ICS31200

CCSL.55

團體標準

T/CIE117—2021

MEMS器件機械沖擊試驗方法

MechanicalshocktestmethodforMEMSdevice

2021-11-22發布2022-02-01實施

中國電子學會發布

中國標準出版社出版

T/CIE117—2021

目次

前言

…………………………Ⅰ

引言

…………………………Ⅱ

范圍

1………………………1

規范性引用文件

2…………………………1

術語和定義

3………………1

要求

4………………………1

大氣環境條件

4.1………………………1

沖擊試驗設備

4.2………………………1

采集裝置

4.3……………1

試驗

5………………………2

試驗準備

5.1……………2

試驗條件

5.2……………2

機械沖擊試驗程序

5.3…………………3

檢測和失效判據

6…………………………4

檢測

6.1…………………4

失效判據

6.2……………4

附錄資料性沖擊試驗設備

A()…………6

參考文獻

………………………7

T/CIE117—2021

前言

本文件按照標準化工作導則第部分標準化文件的結構和起草規則的規定

GB/T1.1—2020《1:》

起草

。

請注意本文件的某些內容可能涉及專利本文件的發布機構不承擔識別專利的責任

。。

本文件由中國電子學會可靠性分會提出并歸口

。

本文件起草單位工業和信息化部電子第五研究所東南大學中國科學院微電子研究所

:、、。

本文件主要起草人黃欽文來萍董顯山蘇偉朱軍華恩云飛王磊焦斌斌

:、、、、、、、。

Ⅰ

T/CIE117—2021

引言

基于微機電系統技術所制備的器件在各個領域的應用快速增長同時實際應

(MEMS)MEMS,,,

用中發現機械沖擊是器件失效的主要應力之一因此制定器件機械沖擊試驗方法變

,MEMS,,MEMS

得非常必要

。

器件具有微細的機械結構并且具有機電耦合特性其在機械沖擊下的響應與傳統電子元

MEMS,,

器件截然不同現有標準沒有考慮到器件的這種特點因此現有標準中的機械沖擊方法難以

。MEMS,,

覆蓋器件在機械沖擊環境下的各種應力狀況需要依據器件的特點針對性地制定機械

MEMS,MEMS

沖擊試驗方法

。

Ⅱ

T/CIE117—2021

MEMS器件機械沖擊試驗方法

1范圍

本文件規定了器件在不加電加電狀態下的機械沖擊試驗方法的技術要求試驗程序和檢

MEMS、、

驗評價規則等

。

本文件適用于器件的研制生產和產品鑒定驗收等階段目的在于評估器件在裝

MEMS、,MEMS

卸運輸和使用環境中由于瞬時受力或者運動狀態突然發生變化而產生瞬間機械沖擊時的抗沖擊能

、,

力適用的機械沖擊脈沖寬度范圍為峰值加速度范圍為gg

。0.05ms~30ms,5~30000。

2規范性引用文件

下列文件中的內容通過文中的規范性引用而構成本文件必不可少的條款其中注日期的引用文

。,

件僅該日期對應的版本適用于本文件不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于

,;,()

本文件

。

微機電系統技術術語

GB/T26111(MEMS)

3術語和定義

界定的術語和定義適用于本文件

GB/T26111。

4要求

41大氣環境條件

.

除另有規定外沖擊試驗應在下列規定的環境條件下進行

,:

電測環境溫度要求+3其他試驗環境溫度要求

a):25-2℃,:(25±10)℃;

相對濕度

b):45%~75%;

大氣壓力

c):86kPa~106kPa。

42沖擊試驗設備

.

沖擊試驗設備應能按規定對器件本體施加gg峰值加速度的半正弦波沖擊脈

MEMS5~30000()

沖其脈沖寬度為僅在實際工況有特殊需求時才考慮使用后峰鋸齒波梯形波等其

,0.05ms~30ms(,、

他脈沖波形峰值加速度容差不大于規定的脈沖寬度的絕對偏差應不大于規定寬度的

),20%,±0.1ms

或取小值

±30%()。

沖擊試驗設備不論類型均應配套有可供調整XYZ和XYZ共個方向的夾具并