集成電路凈化車間設計演講人：日期:目錄CATALOGUE02.平面布局規劃04.材料與設備選型05.節能環保措施01.03.通風與凈化系統06.驗收與維護管理設計標準與規范01設計標準與規范PARTGB50073-2013《潔凈廠房設計規范》該標準規定了潔凈廠房的設計、施工、驗收和運行管理等方面的要求，是集成電路凈化車間設計的重要依據。GB50243-2016《通風與空調工程施工質量驗收規范》該標準規定了通風與空調工程的施工和驗收標準，對于凈化車間的空氣潔凈度、溫濕度等參數有直接影響。國家行業標準解讀潔凈度等級要求ISO14644-1該國際標準規定了潔凈室的空氣潔凈度等級，適用于集成電路凈化車間的空氣潔凈度設計。01粒子數控制對于不同潔凈度等級，空氣中的塵埃粒子數需控制在一定范圍內，以保證產品質量。02微生物控制在特定潔凈度等級下，需對微生物（如細菌、病毒等）進行嚴格控制，防止對產品造成污染。03溫濕度控制參數根據生產工藝要求，確定凈化車間的適宜溫濕度范圍，以保證產品質量和工藝穩定性。適宜范圍溫濕度的控制精度需滿足生產工藝要求，通常要求波動范圍在±1℃和±5%RH以內。控制精度在凈化車間內合理布置溫濕度傳感器，實時監測溫濕度變化，確保控制系統能夠及時調整。傳感器布置02平面布局規劃PART功能分區設計原則根據生產要求和空氣凈化等級，將車間劃分為潔凈區和污染區，潔凈區主要用于生產，污染區主要用于處理污染物。潔凈區與污染區分開生產流程合理最小空間原則按照生產流程的順序和要求，將原材料、半成品、成品等區域合理劃分，確保生產流程的順暢和潔凈。在滿足生產需求的前提下，盡可能減少潔凈車間的面積和體積，以降低空氣凈化成本和提高潔凈度。人流與物流通道規劃人流通道通道標識物流通道設置合理的人員通道，包括進入潔凈區的更衣室、風淋室等，確保人員進入潔凈區前經過凈化處理，避免污染。設置獨立的物料通道，將原材料、半成品、成品等分開運輸，避免交叉污染。同時，物料通道應避免穿越潔凈區，以減少對潔凈區的干擾。在通道處設置明顯的標識和指示牌，以指導人員和物料的流動，避免混亂和誤操作。地面處理采用防震地面或地基，以減少地震對車間的影響。同時，車間內應盡量避免設置大型設備或重物，以降低地震時的風險。防震措施布局設備布局將易產生振動的設備放置在車間的邊緣或底部，以減少對精密設備和潔凈環境的影響。同時，設備應固定牢靠，以防止地震時發生位移或傾倒。管道設計對于車間內的氣體、液體等管道，應采取柔性連接或設置伸縮節等措施，以防止地震時管道破裂或泄漏。同時，應定期對管道進行檢查和維護，確保其正常運行。03通風與凈化系統PART合理的氣流方向確保潔凈空氣從潔凈區流向非潔凈區，避免交叉污染。均勻的氣流分布通過合理設計送風口和回風口的位置和數量，確保車間內氣流分布均勻。合理的氣流速度既要保證車內的潔凈度，又要避免過大的氣流速度造成不必要的能耗和設備損壞。避免渦流和死角避免在車間內產生渦流和死角，以減少污染物積聚和擴散的可能。氣流組織設計規范空氣過濾系統配置初效過濾器用于過濾大顆粒物和灰塵，保護后續過濾器。中效過濾器進一步過濾空氣中的細小顆粒物，提高空氣潔凈度。高效過濾器最終過濾空氣中的微小顆粒物，保證車間內潔凈度達到要求。過濾器的合理布局根據車間的潔凈度要求和空氣流動情況，合理配置過濾器的數量和位置。壓差控制方案合理設定壓差密封措施壓差監測與調整壓差報警系統通過合理設定車間內各區域的壓差，確保潔凈空氣從潔凈區流向非潔凈區。實時監測車間內各區域的壓差，并根據實際情況進行調整，確保壓差控制在規定范圍內。采取有效的密封措施，防止外部污染空氣滲入車間，影響壓差和潔凈度。設置壓差報警系統，當壓差超出規定范圍時及時報警，提醒操作人員進行處理。04材料與設備選型PART墻面地面材料標準潔凈度耐腐蝕性耐磨性環保性墻面和地面材料應滿足凈化車間的潔凈度要求，避免產生塵埃、顆粒和化學物質等污染物。材料應能耐受車間內使用的各種化學品的侵蝕，如酸、堿、有機溶劑等。墻面和地面材料應耐磨、耐刮擦，以應對日常清潔和維護。材料應符合環保要求，不釋放有害氣體或顆粒物。潔凈室專用設備要求空氣潔凈設備包括空氣淋浴室、高效過濾器、潔凈工作臺等，用于去除空氣中的塵埃和微生物。02040301潔凈室檢測儀器包括塵埃粒子計數器、微生物采樣器、溫濕度計等，用于監測潔凈車間的潔凈度。潔凈室用家具如潔凈工作臺、潔凈室專用椅、實驗臺等，應具有潔凈、耐腐蝕、易清潔的特點。潔凈室照明設備應采用潔凈室專用的照明設備，具有潔凈、明亮、不產生塵埃的特點。應選擇耐腐蝕、不產塵、易于清潔的材質，如不銹鋼、塑料等。管道材質管道與閥門選型應采用焊接、法蘭連接等連接方式，避免管道泄漏和污染。管道連接方式應選擇密封性能好、易于清潔的閥門，如球閥、隔膜閥等。閥門類型應合理規劃管道布局，避免管道交叉和死角，便于清潔和維護。管道布局05節能環保措施PART節能空調系統設計6px6px6px采用高效空氣過濾器，有效去除空氣中塵埃和微生物，降低空氣潔凈度成本。高效過濾器通過優化氣流組織設計，減少送風量，降低系統能耗。合理氣流組織選擇低能耗、高效率的風機，減少空調系統能耗。低能耗風機010302利用自然冷源進行冷卻，減少空調系統能耗。自然冷卻技術04廢氣處理裝置配置采用高效廢氣處理技術，如吸附、催化氧化等，有效去除廢氣中的有害物質。高效廢氣處理設備將廢氣集中排放至高空，減少對車間及周圍環境的影響。集中排放設置廢氣監測裝置，實時監測廢氣排放情況，確保廢氣處理效果。廢氣監測能耗監控優化方案實時能耗監測能耗數據分析設備能效評估能源管理策略建立能耗監測系統，實時監測車間內能耗情況，為節能提供依據。對能耗數據進行分析，找出高能耗環節，提出改進措施。定期對設備能效進行評估，淘汰低效設備，更新高效設備。制定合理的能源管理策略，包括能源使用計劃、節能目標等，提高整體能源利用效率。06驗收與維護管理PART利用專業的粒子計數器檢測車間空氣中的塵埃粒子數量，以確保潔凈度達到規定標準。通過對車間內空氣進行微生物采樣，檢測細菌、病毒等微生物的數量，評估潔凈度水平。檢測車間空氣中的化學污染物濃度，如甲醛、氨等有害氣體，確保空氣質量符合生產要求。通過煙霧測試等方法，檢測車間內的氣流流型和空氣流動方向，以確保潔凈區域的空氣不受污染。潔凈度檢測方法粒子計數器法微生物采樣法化學污染物檢測氣流流型檢測日常維護管理制度定期清潔空氣質量監測消毒處理員工培訓制定詳細的清潔計劃，定期對車間進行徹底清潔，包括地面、墻面、天花板、設備、工具等。定期對車間內的設備、工具、材料等進行消毒處理，以減少微生物的數量。實時監測車間內的空氣質量，包括溫度、濕度、潔凈度等參數，確保始終符合生產要求。定期對員工進行潔凈車間操作規范和潔凈知識的培訓，提高員工的潔凈意識和操作技能。停電應急處理設備故障處理制定停電應急處理預案，確保停電時車間內的設備能夠安全關閉，避免對生產造成影響。針對關鍵設備可能出現的故障情