標準解讀

《T/CEMIA 015-2018 光纖預制棒用四氯化硅容器清洗技術規范》是由中國電子材料行業協會提出并歸口的一項團體標準，旨在為光纖預制棒生產過程中使用的四氯化硅容器的清洗提供具體的技術指導。該標準詳細規定了清洗過程中的要求、方法以及質量控制要點，以確保四氯化硅容器能夠達到清潔度要求，從而保證后續生產工藝的順利進行和產品質量。

首先，在適用范圍方面，本標準適用于所有涉及使用四氯化硅作為原料之一的光纖預制棒制造企業。對于這些企業來說，遵循此標準可以有效提升生產效率與產品品質。

其次，關于清洗劑的選擇，標準建議采用特定類型的溶劑或化學試劑，并且對每種清洗劑的具體成分、濃度等參數進行了明確限定。此外，還強調了在選擇清洗劑時應考慮其對人體健康及環境的影響因素。

接著是清洗工藝流程部分，從預處理到最終檢驗，每個步驟都被詳盡描述。例如，預處理階段可能包括去除表面殘留物；主清洗階段則需按照指定條件（如溫度、時間）執行；最后還需經過嚴格的干燥和檢查環節來驗證清洗效果是否符合預期目標。

另外，針對安全防護措施，《T/CEMIA 015-2018》也提出了相應的要求。這不僅涵蓋了操作人員所需穿戴的個人防護裝備類型，還包括了對工作場所通風系統、應急處理設施等方面的規定，以保障員工身體健康不受損害。

最后，在質量管理和記錄保存上，標準指出企業應當建立完善的文件管理體系，記錄每次清洗作業的相關信息，包括但不限于所用清洗劑種類、用量、清洗日期等，以便于追溯和持續改進。同時，定期對清洗設備進行維護保養也是必不可少的環節之一。


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  • 現行
  • 正在執行有效
  • 2018-12-28 頒布
  • 2019-03-28 實施
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文檔簡介

ICS3318010

M33..

團體標準

T/CEMIA015—2018

光纖預制棒用四氯化硅容器清洗技術規范

Technicalspecificationforcontainercleaningofsilicontetrachloridefor

opticalfiberpreform

2018-12-28發布2019-03-28實施

中國電子材料行業協會發布

T/CEMIA015—2018

前言

本標準按照給出的規則起草

GB/T1.1—2009。

請注意本文件的某些內容可能涉及專利本文件的發布機構不承擔識別這些專利的責任

。。

本標準由中國電子材料行業協會提出并歸口

。

本標準主要起草單位洛陽中硅高科技有限公司中天科技精密材料有限公司上海正帆科技股份

:、、

有限公司青海中利光纖技術有限公司江蘇亨通光導新材料有限公司通鼎互聯信息股份有限公司威

、、、、

海長和光導科技有限公司有研國晶輝新材料有限公司多晶硅材料制備技術國家工程實驗室

、、。

本標準主要起草人趙雄嚴大洲王磊趙宇郭樹虎陳婭麗李東升謝康肖華蔣錫華于景明

:、、、、、、、、、、、

莫杰萬燁常欣梁君周小紅湯劍波衛曉明劉見華張園園

、、、、、、、、。

Ⅰ

T/CEMIA015—2018

光纖預制棒用四氯化硅容器清洗技術規范

1范圍

本標準規定了光纖預制棒用四氯化硅產品容器清洗的設施和材料清洗條件清洗及質量控制的

、、

要求

。

本標準適用于光纖預制棒用四氯化硅充裝容器的清洗光纖預制棒用四氯化鍺半導體用三氯氫

,,

硅二氯二氫硅六氯乙硅烷等液體化工產品容器的清洗可參照使用

、、。

2規范性引用文件

下列文件對于本文件的應用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

氣體中微量水分的測定第部分光腔衰蕩光譜法

GB/T5832.33:

氣體中微量氧的測定電化學法

GB/T6285

電子級水

GB/T11446.1

潔凈室及相關受控環境第部分空氣潔凈度等級

GB/T25915.11:

特種氣體系統工程技術規范

GB50646—2011

光纖預制棒用四氯化硅

T/CEMIA001

3設施和材料

31清洗裝置通過噴射高壓高純水去除容器表面顆粒及金屬毛刺的裝置

.:,。

32干燥裝置具有足夠空間的烘箱以及能夠充氣排氣抽真空的輔助設施的組合

.:、、。

33殘液回收裝置具備能夠將容器內殘余物料壓空置換吹掃抽真空等功能的系統裝置

.:、、、。

34尾氣處理裝置將充裝回收烘干系統產生的尾氣進行水解中和并達標排放的系統裝置

.:、、、,。

35高純水符合級的要求

.:GB/T11446.1EW-1。

36高純氣體氮氣氬氣或其他惰性氣體純度含水量

.:、,≥99.9999%,≤0.1μL/L。

4清洗條件

出現下列情況之一時容器應進行清洗

,:

達到清洗期限的一般為年

a)(3);

經第三方檢定或拆裝返回本單位后

b),;

盛裝了非光纖預制棒用四氯化硅產品后

c);

受到污染或充裝后產品質量不符合要求的

d);

經過維修改

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