公開中國團體標準（10-1~10-7）Pa真空計現場校準規范CalibrationSpecificationforOn-siteCalibrationof(10-1~10-7)Pa北京電子儀器行業協會發布I發北京航空材料研究院、成都興睿寶電子科技有限公司、億維智能航天科技（煙臺郭宇揚、余榮、陳春、藍娟、高威、陳靜、賀良（10-1~10-7）Pa真空計現場校準規范是否可使用這些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件，其最新版本適用于本標準。采用動態的方法得到的標準壓力與被校準真空計所測壓力相比較的校準方針對高精度電子器件的生產現場所使用的真空設備不能長時間停產，為了現場真空度參數的校準2動態流量法是在分子流條件下采用進氣小孔C1對較高壓力的氣體連續膨準室下方的限流抽氣小孔C2對校準室連續抽氣，在校準室中形成動態P2—校準室中的壓力，單位：Pa；通過進氣閥門向校準室中引入一定量的氣體，同時通過校準室下方的限流抽氣小孔對校準室連續抽氣，在校準室內形成動態穩定的氣體壓力，通過被校準真空計和參考標準同時測+100%；-60%工作溫度范圍、準確度等級或引用誤差、制造計量器具許可證標志和編號、制造b)真空計顯示的數字應醒目、整齊，表示功能的文字符號和標識應完整、清晰、端正。c)周圍無影響正常校準的電磁干擾，無劇烈振動1234作為校準點，校準過程選擇校準壓力點按照由低到高的用目視方法檢查，被校真空計接入標準裝置，在真空狀態下，通電后控制單元顯示是否a)打開機械泵抽氣，打開旁通閥門V10抽氣，在G2讀數小于100Pa后關閉閥門V10，打開閥門V1b)關閉閥門V6在G2讀數小于10-2Pa后打開真空規G1，在校準室壓力小于1×10-4Pa后且G2正常工c)調節閥門V4向校準室引入一定壓力的氮氣，使G2的壓力穩定3×10-4Pa壓力點附近，待壓力穩4d)依照步驟c繼續調節閥門V4的開度，使G2的壓力依次穩定在1×10-4Pa、6×10-4Pa、9×10-4P1×10-3Pa、6×10-3Pa、9×10-3Pa、1×10-2Pa、6a)打開機械泵抽氣，打開旁通閥門V10抽氣，在G2讀數小于100Pa后關閉閥門V10，打開閥b)打開G3、G4、G5及被校準真空計，當G3、G4、G5穩定3小時以上且裝置本底壓力小于5×10-3d)通過閥門V5、選取C2或C3向校準室VC1中進氣。a)校準數據按四舍五入及偶數法則進行修約，保留的有效位數應使末位數與測量b)校準結束后應出具校準證書，校準證書中，應該包括校準條件下，校準所得各種數據，并給c)校準證書應包括委托方要求的、說明校準結果所必需的和所用方法要求A.1在（10-1～10-4）Pa范圍內的不確定度評定采用動態比對法，在（10-1～10-4uc,r=√（A.1）ur=kuc,r（A.2）e)參考標準與被校真空計溫度變化(±1℃);a)壓力測量及膨脹的重復性，引入的b)根據真空標準的規定，要求本底真空高于最小被校壓力的2個量級，這樣本底造成的影響是規管相互之間影響量，引入的不確定度分量u3；e)在校準過程中溫度變化為±1℃,按B類評定u5。1/2√33√34//5變化(±1℃)√3uc,r=√uEQ\*jc3\*hps15\o\al(\s\up3(2),1)+uEQ\*jc3\*hps15\o\al(\s\up3(2),2)+uEQ\*jc3\*hps15\o\al(\s\up3(2),3)+uEQ\*jc3\*hps15\o\al(\s\up3(2),4)+uEQ\*jc3\*hps15\o\al(\s\up3(2),5)A.2.5擴展不確定度Ur合成標準不確定度按公式（A.1)計算，取包含因子k=2，則擴展不確定度為：ur=2uc,r。A.2在（10-4～10-7）Pa范圍內的不確定度評定采用動態流量法，在（10-4～10-7。其誤差校準的測量模型可用下面公式計算，uc,r=√（A.3）6ur=kuc,r（A.4）f)參考標準與被校真空計溫度變化(±1℃);b)依據電容薄膜真空計相關研究，參考標準的穩定度引入的不確定度為u2；c)根據裝置試驗報告結果，返流比引入不確定度e)抽氣小孔流導測量引入不確定f)在校準過程中溫度變化為±1℃,按B類評定，引入不確定度u6。g)裝置的極限真空度小于1×10-7Pa，本122//3//4//5//6√37變化(±1℃)√3EQ\*jc3\*hps15\o\al(\s\up3(2),1)EQ\*jc3\*hps15\o\al(\s\up3(2),2)EQ\*jc3\*hps15\o\al(\s\up3(2),3)EQ\*jc3\*hps15\o\al(\s\up3(2),4)EQ\*jc3\*hps15\o\al(\s\up3(2),5)EQ\*jc3\*hps15\o\al(\s\up3(2),6)EQ\*jc3\*hps15\o\al(\s\up3(2),7)A.2.5擴展不確定度Ur合成標準不確定度按公式（A.3)計算，取包含因子k=2，則擴展不確定度為：ur=2uc,r。CertificateofCalibration地址Address編號S/N接收日期：年月日校準日期：AcceptanceDate：MonthDayDay校準人：審核人：批準人：Approvedby:DayIssuedDate：8校準使用的主要測量標準標準名稱STDNames編號S/NCert.No./Traceto有效期至DueDate////////////