真空鍍膜生產流程解析匯報人：文小庫2025-05-04目錄CONTENTS01預處理階段02鍍膜準備環節03鍍膜工藝執行04后處理工序05質量檢測系統06設備維護規范01預處理階段基材清潔工藝噴砂處理采用壓縮空氣為動力，將細小的砂粒高速噴射到基材表面，以去除表面的氧化層、銹蝕、油污等雜質。01化學清洗使用特定的化學溶劑，對基材表面進行浸泡或擦拭，以去除油污、灰塵等污染物。02電化學清洗利用電解原理，在特定的電解液中對基材進行清洗，以達到去除表面污垢和氧化層的目的。03表面去油處理溶劑清洗使用有機溶劑對基材表面進行清洗，以去除油污和油脂。01將基材置于堿性電解液中，通過電解作用去除表面的油污和油脂。02超聲波去油利用超聲波在液體中的空化作用，將油污和油脂從基材表面震離。03電解去油在較低的溫度下對基材進行預干燥，以避免高溫下快速干燥引起的變形和開裂。低溫預干燥在高溫高真空的環境下對基材進行干燥，以徹底去除表面和內部的水分和溶劑。高溫真空干燥在真空室內緩慢冷卻基材，以避免因溫度變化過快而引起的應力和變形。冷卻降溫真空干燥流程02鍍膜準備環節靶材裝載標準靶材安裝根據鍍膜材料的特性選擇適宜的靶材，如純度、大小、形狀等。靶材清潔靶材選擇確保靶材牢固安裝在靶位上，避免在鍍膜過程中發生松動或脫落。對靶材表面進行清洗，去除油污、灰塵等雜質，保證鍍膜質量。真空腔室預熱預熱溫度根據鍍膜材料和工藝要求，設定合理的預熱溫度。01預熱時間確保真空腔室達到所需溫度，并穩定一段時間，以去除腔室內的水分和雜質。02加熱方式可采用電阻加熱、感應加熱等方式進行預熱。03工藝參數預置真空度根據鍍膜材料的特性，設定合理的真空度，以保證鍍膜質量和效果。01根據工藝要求和膜厚要求，設定鍍膜速率，確保鍍膜均勻性。02靶材與基片距離根據鍍膜材料的特性，調整靶材與基片之間的距離，以獲得理想的鍍膜效果。03鍍膜速率03鍍膜工藝執行鍍膜室內真空度需達到一定水平，通常在10^-3Pa至10^-5Pa范圍內，以保證鍍膜質量和效果。真空度控制標準真空度要求根據鍍膜室大小和真空度要求，選用合適的真空泵，如機械泵、擴散泵等，確保鍍膜過程中真空度的穩定。真空泵選擇采用真空計實時監測鍍膜室內真空度，確保整個鍍膜過程在規定的真空度范圍內進行。真空度監測離子轟擊活化轟擊參數設定選用適合的離子源，如離子槍、離子束等，產生高能離子束對鍍件表面進行轟擊。轟擊過程控制離子源選擇根據鍍件材質和工藝要求，設定離子束的能量、電流密度、轟擊時間等參數，確保活化效果。在轟擊過程中，需嚴格控制離子束的均勻性和穩定性，以保證鍍件表面活化均勻，提高鍍膜附著力。膜層沉積監測膜厚監測采用膜厚測量儀實時監測鍍膜過程中膜層的厚度，確保膜層厚度達到設計要求。01膜質監測通過監測鍍膜過程中的電學參數、光學參數等，判斷膜層的材質和性能，確保鍍膜質量。02終點判斷根據膜厚和膜質監測結果，判斷鍍膜過程是否達到終點，避免鍍膜過厚或過薄導致質量不穩定。0304后處理工序冷卻降壓操作冷卻方式選擇自然冷卻或強制冷卻，確保鍍件溫度降至室溫或更低，防止膜層脫落。01降壓速率需控制在一定范圍內，以避免鍍件內部應力過大而導致膜層開裂。02冷卻介質選擇采用惰性氣體或真空環境進行冷卻，以減少對膜層的污染。03降壓速度控制根據鍍膜材料特性，設定合理的固化溫度，使膜層達到最佳狀態。固化溫度設定固化時間需足夠，以確保膜層完全固化，提高膜層與鍍件之間的結合力。固化時間控制采用真空或惰性氣體環境進行固化，避免膜層被氧化或污染。固化環境選擇膜面固化處理靜電消除方法通過靜電測試儀等設備，檢測鍍件表面靜電的消除情況，確保后續工序順利進行。靜電消除效果評估靜電預防措施在鍍膜過程中，采取接地、加濕等措施，預防靜電的產生和積累。采用離子風槍、靜電消除器等設備，去除鍍件表面附著的靜電。除靜電工藝05質量檢測系統膜層厚度檢測電阻法利用光波干涉原理測量薄膜厚度，具有高精度和非破壞性。橢圓偏振光法干涉顯微鏡法根據膜層電阻值推算厚度，適用于金屬薄膜。測量入射光與反射光之間的相位差，計算薄膜厚度和折射率。附著力測試法劃痕法以一定力度在膜層表面劃痕，觀察膜層破損情況評估附著力。01通過拉伸或剝離測試，測量膜層與基材之間的結合力。02熱震法利用快速加熱和冷卻導致膜層與基材的熱膨脹系數差異，評估膜層附著力。03拉拔法光學性能驗證通過測量膜層對不同波長光的反射率，評估其光學性能。反射率測量測量光通過膜層后的透射率，了解膜層的透光性能。透射率測試分析膜層對不同波長光的吸收特性，確定其對特定光譜的吸收能力。吸收光譜測試06設備維護規范真空泵保養周期定期檢查每周進行一次檢查，記錄泵的運行狀態和油位。01更換潤滑油根據使用情況，每半年或每年更換一次潤滑油。02清洗泵體清除泵內塵埃和沉積物，保持泵體清潔。03電極更換標準電極表面狀況根據鍍膜材料的特性及使用情況，確定電極更換周期。更換流程更換周期若電極表面出現嚴重腐蝕、氧化或磨損，應及時更換。關閉設備電源，拆下舊電極，安裝新電極并調整電極間隙。每次鍍膜后，對真空室進