超凈車間各崗位操作標準

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1目的

明確超凈車間操作人員的作業標準，確保清洗擴散工藝的穩定進行。

2范圍

本標準合用于超凈車間的所有工作人員，合用于清洗、擴散工藝過程。

3相關文件

4定義

5職責

為了使超凈車間各JL序操作能移按照標準化進行，明確規定了超凈車間各崗的工藝操作權限。

5.1普通員工

無權對任何工藝參數進行修改與調整。

5.2操作員

5.2.1在工藝工程師授權的情況下才干對設備的工藝參教進行調整，在未經工藝工程師授

權時不得更改、調節、刪除任何設備的工藝參數。

5.2.2協助班組長對自己所操作機器的工藝參數進行監控，并填寫司爐點檢表。當發現工

藝參數發生變化或者機臺報警時應及時通知班組長，由班組長通知工藝值班工程師.

或者主操作直接通知工藝值班工程師。

5.2.3浮現任何異常，請詳細記錄于異常記錄單，并及時通知班組長，根據異常情況通知

工藝或者設備工程師。

5.2.4司爐人員不可更改逃出舟速度，一律采用正常工藝中的舟速。

5.3班組長

5.3.1班組長應該嚴格要求本組員JL按工藝要求進行生產，對其操作進行監督，杜絕違反

工藝規定現象浮現。

5.3.2當工藝工程師不在現場，且擴散后硅片的方塊電阻浮現異常時，生產班組長可以對

擴散爐管源流量之行調節，并在工藝更改記錄單上詳細記錄更改內容（如小記錄，

將視為誤操作）。其他非工藝人員不可以對工藝進行更改。當對源流量進行微調無效

時，班組長應該通知工藝工程師進行處理。

5.3.3班組長應該積極的配合工藝工程師完成各項實驗。

5.3.4協助工藝工程師對超凈間的各種工藝進行監控，監督工藝質量，當發現工藝被修改

時應及時通知工藝工程師，并由工藝工程師進行確認處理。

535實驗單由班組長負方,監督本組員工如實、認直填寫。

5.3.6任何部門借用機臺，均需工藝、設備和生產部門確認后方可借用。交回后需由各相

關部門確認后方可恢復生產。

5.4工藝工程師

5.4.1保持超凈車間的工藝穩定，保證超凈車間生產的追續，當工藝浮現重大波動且影響

到生產時，應該及時采取相應的解決措施。

5.4.1.1工藝工程師應該指導生產人員進行生產，保證生產的順利進行：

5.4.1.2當工藝工程師對工藝進行優化時，應事先與生產主管及工藝部主管討論確

認方案的可行性，然后有條理的進行實驗；

5.4.1.3工藝工程師的實驗在沒有成熟時不得進行批量生產。

5.4.2在進行各種實驗時，為生產人員設定好各種工藝參數；

5.4.3巡視超凈車間各工藝情況，當發現工藝參數發生變化時，調查其原因然后進行相應

處理：

5.4.4可以根據工藝需要對手?工清洗處的溶液濃度暫時進行相應的微調，加大或者減小清洗

液的濃度；

5.4.5可以根據工藝需要對手工清洗時間進行相應調整；

5.4.6可以根據需要對擴赦爐的工藝參數進行相應調整：并在工藝更改記錄單上詳細記錄

更改內容和更改效果。

5.4.7保證超凈問各個工藝在規定的工藝參數（工藝卡）下進行，對設備的各工藝參數進行

定期復查，完成SPC相關工作：

5.4.8對超凈車間常見工藝異常（方阻異常、燒焦、滴源等:，進行記錄并查找原因進行處理；

5.4.9對本車間內制絨面絨面異常或者有污染等與制絨相關異常情況反饋給制絨工藝工

程師：接受刻蝕工藝工程師反饋的工藝異常并匡助查找原因；

5.4.10詳細煩寫工藝更改記錄單，重大異常及時上報部門主管，采集相關數據，并做分析，給

出報告

5.4.11配合其他段工藝工程師完成各項實驗和質量控制。

6環境

7職業安全

8管理內容

8.2擴散標準作業規范

8.2.1擴散爐工藝

821.1作業步驟

A.操作界面的打開：

擴散爐通電后觸摸屏顯示器同時將被打開，在觸摸屏顯示器上雙擊

“擴散爐監控程序''的圖標，屏幕上將浮現一對話框，在對話框內輸入

月戶名和密碼后將進入“擴散爐監控程序”的主界面。

B.溫度設置：

溫度設定值可在觸摸屏上直接修改或者設定：點擊溫度控制器圖形上

的SV設定欄，浮現輸入數據對話框，輸入想要設定的溫度，最后點

不“確定”按鈕，該SV溫度值將得到修改或者設定.

C流量設置：

在手動操作主界面的右上側，有一個“流量控制”區域。在該區域可

個N2、大N2、干02及清洗小N2流量可在觸摸屏上直接修改或者設定：

點擊流量控制器圖形上的設定欄，浮現輸入數據對話框，輸入想要設

定的流量，最后點擊“確定”按鈕，該流量值將得到修改或者設定，同

時在檢測值欄可以觀察到氣路流量的大小。

D.舟動作設置：

在主屏幕的中間，有一個“手動在推舟速度處設置適合的舟速值，點’

向前‘、響后"、響上"、響下''或者Stop''按鈕，舟就會向爐內前進、后退、

向上、向下或者住手挪移。在手動操作屏的舟挪移只需設置舟速并

選擇相應按鈕即可實現舟的自動作。

E.工藝編輯：

二藝編輯只需要依照界面上的顯示挨次序編輯，設置各步驟時間、溫

度、氣體流量等工藝參數。設置推舟的狀態時，先設置推舟速度，按

工藝步驟要求點擊“放舟”、“取舟“、“主手”，編輯設置舟速，進出爐時需

設置為凈化風機開，其他時候為關。

F.工藝運行：

點擊手動操作屏"工藝運行”按鈕，進入工藝運行選擇所要運行的工藝。

第一步結束后，檢查爐門是否關嚴：第四步通源時，檢查源瓶是否鼓

泡；并定時檢查溫度及各項氣體流量是否正常。

G.斷點啟動：

在手動操作屏中點擊“工藝重置”按鈕即進入斷點信息屏，在該屏中可

察看發生斷點時的各種工藝參數，點擊啟動斷點運行將直接進入自

動運行屏，工藝運行屏繼續運行原來住手時的工藝。

H.報警窗口：

報警窗口是顯示報警信息的，當浮現報警時，在報警狀態一覽表中會

顯示所有報警信息，當報警信息不斷閃動時，表示處于該報警狀態中；

當報警狀態一覽表中沒有信息時，表示系統未浮現該報警狀態。

[.工藝曲線及數據歷史紀錄：

點擊手動操作屏的“歷史記錄”按鈕，進入打開歷史紀錄屏后，可自

行選擇所需要的資料，包括手工運行和自動運行工藝兩種。

工事件記錄：

在事件記錄窗口下顯示登陸、注銷、操作、報警和錯誤的相關信息，

時常要查看相關記錄。

K.用戶設置：

點擊手動操作屏中的“用戶設置”按鈕將顯示用戶管理窗體，在此窗體

中，我們可以修改自己的資料。

L.系統設置：

點擊手動操作屏中“系統設置”按鈕將顯示更換用戶窗體，在此窗體中,

可以分別對氣路、溫控儀通訊、推舟、壓力傳感器、設備保養及源

瓶和系統的進行設置。

M.退出程序：

點擊手動操作屏中“退出系統”按鈕將顯示程序退出確認屏，點擊確定

按鈕及結束控制程序的本次運行。

8.2.2方阻測量

8.2.2.|測制片的抽取方法

如圖所示，每組需取6片測試片，前舟的舟前、舟中、和舟后各取一

片測試片，后舟的舟中和舟尾各取一片：且IF、4F取前舟的第三槽F

面一片，2F、5F分別取各舟的中間位置F面一片；3F、6F分別取各舟

的倒數第三個槽F面。測試片取好后，冷卻2分鐘后直接去量測。

8.2.2.2方陽的量測

用鏡子夾取測試片，按順序測量，并記錄于方陽記錄表中。

8.223注意事項

A.操作員準確記錄每一爐產品的方阻和與之相對應的機臺號。

B.如果產品浮現異常，并及時通知生產班長和工藝工程師。

8.2.3獷散爐注意事項

823.1擴散爐使用注意事項

A.由于本程序需要多種支撐軟件才可正確執行，因此嚴禁刪除計算機

內已經安裝的各種軟件。

B.程序退出后將關閉所有的閥門及流量，推舟住手運行，溫控儀的各

個參數將保持。

C若設備超過7天不需運行工藝時，需要降溫并關閉主機電源以延長

計笄機和板卞的使用瘠命。

D.每班交接班前需先擦拭、清理干凈機臺外面的操作臺面、舟叉等器

械。

EPM周期：爐管的洗管周期Uh按具體洗管計劃進行清洗.

F,七星擴散爐工控機每周重啟一次.

8.2.3.2擴散工藝過程注意事項

A.嚴格控制出爐時間，上下兩個不能同進同出，盡量避免交叉污染。

B.在廢氣室與無塵室的通風口處禁止停放小車和硅片。

C.任何金屬物品不應接觸石英器皿、器件。

D.禁止用舟叉對工控機界面進行操作。

E.各爐管有自己固定的石英舟，不得混用。

F.工作人員在搬運石英凳時，任何物品（除石英器件）不得接觸石英凳

上表面。

G.超凈間所用的石英用品⑻按時清洗（石英舟、凳每周清洗一次，每

周一完成清洗），且應保證清洗質量，工藝工程師應對清洗后的石英

用品進行檢查，確認清洗效果。

H.禁止潮濕的硅片裝舟進爐擴散.

I.高純清洗處一定要保證硅片清洗干凈（硅片表面無大片水滴黏附），

不干凈的硅片不得進爐擴散，需重新清洗或者先做氧化處理后（氧化

時

間盡量在10分鐘以內）再進爐擴散。

J.出爐時清理石英門及爐外接源小盒上的殘存磷源，2次每班。

K.浮現任何異常，請詳細填寫異常記錄單，以方便工藝工程師查找

原因。16

L.新石英管需飽和24小時方可運行工藝，清洗過的石英管飽和

個小時方可運行工藝；新石英舟需飽和1小時方可使用。

M.恒溫槽溫度應保持在20±0TC,若超出該范圍通知設備工程師和

工藝工程師及時處理。若由于是恒溫槽內水臟引起報警，需及時換水。

8.2.4石英管清洗

8.2.4.1爐管清洗操作規范

A石英管清洗酸液配比：HF酸2瓶［每瓶4L）,HCL酸2瓶（每瓶4L）,

加水至石英管放入酸槽后的半徑高度。

B.清洗步驟：水洗lOmin+酸洗15min+水洗lOmin：清洗完畢后用氮

氣槍將石英器件吹干，對于石英管可以先用無塵布將外壁表面的水

擦干，然后再用氮氣槍將內壁吹干.

C清洗注意事項：石英管清洗時要聚證滾軸的轉動，當管內有碎屑時

密要用水槍將碎屑沖出；保溫桶清洗前要用塞子將上面的小孔塞住，

以避免水將保溫棉浸濕，清洗時要保證清洗充分。

D.清洗不凈的處理：當爐管的石英器件受到污染時，按照正常的清洗

流程可能清洗不凈；因此對于受污染的石英器件，可以通過加大酸的

濃度和加長清洗時間來加強清洗效果。對于無法清洗干凈的石英器

佇，需要報廢并更換新的石英件。

8.2.4.2洗管后注意事項

A.確認爐管安裝是否正確，包括氮化硅槳的水平、高度和角度是否正

確，進氣口的位置是否在正中央。

B.確認保溫桶、勻流板的擺放位置，以及恒溫區的位置是否正確。

C重新拉恒溫區后記錄拉恒溫區先后repair值。

D.做16小時飽和后，第一組硅片處測完電阻正常后，方可將機臺交

付生產。

8.2.5石英舟（包括石英凳）清洗流程

8.2.5.1石英舟（包括石英髡）清洗操作規范

A.石英舟（包括石英凳）清洗酸液配比：HCL3瓶（每瓶4L）HF1瓶

（每瓶4L）,加水至淹沒石英舟即可。

B.清洗步驟：水洗5min+酸洗5mir+水洗5min：清洗完畢后用氮氣

槍將石英舟（包括石英凳）吹干，再放入烘干箱內烘干即可。

C.清洗注意事項：清洗過程中不可以用手直接接觸石英舟。

D.清洗不凈的處理：當石英舟（包括石英凳）受到污染時，按照正常

的清洗流程可能清洗不凈：因此對于受污染的石英舟（包括石英黨），

可以通過加大酸的濃度和加長清洗時間來加強清洗效果。對于無法清

洗干凈的石英舟（包括石英凳），需要報廢并更換新石英舟。

8.2.5.2石英舟?（包括石英竟）清洗周期

每周一清洗。

8.253石英器件報廢標準

Z作業福RH汁?市】i

石英管若有損壞，如小氮進氣管損壞、尾氣管損壞、石英管破裂等都需報廢：若為更式損壞，則

視輕重程度報廢。如圖（一）、圖（二）：當關口腐蝕深度最大處大于-1cm時，則管子?日請報區O

二石英管長期使用，被污染后浮現發紅，視發紅程度中請報廢。如圖（三）、圖（四）。

L只要勻流板、隔熱板、擋板損壞，直接報廢。2.若勻流板、口熱板、

作業內彳

?三擋板長期使用變紅時，根據發紅程度申請報廢。輕微發紅的可以繼續使用，嚴重發必:的申請

報廢。如圖（五-九）。

四保溫桶若有所損壞，直接報廢。如圖（十、1-）?

1.石英舟、石英髡有所損壞時，即使退回廠家或者報廢。2.石英f?因長期

五用變顏色，根據變色程度申請報廢。輕微發紅的可以繼續使用，嚴重發紅的申請報以如圖十

二、十三京

8.2.6擴散爐復機流程

8.2.6.1石英管清洗復機流程

注:新石英管飽和時同為24小時。

8.2.6.2停機停電第機流程

停機停電復機時，飽和時間根據停機時間長短來定，具體時間如下表:

停機后復機飽和時間表

72小時及

停機時間0。小時＜?12小時1：!-24小時2,-48小時48-72小時

以上

飽和時間0小時2小時3小時6小計10小時16小時

8.2.6.3停機不停電復機時，復機飽和時間如下表:

停機不停電復機飽和時間表

停機時間1天以內1-3天3-1沃153:以上

飽和時間0小時2小時4小時視工2:要求而定

8.3超凈車間質量監控及異常處理程序

8.3.2擴散工藝完成后硅片的方塊電阻異常

8.3.2.1規格定義

硅片類型SPECCL

多晶V02工57。鄴組—3。58c把單組RsS62n

藝S5Qm單片RSYSQ56定單片Rs

50Q彈點RSMOQ520s單點Rs<68Q

HR片的目標方阻為60Q,SPEC要求：60Qf|i組RSM6Q,58Q<^JVRs<68

C,53Q鄴點RsMSC。

8.322異常定義：

OOS：一點或者多于一點阻值超出SPEC范圍。

OOC：單組、單片或者單點超出CL范圍，但單點在SPEC范圍內。

8.323評審報告流程

A.浮現方塊電阻（X）S時，質檢人員應及時通知班組長或者當班工藝工

程師進行處理和調節，將電阻異常超出下限3Q/口或者超出上限1。/口

的超標時附實驗單卜傳，追蹤效率，將超出該范圍的超標片轉為處理

片，集中處理。

B.浮現方塊電阻00C時，質檢人員應及時通知當班組長和工藝工

程師，及時進行調整，無需轉處理片。

C.方阻異常片處理流程（非偏輕片匕

D.方阻異常片處理流程（偏輕片）:

E.補擴散規則

當清洗干凈后，每50片抽測3片測試電阻，單晶V02工藝：當方阻在

58-70。之間時，第四步為10分鐘，第五步為10分鐘，在71-80歐姆之

間第四步為20分鐘，第五步同上，在81-100歐姆之間時，第四步為30

分鐘，第五步同上。當也阻大于100歐姆時，重新擴散，擴散完后，

進行電阻測試，電阻異常時通知工藝工程師。

8.3.3擴散后的硅片上浮現殘存磷源或者燒焦

8.3.3.1異常表現,見下圖（圖2）

83.3.2異常定義

A.首先判斷燒焦片的嚴重程度，如果燒焦程度嚴重，無論是正面還是

背面一律不得下傳。

B.面積較小的燒焦片，觀察燒焦部位的顏色，如果顏色為淺黑色，則

可以下傳，顏色為深黑色則不得下傳。

C.當燒焦片顏色較深的部份距硅片邊緣不到1mm時，則可以直接下

傳，若大于1mm時則不得直接下傳。

D.輕微燒焦片：當燒焦片顏色較深的部份距邊緣大于1mm小于3m門,

或者燒焦片麻點數量不超過10個的燒焦片可哲存車間，集中整組附

買驗單下傳。

8.333評審報告流程

A.如果浮現燒焦10片以下/組時，操作人員應詳細記錄異常記錄單，

如果浮現燒焦10片以匕組或者滴源片時，操作人員應詳細記錄異常記

錄單，并及時通知當班工藝工程師。

B.浮現燒焦片，由卸舟員工分為嚴重燒焦和輕微燒焦片，暫存車間：

嚴重.燒焦片需轉處理片，集中處理.；輕微燒焦片可暫存車間，集中附

實驗單下傳。

8.334滴源和燒焦片處理流程

8.3.3.5滴源或者燒焦片制絨后返回超凈車間，若擴散后再次浮現嚴重燒焦,

需做報廢處理。

83.4擴散反片處理流程

83.4.1卸舟時發現擴散反片時，操作人員應將其挑出，轉處理片后集中處

理。

83.4.2擴散反片處理流程

8.3.5變形及裂痕片處理流程

8.3.5.1浮現變形及裂痕片時，操作員應即將通知班組長和質鼻上師。

835.2評審及處理程序：報廢

8.3.6返工片處理注意事項

A.明確標注硅片的正反面，不能混淆。

B.烘干及裝務崗位要保證硅片烘干后再進爐。

C.確保進入爐管的硅片全部是清潔，干凈的。

8.3.7返工處理片命名規則

A.處理片統一用流程單號區分:

B.流程單號編碼如下：

NA：所有處理片統一命名片源為NA

LXXXXXX三期代碼：例：2022年5月10日處理的返工片為1(X)51O。

2:XX工序代碼：制絨車間返工片為ZR,超凈車間為CJ,K+P車間為KP,印刷車

間為YS。

3:XXX序列代碼：當天當段返工的第幾組，如當天當段返工的第2組為002。4:

硅片類型代碼：單晶為S,多晶為M。

例如：

2022年5月10日超凈段返工的第一組125sL的單晶片編碼為：

NA100510CJ001-Lo

8.3.8超凈車間停機機制

8.3.8.1停機條件

NO指標范圍

1當班相同原因連續2次/爐

RsOOS

2當班不連續3次以上/爐

3滴源1次

8.382停機流程

I質檢工程師咫機臺"停并通知生產班長，班長通知工藝工程師I

工藝工程師查娜因，確定是否為設備異常

設備工程師對機臺恚行調整,正常后交予工藝二:

否

工藝工程師進一步確認機臺是否上*

迸調試片，品質是否正常K

是

交予芻產正雪使用

8.3.83設備叫停

正常生產過程中設備浮現異常，無法正常生產，需由生產人員報修給

設備并填寫報修單，設備叫停，維修。設備叫停期間未經允許生產不

得使用。

8.4超凈車間工作要求

8.4.1工作著裝要求

A.進入超凈車間的工作人員必須配戴：連體工作服、防靜電工作鞋。

B.穿衣時，不要使衣服觸及地板，不要玷污袖了?和褲腿，頭發禁止外露，留長

發的員工最好用發夾將前額頭發夾住。

C.戴好口罩（不含活性炭無塵口罩），口罩應該戴在鼻梁以上，并輕捏鋁條，使其

貼合鼻梁，工作期間禁止把口罩拉下。

D.戴好PVC手套,勿將腕部裸露出來，戴上手套后，盡可能避免觸及不潔凈的東

西，包括自己的身體，一旦破損，要即將更換。

E.進入超凈間的人員嚴禁化濃妝。

卜.員工自己的工作服、防靜電鞋等須由專人管理，并定期做清洗：潔凈衣置放

所必須在潔凈室，備用品或者新品存放在柜內。

G.進入廢氣室的人員，須佩帶好3M防酸口罩外加防毒面具再進行作業。

8.4.2衛生要求

A.進潔凈室之前要進行風淋，普通風淋時間為20秒，不得隨意更改風淋時間。

B.超凈間內各工序的工作臺要在接班時用「人擦干凈，不得在工作臺上放本子、

日報表及與工作無關的物品。

C