5-基于六西格瑪?shù)哪钞a(chǎn)線項(xiàng)目良率改進(jìn)方案設(shè)計(jì)報(bào)告目錄TOC\o"1-3"\h\u16956基于六西格瑪?shù)哪钞a(chǎn)線項(xiàng)目良率改進(jìn)方案設(shè)計(jì)報(bào)告 -1-180111.1良率改進(jìn)項(xiàng)目的總計(jì)劃（D階段） -2-36251.1.1良率改進(jìn)項(xiàng)目的對象 -2-324971.1.2良率改進(jìn)項(xiàng)目的質(zhì)量目標(biāo) -4-179021.1.3良率改進(jìn)項(xiàng)目的周期計(jì)劃 -5-38801.1.4良率改進(jìn)項(xiàng)目的團(tuán)隊(duì)及章程 -5-231261.2測量系統(tǒng)分析（M階段） -5-163631.2.1流程分析 -6-181131.2.2C/E矩陣分析 -7-93931.2.3MSA分析 -11-102321.3過程分析（A階段） -14-106331.3.1數(shù)據(jù)取樣分析 -14-68071.3.2顯著因子確立 -15-241581.4質(zhì)量改進(jìn)（I階段） -17-96431.1.1DOE分析計(jì)劃 -17-208751.1.2全因子DOE實(shí)驗(yàn)設(shè)計(jì) -17-234281.1.3DOE分析 -19-71681.1.4DOE響應(yīng)優(yōu)化 -20-270771.5實(shí)施控制（C階段） -21-49881.2.1確定控制對象及關(guān)鍵制程點(diǎn) -21-233471.2.2制定控制計(jì)劃 -22-31659第3章效果評價(jià)及完善措施 -24-84122.1效果評價(jià) -24-54202.1.1項(xiàng)目質(zhì)量目標(biāo)的效果評價(jià) -24-259892.1.2項(xiàng)目收益的效果評價(jià) -25-86482.1.3項(xiàng)目質(zhì)量管理方案實(shí)施效果評價(jià) -25-14162.2完善措施 -26-六西格瑪項(xiàng)目以項(xiàng)目為主體，通過創(chuàng)建項(xiàng)目時(shí)間計(jì)劃和目標(biāo)計(jì)劃，使用六西格瑪?shù)姆椒ǚ治鲰?xiàng)目過程中要解決的問題并實(shí)施，其中客戶滿意度、產(chǎn)品或服務(wù)的市場份額、企業(yè)的效益與利潤狀況以及其他企業(yè)生產(chǎn)經(jīng)營活動都可以作為問題的來源。本章主要基于DMAIC流程模型對A產(chǎn)品良率改進(jìn)項(xiàng)目進(jìn)行研究，表1.1為結(jié)合項(xiàng)目質(zhì)量管理與六西格瑪管理形成的良率改進(jìn)項(xiàng)目質(zhì)量管理方案概況。表1.1良率改進(jìn)項(xiàng)目質(zhì)量管理方案概況項(xiàng)目內(nèi)容項(xiàng)目內(nèi)容分類六西格瑪對應(yīng)階段實(shí)施步驟與說明準(zhǔn)備實(shí)施方法項(xiàng)目質(zhì)量管理資源項(xiàng)目質(zhì)量保證項(xiàng)目質(zhì)量立案階段確定人力、機(jī)臺、材料、硬件及軟件支持情況檢查表項(xiàng)目質(zhì)量目標(biāo)項(xiàng)目質(zhì)量計(jì)劃定義D階段根據(jù)項(xiàng)目質(zhì)量目標(biāo)，確定項(xiàng)目對象、Y及小y指標(biāo)流程圖

VOC分析項(xiàng)目團(tuán)隊(duì)成員職責(zé)項(xiàng)目質(zhì)量計(jì)劃細(xì)化項(xiàng)目工作質(zhì)量流程，確認(rèn)周期計(jì)劃直方圖項(xiàng)目質(zhì)量管理運(yùn)作過程項(xiàng)目質(zhì)量計(jì)劃

項(xiàng)目質(zhì)量保證測量M階段1.識別Y及y的工作質(zhì)量流程，建立因子參考矩陣2.分析項(xiàng)目工作質(zhì)量流程，測量系統(tǒng)誤差魚骨圖&C/E矩陣

測量系統(tǒng)分析（MSA）項(xiàng)目質(zhì)量計(jì)劃

項(xiàng)目質(zhì)量控制分析A階段搜集對應(yīng)數(shù)據(jù)，建立假設(shè)檢定計(jì)劃，以明確影響Y及y的重要工作質(zhì)量流程因子抽樣計(jì)劃

假設(shè)檢定

項(xiàng)目質(zhì)量計(jì)劃改善I階段建立項(xiàng)目質(zhì)量過程顯著因子試驗(yàn)計(jì)劃、分析計(jì)劃，確定總體最優(yōu)方案DOE實(shí)驗(yàn)設(shè)計(jì)項(xiàng)目質(zhì)量控制控制C階段根據(jù)項(xiàng)目最優(yōu)參數(shù)，建立項(xiàng)目質(zhì)量控制計(jì)劃，更新對應(yīng)SOP控制計(jì)劃

控制圖1.1良率改進(jìn)項(xiàng)目的總計(jì)劃（D階段）在六西格瑪質(zhì)量管理DMAIC的定義階段，良率改進(jìn)項(xiàng)目質(zhì)量管理方案概況作為綱領(lǐng)文件，為進(jìn)一步展開方案計(jì)劃提供指導(dǎo)。定義階段的起點(diǎn)是獲得客戶聲音，并將客戶聲音轉(zhuǎn)換為關(guān)鍵質(zhì)量因子CTQ，之后通過流程分析、因果分析等方法逐步確定影響客戶滿意度的關(guān)鍵輸出變量Y，Y即項(xiàng)目改進(jìn)的重點(diǎn)。1.1.1良率改進(jìn)項(xiàng)目的對象六西格瑪項(xiàng)目的目的是提高客戶滿意度和企業(yè)收益，重點(diǎn)強(qiáng)調(diào)傾聽客戶的聲音（VOC，VoiceofCustomer），從客戶端追溯分解獲得的問題就是六西格瑪管理項(xiàng)目需要解決的重點(diǎn)問題，所以，確定改進(jìn)目標(biāo)關(guān)鍵點(diǎn)時(shí)借助過程關(guān)鍵質(zhì)量特性CTQ樹圖，將客戶反饋的實(shí)際需求轉(zhuǎn)換并細(xì)化到團(tuán)隊(duì)可以把握的層次。A產(chǎn)品的客戶為模組與整機(jī)組裝廠，客戶端的產(chǎn)品質(zhì)量主要通過確認(rèn)后線上不良率（VLRR，VerifiedLineRejectRate）的數(shù)據(jù)進(jìn)行反饋，VLRR在分析和確定影響客戶滿意度的質(zhì)量特性時(shí)起到重要的參考作用，并且已成為衡量液晶面板及ODM代工行業(yè)產(chǎn)品品質(zhì)的重要參數(shù)之一。下圖1.1為A產(chǎn)品客戶端不良分類餅圖，從匯總數(shù)據(jù)來看，2018年A產(chǎn)品在客戶端不良占比最多為S斷，占比55%，其次外觀不良占比15%，POL類不良占比10%，因此S斷線為A產(chǎn)品良率改進(jìn)項(xiàng)目的主要不良，改進(jìn)迫在眉睫。圖1.1A產(chǎn)品客戶端不良分類餅圖確定S斷為良率改進(jìn)項(xiàng)目的主要研究對象后，通過FAE實(shí)驗(yàn)室解析數(shù)據(jù)確認(rèn)如圖1.2所示S斷不良各項(xiàng)原因及所占比例，結(jié)合圖1.3S斷缺陷帕累托圖，可以看出PVD異物線占比35%，液殘斷線約占25%，爬坡斷線占比20%，故將S斷線不良率作為項(xiàng)目指標(biāo)Y，PVD異物斷線、液殘斷線、爬坡斷線為流程質(zhì)量指標(biāo)y。圖1.2S斷線不良率CTQ樹型展開圖圖1.3S斷缺陷帕累托圖然后，借助SIPOC過程流程圖，明確A產(chǎn)品的生產(chǎn)流程中滿足內(nèi)部和外部要求的關(guān)鍵工序節(jié)點(diǎn)。為了說明可能出現(xiàn)的過程波動，SIPOC圖在流程說明中包括所有人工成本、過程文件、設(shè)備、原材料和輔助材料等，以定義和分析過程的關(guān)鍵特征因子。如下圖1.4所示，確認(rèn)清洗、成膜、Photo三個(gè)工序?yàn)橹攸c(diǎn)過程控制與改進(jìn)站點(diǎn)。圖1.4S斷不良SIPOC流程分析圖1.1.2良率改進(jìn)項(xiàng)目的質(zhì)量目標(biāo)A產(chǎn)品2017年6月至2018年2月B品（維修品）平均不良率為10.2%，其中S斷線為7.26%，占總?cè)毕荼嚷蕿?1%，根據(jù)公司設(shè)定的良率項(xiàng)目綜合良率為95%的質(zhì)量目標(biāo)，在預(yù)設(shè)維修良率水平為80%、報(bào)廢率為3%的情況下，則S斷不良率的目標(biāo)設(shè)定為(5%-3%)/（1-80%）*40%=4%，如表1.2所示。表1.2A產(chǎn)品S斷線不良率水準(zhǔn)及目標(biāo)值月份M6M7M8M9M10M11M12M1M2目標(biāo)S斷ratio（%）7.686.367.356.542.632.459.7510.702.351.00相對應(yīng)的CTQ中質(zhì)量指標(biāo)y目標(biāo)值分別為1.4%、1.0%、0.8%，其所對應(yīng)的輸出單位、輸出特性以及規(guī)格目標(biāo)值的設(shè)定如表1.3所示。表1.3S斷不良對應(yīng)小y過程質(zhì)量目標(biāo)質(zhì)量指標(biāo)缺點(diǎn)輸出單位輸出特性規(guī)格目標(biāo)值y1PVD異物斷線%離散型數(shù)據(jù)1.40%y2液殘斷線%離散型數(shù)據(jù)1%y3爬坡斷線%離散型數(shù)據(jù)0.80%1.1.3良率改進(jìn)項(xiàng)目的周期計(jì)劃從六西格瑪項(xiàng)目質(zhì)量來看，該項(xiàng)目的周期時(shí)間越長，該時(shí)期對應(yīng)的可變性和干擾因素就越多，因?yàn)楫a(chǎn)品的生產(chǎn)始終在變化，因此質(zhì)量過程控制變得更加困難。考慮到質(zhì)量波動的周期性和生產(chǎn)的周期性，因此設(shè)置該項(xiàng)目的周期計(jì)劃為6個(gè)月，具體的階段計(jì)劃和安排見表1.4。表1.4A產(chǎn)品良率改進(jìn)項(xiàng)目的計(jì)劃時(shí)程階段任務(wù)開始時(shí)間結(jié)束時(shí)間定義D定義項(xiàng)目目標(biāo)，確認(rèn)關(guān)鍵質(zhì)量特性，制定項(xiàng)目計(jì)劃2018.3.52018.3.19測量M測量系統(tǒng)有效性分析的實(shí)驗(yàn)設(shè)計(jì)和計(jì)算，測量能力影響因素的收集2018.3.202018.1.30分析A分析問題的根本原因2018.2.12018.2.31改進(jìn)I建立問題解決方案，驗(yàn)證方案有效性2018.6.12018.7.25控制C制定項(xiàng)目質(zhì)量改進(jìn)成果的持續(xù)控制方案2018.7.262018.9.11.1.4良率改進(jìn)項(xiàng)目的團(tuán)隊(duì)及章程企業(yè)開展六西格瑪項(xiàng)目的首要任務(wù)是確定項(xiàng)目團(tuán)隊(duì)內(nèi)的各種角色及其相應(yīng)的責(zé)任，建立一個(gè)致力于企業(yè)流程改造的團(tuán)隊(duì)，并形成六西格瑪?shù)慕M織體系，六西格瑪質(zhì)量改進(jìn)項(xiàng)目成功的保證是以六西格瑪黑帶為基礎(chǔ)的六西格瑪管理組織。通過前面SIPOC流程分析圖可知，清洗、成膜、Photo三個(gè)工序?yàn)榇舜胃纳频闹匾鞒坦?jié)點(diǎn)，故從對應(yīng)流程站點(diǎn)所涉及的部門人員中，臨時(shí)抽取專業(yè)知識豐富、資深的工作人員組成項(xiàng)目團(tuán)隊(duì)，同時(shí)根據(jù)六西格瑪項(xiàng)目質(zhì)量管理組織原則，設(shè)立關(guān)鍵角色及職責(zé)，包括項(xiàng)目Champion、Leader、Array工程段人員以及后段工廠品質(zhì)人員，同時(shí)確認(rèn)團(tuán)隊(duì)章程。1.2測量系統(tǒng)分析（M階段）作為DMAIC六西格瑪管理的第二個(gè)步驟，測量階段承上啟下，保證數(shù)據(jù)的科學(xué)性與準(zhǔn)確性，體現(xiàn)了六西格瑪管理中基于數(shù)據(jù)和事實(shí)的重要原則。測量階段在定義階段的基礎(chǔ)上，圍繞項(xiàng)目指標(biāo)Y，收集分類相關(guān)輸入因子x的數(shù)據(jù)，在輸出和輸入之間建立對應(yīng)關(guān)系。1.2.1流程分析通過流程圖，我們可以識別過程關(guān)鍵要素，分析找出對Y有重大影響的過程因素，以便確定出對Y有影響的所有輸入因素變量x，并過濾掉那些不重要的因素。TFTArraySD（Source線，即S線）干蝕刻制程的基本流程工藝的基本過程為：清洗鍍膜涂光阻曝光顯影蝕刻剝離，宏觀流程圖如圖1.5所示，可以確認(rèn)影響S斷線不良的制程主要為TFT工程段清洗、成膜、PH等。圖1.5TFT-LCDArraySD干蝕刻制程的宏觀流程圖接著，進(jìn)一步細(xì)分清洗、成膜、PH等相關(guān)制程，確定上述每個(gè)流程中的“增值VA”與“非增值NVA”部分，同時(shí)找出隱形工廠，確認(rèn)每個(gè)細(xì)分流程的相關(guān)性并識別可改進(jìn)的機(jī)會，如圖1.6所示為形成的動線流程圖。圖1.6TFT-LCDSD干蝕刻制程動線流程圖1.2.2C/E矩陣分析根據(jù)流程圖，使用頭腦風(fēng)暴法、魚骨圖和C/E矩陣深入分析與y目標(biāo)相關(guān)的輸入因子，C/E矩陣將流程的每個(gè)步驟與客戶需求緊密聯(lián)系在一起，需要從主要原因開始向下展開次要原因，劃分需求的重要性級別以及流程的每個(gè)步驟與需求之間的相關(guān)程度。根據(jù)頭腦風(fēng)暴提出問題并做出假設(shè)，然后設(shè)置分?jǐn)?shù)比重以進(jìn)行評估和整體打分。由工藝特性和頭腦風(fēng)暴的結(jié)果可以得到，液殘斷線y1可能原因展開方向包括水殘留、Mist殘留、PA殘留、PR殘?jiān)VD異物斷線y2展開方向包括靶材表面異常、傳送發(fā)塵、Mask異常、機(jī)構(gòu)發(fā)塵、Carrier發(fā)塵。爬坡線斷y3展開方向包括水殘留模式、GTTaper異常、Resist殘?jiān)esist附著力不足。總結(jié)每種不良的主因及次因，并分別標(biāo)記可控、難控和不可控，得到y(tǒng)1液殘、y2異物、y3爬坡斷線的魚骨圖，如下圖1.7所示。圖1.7y1液殘、y2異物、y3爬坡斷線魚骨圖C＆E矩陣分析方法包括分析所有過程輸入變量對輸出變量的影響程度，根據(jù)影響的重要性，輸入和輸出變量的權(quán)重按照1到10的重要程度進(jìn)行打分，將輸入和輸出變量的乘積排序以識別最關(guān)鍵的輸入變量，如下表1.5。表1.5C&EMetricsListforS斷線對客戶重要概權(quán)（1~10等級）8108746合計(jì)RankWET工程123456y1-水殘S斷線主要輸出值設(shè)備穩(wěn)定性基板影響改進(jìn)難易度成本消耗環(huán)境影響綜合評估異常模式所有輸入值相關(guān)系數(shù)1水殘留AK單元水滴凝聚9913332212AK單元堵塞3933912013AK單元Gap不均一3193391934AK單元傳送不平穩(wěn)1393911735Mist殘留FRShower角度不佳1931131516氣流紊亂3311391357HM-S水汽比例不佳993993303√HM-S安裝位置不佳331319141PA殘留搬出CV機(jī)構(gòu)磨損發(fā)塵1131337910AK軸承/齒輪磨損39133116111清洗設(shè)備密封性不RSW流量小939993291√13PR殘?jiān)词襌oller與液刀干洗室液刀角度不佳33910113915水洗室流量/壓力不夠999999387√16剝離Tankabs濃度管理399939315√17靶材表面異常端部處理異體Bendin面形貌異常999399345√20補(bǔ)鍍異常19313315921端部Bonding異常1311338322傳送發(fā)塵Rollercover氧化31391314323Rollerbrush異常33133914924Roller摩擦發(fā)塵33391115125FFU異常31933114526毛刷使用壽命999999387√27Mask異常DSS上部刺狀凸起1331339928表面處理異常33933317729燒結(jié)物殘傷11901311231機(jī)構(gòu)發(fā)塵O-ring磨損93319318732Lockvalve油脂揮發(fā)999939363√33Vent/Pump磨損發(fā)塵33339114134氣體中異物過濾不足33190314335水冷版變形及氧化3391315136Maskgap異arrier發(fā)塵Clamp表面處理異常3110337238Clamplifetime999993351√39Frame表面處理異常31393113940Framelifetime1313038541上/下Bar磨損發(fā)塵19011312742水殘留模式洗浄mist999399345√43干燥不足999993351√44GTTaper異常GateEtch異常33339114145Gate膜下密著性不足31133912946Gate成膜異常33319313947Resist殘?jiān)黂esist殘?jiān)?1391312748Resist再附著31319311949Resist附著力不足PhotoRework999939363√50UV單元異常19131314951Bake不足30131911152基板滯留999999387√53SCR水殘331393137（1-不相關(guān)；3-弱相關(guān)；9-強(qiáng)相關(guān)）通過C/E矩陣找出重點(diǎn)x因子，即y1的HM-S水汽比例不佳、FRSW流量小、水洗室流量/壓力不夠、剝離Tankabs濃度管理4個(gè)變量，y2的表面形貌異常、Rollerbrushlifetime、Lockvalve油脂揮發(fā)、Clamplifetime4個(gè)變量，y3的洗浄mist、A/K流量、PhotoRework、基板預(yù)處理與否4個(gè)變量。1.2.3MSA分析 接下來，需要對所有的相關(guān)作業(yè)、器具和人員進(jìn)行測量系統(tǒng)分析（MeasureSystemAnalyze），目的是評估測量系統(tǒng)的分辨率和誤差對于被測量的參數(shù)來說是否合適，保證測量系統(tǒng)能夠正確的衡量y，來確定測量系統(tǒng)誤差的主要成分。測量系統(tǒng)誤差由精確度、穩(wěn)定度、重復(fù)性、再現(xiàn)性合并而成，其中重復(fù)性和再現(xiàn)性簡稱為GR&R。重復(fù)性（Repeatability）是在相同條件下進(jìn)行重復(fù)測量時(shí)，考察儀器的變異性，例如同一操作員使用同一儀器測量同一零件，是否每次得到相同的測量結(jié)果。再現(xiàn)性（Reproducibility）是在不同測量條件下測量時(shí)，考察人員的變異性，例如不同的操作員使用相同的儀器，能否得到相同的測量結(jié)果。由于y1、y2、y3中連續(xù)數(shù)值均由大型設(shè)備自帶儀表定期測量，無需進(jìn)行分析確認(rèn)，因此，主要針對由操作人員導(dǎo)致的變異進(jìn)行測量系統(tǒng)的確認(rèn)，即人員是否具有相同標(biāo)準(zhǔn)、人員的判定一致性是否符合標(biāo)準(zhǔn)。S斷的判定涉及Array配線修正設(shè)備與MSL點(diǎn)燈裝置，所以主要針對上述兩個(gè)設(shè)備的MSA人員重復(fù)性和再現(xiàn)性檢驗(yàn)，具體的實(shí)驗(yàn)過程如下：（1）Array配線修正設(shè)備測量樣本：共25pcs，NG樣本11pcs，OK樣本14pcs測量人員：作業(yè)員6位測量設(shè)備：配線修正裝置測量方法：25pcs樣品隨機(jī)進(jìn)行盲測，每人3次判定基準(zhǔn)：整體有效性比率≥90%分析軟件：Minitab圖1.8Array配線修正設(shè)備測量系統(tǒng)分析箱線圖一致性分析：a.操作者之間的一致性分析。在25次測量中，6位檢驗(yàn)者完全一致的有24次，一致性比率為96%，下表1.6為Minitab軟件的分析結(jié)果。表1.6操作者之間一次性分析檢驗(yàn)員之間#檢驗(yàn)數(shù)#相符數(shù)百分比95%置信區(qū)間252496(79.65,99.90)#相符數(shù):所有檢驗(yàn)員的評估一致。Fleiss的Kappa統(tǒng)計(jì)量響應(yīng)KappaKappa標(biāo)準(zhǔn)誤ZP(與>0)00.9830590.01616960.7988010.9830590.01616960.79880b.所有檢驗(yàn)者與標(biāo)準(zhǔn)的整體對比。在25次測量中，有24次與標(biāo)準(zhǔn)一致，整體一致性比率為96%，下表1.7為Minitab軟件的分析結(jié)果。表1.7所有檢驗(yàn)者與標(biāo)準(zhǔn)之間一次性分析所有檢驗(yàn)員與標(biāo)準(zhǔn)#檢驗(yàn)數(shù)#相符數(shù)百分比95%置信區(qū)間252496(79.65,99.90)#相符數(shù):所有檢驗(yàn)員的評估與已知的標(biāo)準(zhǔn)一致。Fleiss的Kappa統(tǒng)計(jì)量響應(yīng)KappaKappa標(biāo)準(zhǔn)誤ZP(與>0)00.9910540.047140521.0234010.9910540.047140521.02340本次Array配線修正設(shè)備測量系統(tǒng)分析的判定標(biāo)準(zhǔn)為整體有效性比率大于等于90%，結(jié)合以上分析結(jié)果，可以得出檢查員之間及所有檢查員與標(biāo)準(zhǔn)之間的Kappa均大于90%，則一致性可以接受，判定為合格。（2）MSL點(diǎn)燈裝置測量樣本：共25pcs，NG樣本15pcs，OK樣本10pcs測量人員：作業(yè)員6位測量設(shè)備：MSL手動點(diǎn)燈機(jī)臺輔助工具：點(diǎn)線規(guī)測量方法：25pcs樣品隨機(jī)進(jìn)行盲測，每人3次判定基準(zhǔn)：整體有效性比率≥90%分析軟件：Minitab圖1.8MSL點(diǎn)燈裝置測量系統(tǒng)分析箱線圖一致性分析：a.操作者之間的一致性分析。在25次測量中，6位檢驗(yàn)者完全一致的有21次，一致性比率為84%，下表1.8為Minitab軟件的分析結(jié)果。表1.8操作者之間一次性分析檢驗(yàn)員之間#檢驗(yàn)數(shù)#相符數(shù)百分比95%置信區(qū)間252184(63.92,92.46)#相符數(shù):所有檢驗(yàn)員的評估一致。Fleiss的Kappa統(tǒng)計(jì)量響應(yīng)KappaKappa標(biāo)準(zhǔn)誤ZP(與>0)00.9493630.01616958.7148010.9493630.01616958.71480b.所有檢驗(yàn)者與標(biāo)準(zhǔn)的整體對比。在25次測量中，有21次與標(biāo)準(zhǔn)一致，整體一致性比率為84%，下表1.9為Minitab軟件的分析結(jié)果。表1.9所有檢驗(yàn)者與標(biāo)準(zhǔn)之間一次性分析所有檢驗(yàn)員與標(biāo)準(zhǔn)#檢驗(yàn)數(shù)#相符數(shù)百分比95%置信區(qū)間252184(63.92,92.46)#相符數(shù):所有檢驗(yàn)員的評估與已知的標(biāo)準(zhǔn)一致。Fleiss的Kappa統(tǒng)計(jì)量響應(yīng)KappaKappa標(biāo)準(zhǔn)誤ZP(與>0)00.9732480.047140520.6457010.9732480.047140520.64570本次MSL點(diǎn)燈裝置測量系統(tǒng)分析的判定標(biāo)準(zhǔn)為整體有效性比率大于等于90%，結(jié)合以上分析結(jié)果，可以得出檢查員之間及所有檢查員與標(biāo)準(zhǔn)之間的Kappa均大于90%，則一致性可以接受，判定為合格。1.3過程分析（A階段）在測量階段的因果分析，我們明確了影響項(xiàng)目績效指標(biāo)因子Y的輸入因子Xi，接下來在分析階段，將使用相關(guān)的統(tǒng)計(jì)技術(shù)和方法對收集到的數(shù)據(jù)進(jìn)行處理、分析與判定，找出最終引起不良的根本原因。1.3.1數(shù)據(jù)取樣分析在測量階段，我們確認(rèn)了影響項(xiàng)目績效指標(biāo)因子Y的輸入因子Xi，接下來將針對收集的數(shù)據(jù)進(jìn)行處理與分析，下表1.10為數(shù)據(jù)取樣分析表，即明確各輸入因子對應(yīng)水平、假設(shè)檢驗(yàn)的基本假設(shè)和備擇假設(shè)、分析方法以及數(shù)據(jù)搜集過程。表1.10數(shù)據(jù)取樣分析表yxi假設(shè)水平假設(shè)分析方法數(shù)據(jù)搜集過程Level1Level2H0H1數(shù)據(jù)記錄方法抽樣大小搜集場所擔(dān)當(dāng)者y1x1-1水洗室流量/壓力不足7083P70=P83P70＞P832-PSPC900shWET王麗亞x1-2剝離Tankabs濃度未管控00.2%P0=P0.002P0＞P0.0022-PSPC900shWET王麗亞x1-3HM-S水汽比例不佳5343P53=P43P53＞P432-PSPC900shWET王麗亞x1-4FRSW流量偏小5363P53=P63P53＞P632-PSPC900shWET王麗亞y2x2-1毛刷使用壽命長3010P30=P10P30＞P102-PSPC720shPVD王若男x2-2Lockvalve油脂易揮發(fā)有油脂揮發(fā)無油脂揮發(fā)P0=P1P0＞P12-P點(diǎn)檢表720shPVD王若男x2-3Clamplifetime長900100P900=P100P900＞P1002-PSPC720shPVD王若男x2-4靶材表面形貌粗糙靶材表面粗糙靶材表面光滑P0=P1P0＞P12-P點(diǎn)檢表720shPVD王若男y3x3-1基板預(yù)處理與否處理未處理P24=P4P24＞P42-PSPC900shPhoto高博劍x3-2PhotoRework次數(shù)多20P2=P0P2＞P02-PSPC900shPhoto高博劍x3-3干燥能力不足28003000P2800=P3000P2800＞P30002-PSPC900shPhoto高博劍x3-4清洗能力不足Filter更換前Filter更換后P0=P1P0＞P12-P點(diǎn)檢表900shPhoto高博劍1.3.2顯著因子確立我們一般通過假設(shè)檢驗(yàn)的方法來確定顯著因子，假設(shè)檢驗(yàn)又叫做顯著性檢驗(yàn)，是在根據(jù)實(shí)際問題做出假設(shè)后，利用樣本資料和一定的統(tǒng)計(jì)學(xué)方法，計(jì)算檢驗(yàn)統(tǒng)計(jì)量，依照一定的概率來判斷估計(jì)數(shù)值與總體數(shù)值是否存在顯著差異，進(jìn)而判斷是否接受原假設(shè)的統(tǒng)計(jì)學(xué)方法。假設(shè)檢驗(yàn)的具體步驟如下：1）首先將實(shí)際問題轉(zhuǎn)化為統(tǒng)計(jì)問題，建立原假設(shè)H0和備擇假設(shè)H2）確定顯著性水平α和統(tǒng)計(jì)能力1-β。通常顯著性水平α取值為0.05，統(tǒng)計(jì)的能力1-β取值為0.8以上；3）選擇檢驗(yàn)統(tǒng)計(jì)量，查表得到對應(yīng)臨界值，確定拒絕域；4）收集樣本數(shù)據(jù)，通常根據(jù)顯著性水平α和統(tǒng)計(jì)能力1-β確定樣本量大小；5）用Minitab進(jìn)行分析，如果檢驗(yàn)統(tǒng)計(jì)量落在拒絕域，則拒絕H0，或者通過P-value值與顯著水平的大小情況做出判斷，如果P-value＜α，則拒絕H由于本章內(nèi)容是判斷各項(xiàng)目條件改變后的良率是否變化，因此使用雙比率檢驗(yàn)。雙比率檢驗(yàn)用于比較兩個(gè)分布的樣本比率，其檢驗(yàn)的統(tǒng)計(jì)量為：Z=P1?P2p1?p1n1+1下面運(yùn)用Minitab軟件對液殘斷線y1的相關(guān)性因子X1-1的顯著性進(jìn)行雙比率檢定分析，相關(guān)參數(shù)如下表1.11所示。表1.11液殘斷線X1-1因子顯著性分析工程樣本驗(yàn)證時(shí)間因子項(xiàng)目條件樣本數(shù)S斷線ratioP-ValveWET2018/03-2018/04X1-1水洗室流量/壓力70L/min52261.72%0.00283L/min53171.06%在樣本滿足要求情況下，根據(jù)P值進(jìn)行判斷，P=0.003＜0.05，故拒絕H0，即水洗室流量/壓力對液殘斷線有顯著影響，具體見下圖1.圖1.9液殘斷線y1相關(guān)X1-1因子顯著性分析Minitab運(yùn)算同理，利用Minitab軟件依次對y1、y2、y3中的共個(gè)Xi相關(guān)因子檢驗(yàn)，匯總得到如表1.12所示顯著因子分析表，其中x1-1水洗室流量/壓力、x1-3HM-S水汽比例對水殘斷線y1有影響顯著，x2-1毛刷使用壽命對異物模式斷線有顯著影響，x3-2A/K流量對爬坡斷線有顯著影響。表1.12y相關(guān)x顯著因子分析表yxi項(xiàng)目檢定方法結(jié)論2-Py1水殘斷線x1-1水洗室流量/壓力不足P=0.002顯著因子x1-2剝離Tankabs濃度未管控P=0.247非顯著因子x1-3HM-S水汽比例不佳P=0.014顯著因子x1-4FRSW流量偏小P=0.390非顯著因子y2異物斷線x2-1毛刷使用壽命長P=0.006顯著因子x2-2Lockvalve油脂易揮發(fā)P=0.346非顯著因子x2-3Clamplifetime長P=0.211非顯著因子x2-4靶材表面形貌差P=0.364非顯著因子y3爬坡斷線x3-1PhotoRework次數(shù)多P=0.116非顯著因子x3-2A/K流量不足P=0.038顯著因子x3-3FinalRinse流量不足P=0.307非顯著因子1.4質(zhì)量改進(jìn)（I階段）根據(jù)項(xiàng)目分析階段的分析，最終得到了四個(gè)引起最終不良的關(guān)鍵輸入變量，那么質(zhì)量改進(jìn)I階段的主要目標(biāo)是通過改進(jìn)輸入變量提高關(guān)鍵質(zhì)量特性Y，找出總體最優(yōu)的改進(jìn)方案。1.1.1DOE分析計(jì)劃實(shí)驗(yàn)設(shè)計(jì)（DOE）是處理多個(gè)因子與響應(yīng)變量之間關(guān)系的方法，該方法可以同時(shí)研究多個(gè)輸入變量X，確定它們對關(guān)鍵質(zhì)量特性Y的影響，也可以通過同時(shí)操縱多個(gè)輸入，確定輸入變量X之間的交互作用。DOE實(shí)驗(yàn)設(shè)計(jì)通過分析試驗(yàn)數(shù)據(jù)，建立響應(yīng)與因子之間的函數(shù)關(guān)系Y=F(X1,X2根據(jù)分析階段，得出Xi顯著因子為水洗室流量/壓力、HM-S水汽比例、毛刷使用壽命以及A/K流量。此外，y2異物斷線中的Clamp壽命雖然為非顯著，卻是影響PVD過程的重要可控因子，同樣，y3爬坡斷線中的基板預(yù)處理也影響基板成膜后的膜質(zhì)，因此，將Clamp壽命和基板預(yù)處理同步加入DOE分析，DOE分析計(jì)劃如表1.表1.13DOE分析計(jì)劃流程目標(biāo)(y)X因子LevelLow/Highy1液殘斷線X1-1：水洗室流量270/83L/minX1-3：HM-S水汽比例243/53y2異物斷線X2-1：毛刷使用壽命210/30天X2-3：Clamp壽命2900/1100KWHy3爬坡斷線X3-1：基板預(yù)處理24h/24hX3-3：AK流量22800/3000L/min1.1.2全因子DOE實(shí)驗(yàn)設(shè)計(jì)為綜合考慮各因素對質(zhì)量特性的影響，本節(jié)采用全因子實(shí)驗(yàn)設(shè)計(jì)，即對所有因子的所有排列組合都進(jìn)行試驗(yàn)，優(yōu)點(diǎn)便是方法思路簡單明了，能夠很清晰的看到主效應(yīng)以及各個(gè)效應(yīng)之間的交互作用。在多數(shù)的初期研究中，每一因子采用兩水平，我們將k個(gè)因子的兩水平的全因子試驗(yàn)稱為2K。在此次實(shí)驗(yàn)設(shè)計(jì)中，根據(jù)批量生產(chǎn)水平和設(shè)備規(guī)格范圍，并結(jié)合對生產(chǎn)成本的評估，在實(shí)際生產(chǎn)的基礎(chǔ)上選擇因子水平。判定方式為y1通過對水洗室流量和HM-S水汽比例的調(diào)整，y2通過對部材使用壽命的調(diào)整，y3通過對成膜基板預(yù)處理的管控及AK流量的調(diào)整，再由SL點(diǎn)燈S斷線發(fā)生panel數(shù)整理對應(yīng)測試數(shù)據(jù)，如表1.14-1.16所示，其中相關(guān)設(shè)計(jì)因子如下：因子: 2 基本設(shè)計(jì): 2,4試驗(yàn)次數(shù): 8 仿行: 2區(qū)組: 1 中心點(diǎn)（合計(jì)）: 0表1.14y1模塊DOE2K全因子設(shè)計(jì)及實(shí)驗(yàn)結(jié)果標(biāo)準(zhǔn)序運(yùn)行序中心點(diǎn)區(qū)組水洗室流量HM-S水汽比例實(shí)驗(yàn)結(jié)果S斷Panel數(shù)5111704351112117043524231183434576411834344645118353492361170535687711705357188118353483表1.15y2模塊DOE2K全因子設(shè)計(jì)及實(shí)驗(yàn)結(jié)果標(biāo)準(zhǔn)序運(yùn)行序中心點(diǎn)區(qū)組毛刷使用壽命Clamp壽命實(shí)驗(yàn)結(jié)果S斷Panel數(shù)6111309005385211109004524311301100522341110110048015111090043886113011005112711309005187811101100466表1.16y3模塊DOE2K全因子設(shè)計(jì)及實(shí)驗(yàn)結(jié)果標(biāo)準(zhǔn)序運(yùn)行序中心點(diǎn)區(qū)組基板預(yù)處理A/K流量實(shí)驗(yàn)結(jié)果S斷Panel數(shù)81112430004521211428004936311242800481341143000455251124280052256114280051347112430004497811430004781.1.3DOE分析基于DOE實(shí)驗(yàn)設(shè)計(jì)及結(jié)果，運(yùn)用Minitab軟件進(jìn)行分析因子設(shè)計(jì)，確認(rèn)各因子的影響效果。下圖1.10為y1液殘斷線因子分析結(jié)果、標(biāo)準(zhǔn)化效應(yīng)ParetoS斷Panel數(shù)交互作用圖，可以得到水洗室流量、HM-S水汽比例均為y1液殘斷線的顯著因子且兩者之間無交互作用，擬合方程為：液殘斷線發(fā)生panel數(shù)=279+

0.22

水洗室流量+

13.82

HM-S水汽比例。圖1.10y1液殘斷線DOEminitab分析結(jié)果運(yùn)用相同方法，下圖1.11和1.12分別為y2異物斷線和y3爬坡斷線因子分析結(jié)果、標(biāo)準(zhǔn)化效應(yīng)ParetoS斷Panel數(shù)交互作用圖。得到y(tǒng)2異物斷線顯著因子為毛刷使用壽命，擬合方程式：異物斷線發(fā)生panel數(shù)=188.6+

13.04

毛刷使用壽命+

0.2387

Clamp壽命-

0.00987

毛刷使用壽命*Clamp壽命。y3爬坡斷線顯著因子為AK流量，擬合方程為方程式：爬坡斷線發(fā)生panel數(shù)=974+

10.1

基板預(yù)處理-

0.168

A/K流量-

0.00363

基板預(yù)處理*A/K流量。圖1.11y2異物斷線DOEminitab分析結(jié)果圖1.12y3爬坡斷線DOEminitab分析結(jié)果1.1.4DOE響應(yīng)優(yōu)化在對DOE的結(jié)果進(jìn)行分析后，確定項(xiàng)目的質(zhì)量特性為望小，故可以借助minitab響應(yīng)（輸出結(jié)果/指標(biāo)）優(yōu)化器，建立響應(yīng)優(yōu)化模式，確認(rèn)顯著因子與非顯著因子的最優(yōu)參數(shù)組合，y1、y2、y3的DOE響應(yīng)優(yōu)化結(jié)果如表1.17所示。表1.17DOE優(yōu)化響應(yīng)結(jié)果模塊結(jié)果y1y2y3結(jié)合最優(yōu)組合及測試結(jié)果，綜合考慮實(shí)際生產(chǎn)成本，確定選擇水洗室流量=83L/min，HM-S水汽比例=43，毛刷使用壽命為10天，AK流量=3000sccm，對各模式S斷線改進(jìn)效果最好。該結(jié)果可作為導(dǎo)入量產(chǎn)的最優(yōu)參數(shù)組合，為后續(xù)質(zhì)量控制階段指明方向。1.5實(shí)施控制（C階段）在經(jīng)歷了定義、測量、分析和改進(jìn)四個(gè)階段后，我們已經(jīng)根據(jù)發(fā)現(xiàn)的問題確定了關(guān)鍵影響因子并進(jìn)行了改進(jìn)。項(xiàng)目的控制階段的主要目的是鞏固改進(jìn)的成果，確定關(guān)鍵控制點(diǎn)、控制參數(shù)和控制方法，并進(jìn)行充分控制，來避免退回舊的流程和操作方法，保證整個(gè)工序的長期優(yōu)化。控制階段的主要任務(wù)是制定標(biāo)準(zhǔn)、明確管理職責(zé)并進(jìn)行監(jiān)控。1.2.1確定控制對象及關(guān)鍵制程點(diǎn)在前文中，已經(jīng)確定了影響良率項(xiàng)目質(zhì)量目標(biāo)Y的指標(biāo)y以及影響指標(biāo)y的輸入指標(biāo)參數(shù)Xi，但是，為了達(dá)到預(yù)定良率項(xiàng)目質(zhì)量目標(biāo)，需要確定如何將輸入指標(biāo)Xi進(jìn)行制程方面的轉(zhuǎn)化，也六西格瑪項(xiàng)目管理中不可或缺的一部分。通過第四章的改進(jìn)分析，可以確定水洗室流量、HM-S水汽比例、毛刷使用壽命與A/K流量為需要進(jìn)行控制的關(guān)鍵影響對象，其相對應(yīng)的制程分別為WET中的SD成膜前洗、SDPhoto與PVD中的SD成膜。對于Xi指標(biāo)的確定，需要明確制程步驟、要控制什么、規(guī)格要求、量測方法、控制方法、頻度、記錄方法、以及相關(guān)對應(yīng)文件SOP更新等內(nèi)容，因此，根據(jù)控制對象及關(guān)鍵制程點(diǎn)建立控制計(jì)劃。1.2.2制定控制計(jì)劃控制計(jì)劃是描述流程控制方式的文件，目的是使產(chǎn)品和流程的變異最小化，讓流程保持在期望的狀態(tài)。在本階段需要制定控制計(jì)劃，常見的措施包括標(biāo)準(zhǔn)化和實(shí)施統(tǒng)計(jì)過程控制（SPC），其中標(biāo)準(zhǔn)化是使用最廣泛且最基本的方法，包括將改進(jìn)方法寫入標(biāo)準(zhǔn)作業(yè)指導(dǎo)書（SIP）和標(biāo)準(zhǔn)檢驗(yàn)指導(dǎo)書（SOP），將其推廣到所有人員并定期監(jiān)控實(shí)施情況。同時(shí)，有必要定期審查修訂已完成的文件，對于復(fù)雜的程序，應(yīng)召集項(xiàng)目人員逐步討論和論證，直到文件獲得團(tuán)隊(duì)的認(rèn)可，并且根據(jù)之后的項(xiàng)目活動實(shí)際情況進(jìn)行更新和修訂。在本項(xiàng)目中，按照上述要求，更新設(shè)備管理基準(zhǔn)3份、作業(yè)指導(dǎo)書8份、檢查基準(zhǔn)書4份、異常反饋流程1份共計(jì)16份文件，針對需要改進(jìn)的四個(gè)重要影響因素制定如下表1.17所示控制計(jì)劃。表1.18yi對應(yīng)Xi控制計(jì)劃表輸出因子工程控制內(nèi)容規(guī)格要求測量方法控制方法頻度記錄方式文件對應(yīng)y1SD成膜前洗（WET）水洗室流量83L/min流量計(jì)Alarm設(shè)定實(shí)時(shí)監(jiān)控點(diǎn)檢表ECP-AA-T115濕法剝離設(shè)備管理基準(zhǔn)。共3份文件HM-S水汽比例43機(jī)臺設(shè)定Recipe變更實(shí)時(shí)監(jiān)控點(diǎn)檢表WIP-AA-T116濕法清洗設(shè)備管理基準(zhǔn)書共2份文件y2SD成膜（PVD）Brush使用壽命20天機(jī)臺監(jiān)控Alarm設(shè)定每日點(diǎn)檢點(diǎn)檢表ECP-AA-T202PVD成膜設(shè)備管理基準(zhǔn)書共6份文件y3SDPhoto（Photo）AK流量3000L/min流量計(jì)Alarm設(shè)定實(shí)時(shí)監(jiān)控點(diǎn)檢表WMP-AA-T101BFilter作業(yè)指導(dǎo)書共5份文件

第2章效果評價(jià)及完善措施2.1效果評價(jià)2.1.1項(xiàng)目質(zhì)量目標(biāo)的效果評價(jià)通過初步的項(xiàng)目定義、測量研究、根本原因分析，改進(jìn)措施的制定和執(zhí)行，確定最佳參數(shù)組合，根據(jù)良率項(xiàng)目控制計(jì)劃導(dǎo)入關(guān)鍵控制對象和制程點(diǎn)，并實(shí)施改進(jìn)方案和措施，再次統(tǒng)計(jì)生產(chǎn)現(xiàn)場產(chǎn)出的產(chǎn)品不良數(shù)據(jù)，得到的產(chǎn)品不良率變化趨勢。圖2.1為良率項(xiàng)目的改進(jìn)重點(diǎn)Y輸出因子S斷線不良趨勢圖，從不良趨勢圖可以看出，Y輸出因子S斷線不良率呈現(xiàn)出持續(xù)下降的趨勢。圖2.1A產(chǎn)品良率項(xiàng)目S斷趨勢圖分別收集項(xiàng)目質(zhì)量目標(biāo)Y輸出因子S斷線及y1、y2、y3因子達(dá)成情況，達(dá)成率=良率目標(biāo)/現(xiàn)階段良率，如表2.1所示，截止至2018年6月統(tǒng)計(jì)S斷線比率，已降低為約3.47%，項(xiàng)目完成度良好。良率項(xiàng)目S斷線總目標(biāo)超額完成，其