目總 術 基本規 設 安裝與調 安 檢測與驗 運行維 附錄 痕量總有機碳的在線測定方 用詞說 引用標準名 Basic System UVreduction Ionexchange Installationand General Testingand System System Operating Operating Safety AppendixA Testmethodfordual-wavelengthvacuumultravioletlightintensity.26Explanationof Listofquoted Addition:Explanationof 子器件、電子專用材料的產業化行業。在以集成電路和新型顯示器件為代表的電子工業半導體工藝生產過程中，超純水是提供清洗、配制化學品以及靶材冷卻液的重要高純介質。隨著工藝特征尺寸的縮小，超純水的制備系統對總有機otalOgnicCrbonOC等核心微污染指標提出了更加嚴格的控制要求，12英寸半導體超純水制備系統中普遍采用OC＜μg/L作為有機物的關鍵OC電子工業超純水ultrapurewaterforelectronics18.0MΩ·cm。ASTMD5127Standardguideforultrapurewaterusedinthe1.1、E-1.2E-1.31表 13（2018E-1E-1.1E-1.2E-1.3OC（μgL100mL1L10L總硅IC測陰離子和銨根E-1E-1.1E-1.2E-1.3ICP/MS總有機碳totalorganic微污 紫外線降解裝置UVdegradation離子交換裝置ionUVdegradationsystemoftotalorganic185nm紫外線，促（ROSs，ROSs降解有機物的主要反應是脫氫反應，產生可離子化的無機弱酸紫外線穿透率UV254nm1cm比色皿水樣后的紫外線強度與通過前轉換：UVT（%）=100%x10-A紫外線目標劑量reductiontargetUVT254TOC185nm紫外線劑mJ/cm2。石英套管紫外線穿透率UVtransmittanceofquartzglasstube（UVT185）185nm紫外線透過石英套管的光通量與入射光通量之比。配送點pointofPOD水質要求以及其他微污染【條文說明】根據《電子工業純水系統設計規范》GB50685中規定，純水制備TOC和其它微污染控制5μm以下精度過濾設備?！緱l文說明】本條符合國家標準《電子工業純水系統設計規范》GB50685-3.5.2條的規定。在超純水制備工藝中，膜過濾（包括反滲透膜和超濾膜）POD存在風險的不可控因素。根據純水制備工藝此外，本條符合國家標準《電子工業純水系統設計規范》GB50685-20113.1.7條的規定，電子工業超純水制備系統一般由預處理、深處理及精處理三185nm紫外線適宜應用于處理含有低濃度有機物的超純水制備系統，TOC100μg/L，且水質UVT254≥99%。185nm紫外線輻照效率，保護鏈式反應產當配送點（POD）TOC5μg/L時，電子工業超純水制備TOC【條文說明】這里的通常原水條件，指的是超純水制備系統的原水中TOC＜5TOC＜5μg/L，系統設計將面臨深度處理的控制風險，應考慮原水中有機物的組分，如低分子量有機物（LowMolecularWeightOrganicMatter，LMWOM）中的PODTOC5μg/L的控制2。1-深處理工藝段紫外降解裝置；2-圖 1-深處理工藝段紫外降解裝置；2-圖 ??254=??? 式中：D254——254nm波長紫外線的投加劑量（mJ/cm2T——紫外線反應器腔體內停留時間4.1.3 TOC進水出水注：1TOCTOC濃度的最大TOCTOC≤1μg/L1000TOCTOC指標控制的同時，要求紫外線降解系統做到低碳環保，對目標TOC的處理工藝，可以避免增加用于去除副產物的催化處理單元的投TOC及金屬離子的PVDFμm120℃，熱熔連接，不存在粘接劑溶出問題。TOC＜5μg/LPVDF-HP、SS316L、PP-4.2.11-紫外線反應器殼體；2-石英套管；3-紫外線燈管；4-紫外線強度傳感器；5混流隔板；6溫度傳感器；7圖 3次/天的運行條件下時，8000h；6紫外線消毒設備》GB/T19837-2019A的方法進行測定；15mg以內，汞燈到達運行壽命后應按照危依據國家標準《城鎮給排水紫外線消毒設備》GB/T19837-20193.1條100h后的紫外線輸出功率之比。通常采用紫外線傳感器測量。燈管304316L其他要求應符合現行國家標準《城鎮給排水紫外線消毒設備》GB/T19837的相1.2~2.0mm。304不銹鋼或Ra0.4μm；燈管維護側應設計封罩作為燈線及電氣連接線的保護H2O2和紫外線185nmO3H2O2O3等強氧化劑相容性差會導致過電氣部件的防護等級應符合現行國家標準《外殼防護等級（IP代碼GB/T4208安裝工程電纜線路施工及驗收標準》GB50168的相關規定；；（ELCBGB50054-20113線施工及驗收規范》GB50171-20124GB50054-20113壓配電設計規范》GB50054-20117纜線路施工及驗收標準》GB50168-2018645℃后手動斷開設整流器應為電子式雙回路，輸入電壓應為120V或240V,輸入頻率50/60hz24kHz～35kHzModbusRTU、TCP/IP及等同的GB50685-20116.1.3條規定了純（檢）PMBXAIXP的裝填形式，形成了多種離子交換裝置（MBX、AIX、SB-P等。ENCs【條文說明】本條符合國家標準《電子工業純水系統設計規范》GB50685-TOC的升高。因而在離子交換裝置中對潔凈離子交換樹脂或介質的設計考慮，制造用超純水的水質標準中，尤其在工藝節點5nm以下的先進制程超純水制備TOC、H2O2、溶解氧（DO）以及痕量金屬（TraceMetals）H2O21μg/LPODH2O2提出重點控制要求的超純水制備系統，對于沒有H2O2量化控制指標的純水制備裝工程施工及驗收通用規范》GB50231屬管道工程施工規范》GB50235的有關規定。驗收通用規范》GB50231-2009中的有關規定。線路施工及驗收標準》GB50168-2018中的有關規定。其中，檢測儀表應安裝牢國家標準《電子工業純水系統安裝與驗收規范》GB51035-2014道工程施工規范》GB50235-2010宜安裝在室內，保持良好通風，環境溫度宜小于40℃GB51035GB51035-2014中“3.6.8組裝式設備安裝的允許偏差及檢查方法”3。34.2.4.25與裝置直接相連的進出水管應采用不少于兩個彎頭的L型或S型不銹鋼51035-20143.1.9條的規定。U型結構，應用計算流體動構，以提升降解性能與效率。在管道安裝過程中，UL型結構的反應30min以上，確認石英8h后降解裝置的工況達到穩定值，而紫外線燈管的輻射劑24h24h24h后，記錄流量、壓力、電阻率等運行數據，并測試記錄紫外線降解裝置的進水TOC質量濃度和紫外線降解系統的出水TOC質（POD（POE10℃~40℃5℃/h0~80（無結露500ml/min【條文說明】本條對在線分析儀的檢測環境提出了要求，通常將TOC分析儀安25℃5℃TOC驗證。6.1.46.1.4析法溫度：10℃~50℃流量：30mL/min~500mL/min；32μS/cm。電阻率≥15TOC＜5溶解氧＜20μg/L范》GB50685-20116.1.3條的規定，為保障電子工業超純水系統安全穩定TOC氧化的方法可分為藝節點的先進制程半導體超純水制備系統，H2O2成為受控指標時，采取在線測TOC185檢出限（I.D.L）≤0.1AUPWIRDS委員會在世界各地的多家半導體制造廠進行了微污染控＜1μg/Lppb級總有機碳濃度的影響H2O2 （I..L.：≤0.3 測量范圍：0.3μg/L~3000μg 測量流量：≥180ml/min收通用規范》GB50231-20098規范》GB51035-20147GB50268-20089檢查紫外線燈管正常運行（指示燈檢查紫外線燈管照射強度（傳感器檢查紫外線裝置工作環境（溫濕度【條文說明】7.1.2條規定了檢查紫外線降解裝置的累計運行時間、燈管運行時間和紫外線強度指示等數據的維護要求，通常低壓紫外燈當運行時間大于8000h80%以下時，需考慮更換燈管。7.1.3條規定了需定期查看紫外線降解裝置的各 1）測量范圍：0.1μg/L~2000μg/L（以碳計（I.D.L.：≤0.13）精密度（RSD）≤1%185nm172nm25°C1TOC的測定。PFAPVDF