項目的主要不良，改進迫在眉睫。圖1.1A產品客戶端不良分類餅圖確定S斷為良率改進項目的主要研究對象后，通過FAE實驗室解析數據確認如圖1.2所示S斷不良各項原因及所占比例，結合圖1.3S斷缺陷帕累托圖，可以看出PVD異物線占比35%，液殘斷線約占25%，爬坡斷線占比20%，故將S斷線不良率作為項目指標Y，PVD異物斷線、液殘斷線、爬坡斷線為流程質量指標y。圖1.2S斷線不良率CTQ樹型展開圖圖1.3S斷缺陷帕累托圖然后，借助SIPOC過程流程圖，明確A產品的生產流程中滿足內部和外部要求的關鍵工序節點。為了說明可能出現的過程波動，SIPOC圖在流程說明中包括所有人工成本、過程文件、設備、原材料和輔助材料等，以定義和分析過程的關鍵特征因子。如下圖1.4所示，確認清洗、成膜、Photo三個工序為重點過程控制與改進站點。圖1.4S斷不良SIPOC流程分析圖1.1.2良率改進項目的質量目標A產品2017年6月至2018年2月B品（維修品）平均不良率為10.2%，其中S斷線為7.26%，占總缺陷比率為71%，根據公司設定的良率項目綜合良率為95%的質量目標，在預設維修良率水平為80%、報廢率為3%的情況下，則S斷不良率的目標設定為(5%-3%)/（1-80%）*40%=4%，如表1.2所示。表1.2A產品S斷線不良率水準及目標值月份M6M7M8M9M10M11M12M1M2目標S斷ratio（%）7.686.367.356.542.632.459.7510.702.351.00相對應的CTQ中質量指標y目標值分別為1.4%、1.0%、0.8%，其所對應的輸出單位、輸出特性以及規格目標值的設定如表1.3所示。表1.3S斷不良對應小y過程質量目標質量指標缺點輸出單位輸出特性規格目標值y1PVD異物斷線%離散型數據1.40%y2液殘斷線%離散型數據1%y3爬坡斷線%離散型數據0.80%1.1.3良率改進項目的周期計劃從六西格瑪項目質量來看，該項目的周期時間越長，該時期對應的可變性和干擾因素就越多，因為產品的生產始終在變化，因此質量過程控制變得更加困難。考慮到質量波動的周期性和生產的周期性，因此設置該項目的周期計劃為6個月，具體的階段計劃和安排見表1.4。表1.4A產品良率改進項目的計劃時程階段任務開始時間結束時間定義D定義項目目標，確認關鍵質量特性，制定項目計劃2018.3.52018.3.19測量M測量系統有效性分析的實驗設計和計算，測量能力影響因素的收集2018.3.202018.1.30分析A分析問題的根本原因2018.2.12018.2.31改進I建立問題解決方案，驗證方案有效性2018.6.12018.7.25控制C制定項目質量改進成果的持續控制方案2018.7.262018.9.11.1.4良率改進項目的團隊及章程企業開展六西格瑪項目的首要任務是確定項目團隊內的各種角色及其相應的責任，建立一個致力于企業流程改造的團隊，并形成六西格瑪的組織體系，六西格瑪質量改進項目成功的保證是以六西格瑪黑帶為基礎的六西格瑪管理組織。通過前面SIPOC流程分析圖可知，清洗、成膜、Photo三個工序為此次改善的重要流程節點，故從對應流程站點所涉及的部門人員中，臨時抽取專業知識豐富、資深的工作人員組成項目團隊，同時根據六西格瑪項目質量管理組織原則，設立關鍵角色及職責，包括項目Champion、Leader、Array工程段人員以及后段工廠品質人員，同時確認團隊章程。1.2測量系統分析（M階段）作為DMAIC六西格瑪管理的第二個步驟，測量階段承上啟下，保證數據的科學性與準確性，體現了六西格瑪管理中基于數據和事實的重要原則。測量階段在定義階段的基礎上，圍繞項目指標Y，收集分類相關輸入因子x的數據，在輸出和輸入之間建立對應關系。1.2.1流程分析通過流程圖，我們可以識別過程關鍵要素，分析找出對Y有重大影響的過程因素，以便確定出對Y有影響的所有輸入因素變量x，并過濾掉那些不重要的因素。TFTArraySD（Source線，即S線）干蝕刻制程的基本流程工藝的基本過程為：清洗鍍膜涂光阻曝光顯影蝕刻剝離，宏觀流程圖如圖1.5所示，可以確認影響S斷線不良的制程主要為TFT工程段清洗、成膜、PH等。圖1.5TFT-LCDArraySD干蝕刻制程的宏觀流程圖接著，進一步細分清洗、成膜、PH等相關制程，確定上述每個流程中的“增值VA”與“非增值NVA”部分，同時找出隱形工廠，確認每個細分流程的相關性并識別可改進的機會，如圖1.6所示為形成的動線流程圖。圖1.6TFT-LCDSD干蝕刻制程動線流程圖1.2.2C/E矩陣分析根據流程圖，使用頭腦風暴法、魚骨圖和C/E矩陣深入分析與y目標相關的輸入因子，C/E矩陣將流程的每個步驟與客戶需求緊密聯系在一起，需要從主要原因開始向下展開次要原因，劃分需求的重要性級別以及流程的每個步驟與需求之間的相關程度。根據頭腦風暴提出問題并做出假設，然后設置分數比重以進行評估和整體打分。由工藝特性和頭腦風暴的結果可以得到，液殘斷線y1可能原因展開方向包括水殘留、Mist殘留、PA殘留、PR殘渣。PVD異物斷線y2展開方向包括靶材表面異常、傳送發塵、Mask異常、機構發塵、Carrier發塵。爬坡線斷y3展開方向包括水殘留模式、GTTaper異常、Resist殘渣、Resist附著力不足。總結每種不良的主因及次因，并分別標記可控、難控和不可控，得到y1液殘、y2異物、y3爬坡斷線的魚骨圖，如下圖1.7所示。圖1.7y1液殘、y2異物、y3爬坡斷線魚骨圖C＆E矩陣分析方法包括分析所有過程輸入變量對輸出變量的影響程度，根據影響的重要性，輸入和輸出變量的權重按照1到10的重要程度進行打分，將輸入和輸出變量的乘積排序以識別最關鍵的輸入變量，如下表1.5。表1.5C&EMetricsListforS斷線對客戶重要概權（1~10等級）8108746合計RankWET工程123456y1-水殘S斷線主要輸出值設備穩定性基板影響改進難易度成本消耗環境影響綜合評估異常模式所有輸入值相關系數1水殘留AK單元水滴凝聚9913332212AK單元堵塞3933912013AK單元Gap不均一3193391934AK單元傳送不平穩1393911735Mist殘留FRShower角度不佳1931131516氣流紊亂3311391357HM-S水汽比例不佳993993303√HM-S安裝位置不佳331319141PA殘留搬出CV機構磨損發塵1131337910AK軸承/齒輪磨損39133116111清洗設備密封性不RSW流量小939993291√13PR殘渣水洗室Roller與液刀干洗室液刀角度不佳33910113915水洗室流量/壓力不夠999999387√16剝離Tankabs濃度管理399939315√17靶材表面異常端部處理異體Bendin面形貌異常999399345√20補鍍異常19313315921端部Bonding異常1311338322傳送發塵Rollercover氧化31391314323Rollerbrush異常33133914924Roller摩擦發塵33391115125FFU異常31933114526毛刷使用壽命999999387√27Mask異常DSS上部刺狀凸起1331339928表面處理異常33933317729燒結物殘傷11901311231機構發塵O-ring磨損93319318732Lockvalve油脂揮發999939363√33Vent/Pump磨損發塵33339114134氣體中異物過濾不足33190314335水冷版變形及氧化3391315136Maskgap異arrier發塵Clamp表面處理異常3110337238Clamplifetime999993351√39Frame表面處理異常31393113940Framelifetime1313038541上/下Bar磨損發塵19011312742水殘留模式洗浄mist999399345√43干燥不足999993351√44GTTaper異常GateEtch異常33339114145Gate膜下密著性不足31133912946Gate成膜異常33319313947Resist殘渣Resist殘渣11391312748Resist再附著31319311949Resist附著力不足PhotoRework999939363√50UV單元異常19131314951Bake不足30131911152基板滯留999999387√53SCR水殘331393137（1-不相關；3-弱相關；9-強相關）通過C/E矩陣找出重點x因子，即y1的HM-S水汽比例不佳、FRSW流量小、水洗室流量/壓力不夠、剝離Tankabs濃度管理4個變量，y2的表面形貌異常、Rollerbrushlifetime、Lockvalve油脂揮發、Clamplifetime4個變量，y3的洗浄mist、A/K流量、PhotoRework、基板預處理與否4個變量。1.2.3MSA分析 接下來，需要對所有的相關作業、器具和人員進行測量系統分析（MeasureSystemAnalyze），目的是評估測量系統的分辨率和誤差對于被測量的參數來說是否合適，保證測量系統能夠正確的衡量y，來確定測量系統誤差的主要成分。測量系統誤差由精確度、穩定度、重復性、再現性合并而成，其中重復性和再現性簡稱為GR&R。重復性（Repeatability）是在相同條件下進行重復測量時，考察儀器的變異性，例如同一操作員使用同一儀器測量同一零件，是否每次得到相同的測量結果。再現性（Reproducibility）是在不同測量條件下測量時，考察人員的變異性，例如不同的操作員使用相同的儀器，能否得到相同的測量結果。由于y1、y2、y3中連續數值均由大型設備自帶儀表定期測量，無需進行分析確認，因此，主要針對由操作人員導致的變異進行測量系統的確認，即人員是否具有相同標準、人員的判定一致性是否符合標準。S斷的判定涉及Array配線修正設備與MSL點燈裝置，所以主要針對上述兩個設備的MSA人員重復性和再現性檢驗，具體的實驗過程如下：（1）Array配線修正設備測量樣本：共25pcs，NG樣本11pcs，OK樣本14pcs測量人員：作業員6位測量設備：配線修正裝置測量方法：25pcs樣品隨機進行盲測，每人3次判定基準：整體有效性比率≥90%分析軟件：Minitab圖1.8Array配線修正設備測量系統分析箱線圖一致性分析：a.操作者之間的一致性分析。在25次測量中，6位檢驗者完全一致的有24次，一致性比率為96%，下表1.6為Minitab軟件的分析結果。表1.6操作者之間一次性分析檢驗員之間#檢驗數#相符數百分比95%置信區間252496(79.65,99.90)#相符數:所有檢驗員的評估一致。Fleiss的Kappa統計量響應KappaKappa標準誤ZP(與>0)00.9830590.01616960.7988010.9830590.01616960.79880b.所有檢驗者與標準的整體對比。在25次測量中，有24次與標準一致，整體一致性比率為96%，下表1.7為Minitab軟件的分析結果。表1.7所有檢驗者與標準之間一次性分析所有檢驗員與標準#檢驗數#相符數百分比95%置信區間252496(79.65,99.90)#相符數:所有檢驗員的評估與已知的標準一致。Fleiss的Kappa統計量響應KappaKappa標準誤ZP(與>0)00.9910540.047140521.0234010.9910540.047140521.02340本次Array配線修正設備測量系統分析的判定標準為整體有效性比率大于等于90%，結合以上分析結果，可以得出檢查員之間及所有檢查員與標準之間的Kappa均大于90%，則一致性可以接受，判定為合格。（2）MSL點燈裝置測量樣本：共25pcs，NG樣本15pcs，OK樣本10pcs測量人員：作業員6位測量設備：MSL手動點燈機臺輔助工具：點線規測量方法：25pcs樣品隨機進行盲測，每人3次判定基準：整體有效性比率≥90%分析軟件：Minitab圖1.8MSL點燈裝置測量系統分析箱線圖一致性分析：a.操作者之間的一致性分析。在25次測量中，6位檢驗者完全一致的有21次，一致性比率為84%，下表1.8為Minitab軟件的分析結果。表1.8操作者之間一次性分析檢驗員之間#檢驗數#相符數百分比95%置信區間252184(63.92,92.46)#相符數:所有檢驗員的評估一致。Fleiss的Kappa統計量響應KappaKappa標準誤ZP(與>0)00.9493630.01616958.7148010.9493630.01616958.71480b.所有檢驗者與標準的整體對比。在25次測量中，有21次與標準一致，整體一致性比率為84%，下表1.9為Minitab軟件的分析結果。表1.9所有檢驗者與標準之間一次性分析所有檢驗員與標準#檢驗數#相符數百分比95%置信區間252184(63.92,92.46)#相符數:所有檢驗員的評估與已知的標準一致。Fleiss的Kappa統計量響應KappaKappa標準誤ZP(與>0)00.9732480.047140520.6457010.9732480.047140520.64570本次MSL點燈裝置測量系統分析的判定標準為整體有效性比率大于等于90%，結合以上分析結果，可以得出檢查員之間及所有檢查員與標準之間的Kappa均大于90%，則一致性可以接受，判定為合格。1.3過程分析（A階段）在測量階段的因果分析，我們明確了影響項目績效指標因子Y的輸入因子Xi，接下來在分析階段，將使用相關的統計技術和方法對收集到的數據進行處理、分析與判定，找出最終引起不良的根本原因。1.3.1數據取樣分析在測量階段，我們確認了影響項目績效指標因子Y的輸入因子Xi，接下來將針對收集的數據進行處理與分析，下表1.10為數據取樣分析表，即明確各輸入因子對應水平、假設檢驗的基本假設和備擇假設、分析方法以及數據搜集過程。表1.10數據取樣分析表yxi假設水平假設分析方法數據搜集過程Level1Level2H0H1數據記錄方法抽樣大小搜集場所擔當者y1x1-1水洗室流量/壓力不足7083P70=P83P70＞P832-PSPC900shWET王麗亞x1-2剝離Tankabs濃度未管控00.2%P0=P0.002P0＞P0.0022-PSPC900shWET王麗亞x1-3HM-S水汽比例不佳5343P53=P43P53＞P432-PSPC900shWET王麗亞x1-4FRSW流量偏小5363P53=P63P53＞P632-PSPC900shWET王麗亞y2x2-1毛刷使用壽命長3010P30=P10P30＞P102-PSPC720shPVD王若男x2-2Lockvalve油脂易揮發有油脂揮發無油脂揮發P0=P1P0＞P12-P點檢表720shPVD王若男x2-3Clamplifetime長900100P900=P100P900＞P1002-PSPC720shPVD王若男x2-4靶材表面形貌粗糙靶材表面粗糙靶材表面光滑P0=P1P0＞P12-P點檢表720shPVD王若男y3x3-1基板預處理與否處理未處理P24=P4P24＞P42-PSPC900shPhoto高博劍x3-2PhotoRework次數多20P2=P0P2＞P02-PSPC900shPhoto高博劍x3-3干燥能力不足28003000P2800=P3000P2800＞P30002-PSPC900shPhoto高博劍x3-4清洗能力不足Filter更換前Filter更換后P0=P1P0＞P12-P點檢表900shPhoto高博劍1.3.2顯著因子確立我們一般通過假設檢驗的方法來確定顯著因子，假設檢驗又叫做顯著性檢驗，是在根據實際問題做出假設后，利用樣本資料和一定的統計學方法，計算檢驗統計量，依照一定的概率來判斷估計數值與總體數值是否存在顯著差異，進而判斷是否接受原假設的統計學方法。假設檢驗的具體步驟如下：1）首先將實際問題轉化為統計問題，建立原假設H0和備擇假設H2）確定顯著性水平α和統計能力1-β。通常顯著性水平α取值為0.05，統計的能力1-β取值為0.8以上；3）選擇檢驗統計量，查表得到對應臨界值，確定拒絕域；4）收集樣本數據，通常根據顯著性水平α和統計能力1-β確定樣本量大小；5）用Minitab進行分析，如果檢驗統計量落在拒絕域，則拒絕H0，或者通過P-value值與顯著水平的大小情況做出判斷，如果P-value＜α，則拒絕H由于本章內容是判斷各項目條件改變后的良率是否變化，因此使用雙比率檢驗。雙比率檢驗用于比較兩個分布的樣本比率，其檢驗的統計量為：Z=P1?P2p1?p1n1+1下面運用Minitab軟件對液殘斷線y1的相關性因子X1-1的顯著性進行雙比率檢定分析，相關參數如下表1.11所示。表1.11液殘斷線X1-1因子顯著性分析工程樣本驗證時間因子項目條件樣本數S斷線ratioP-ValveWET2018/03-2018/04X1-1水洗室流量/壓力70L/min52261.72%0.00283L/min53171.06%在樣本滿足要求情況下，根據P值進行判斷，P=0.003＜0.05，故拒絕H0，即水洗室流量/壓力對液殘斷線有顯著影響，具體見下圖1.圖1.9液殘斷線y1相關X1-1因子顯著性分析Minitab運算同理，利用Minitab軟件依次對y1、y2、y3中的共個Xi相關因子檢驗，匯總得到如表1.12所示顯著因子分析表，其中x1-1水洗室流量/壓力、x1-3HM-S水汽比例對水殘斷線y1有影響顯著，x2-1毛刷使用壽命對異物模式斷線有顯著影響，x3-2A/K流量對爬坡斷線有顯著影響。表1.12y相關x顯著因子分析表yxi項目檢定方法結論2-Py1水殘斷線x1-1水洗室流量/壓力不足P=0.002顯著因子x1-2剝離Tankabs濃度未管控P=0.247非顯著因子x1-3HM-S水汽比例不佳P=0.014顯著因子x1-4FRSW流量偏小P=0.390非顯著因子y2異物斷線x2-1毛刷使用壽命長P=0.006顯著因子x2-2Lockvalve油脂易揮發P=0.346非顯著因子x2-3Clamplifetime長P=0.211非顯著因子x2-4靶材表面形貌差P=0.364非顯著因子y3爬坡斷線x3-1PhotoRework次數多P=0.116非顯著因子x3-2A/K流量不足P=0.038顯著因子x3-3FinalRinse流量不足P=0.307非顯著因子1.4質量改進（I階段）根據項目分析階段的分析，最終得到了四個引起最終不良的關鍵輸入變量，那么質量改進I階段的主要目標是通過改進輸入變量提高關鍵質量特性Y，找出總體最優的改進方案。1.1.1DOE分析計劃實驗設計（DOE）是處理多個因子與響應變量之間關系的方法，該方法可以同時研究多個輸入變量X，確定它們對關鍵質量特性Y的影響，也可以通過同時操縱多個輸入，確定輸入變量X之間的交互作用。DOE實驗設計通過分析試驗數據，建立響應與因子之間的函數關系Y=F(X1,X2根據分析階段，得出Xi顯著因子為水洗室流量/壓力、HM-S水汽比例、毛刷使用壽命以及A/K流量。此外，y2異物斷線中的Clamp壽命雖然為非顯著，卻是影響PVD過程的重要可控因子，同樣，y3爬坡斷線中的基板預處理也影響基板成膜后的膜質，因此，將Clamp壽命和基板預處理同步加入DOE分析，DOE分析計劃如表1.表1.13DOE分析計劃流程目標(y)X因子LevelLow/Highy1液殘斷線X1-1：水洗室流量270/83L/minX1-3：HM-S水汽比例243/53y2異物斷線X2-1：毛刷使用壽命210/30天X2-3：Clamp壽命2900/1100KWHy3爬坡斷線X3-1：基板預處理24h/24hX3-3：AK流量22800/3000L/min1.1.2全因子DOE實驗設計為綜合考慮各因素對質量特性的影響，本節采用全因子實驗設計，即對所有因子的所有排列組合都進行試驗，優點便是方法思路簡單明了，能夠很清晰的看到主效應以及各個效應之間的交互作用。在多數的初期研究中，每一因子采用兩水平，我們將k個因子的兩水平的全因子試驗稱為2K。在此次實驗設計中，根據批量生產水平和設備規格范圍，并結合對生產成本的評估，在實際生產的基礎上選擇因子水平。判定方式為y1通過對水洗室流量和HM-S水汽比例的調整，y2通過對部材使用壽命的調整，y3通過對成膜基板預處理的管控及AK流量的調整，再由SL點燈S斷線發生panel數整理對應測試數據，如表1.14-1.16所示，其中相關設計因子如下：因子: 2 基本設計: 2,4試驗次數: 8 仿行: 2區組: 1 中心點（合計）: 0表1.14y1模塊DOE2K全因子設計及實驗結果標準序運行序中心點區組水洗室流量HM-S水汽比例實驗結果S斷Panel數5111704351112117043524231183434576411834344645118353492361170535687711705357188118353483表1.15y2模塊DOE2K全因子設計及實驗結果標準序運行序中心點區組毛刷使用壽命Clamp壽命實驗結果S斷Panel數6111309005385211109004524311301100522341110110048015111090043886113011005112711309005187811101100466表1.16y3模塊DOE2K全因子設計及實驗結果標準序運行序中心點區組基板預處理A/K流量實驗結果S斷Panel數81112430004521211428004936311242800481341143000455251124280052256114280051347112430004497811430004781.1.3DOE分析基于DOE實驗設計及結果，運用Minitab軟件進行分析因子設計，確認各因子的影響效果。下圖1.10為y1液殘斷線因子分析結果、標準化效應ParetoS斷Panel數交互作用圖，可以得到水洗室流量、HM-S水汽比例均為y1液殘斷線的顯著因子且兩者之間無交互作用，擬合方程為：液殘斷線發生panel數=279+

0.22

水洗室流量+

13.82

HM-S水汽比例。圖1.10y1液殘斷線DOEminitab分析結果運用相同方法，下圖1.11和1.12分別為y2異物斷線和y3爬坡斷線因子分析結果、標準化效應ParetoS斷Panel數交互作用圖。得到y2異物斷線顯著因子為毛刷使用壽命，擬合方程式：異物斷線發生panel數=188.6+

13.04

毛刷使用壽命+

0.2387

Clamp壽命-

0.00987

毛刷使用壽命*Clamp壽命。y3爬坡斷線顯著因子為AK流量，擬合方程為方程式：爬坡斷線發生panel數=974+

10.1

基板預處理-

0.168

A/K流量-

0.00363

基板預處理*A/K流量。圖1.11y2異物斷線DOEminitab分析結果圖1.12y3爬坡斷線DOEminitab分析結果1.1.4DOE響應優化在對DOE的結果進行分析后，確定項目的質量特性為望小，故可以借助minitab響應（輸出結果/指標）優化器，建立響應優化模式，確認顯著因子與非顯著因子的最優參數組合，y1、y2、y3的DOE響應優化結果如表1.17所示。表1.17DOE優化響應結果模塊結果y1y2y3結合最優組合及測試結果，綜合考慮實際生產成本，確定選擇水洗室流量=83L/min，HM-S水汽比例=43，毛刷使用壽命為10天，AK流量=3000sccm，對各模式S斷線改進效果最好。該結果可作為導入量產的最優參數組合，為后續質量控制階段指明方向。1.5實施控制（C階段）在經歷了定義、測量、分析和改進四個階段后，我們已經根據發現的問題確定了關鍵影響因子并進行了改進。項目的控制階段的主要目的是鞏固改進的成果，確定關鍵控制點、控制參數和控制方法，并進行充分控制，來避免退回舊的流程和操作方法，保證整個工序的長期優化。控制階段的主要任務是制定標準、明確管理職責并進行監控。1.2.1確定控制對象及關鍵制程點在前文中，已經確定了影響良率項目質量目標Y的指標y以及影響指標y的輸入指標參數Xi，但是，為了達到預定良率項目質量目標，需要確定如何將輸入指標Xi進行制程方面的轉化，也六西格瑪項目管理中不可或缺的一部分。通過第四章的改進分析，可以確定水洗室流量、HM-S水汽比例、毛刷使用壽命與A/K流量為需要進行控制的關鍵影響對象，其相對應的制程分別為WET中的SD成膜前洗、SDPhoto與PVD中的SD成膜。對于Xi指標的確定，需要明確制程步驟、要控制什么、規格要求、量測方法、控制方法、頻度、記錄方法、以及相關對應文件SOP更新等內容，因此，根據控制對象及關鍵制程點建立控制計劃。1.2.2制定控制計劃控制計劃是描述流程控制方式的文件，目的是使產品和流程的變異最小化，讓流程保持在期望的狀態。在本階段需要制定控制計劃，常見的措施包括標準化和實施統計過程控制（SPC），其中標準化是使用最廣泛且最基本的方法，包括將改進方法寫入標準作業指導書（SIP）和標準檢驗指導書（SOP），將其推廣到所有人員并定期監控實施情況。同時，有必要定期審查修訂已完成的文件，對于復雜的程序，應召集項目人員逐步討論和論證，直到文件獲得團隊的認可，并且根據之后的項目活動實際情況進行更新和修訂。在本項目中，按照上述要求，更新設備管理基準3份、作業指導書8份、檢查基準書4份、異常反饋流程1份共計16份文件，針對需要改進的四個重要影響因素制定如下表1.17所示控制計劃。表1.18yi對應Xi控制計劃表輸出因子工程控制內容規格要求測量方法控制方法頻度記錄方式文件對應y1SD成膜前洗（WET）水洗室流量83L/min流量計Alarm設定實時監控點檢表ECP-AA-T115濕法剝離設備管理基準。共3份文件HM-S水汽比例43機臺設定Recipe變更實時監控點檢表WIP-AA-T116濕法清洗設備管理基準書共2份文件y2SD成膜（PVD）Brush使用壽命20天機臺監控Alarm設定每日點檢點檢表ECP-AA-T202PVD成膜設備管理基準書共6份文件y3SDPhoto（Photo）AK流量3000L/min流量計Alarm設定實時監控點檢表WMP-AA-T101BFilter作業指導書共5份文件

第2章效果評價及完善措施2.1效果評價2.1.1項目質量目標的效果評價通過初步的項目定義、測量研究、根本原因分析，改進措施的制定和執行，確定最佳參數組合，根據良率項目控制計劃導入關鍵控制對象和制程點，并實施改進方案和措施，再次統計生產現場產出的產品不良數據，得到的產品不良率變化趨勢。圖2.1為良率項目的改進重點Y輸出因子S斷線不良趨勢圖，從不良趨勢圖可以看出，Y輸出因子S斷線不良率呈現出持續下降的趨勢。圖2.1A產品良率項目S斷趨勢圖分別收集項目質量目標Y輸出因子S斷線及y1、y2、y3因子達成情況，達成率=良率目標/現階段良率，如表2.1所示，截止至2018年6月統計S斷線比率，已降低為約3.47%，項目完成度良好。良率項目S斷線總目標超額完成，其