JJF(冀)211—2023JJF（冀）211-2023體視顯微鏡校準(zhǔn)規(guī)范CalibrationSpecifiJJF（冀）211-2023I JJF（冀）211-2023體視顯微鏡》和GB/T19863-2005《1JJF1071-2010《國家計(jì)量校準(zhǔn)規(guī)范編寫原則》其最新版本(包括所有的修改單)適用于本規(guī)范。3術(shù)語4概述成像光路，獲得具有立體感覺的清晰圖像，用于觀察物體的體視顯微鏡按結(jié)構(gòu)形式可分為連續(xù)變倍型、有級(jí)變換型、物25.1變倍齊中差5.2分辨力5.3物鏡放大倍數(shù)誤差5.4左右光學(xué)系統(tǒng)放大倍數(shù)差6.1環(huán)境條件6.1.1溫濕度條件：校準(zhǔn)室內(nèi)溫度為室溫，相對(duì)濕度不大于80%。6.1.2其他條件：校準(zhǔn)室內(nèi)應(yīng)無影響測量的灰塵、震動(dòng)、氣流和腐蝕性氣體。6.2校準(zhǔn)項(xiàng)目及校準(zhǔn)用設(shè)備校準(zhǔn)項(xiàng)目及校準(zhǔn)用設(shè)備見表1。JJF（冀）211-20233表1校準(zhǔn)項(xiàng)目及校準(zhǔn)用設(shè)備序號(hào)校準(zhǔn)項(xiàng)目校準(zhǔn)設(shè)備1變倍齊中差十字分劃目鏡：分度值0.1mmMPE：±0.01mm；十字分劃板2分辨力3物鏡放大倍數(shù)誤差十字分劃目鏡：分度值0.1mmMPE：±0.01mm；玻璃線紋尺:分度值0.1mm和0.01mm，MPE：±0.01mm；4左右光學(xué)系統(tǒng)放大倍數(shù)差玻璃線紋尺:分度值0.1mm和0.01mm，MPE：±0.01mm；注：也可采用滿足測量不確定度要求的其它設(shè)備進(jìn)行校準(zhǔn)。測量的霉斑、異物、劃痕等因素，視場范圍內(nèi)照明將十字分劃板置于載物臺(tái)上，被檢顯微鏡左側(cè)目鏡筒最高倍率下對(duì)分劃板調(diào)焦，調(diào)整目鏡分劃板上的刻度與像面，使兩者間無視差。然后調(diào)整物方分劃板使物方分劃板中心重合，從最高倍數(shù)至最低倍數(shù)變換過程中，找JJF（冀）211-20234選用合適板號(hào)的分辨力板置于載物臺(tái)上，利用調(diào)焦場中的分辨力板圖案像調(diào)焦，盡可能使圖案像清晰的面寬單元中的圖案，記下清晰的圖案中線寬最值。依據(jù)式（1）可求出分辨力N。=（線對(duì)/mm1）調(diào)換其他倍數(shù)的物鏡，按照上述測量方法分變換型和物鏡卸換型的體視顯微鏡，應(yīng)對(duì)每個(gè)倍數(shù)的將玻璃線紋尺置于載物臺(tái)上，體視顯微鏡使用最高倍鏡，通過調(diào)焦使玻璃線紋尺刻線在分劃目鏡的分劃尺上尺刻線像與分劃目鏡刻線方向平行。將玻璃線紋尺刻度間距像與目鏡分劃尺上讀取玻璃線紋尺所用刻度間距像的實(shí)際值。依據(jù)公式JJF（冀）211-20235——物鏡放大倍數(shù)誤差；物——物鏡實(shí)測放大倍數(shù)；標(biāo)——物鏡標(biāo)稱放大倍數(shù)。對(duì)于目鏡不可拆卸的顯微鏡，使用倍率計(jì)和連續(xù)變倍型體視顯微鏡，選擇高、中、低三個(gè)在不拆卸顯微鏡目鏡的情況下，使用倍率計(jì)和玻璃讀出玻璃線紋尺所用間距的像在倍率計(jì)分劃尺上的實(shí)際值，參考公選擇最高、最低兩個(gè)檔校準(zhǔn)其左右光學(xué)系統(tǒng)放大倍校準(zhǔn)證書的內(nèi)容及內(nèi)頁格式應(yīng)符合JJF1071《國家計(jì)量校準(zhǔn)規(guī)范編寫原則》中5.12JJF（冀）211-20236分辨率板號(hào)A1A2A3A4A5A6A7分辨率圖案單元號(hào)線寬度b值/μm180.040.020.07.505.00275.537.89.447.084.72371.335.68.916.684.45467.333.68.416.314.20563.531.77.945.953.97659.930.07.495.623.75756.628.37.075.303.54853.426.76.675.013.34950.425.26.384.723.1595.147.623.85.954.462.9789.844.922.45.614.212.8184.842.421.25.303.972.6580.040.020.05.003.752.5075.337.89.444.723.542.3671.335.68.914.453.342.2367.333.68.414.203.152.1063.531.77.943.972.9859.530.07.493.752.8156.628.37.073.542.652053.426.76.673.342.502150.425.26.303.152.362247.623.85.952.972.232344.922.45.612.812.102442.421.25.302.652540.020.05.002.50JJF（冀）211-20237在顯微鏡中找到玻璃線紋尺的像，并使像的首端與目鏡分劃Y及標(biāo)稱放大倍數(shù)標(biāo)，按照公式（B.2即可計(jì)算出物鏡放大倍數(shù)誤視顯微鏡1×物鏡放大倍數(shù)測量為例進(jìn)行評(píng)定，所用10×十字分化目鏡內(nèi)的刻度范圍為=物×100%=1?×100%把物=代入上式（B.1）可得=1?標(biāo)×100%（B.2）——物鏡放大倍數(shù)誤差；物——物鏡實(shí)測放大倍數(shù)；標(biāo)——物鏡標(biāo)稱放大倍數(shù)?？紤]到各輸入量彼此獨(dú)立，依JJF（冀）211-2023822輸入量'引入的不確定度分量'由測量重復(fù)性引入的不確定度分量1'和目鏡標(biāo)尺允許誤差引入的不確定度分量2'組成。采用A類不確定度方法進(jìn)行評(píng)定，在顯微鏡正常工作及重復(fù)性條件下，以物鏡1倍放表B.1重復(fù)性測量結(jié)果序號(hào)123456789測量值9.919.909.929.939.949.959.969.969.959.95采用B類不確定度方法進(jìn)行評(píng)定，十字分劃目鏡標(biāo)尺刻線間距的允許誤差±0.01mm, 3 3B.4.2玻璃線紋尺允許誤差引入得不 3 3JJF（冀）211-20239表B.2標(biāo)準(zhǔn)不確定度分量一覽表標(biāo)準(zhǔn)不確定度分量不確定度來源標(biāo)準(zhǔn)不確定度值mm=（mm-1）——0.022-0.10.0022測量重復(fù)性0.021————目鏡標(biāo)尺誤差0.006————玻璃線紋尺誤差0.0060.10.0006=0.0023=0.23%=××標(biāo)22表B.3各放大倍數(shù)誤差的測量結(jié)果不確定度標(biāo)線紋尺靈敏系數(shù)不確定度分量標(biāo)準(zhǔn)不確定間距Y（mm-1）（mm）度120.5×-0.20.10.0230.0060.0046-0.10.10.0220.0060.00230.5%2×5-0.10.20.0220.0060.00260.