光纖端面干涉儀校準規范(不確定度評定報告)_第1頁
光纖端面干涉儀校準規范(不確定度評定報告)_第2頁
光纖端面干涉儀校準規范(不確定度評定報告)_第3頁
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文檔簡介

光纖端面干涉儀示值誤差測量結果不確定度評定A.1測量方法光纖端面干涉儀的示值誤差是用標準光纖高度塊進行校準的,根據實際測量應用范圍和條件的不同,設定好相關的測量程序和條件,并按要求進行必要的儀器預校準后再進行測量。本次評定以分辨力0.1nm的光纖端面干涉儀,測量158.6μm的標準臺階塊為例。A.2測量模型δ=-h(A.1)式中:校準點的儀器示值的平均值,μm;h標準臺階的實際值,μm;δ校準點的示值誤差,μm。A.3方差和靈敏系數因Δ=-h,所以靈敏系數ci:,、分別為和h的標準不確定度,因和相互獨立,則合成標準不確定度uc為:=式中:—儀器示值引入的不確定度分量;—標準光纖高度塊引入的不確定度分量。A.4標準不確定度一覽表

表A.1不確定度分量一覽表標準不確定度分量不確定度來源標準不確定度值nmcinm儀器示值0.3310.33標準光纖高度塊10-1-10A.5標準不確定度分量A5.1儀器示值引起的不確定度分量A.5.1.1重復測量引入的標準不確定度分量光纖端面干涉儀的測量重復性引入的不確定度分量可以通過10次重復連續測量得到,測量結果為165.9nm、163.7nm、165.3nm、164.8nm、162.9nm、166.4nm、163.9nm、163.3nm、163.6nm、164.4nm,計算單次實驗標準偏差為=1.16nm實際測量時采用10次重復測量結果的平均值,則μA.5.1.2光纖端面干涉儀分辨力引入的不確定度分量光纖端面干涉儀分辨力為0.1nm,其量化誤差引起的標準不確定度分量為均勻分布,則μ和取其中較大者,故=0.33nmA.5.2標準光纖高度塊引起的不確定度分量標準臺階樣塊引入的不確定度主要來源于標準臺階樣塊的高度測量結果不確定度,可根據校準證書給出的擴展不確定度來計算。由標準光纖高度塊的校準證書測量結果的擴展不確定度U=10nm,k=2,則=10/2=5nmA.6合成標準不確定度==0.332+=5.

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