ICS13.100

C60

備案號46285—2015

:

上海市地方標準

DB31/842—2014

微電子元件制造業職業病

危害控制規范

Guidelineforoccupationalhazardscontrolinmicroelectronic

componentsmanufacturingindustry

2014-09-24發布2014-12-01實施

上海市質量技術監督局發布

DB31/842—2014

目次

前言

…………………………Ⅰ

范圍

1………………………1

規范性引用文件

2…………………………1

術語和定義

3………………1

微電子元件制造業生產過程特點

4………………………2

職業衛生管理基本要求

5…………………2

作業場所職業病危害因素控制和健康保護

6……………5

應急救援措施

7……………6

輔助設施

8…………………7

附錄資料性附錄微電子元件制造業工作場所職業病危害因素識別

A()……………8

DB31/842—2014

前言

本標準的第5章第6章第7章第8章為強制性的其余為推薦性的

、、、,。

本標準按照給出的規則起草

GB/T1.1—2009。

本標準由上海市衛生和計劃生育委員會提出

。

本標準由上海市職業衛生標準化技術委員會歸口

。

本標準起草單位上海市浦東新區衛生局衛生監督所上海市衛生局衛生監督所上海市疾病預防

:、、

控制中心復旦大學公共衛生學院等

、。

本標準主要起草人孫東紅陳曉玲史濟峰朱美芬朱素蓉唐杰賈曉東周志俊董路燕

:、、、、、、、、。

Ⅰ

DB31/842—2014

微電子元件制造業職業病

危害控制規范

1范圍

本標準規定了微電子元件制造業職業病危害預防控制應急救援措施的基本要求

、、。

本標準適用于微電子元件制造業集成電路芯片加工封裝與測試等的制造型企業

、。

2規范性引用文件

下列文件對于本文件的應用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

個體防護裝備選用規范

GB11651

化學品安全標簽編寫規定

GB15258

化學品安全技術說明書內容和項目順序

GB/T16483

排風罩的分類及技術條件

GB/T16758—2008

電離輻射防護與輻射源安全基本標準

GB18871

潔凈廠房設計規范

GB50073

工業企業設計衛生標準

GBZ1

工作場所有害因素職業接觸限值第部分化學有害因素

GBZ2.11:

工作場所有害因素職業接觸限值第部分物理因素

GBZ2.22:

工作場所空氣中有害物質監測的采樣規范

GBZ159

工作場所空氣有毒物質測定

GBZ160

職業健康監護技術規范

GBZ188

用人單位職業病防治指南

GBZ/T225

職業病危害因素分類目錄國衛疾控發號

[2015]92

3術語和定義

下列術語和定義適用于本文件

。

31

.

微電子元件microelectroniccomponent

利用微電子工藝技術實現的微型化電子系統芯片可使電路的性能可靠性大幅度提高體積和成

,、,

本大幅度降低微電子工藝技術主要分為單片集成電路芯片加工分立半導體器件技術以及微組裝和

。、

微封裝的混合集成技術

。

32

.

芯片加工