建設項目環境影響報告表（污染影響類）項目名稱：集成電路晶圓級先進封測生產線建設項目建設單位（蓋章）：華天科技（江蘇）有限公司編制日期：2023年3月中華人民共和國生態環境部制 1 18 71 98 161 165 166、、稱改建擴建技術改造不予批準后再次申報項目超五年重新審核項目重大變動重新報批項目（核準/備浦行審備〔2022〕221號設是：依據《建設項目環境影響報告表編制技術指南（污染影響類試行）》表1專規劃名稱：《南京江北新區橋林新城總體規劃（規劃環評：《江蘇省浦口經濟開發區開發建設規劃（2021-2035）環境影響報告審查文件名稱及文號：《省生態環境廳關于南京浦口經濟開發區開發建設規劃中水回用：規劃遠期污水再生利用率達到40%。再生水用于城市雜用，主遠期至2035年，主導產業為集成電路京浦口經濟開發區開發建設規劃（2021本項目位置本項目位置本項目位置本項目位置③《南京浦口經濟開發區開發建設規劃（2021-2035）環境影響報告書》審類別準入內容相符性分析禁止引入類項目1.禁止引入與國家、地方現行產業政策相沖突的項2.禁止引入不符合《長江經濟帶發展負面清單指南》《江蘇省長江經濟帶發展負面清單實施細則》《南本項目與國家及地方產業政策相符，本項目不使用高VOCs含量的涂料、油墨、膠限制引入類項目空間布局約束污染物排放管控環境風險京市建設項目環境準入暫行規定的通知》等要求的項目。膠粘劑等項目。黏劑等本項目不屬于限制類項目，本項目廢氣經治理后能滿足《揮發性有機物（VOCs）污蘇省重點行業揮發性有機物污染控制指南》等要求。本項目已進行鍍工序不能剝離論證。本項目未占用基本農田根據監測數據，石磧河水質未達到Ⅲ類水標準。本項目污染物排放總量：大氣污染物排放/年、氮氧化物1.1119噸/年、顆粒物0.75噸/年、異丙醇0.228噸/年、VOCs3.06噸/年，水污染物排放量：化學需氧量46.3769噸/總磷0.4642噸/年、總銅0.15噸/年。滿足規劃近期及遠期總量控制要求。詳見表1-4。本項目周邊無環境敏感目標，且具有完善的風險防控措施，滿1.限制引入《產業結構調整指導目錄（2019年本）》《江蘇省工業和信息產業結構調整限制淘汰目錄和能耗限額》中的限制類項目。2.限制引入污染治理措施達不到《揮發性有機物（VOCs）污染防治技術政策》《江蘇省重點行業揮發性有機物污染控制南》等要求的項目。3.限制新（擴）建電鍍項目，確屬工藝需要、不能剝離電鍍工序的項目，需組織專家進行技術論證。1.區內永久基本農田區域實行嚴格保護，確保其面積不減少、土壤環境質量不下降，除法律規定的重點建設項目選址確實無法避讓外，其他任何項目不得占用。2．在瓊花湖河道兩岸設置一定寬度的綠化景觀帶：在蘭橋雅居居民安置小區西北向與工業區相鄰區域設置以道路、防護林為主要形式的空間防護帶，防護帶寬度原則上不小于50米，非生產型企業空間防護距離可以適當縮小，但不應小于30米。3.區內規劃的水域和防護綠地，禁止一切與環境保護功能無關的建設活動。1.環境質量：大氣環境質量達到《環境空氣質量標準》二級標準、《環境影響評價技術導則大氣環境》（HJ2.2-2018）附錄D其他污染物空氣質量濃度參考限值；石磧河和高旺河水環境質量達《地表水環境環境質量》Ⅲ類水標準；土壤達到《土壤環境質量建設用地土壤污染風險管控標準（試行）》（GB36600-2018）篩選值中的第一類、第二類用地標準。2.總量控制：大氣污染物排放量：近期2025年：二氧化硫137.24噸/年、氮氧化物352.44噸/年、顆粒物238.29噸/年、氨氣5.73噸/年、異丙醇9.33噸/噸/年、氮氧化物380.58噸/年、顆粒物250.65噸/噸/年。水污染物排放量：近期2025年：化學需氧量243.69噸/年、氨氮29.6噸/年、總磷2.44噸/年、氟化物5.81噸/年、總銅1.94噸/年。遠期2035年：化學需氧量245.06噸/年、氨氮27.89噸/年、總磷2.45噸/年、氟化物5.21噸/年、總銅1.74噸/年。3.其他要求：提高污水處理廠再生水回用率，浦口經濟開發區污水處理廠近期20%、遠期30%，浦口經濟開發區工業污水處理廠遠期30%。1.建立區域監測預警系統，實行聯防聯控。生產、使用、儲存危險化學品或其他存在環境風險的企業，應當采取風險防范措施，并根據要求編制環境風險應急預案，防止發生環境污染事故。2.加強布局管控。開發區內部的功能布局應充分考慮風險源對區內及周邊環境的影響，儲罐區、危廢倉庫應遠離村鎮集中區、區內人群聚集的辦公樓、周邊村莊及河流，且應在規劃區的下風向布局，以減少對其項目的影響；區內不同企業風險源之間應盡量遠離，防止其中某一風險源發生風險事故引起其他風險源爆發帶來的連鎖反應，降低風險事故發生的范圍。足風險防控要求。資源開發利用1.水資源利用總量為2333萬噸/年。2．土地資源可利用總面積上線1976.5公頃，建設用地總面積上線1937.27公頃，工業用地及倉儲用地總面積上線1376.17公頃。3．能源利用上線為單位GDP綜合能耗0.31噸標煤/萬元。本項目新鮮水用量2415190噸/年，用地面積169367平方米，滿足資源開發利用要求污染物已批復總量規劃總量本項目總量是否滿足總量控制近期遠期大氣污染物二氧化硫92.76137.24156.29是氮氧化物231.54352.44380.58是顆粒物200.07238.29250.650.75是異丙醇7.6479.330.228是VOCs114.13162.263.06是生產廢水污染物化學需氧量185.43243.69245.0645.0169是氨氮29.627.892.2508是總磷2.442.450.4502是總銅0.15是生活污水污染物化學需氧量185.43243.69245.06是氨氮29.627.890.068是總磷2.442.450.014是因此，本項目與《江蘇省浦口經濟開發區開發建設規劃（2021-2035）環境—6—本項目不屬于《市場準入負面清單（2022年版）》中禁止或許可準入類項對照《江蘇省工業和信息產業結構調整指導目錄（2012年本2013年修芯片規模封裝（CSP）、多芯片封裝（MCM）等先進封裝與測試”、“20、集成管控類別重點管控要求相符性分析長江流域空間布局約束加強生態空間保護，禁止在國家確定的生態保護紅線和永久基本農田范圍內，投資建設除國家重大戰略資源勘查項目、生態保護修復和地質災害治理項目、重大基礎設施項目、軍事國防項目以及農民基本生產生活等必要的民生項目以外的項目。本項目不在國家確定的生態保護紅線和永久基本農田范圍內。禁止在沿江地區新建或擴建化學工業園區，禁止新建或擴建以大宗進口油氣資源為原料的石油加工、石油化工、基礎有機無機化工、煤化工項目；禁止在長江干流和主要支流岸線1公里范圍內新建?；反a頭。本項目不屬于石油加工、石油化工、基礎有機無機化工、煤化工項目，不新建危化品碼頭。強化港口布局優化，禁止建設不符合國家港口布局規劃和《江蘇省沿江沿海港口布局規劃（2015-2030年）》《江蘇省內河港口布局規劃（2017-2035年）》的碼頭項目，禁止建設未納入《長江干線過江通道布局規劃》的過江干線通道項目。本項目不屬于碼頭項目和過江干線通道項目。禁止新建獨立焦化項目。本項目不屬于獨立焦化項目。污染物排放管控根據《江蘇省長江水污染防治條例》實施污染物總量控制制度。本項目實施污染物總量控制制度。全面加強和規范長江入河排污口管理，有效管控入河污染物排放，形成權責清晰、監控到位、管理規范的長江大河排污口監管體系，加快改善長江水環境質量。本項目廢水接管污水處理廠，不直接排放。環境風險防范沿江環境風險。深化沿江石化、化工、醫藥紡織、印染、化纖、?；泛褪皖悅}儲、涉重金屬和危險廢物處置等重點企業環境風險防控。本項目具有完善的風險防控措施。（2）與《南京市“三線一單”生態環境分區管控實施方案》相符性分析管控類別重點管控要求相符性分析江蘇省南京浦口經濟開發區空間布局約束（1）執行規劃和規劃環評及其審查意見相關要求。（2）優先引入：智能制造、集成電路、新能源汽車、新一代信息技術、智能交通、智能裝備制造、現代物流。（3）禁止引入：非環保類研發項目；不符合全國和省級港口布局規劃以及港口總體規劃的碼頭項目；不符合《長江干線過江通道布局規劃》的過江通道項目；露天和敞開式噴涂作業（除工藝有特殊要求外）。本項目從事集成電路的封裝與測試，屬于優先引入項目，符合要污染物排放管控嚴格實施污染物總量控制制度，根據區域環境質量改善目標，采取有效措施減少主要污染物排放總量，確保區域環境質量持續改善。園區污染物排放總量按照規劃和規劃環評及其審查意見的要求進行管控。本項目實施污染物總量控制制度。環境風險（1）園區建立環境應急體系，完善事故應急救援體系，加強應急物資裝備儲備，編制突發環境事件應急預案，定期開展演練。（2）生產、使用、儲存危險化學品或其他存在環境風險的企事業單位，應當制定風險防范措施，編制完善突發環境事件應急預案，防止發生環境污染事故。（3）加強環境影響跟蹤監測，建立健全各環境要素監控體系，完善并落實園區日常環境監測與污染源監控計劃。企業已制定風險防范措施，建議企業編制完善突發環境事件應急預案，防止發生環境污染事故。資源利用效率要求（1）引進項目的生產工藝、設備、能耗、污染物排放、資源利用等均須達到同行業先進水平。（2）按照國家和省能耗及水耗限額標準執行。（3）強化企業清潔生產改造，推進節水型企業、節水型園區建設，提高資源能源利用效率。本項目采用先進的生產工藝和設備，各資源利用效率較高。環境質量底線環境質量底線項目相符性分析生態保護紅線本項目選址位于南京浦口經濟開發區，距離最近的國家級生態保護紅線范圍為東南6.8km處的橋林飲用水水源保護區（備用），距離最近的生態空間管控區域范圍為西北10km生態保護紅線生態管控區域和生態紅線保護范圍內，對生態環境影響小。《南京浦口經濟開發區環境影響評價區域評估報告》顯示，根據2019年10月17日～10月23日引用監測數據，各監測點，非甲烷總烴能夠滿足空《大氣污染物綜合排放標準詳解》的標準限值。《南京新能源汽車產業創氣新中心項目環境影響報告表》現狀監測報告顯示，根據2021年3月24日~環3月26日引用監測數據，錫及其化合物滿足質量標準要求。本項目硫酸霧境廢氣經堿液噴淋吸收塔后通過P1-1排氣筒達標排放、異丙醇、非甲烷總烴、錫及其化合物經沸石+RTO后經P1-2排氣筒達標排放、顆粒物經濾筒除塵處理后達標排放，對大氣環境影響較小地表水《南京浦口經濟開發區環境影響評價區域評估報告》顯示，開發區區域內石磧河W2、W3斷面SS超標，W2、W3、W4斷面BOD5超標，W3、W4斷面COD超標，W4斷面高錳酸鹽指數超標，其他內河水質均達到《地表水環境質量》（GB地表水地下水三個地下水監測點位中，D1、D2監測點地下水中錳優于《地下水質量標準》（GB/T14848-2017）地下水聲項目區域聲環境質量較好。土項目所在地土壤各監測指標均能滿足《土壤環境質量建設用地土壤污染風壤險管控標準》（GB36600-2018）第二類用地的篩選值。資源利用上線本項目用水來自自來水管網，用電由市政電網所供給，項目用地用途為工業用地，符合當地土地規劃要求，不會達到資源利用上限。負面清單本項目屬于《中共南京市委南京市人民政府關于優化全市區域功能定位和產業布局的意見》（寧委發〔2016〕23號）中優先開發區域，符合《關于印發長江保護修復攻堅戰行動計劃的通知》（環水體〔2018〕181號）的要求，不屬于《市政府關于印發南京市建設項目環境準入暫行規定的通知》（寧政發〔2015〕251）、《南京市制造業新增項目禁止和限制目錄（2018）版》（寧委辦發〔2018〕57號）中限制類項目；不屬于《市場準入負面清單（2022年版）》中禁止準入類項目，同時也不在許可準入清單以內的行業，對照清單，對市場準入負面清單以外的行業、領域、業務等，各類市場主體皆可依法平等進入，符合地區準入要求和其他相關要求。根據橋林新城規劃發展的重點產業優先、限制、禁止發展項目清單，本項目屬于優先發展的“集成電路的芯片制造、封裝測試、衛星導航、大數據產業”，不在限制發展的項目類別內，不在禁止發展的“制革、化工、印染、釀造生產項目；使用非水性料、膠黏劑的項目；純電鍍項目；含重金屬、持久性有機物等有毒有害廢水達不到零排放的項目；禁止生產方式落后、高耗能、嚴重浪費資源和污染環境大的項目”。（1）與《南京市建設項目環境準入暫行規定》（寧政發〔2015〕251號）序號文件要求相符性分析1新（擴）建工業生產項目必須進入經各級政府認定的開發園區或工業集中區（為研發配套的組裝加工項目除外）。項目選址位于浦口經濟開發區內符合2江南繞城公路內不得新（擴、改）建工業生產項目（節能減排、清潔生產、安全除患以及為研發配套的組裝加工項目除外）。本項目不涉及符合3城市清潔空氣廊道保護區（都市區生態廊道和城市通風走廊）內，嚴控各類開發區擴園和新增成片新區建設，嚴控大型構筑物和排放廢氣的項目建設。本項目不涉及符合本項目不涉及符合本項目不涉及符合4地區和長江二橋至三橋沿岸）不得新（擴）建工業項目（節能減排、清潔生產、安全除患和油品升級改造項目除外）及貨運碼頭。5除南京化工園區外，其他區域不得新（擴、改）建化工生產項目（節能減排、清潔生產、安全除患、油品升級改造和為區域配套的危險廢物集中處置、氣體分裝、無化學反應的工業氣體制造項目除外）。南京化工園禁止新（擴）建農藥和染料中間體、光氣以及排放惡臭氣體且不能有效治理的化工項目，禁止新增限制類項目產能以及落后工藝和落后產品。玉帶片區從嚴控制化工生產項目。本項目從事集成電路的封裝和測試，不屬于化工生產項目。符合6建電鍍項目。確屬工藝需要、不能剝離電鍍工序的項目，需由環保部門會同經濟主管部門組織專家技術論證，通過專家論證同意后方可審批建設。本項目從事集成電路的封裝和測試，涉及電鍍工序不可剝離，已經組織專家進行技術論證，論證材料見附件。符合7石油焦等高污染燃料的設施和裝置。本項目不涉及符合8秦淮河、滁河以及固城湖、石臼湖流域禁止新（建釀造、制革等水污染重的項目，禁止新（擴）建工業生產廢水排水量大于1000噸/日的項目，禁止新（擴）建排放含汞、砷、鎘、鉻、鉛等重金屬以及持久性有機污染物的工業項目（六合紅山表面處理中心除外）。本項目選址位于浦口經濟開發區，不在上述范圍內。符合9太湖流域禁止建設氮、磷為特征因子的工業項目。本項目選址位于浦口經濟開發區，不在太湖流域范圍。符合序號文件要求相符性分析1第十五條排放揮發性有機物的生產經營者應當履行防治揮發性有機物污染的義務，根據國家和省相關標準以及防治技術指南，采用揮發性有機物污染控制技術，規范操作規程，組織生產經營管理，確保揮發性有機物的排放符合相應的排放標準。本項目產生的有機廢氣采用沸石+RTO工藝進行處理，滿足排放標準后排放。符合2第二十一條產生揮發性有機物廢氣的生產經營活動應當在密閉空間或者密閉設備中進行。生產場所、生產設備應當按照環境保護和安全生產等要求設計、安裝和有效運行揮發性有機物回收或者凈化設施；固體廢物、廢水、廢氣處理系統產生的廢氣應當收集和處理；含有揮發性有機物的物料應當密閉儲存、運輸、裝卸，禁止敞口和露天放置。無法在密閉空間進行的生產經營活動應當采取有效措施，減少揮發性有機物排放量。本項目車間有機廢氣產生點均設置收集系統，收集后的廢氣再經沸石+RTO處理達標后有組織排放；危廢庫產生的有機廢氣收集與車間有機廢氣一起處理后排放。符合②與《江蘇省重點行業揮發性有機物污染控制指南》（蘇環辦〔2劑、顯影劑、光刻膠、蝕刻液等環保材料，減少VOCs污染物的產生量。2、對式處理?！闭埮c核發技術規范電子工業》（HJ1031-2019）推薦的吸附濃縮），達95%以上。因此本項目符合《江蘇省重點行業揮發性有機物污染控制指南》③與《關于進一步加強涉VOCs建設項目環評文件審批有關要求的通知》序號文件要求相符性分析1嚴格標準審查環評審批部門按照審批權限，嚴格排放標準審查。有行業標準的嚴格執行行業標準，無行業標準的應執行國家、江蘇省相關排放標準，鼓勵參照天津市《工業企業揮發性有機物排放控制標準》（DB12/524-2020）等標準中最嚴格的標準。VOCs無組織排放執行《揮發性有機物無組織排放控制標準》本項目污染物的排放執行《半導體行業污染物排放《大氣污染物綜合排放標準》（DB32/4041-2021）。符合234(GB37822-2019)，并執行廠區內VOCs特別排放限值。符合符合符合嚴格總量審查市生態環境局、各派出局總量管理部門嚴格排放總量審查（含各行政審批局負責審批的建設項目）。VOCs排放量優先采用國家大氣源清單統計數據。涉新增VOCs排放（含有組織、無組織排放）的建設項目，在環評文件審批前應取得排放總量指標，并實施2倍削減替代。對未完成VOCs總量減排任務的區（園區），暫緩其涉新增VOCs，排放的建設項目審批。本次環評在審批前已經完成VOCs的平衡總量指標。全面加強源頭替代審查環評文件應對主要原輔料的理化性質、特性等進行詳細分析，明確涉VOCs的主要原輔材料的類型、組分、含量等。使用涂料、油墨、膠粘劑、清洗劑等材料的，VOCs含量應滿足國家及省VOCs含量限值要求（附表），優先使用水性、粉末、高固體分、無溶劑、輻射固化等低VOCs含量、低反應活性材料，源頭控制VOCs產生。禁止審批生產和使用高VOCs含量的涂料、油墨、膠粘劑、清洗劑等建設項目。由于晶圓對清洗工藝要求高，目前半導體行業清洗劑基本以溶劑型為主，暫時未研發出可替代的水性清洗劑。企業在生產過程采用先進工藝和設備，實現設備、從源頭減少VOCs泄漏環節，可減少物料損耗，認真落實各項污染防治措施，減少污染物排放。《清洗劑揮發性有機化合物含量限值》（GB38508-2020）中明確：“本標準不適用于航空航天，核工業、軍工、半導體（含集成電路）制造用清洗集成電路）制造，故本項目使用的有機清洗劑不執行該標準。全面加強無組織排放控制審查涉VOCs無組織排放的建設項目，環評文件應嚴格按照《揮發性有機物無組織排放標準》等有關要求，重點加強對含VOCs物料儲存、轉移和輸送、設備與管線組件泄漏、敞開液面逸散以及工藝過程等5類排放源的VOCs管控評價，詳細描述采取的VOCs廢氣無組織控制措施，充分論證其可行性和可靠性，不得采用密閉收集、密閉儲存等簡單、籠統性文字進行描述。生產流程中涉及VOCs的生產環節和服務活動，在符合安全要求前提下，應按要求在密閉空間或者設備中進行。無法密閉的，應采取措施有效減少廢氣排放，并科學設計廢氣收集系統。采用全密閉集氣罩或密閉空間的，除行業有特殊要求外，應保持微負壓狀態，并根據規范合理設置通風量。采用局部集氣罩的，距集氣罩開口面最遠處的VOCs本項目涉及VOCs無組織排放，主要是工藝廢氣的未能收集部分及危廢庫內危險廢物的揮發。本次工藝廢氣產生點均采用微負壓方式收集，收集效率可達90以上%。56無組織排放位置，控制風速應不低于0.3米/秒。VOCs廢氣應遵循“應收盡收、分質收集”原則，收集效率應原則上不低于90%，由于技術可行性等因素確實達不到的應在環評文件中充分論述并確定收集效率要求。加強載有氣態、液態VOCs物料的設備與管線組件的管理，動靜密封點數量大于等于2000個的建設項目，環評文件中應明確要求按期開展“泄漏檢測與修復”（LDAR）工作，嚴格控制跑冒滴漏和無組織泄漏排放。符合符合全面加強末端治理水平審查涉VOCs有組織排放的建設項目，環評文件應強化含VOCs廢氣的處理效果評價，有行業要求的按相關規定執行。項目應按照規范和標準建設適宜、合理、高效的VOCs治理設施。單個排口VOCs（以非甲烷總烴計）初始排放速率大于1kg/h的，處理效率原則上應不低于90%，由于技術可行性等因素確實達不到的，應在環評文件中充分論述并確定處理效率要求。非水溶性的VOCs廢氣禁止采用單一的水或水溶液噴淋吸收處理。除惡臭異味治理外，不得采用低溫等離子、光催化、光氧化、生物法等低效處理技術。環評文件中應明確，VOCs治理設施不設置廢氣旁路，確因安全生產需要設置的，采取鉛封、在線監控等措施進行有效監管，并納入市生態環境局VOCs治理設施旁路清單。不鼓勵使用單一活性炭吸附處理工藝。采用活性炭吸附等吸附技術的項目，環評文件應明確要求制定吸附劑定期更換管理制度，明確安裝量（以千克計）以及更換周期，并做好臺賬記錄。吸附后產生的危險廢物，應按要求密閉存放，并委托有資質單位處置。鼓勵實施集中處置。各區（園區）應加強統籌規劃，對同類項目相對較為集中的區域（同一個街道或者毗鄰街道同類企業超過10家的鼓勵建設集中噴涂、溶劑集中回收、活性炭集中再生等VOCs廢氣集中處置中心，實現集中生產、集中管理、集中治污。本次環評已在措施章節分析了措施可行性論述。根據工程分析，本項目生產過程中產生的有機廢氣采用沸石轉輪+RTO工藝對有機廢氣進行處理，有機廢氣凈化效率可達90%。本項目危廢庫有機廢氣收集后與生產過程中產生的有機廢氣一起處理后排放，有機廢氣凈化效率≥95%。全面加強臺賬管理制度審查涉VOCs排放的建設項目，環評文件中應明確要求規范建立管理臺賬，記錄主要產品產量等基本生產信息；含VOCs原輔材料名稱及其VOCs含量（使用說明書、物質安全說明書MSDS等采購量、使用量、庫存量及廢棄量，回收方式及回收量等；VOCs治理設施的設計方案、合同、操作手冊、運維記錄及其二次污染物的處置記錄，生產和治污設施運行的關鍵參數，廢氣處理相關耗材環評報告中已明確要求企業做好VOCs管理臺賬，臺賬保存期限不少于三年。（吸收劑、吸附劑、催化劑、蓄熱體等）購買處置記錄；VOCs廢氣監測報告或在線監測數據記錄等，臺賬保存期限不少于三年。7嚴格項目建設期間污染防治措施審查在項目建設過程中涉及使用涂料、油漆、膠黏劑、油墨、清洗劑等含VOCs產品的，環評文件中應明確要求企業優先使用符合國家、省和本市要求的低（無）VOCs含量產品。同時，鼓勵企業積極響應政府污染預測預警，執行夏季臭氧污染錯時作業等要求。由于行業特殊性，半導體行業使用的溶劑型清洗劑暫時不可替代，企業將提高過程控制與末端治理力度，將污染影響降至最低程度。符合項目的建設與《關于進一步加強涉VOCs建設項目環評文件審批有關要求的通④《市政府辦公廳關于印發南京市“兩減六治三提升”13個專項行動實施方①與《關于進一步加強重金屬污染防控的意見》（環固體〔2022〕17號）），評和行業環境準入管控要求。因此，本項目的建設符合環固體〔2022〕17號要②《關于進一步加強涉及重金屬污染建設項目環評審批的通知》（蘇環辦華天科技是我國集成電路封測行業領軍企業，產業規模位列國內第二戶要求及行業技術標準和規范，為客戶提供專業的集成電路封裝測試服務。類、基板類、晶圓級等從低端到高端300億只/年的集成電路封測能力。公施等，建設具有國際領先水平的Bumping、WLCSP），根據《中華人民共和國環境保護法》（2015.1.1）《中華人民共和國環以及其他相關建設項目環境保護管理的規定，要求本項目進行環境影響評價。根據《建設項目環境影響評價分類管理名錄（2021年版）》（生態環術人員進行現場踏勘，同時根據項目的工程特征和項目建設區域的環境狀序號生產車間工程名稱產品名稱及規格設計能力年運行時數1生產廠房1Bumping生產線Bumping84萬片7920hWLCSP生產線WLCSP24萬片Bumping：當半導體集成電路芯片制程發展到40nm及以下時，傳統的WireBonding和FlipChip技術難以實現芯片與外部的連接，而Copper品主要應用領域為智能手機、筆記本、計算機、汽車電子、生物醫療、5G（6）封裝良品率：≥98.5%寸。WLCSP平臺最初用于大量的PMIC器件，但如今它的應用已經延伸至更多應用，如開關、天線調諧器、射頻收發器、濾波器、無線充電IC、部分CIS器件和NFC控制器等。產品主要應用領域為模擬混合信號、無線傳器芯片、陀螺儀傳感芯片、單元控制器等。產品技（5）封裝良品率≥99%產品鍍種電鍍錫銀Bumping面積1406m2922m21100m2754m2厚度50μm3μm25μm9μm建筑編號名稱層數占地面積建筑面積計容面積備注1生產廠房1319552.1069790.3989251.59本期2甲類倉庫1720720720本期3乙類倉庫35485本期4動力中心8100.6732479.632564.7本期5大宗氣體000本期6110kV變電站22227.653496.94本期7食堂4262413387.2113387.21本期9倒班樓161321.977959.947959.94本期倒班樓52/141829.2820263.3120263.31本期地下室-17592.00本期1本期1本期架空連廊4278本期架空連廊5278本期總計35643.02154771.1168150.69注：110kV變電站另行辦理環評，本環評不包含該內容。表2-4本項目主體工程及公輔工程一覽表建設名稱設計能力備注主體工程生產廠房119693.52m2，3F一層為非潔凈的生產支持區及潔凈Bumping生產車間；二、三層為非潔凈的生產支持區及潔凈WLCSP生產車間；生產支持區主要包含空調機房、變配電站、空壓站等。生產測試樓丁類二級廠房，占地面積2400m2（100m×24m），8F，建筑高度為31.95m用于辦公、測試甲類倉庫占地面積720m2，1F位于廠區西側，本期項目部分原輔料位于甲類倉庫乙類倉庫位于廠區西側，本期項目部分原輔料位于乙類倉庫危廢倉庫危廢倉庫240m2位于甲類倉庫；用于存放危廢公用給水系統2812208m3/a自來水由市政自來水管網供給排水系統生產廢水：1500563m3/a生活污水：45302m3/a廠區實施雨污分流、污污分流。生產廢水經廠內污水處理站預處理后，部分回用，剩余接管南京浦口經濟開發區工業廢水處理廠集中處理；食堂污水經隔油后，與其他生活污水一起經化糞池預處理后接管南京浦口經濟開發區污水處理廠集中處理。供電系統12441.60萬度/年電源引自浦口經濟開發區橋林園區變電站及廠內110kV變電站。循環冷卻系統4000m3/h×2、2800m3/h×2總循環水量13600m3/h，補水為自來水。工藝循環冷卻水：每棟廠房設置獨立的工藝循環冷卻水系統，總循環量1000m3/h，系統形式采用密閉式系統，板式換熱器換熱。常溫循環冷卻水：12600m3/h，該系統為冷凍機和空壓機提供32-38℃的常溫循環冷卻水系配套1000m3的循環水池。動力中心，丁類二級廠房，建筑高地下一層為生產和消防水泵房、廢水站、消防水池、生產水池；地上一層為純水站，二、三層為動力站，包含變配電室、冷機、氣體動力等，動力站屋面放置為工業型冷卻塔。壓縮空氣5臺，總設計能力為430Nm3/min采用水冷離心式空壓機，提供無油壓縮空氣?？諝饨涱A過濾器過濾，由空壓機壓縮后進入壓縮熱吸附式干燥器干燥后，再進過濾器過濾，經壓縮空氣緩沖罐供給各生產廠房。冷水機組在動力站二、三樓設置低溫冷水機（7℃)、中溫冷水機（14℃)及中溫熱回收機，供應各建筑空調及工藝使用。純水站設計制水能力200m3/h純水設備主要包括砂濾器、活性炭過濾器、一級RO反滲透機組、二級RO反滲透機組、度為23.3mEDI系統等。純水管路采用主管循環供回水系統。2臺100t/h純水機，純水制備得率0.75。本項目純水用量1569685t/a（198t/h）。真空系統24000m3/h工藝真空系統真空站設置在動力站三層。工藝真空真空度660mmHg。廠房真空站采用噴油螺桿式真空泵，采用n+1配置方式。供熱系統4.2MW×2臺，熱水鍋爐主要作為生產廠房初期回收熱源不足時補充熱源使用，當產能達50%回收熱源充足時，熱水鍋爐即停止僅當作緊急備援使用。大宗氣站制氮站3000Nm3/h×1臺采用空分制氮。提供氮氣，氮氣純度99.999%，制氮站配套液氮緩沖罐和液氮儲存罐。天然氣職工食堂采用天然氣，用量來自市政天然氣管道倒班樓1占地面積1321.97m2，6F建筑的二層～六層為主要的倒班樓層，并設置活動室、洗衣房等生活輔助用房。倒班樓5占地面積1829.28m2，2/14F建筑的二層～十四層為主要的倒班樓層，并設置活動室、洗衣房等生活輔助用房。食堂占地面積2624m2，6F/共設置2個門衛室，占地面積分別為15m2、180m2，1F/初期雨水池設置三座初期雨水池及配套收集管網，共計2339m31#初期雨水池位于食堂南側，容積574m3；2#初期雨水池位于生產測試樓東側，容積227m3；3#初期雨水池位于生產測試樓東側，容積1538m3環保廢氣處理①Bumping生產線電鍍銅、電鍍鎳、電鍍錫銀、電鍍金、銅刻蝕等工序產生的酸性廢氣通過酸堿廢氣處理系統（堿液噴淋，堿性洗滌塔2臺并聯）處理后通過30m高P1-1#排氣筒（位于生產廠房1樓頂）排放，共2臺風機，風機風量共140000m3/h；含氰廢氣經堿液噴淋處理后通過30m高P1-2#排氣筒（位于生產廠房1樓頂）有組織排放，風機風量為50000m3/h。②WLCSP生產線酸洗工序，Bumping生產線涂布、曝光、軟烤、硬烤、等離子去膠、光刻膠去除、焊料成球等工序產生的有機廢氣經收集后通過管道引至樓頂，利用有機廢氣處理系統（3套沸石并聯+1套RTO）處理后通過30m高P1-3#排氣筒（位于生產廠房1樓頂）排放，風機風量為60000m3/h×3；③WLCSP生產線回流焊工序產生錫及其化合物，Bumping生產線回流焊工序產生錫及其化合物和非甲烷總烴，與有機廢氣一起收集處理后排放（P1-3#排氣筒）④WLSCP生產線激光打印工序產生的含塵廢氣經收集后通過管道引至樓頂，經1套濾筒除塵處理后通過30m高P1-4#排氣筒（位于生產廠房1樓頂）排放，風機風量為20000m3/h；⑤鍋爐天然氣燃燒廢氣，天然氣屬于清潔能源，2臺鍋爐的天然氣燃燒廢氣通過1根27m高排氣筒排放（排氣筒編號為P1-5#煙氣量為5200m3/h；⑥RTO天然氣燃燒廢氣，通過P1-3#排氣筒排放；⑦污水處理站廢氣通過動力車間樓頂P1-6#排氣筒排放，高30m，風機風量150000m3/h；⑧食堂油煙經油煙凈化設備處理后排放，煙道排口高8m（編號為P1-7#），風量為22000m3/h；廢水處理①切割廢水進入切割廢水處理系統（設計處理能力為6000t/d）處理后部分回用于純水制備，其余的進入廠區綜合廢水調節系統（設計處理能力為3600t/d）處理達標后接管浦口經濟開發區工業廢水處理廠；②研磨廢水進入研磨廢水處理系統（設計處理能力為840t/d）處理后部分回用于純水制備，其余的進入廠區綜合廢水調節系統（設計處理能力為3600t/d）處理達標后接管浦口經濟開發區工業廢水處理廠；③一般、酸堿、有機廢水先進入一般、酸堿、有機廢水處理系統（設計處理能力為2222t/d）處理后進入廠區綜合廢水調節系統（設計處理能力為3600t/d）處理達標后接管浦口經濟開發區工業廢水處理廠；④純水站反沖洗水、廢氣洗滌塔水進入廠區綜合廢水調節系統（設計處理能力為3600t/d）處理后接管浦口經濟開發區工業廢水處理廠；⑤含鎳廢水先進入含鎳廢水處理系統（設計處理能力為480t/d）處理后車間達標排放接管至浦口經濟開發區工業廢水處理廠，含錫銀廢水進入含銀廢水處理系統（設計處理能力為480t/d）處理后車間達標排放接管至浦口經濟開發區工業廢水處理廠，含氰廢水進入含氰廢水處理系統（設計處理能力為240t/d）后與其他含重金屬廢水（含銅、鈦）進入其他重金屬廢水處理系統，這兩股廢水處理達標后進入一般、酸堿、有機廢水處理系統，再進入綜合廢水調節系統，最后接管至浦口經濟開發區工業廢水處理廠。⑤循環冷卻系統排水、純水制備棄水、鍋爐排水直接接管浦口經濟開發區工業廢水處理廠；⑥食堂廢水經隔油池預處理后與其他生活污水一起經化糞池預處理，一并接入市政污水管網，接管浦口經濟開發區污水處理廠集中處理。固廢處置生活垃圾垃圾桶若干，環衛清運固體廢物零排放一般工業480m2，位于廠區西南側甲類倉庫危險廢物240m2，位于廠區西南側甲類倉庫事故應急消防水池室外消防水箱一座，846m3，位于生產測試樓滿足應急需求應急事故池設置兩座應急池及配套收集管網，共計1500m3；位于動力站房負一層建設內容根據建設單位提供數據資料，本項目的主要原輔材料和能源消耗見表類別名稱規格組分年耗量單位全廠最大倉儲量包裝儲存方式包裝方式儲存地點來源及運輸原輔料WLCSP生產線24萬片1/室內/盒裝原料倉庫國內運輸5L/桶3%-6%醋酸0.32t0.045L/桶室內/桶裝乙類化學品庫國內運輸錫球/鐵、鋅、錫、銀、銅等2400瓶30061.11g/瓶室內/瓶裝原料倉庫國內運輸助焊劑/松香/樹脂60%-70%、芐醇30%-40%7.2kg0.9150g/支室內/瓶裝學品庫國內運輸助焊劑清洗液/95%乙二醇醚、5%水0.76t0.0919kg/桶室內/桶裝乙類化學品庫國內運輸研磨貼布230mm*100mmPVC，PET，PO，丙烯酸樹脂等400卷50230mm*50m/卷室內/卷原料倉庫國內運輸背面貼布230mm*50m330mm*50mPET，PO，丙烯酸樹脂200卷25230mm*50m/卷330mm*50m/卷室內/卷原料倉庫國內運輸UV膜/藍膜300mm*100m400mm*100mPVC，PET，PO，丙烯酸樹脂233卷29300mm*100m/卷400mm*100m/卷室內/卷原料倉庫國內運輸二氧化碳/液態二氧化碳t0.0615kg/瓶瓶裝乙類化學品庫國內運輸切割液KetecaDiamaflow388LB94%水，1.9%聚乙二醇、4.1%甲基環氧乙烯，與環氧乙烯的聚合物，單（辛基苯）醚等4000桶5001加侖/桶室內/桶裝乙類化學品庫國內運輸載帶依據芯片尺寸而定聚碳酸酯320萬米40AO=1.0BO=1.0室內/紙箱裝原料倉庫國內運輸Bumping萬1/室內/盒原料倉國內運生產線片裝庫輸異丙醇≥99.7%40t2000L20L/桶室內/桶裝學品倉國內運輸光刻膠HD41001-甲基-2-吡咯烷酮50-60%、芳香肟（1-10%）8t1kg/瓶室內/瓶裝乙類化學品庫國內運輸負膠顯影液KS5400環戊酮≥98%30t210kg/桶室內/桶裝學品庫國內運輸負膠漂洗液KS7200丙二醇甲醚醋酸酯＞98%550t210kg/桶室內/桶裝學品庫國內運輸鈦靶材Ti99.999%Ti99.999%28（0.95t）個1/室內/盒裝原料倉庫國內運輸銅靶材Cu99.999%Cu99.999%50（0.252t)個1/室內/盒裝原料倉庫國內運輸金靶材Cu99.999%Cu99.999%（0.05t）個1/室內/盒裝原料倉庫國內運輸光刻膠JSR151丙烯酸樹脂30%～45%、多官能丙烯酸酯15%～25%、光敏劑5%~15%、丙二醇甲醚醋酸酯30%~40%6t0.241加侖/瓶室內/瓶裝乙類化學品庫國內運輸邊膠清洗液GCTOK73異甲基醚丙二醇70%，乙酸丙二醇異甲基醚酯30%50t24kg/桶室內/桶裝乙類化學品庫國內運輸顯影液TMAH2.38%四甲基氫氧化銨2.38%、剩余量為水930t21加侖/瓶室內/瓶裝乙類化學品庫國內運輸電鍍銅陽極英寸（2cmCu99.999%、P0.001%610（7.936t)個/室內/盒裝原料倉庫國內運輸電鍍鎳陽極鎳陽極板，Ni99.999%（0.221t)個/室內/盒裝原料倉庫國內運輸電鍍錫陽極Sn陽極板，Sn99.999%,56（0.297t)個3/室內/盒裝原料倉庫國內運輸電鍍銅藥液MICROFABSC40MU硫酸銅20%—30%；硫酸10%—20%；聚二硫二丙烷磺酸鈉＜1%；脂肪胺聚氧乙烯醚＜1%15720kg20kg/桶室內/桶裝乙類化學品庫國內運輸電鍍銅添加劑MicrofabSCR1硫酸1-10%、水90-99%990kg404kg/桶室內/桶裝乙類化學品庫國內運輸電鍍銅添加劑MicrofabSCR22甲氧基1丙醇0.00001-0.0001%、水99%kg204kg/桶室內/桶裝乙類化學品庫國內運輸電鍍銅補充液MicrofabSCcoppersulfate硫酸銅20-30%、硫酸0-1%、水69%-80%15720kg50020kg/桶室內/桶裝乙類化學品庫國內運輸電鍍銅補充液濃硫酸濃硫酸（95％-98%)510kg400.5kg/桶室內/桶裝乙類化學品庫國內運輸電鍍鎳藥液MICROFABNi100氨基磺酸鎳20%—30%；硫酸鎳1%；硼酸5%—10%；十二烷基磺酸鈉＜1%；鹽酸＜1%；其余為水10200kg72020kg/桶室內/桶裝乙類化學品庫國內運輸電鍍錫銀IshiharaUTBTS-140base甲基磺酸錫10%、甲基磺酸銀0.05%、甲基磺酸10%、有機化合物6%、水79%7100kg40020kg/桶室內/桶裝乙類化學品庫國內運輸電鍍錫銀：錫離子添加劑IshiharaUTBTS-TIN15水50%12600kg15kg/桶室內/桶裝乙類化學品庫國內運輸電鍍錫銀：銀離子添加劑IshiharaUTBTS-Ag-S面活性劑25%、水72%kg5020kg/桶室內/桶裝乙類化學品庫國內運輸電鍍錫銀：銀離子穩定劑IshiharaUTBTS-SLG表面活性劑35%、水65%kg20kg/桶室內/桶裝乙類化學品庫國內運輸基磺酸添加劑IshiharaUTBTS-Acid甲基磺酸70%、水30%2090kg10kg/桶室內/桶裝乙類化學品庫國內運輸電鍍錫銀：平整機添加劑IshiharaUTBTS-140AD甲醇10％、表面活性劑10%、有機化合物5%、水75%650kg2010kg/桶室內/桶裝乙類化學品庫國內運輸電鍍錫銀：除泡劑IshiharaUTBAntifoamer甲醇（70g/l）、剩余量為水kg11kg/桶室內/桶裝學品庫國內運輸銅蝕刻液KS_6205剩余量為水76t0.910kg/桶室內/桶裝乙類化學品庫國內運輸鈦蝕刻液組成液KS_6506-A氫氧化鉀1%-10%、剩余量為水t0.34511.5kg/桶室內/桶裝乙類化學品庫國內運輸鈦蝕刻液組成液KS_6506-B雙氧水28%-34%、剩余量為水90t0.2528.4kg/桶室內/桶裝乙類化學品庫國內運輸去膠液CZ825酮類99%，1%四甲基氫氧化銨t20kg/桶室內/桶裝乙類化學品庫國內運輸99%t0.41加侖/瓶室內/瓶裝乙類化學品庫國內運輸電鍍金補充液Pur-A-Gold402MakeUp無機酸1-10%；二氰金酸鉀800L20L/桶室內/桶裝乙類化學品庫國內運輸電鍍金補充液Pur-A-Gold402MakeUp二氰金酸鉀60-70%；氰化鉀800L20L/桶室內/桶裝乙類化學品庫國內運輸電鍍金藥液Pur-A-GoldAcidAdjustingsalt有機酸80-100%kg5005kg/桶室內/桶裝乙類化學品庫國內運輸電鍍金藥液Pur-A-GoldBaseAdjustingsalt80-100%：有機鹽kg5005kg/桶室內/桶裝乙類化學品庫國內運輸金蝕刻液UE-350碘4%～10%；碘化鉀10%～25%；水63%～85%t0.510kg/桶室內/桶裝乙類化學品庫國內運輸/氮氣/氮氣2.59*107NM340L/瓶室內/瓶裝大宗氣站國內運輸/氬氣/氬氣4.75*104NM340L/瓶室內/瓶裝庫國內運輸注：本項目各原輔料使用量為企業根據華天其他廠區同類產品長期實際生產情況計算得出，可滿足本項目產能需求。表2-6主要原輔材料理化性質及毒理物料名稱分子式CAS號危規號理化性質燃燒爆炸性毒理性質C2H4O281601無色透明液體，有刺激性酸臭；分子量60.05；熔點16.7℃;沸點118.1℃;相對密度(水=1)1.05；相對蒸氣密度(空氣=1)2.07；飽和蒸汽壓爆炸極限4.0-17.0；溶于水、醚、甘油，不溶于二硫化碳。易燃，其蒸氣與空氣可形成爆炸性混合物，遇明火、高熱能引起燃燒爆炸。與鉻酸、過氧化鈉、硝酸或其他氧化劑接觸，有爆炸危險。LD50：3530mg/kg（大鼠經LC50：13791mg/m3，1小時（小鼠吸入）錫7440-31-5/灰綠色粉末。分子量118.69；熔點231.9℃;相對密度(水=1)7.31；不溶于水，溶于稀鹽酸、硫酸、硝酸。//松香//淡黃色透明及不透明顆?；驂K狀，有特殊樹脂的氣味。遇火種、高溫、氧化劑都有引起燃燒的危險。燃燒時放出有毒煙霧和蒸汽。/乙二醇醚C4H10O3110-80-5/無色液體，幾乎無氣味；分子量90.12；熔點-70℃;沸點135.1℃;相對密度(水=1)0.94；閃點43℃LD50：3460mg/kg（大鼠經氫氧化鈉NaOH1310-73-282001熔點(℃)：318.4，沸點(℃)：1390，飽和可致人體灼傷。LD50：無資料LC50：無資料溶解性：易溶于水、乙醇、甘油，不溶于丙酮。異丙醇C3H8O67-63-032064性狀：無色透明液體，有似乙醇和丙酮混合物的氣味。分子量：60.10。熔點(℃)：-88.5，沸點(℃)：80.3，飽和蒸汽壓：4.40(20℃)，相對密度（水=10.79，相對密度（空氣=12.07，溶解性：溶于水、醇、醚、苯、氯仿等多數有機溶劑。易燃，其蒸氣與空氣可形成爆炸性混合物，遇明火、高熱能引起燃燒爆炸。與氧化劑接觸猛烈反應。在火場中，受熱的容器有爆炸危險。閃點(℃)：12引燃溫度(℃)：399爆炸極限：2.0-12.7%LD50：5045mg/kg（大鼠經醇C4H10O2——無色透明液體，密度：0.922g/mL；相對蒸汽密-97；沸點(oC，常壓118；折射率（20oC1.4034；黏度（mPa·s,25oC）：1.75；閃點(oC，開口）：39；蒸發熱（KJ/mol）：40.6；比熱容（KJ/(kg·K),25oC，定壓）：2.56；蒸氣壓1.4017——對皮膚刺激不明顯，但中毒劑量可通過皮膚吸收。動物中毒后主要表現為抑制和不完全麻醉。大鼠暴露于40.18g/m3的蒸氣濃度中5~6小時，有半數死亡。丙二醇單甲醚醋酸酯C6H12O3108-65-6——性狀：無色吸濕液體，有特殊氣味；分子量：132.16熔點(℃)：-87沸點(℃)：146相對密度（水=1）：0.96溶解性：溶于水閃點(℃)：42爆炸極限：在空氣中，20°C時1.5%～7.0%（體積）——氫氧化鉀KOH1310-58-382002性狀：白色晶體，易潮解。分子量：56.11熔點(℃)：360.4沸點(℃)：1320飽和蒸汽壓：0.13(719℃)相對密度（水=1）：2.04溶解性：溶于水、乙醇，微溶于醚?？芍氯梭w灼傷。環氧樹脂——32197外觀與形狀：從無臭、無味、黃色透明液體到固體。熔點145～155℃,溶于丙酮、乙二醇、易燃，引燃溫度49℃（粉云）。遇明火、高熱能燃燒。受高熱分解放出有毒的氣體。粉體與空氣可形成爆炸性混合物，當達到一定濃度時遇火星會發生爆炸。LD50：11400mg/kg（大鼠經醇C5H12O2——無色透明體液體。熔點：-85℃,沸點：161℃,相對密度：0.971（20/20℃),溶于大部分有機溶劑，不溶于水。——無水碳酸鈉Na2CO3——性狀：白色粉末或細顆粒（無水純品），味澀。分子量：105.99熔點(℃)：851相對密度（水=1）：2.53溶解性：易溶于水，不溶于乙醇、乙醚等——LD50：4090mg/kg（大鼠經），LC50：2300mg/m3，2小時（大鼠吸入）鈦Ti7440-32-641504鈦為銀白色，粉末為深灰色或黑色并發亮，或溶于氫氟酸、硝酸、濃硫酸。金屬鈦粉塵具有爆炸性，遇熱、明火或發生化學反應會燃燒爆炸。其粉體化學活性很高，在空氣中能自也能在二氧化碳或氮氣中燃燒。高溫時易與鹵素、氧、硫、氮化合。——銅Cu——熔點1083℃;相對密度(水=1)8.92其粉體遇高溫、明火能燃燒——硫酸銅CuSO4·5H2O61519藍色三斜晶系結晶。熔點：200℃(無水物)，相對密度(水=1)：2.28。溶于水，溶于稀乙醇，不溶于無水乙醇、液氨。未有特殊的燃燒爆炸特性。受高熱分解產生有毒的硫化物煙氣。鼠經口33mg/kg（小鼠腹腔）硫酸H2SO481007純品為無色透明油狀液體，無臭。分子量98.08，0.13kPa(145.8℃)，相對密度(水=1)1.83。與水混纖維素等）接觸會發生劇烈反應，甚至引起燃燒。能與一些活性金屬粉末發生反應，放出氫氣。遇水大量放熱，可發生沸濺。具有強腐蝕中等毒性。LD5080mg/kg（大鼠經口LC50510mg/m3，22小時（小鼠吸入）過硫酸鈉Na2S2O851504性狀：白色晶狀粉末，無臭。分子量：238.13相對密度（水=1）：2.4溶解性：溶于水。嗅閾值惡臭物質）與有機物、還原劑、易燃物如硫、磷等接觸或混合時有引起燃燒爆炸的危險。急劇加熱時可發生爆硫酸鈀PdSO4·2H2O——紅棕色結晶粉末，溶于冷水中，在熱水中分解；沸點330℃.常溫常壓下穩定——氯化鈉NaCl——性狀：無色無味固體分子量：58.44熔點(℃)：801沸點(℃)：1461相對密度（水=1）：2.17相對密度（空氣=1）溶解性：溶于水如果是強氧化性物質、爆炸性物質需注明。LD50（鼠經口3000mg/kg次亞磷酸鈉NaH2PO2·H2O——無色單斜晶系結晶或有珍珠光澤的晶體或白色結晶性粉末。相對密度1.388，無臭，味咸。易溶于水、乙醇、甘油；微溶于氨、氨水；不溶于乙醚。遇強熱時會爆炸，與氯酸鉀或其他氧化劑相混合會爆炸。在常壓下，加熱蒸發次磷酸鈉溶液會發生爆炸，故蒸發應在減壓下進行?！蛩徭嘚iSO4.6H2O性狀：無色無味固體分子量：58.44熔點(℃)：801沸點(℃)：840飽和蒸汽壓：0.13kPa(145.8℃)相對密度（水=1）：2.07相對密度（空氣=1）：3.4————檸檬酸鉀C6H5K3O7.H2O——性狀：白色無味固體分子量：324.42熔點(℃)：230（分解）相對密度（水=1）：1.98——LD50相對密度（空氣=1）嗅閾值惡臭物質）銀Ag——灰白色金屬，屬立方晶系，富延展性；沸點：1950℃;熔點：960.5℃;相對密度：10.5；不溶于水、鹽酸和堿溶液。溶于硝酸、熱硫酸、氰化鉀、熔融的氫氧化鈉；————雙氧水H2O251001無色透明液體，有微弱氣味，熔點-2℃,沸點爆炸性強氧化劑。過氧化氫本身不燃，但能與可燃物反應放出大量熱量和氧氣而引起著火爆炸。過氧化氫在pH值為3.5～4.5時最穩定，在堿性溶液中極易分解，在遇強光，特別是短波射線照射時也能發生分解。當加熱到100℃以上時，開始急劇分解。——四甲基氫氧化銨C4H13NO——性狀：白色針狀結晶分子量：91.15沸點(℃)：110°C飽和蒸汽壓：17.5mmHg相對密度（水=1）：0.866——硅——密度：2328.3kg/m3;熔點：1687K（1414℃);沸點：3173K（2900℃);————烷酮C5H9NO——透明液體，類似苯胺氣味；沸點(℃)：202；熔點(℃)：-24；自燃溫度(℃)：346；閃點 (℃)：95；爆炸極限：1.3-9.5%；密度：1.03；能與水、醇、醚、酯、酮、鹵代烴、芳烴互溶。——LD50：5130mg/kg（小鼠經口）；8mg/kg（兔經皮）；3914mg/kg（小鼠經口）CH4O32058外觀與性狀：無色澄清液體，有刺激性氣味。熔點(℃)：-97.8；沸點(℃)：64.8，相對密度(水=1)：0.79；相對蒸氣密度(空氣=1)：1.11；飽和易燃，其蒸氣與空氣可形成爆炸性混合物，遇明火、高熱能引起燃燒爆炸。與氧化劑接觸發生化學反應LD50：5628mg/kg（大鼠經LC50：83776mg/m3，4小時蒸汽壓(kPa)：13.33(21.2℃)；燃燒熱(kJ/mol)：727.0；閃點(℃)：11；引燃溫度(℃)：385；爆炸上限%(V/V)：44.0；爆炸下限%(V/V)：5.5；溶于水，可混溶于醇、醚等多數有機溶劑。或引起燃燒。在火場中，受熱的容器有爆炸危險。其蒸氣比空氣重，能在較低處擴散到相當遠的地方，遇火源會著火回燃。（大鼠吸入）環戊酮C5H8O33590外觀與性狀：水白色液體，有醚樣的氣味。熔點(℃)：-58.2；沸點(℃)：130.6相對密度(水=1)：0.95；相對蒸氣密度(空氣=1)：2.3；閃點(℃)：26易燃，遇明火、高熱或與氧化劑接觸，有引起燃燒爆炸的危險。LD50：1950mg/kg（小鼠靜丙二醇單甲醚乙酸酯C6H12O3——無色透明液體；熔點(℃)：-87；沸點(℃)：爆炸極限：1.3-13.1——大鼠經口LD50：8532mg/kg；小鼠經腹腔LD50：750mg/kg；兔子經皮膚接觸LD50：5mg/kg丙烯酸樹脂————無色或有色流體，有特殊芳香味；熔點(℃):-47.9；沸點(℃)：139；相對密度(水=1)：0.86；相對蒸氣密度(空氣=1)：3.66；可與丙烯酸漆稀釋劑等混溶。爆炸極限：1.1-7.0%LD50：5000mg/kg（大鼠經丙二醇單甲醚乙酸酯C6H12O3——無色透明液體；熔點(℃)：-87；沸點(℃)：爆炸極限：1.3-13.1——大鼠經口LD50：8532mg/kg；小鼠經腹腔LD50兔子經皮膚接觸LD50：>5mg/kg鎳Ni42004銀白色堅硬金屬；熔點(℃)：1453；沸點(℃)：2732，相對密度(水=1)：8.9；飽和蒸汽壓(kPa)： 0.13(1810℃)；不溶于濃硝酸，溶于稀硝酸。其粉體化學活性較高，暴露在空氣中會發生氧化反應，甚至自燃。遇強酸反應，放出氫氣。粉塵可燃，能與空氣形成爆炸性混合物?！被撬徭嘚i(NH2SO3)2——綠色結晶粉末；沸點(℃)：≥100；相對密度(水=1)：1.4-1.6；易溶于水，液氨，乙醇，微溶于丙酮不燃，無特殊燃爆特性LD50：3160mg/kg（大鼠經硼酸H3BO3——熔點(℃)：185；沸點(℃)：300；相對密度：1.44；溶于水，乙醇、乙醚等?！被撬酘3NO3S81506性狀：白色結晶體，無臭無味。分子量：97.09熔點(℃)：205沸點(℃)：209相對密度（水=1）：2.13相對密度（空氣=1）：3.3溶解性：溶于水、液氨，不溶于乙醇、乙醚，微溶于甲醇。本品不燃，具腐蝕性、強刺激性，可致人體灼傷。LD50：3160mg/kg（大鼠經二甲基乙酰胺C4H9NO——性狀無色透明液體。分子量：87.12熔點(℃)：-20沸點(℃)：164閃點(℃)：66相對密度：0.937溶解性：能與水、醇、醚、酯、苯、三氯甲烷和芳香化合物等有機溶劑任意混合。爆炸下限（%,V/V,160oC2.0；爆炸上限（%,V/V,160oC）：11.5大鼠經口LD50為5680mg/kg。大鼠吸入LC50為2475ppm-1h甲基磺酸CH4O3S81626性狀：無色液體或固體。分子量：96.1熔點(℃)：20沸點(℃)：167飽和蒸汽壓：0.13相對密度（水=1）：1.48相對密度（空氣=1）：3.3閃點(℃)：>110——磷酸H3PO481501性狀：純磷酸為無色結晶，無臭，具有酸味。分子量：98.00熔點(℃)：42.4沸點(℃)：260飽和蒸汽壓：0.67相對密度（水=1）：1.87——LD50：1530mg/kg（大鼠經口）；2740mg/kg（兔經皮）相對密度（空氣=1）：3.38芐醇（苯甲醇）C7H8O——外觀與性狀：無色液體，有芳香味。熔點(℃)：-15.3相對密度（水=1）：1.04(25℃)沸點(℃)：205.7相對蒸氣密度（空氣=1）：3.72相對密度（水=1）：1.0419分子量：108.13飽和蒸汽壓（kPa）：0.13(58℃)溶解性：微溶于水，易溶于醇、醚、芳烴。閃點(℃)：100引燃溫度(℃)：436LD50：1230mg/kg（大鼠經）；甲基吡咯烷酮C5H9NO——透明液體有胺樣氣味；分子量：99.15熔點(℃)：-24沸點(℃)：202飽和蒸汽壓：68°F（20℃)相對密度（水=1）：1.03相對密度（空氣=1）：3.4爆炸極限：1.3-9.5%LD50：3914mg/kg（大鼠經）；LD50：5130mg/kg（小鼠經）；目標，必須移除表面的污染物并避免在制程前讓污染物重新殘余在晶圓表），揮發性有機化合物含量限值》（GB38508-2020）規定的水基、半水基清洗類型名稱規模型號設備數量（臺/套）備注生產WLCSP生產線自動貼BG膜機Lintec35103/AOI（檢驗儀）中科飛測1/研磨機Disco3/全自動硅厚測量AOM中科飛測1/自動撕膜機Lintec30102/AOI（檢驗儀）/1/背膠前清洗機/1/自動貼背膠膜機Lintec36002/AOI（檢驗儀）中科飛測1/背膠膜自動烤箱/3/Sorter（導片機）導片1/打標機EO1/打標后AOI中科飛測1/自動貼Dicing膜機Lintec25102/AOI（檢驗儀）中科飛測1/全自動隧道烤箱/1/激光切割機7161disco/激光開槽后檢驗ATM中科飛測1/切割機6362切割機67/AOI（檢驗儀）中科飛測3/UV機/2/全自動編帶機ASM/MIE5/Bumping生產線晶圓清洗機芯源6/導片機新創達5/烤箱真萍3/濺射機北方華創9/2D檢驗機中科飛測2/涂布機芯源/2D檢驗機中科飛測3/檢測機/儀中科飛測1/曝光機SMEE/顯影機芯源/全功能或CD檢驗機中科飛測4/2D檢驗機中科飛測4/烤箱真萍7/全功能或CD檢驗機中科飛測4/導片機新創達6/等離子清洗機北方華創/2D檢驗機中科飛測3/LAM/檢測機/儀中科飛測1/去膠機新陽硅密5/全功能或CD檢驗機中科飛測4/2D檢驗機中科飛測2/蝕刻機（刻銅）芯源6/蝕刻機（刻鈦）芯源/全功能或CD檢驗機中科飛測4/2D檢驗機中科飛測3/植球機上海微松5/補球機上海微松2/回流焊sikama2/晶圓清洗機芯源晶圓清洗機芯源2/測試機+探針臺opus5/QT71005/檢測機/儀中科飛測1/回流焊semigear3/全自動金屬測厚儀新創達1/X射線儀Dage3/晶圓清洗機芯源2/推拉力機XYZ3/檢測機/儀camtek/導片機新創達3/注：根據《中華人民共和國放射性污染防治法》《放射環境管理辦法》等文件要求，如涉及放射性設備需委托有資質的單位進行放射性污染環境影響評價，論證其環境可行性和污染防治對策。名稱條數設備名稱規模型號單條生產線數量（個）鍍銅、鎳、錫銀生產線3預濕槽400mm×600mm×100mm1電鍍銅槽700mm×650mm×300mm3水洗槽400mm×600mm×100mm2電鍍鎳槽700mm×650mm×300mm1水洗槽400mm×600mm×100mm2電鍍錫銀槽700mm×650mm×300mm1水洗槽400mm×600mm×100mm2鍍金生產線1預濕槽400mm×600mm×100mm1電鍍金槽700mm×650mm×300mm3水洗槽400mm×600mm×100mm2（2）項目位于浦口經濟開發區橋林園區東至丁香路、南至紫桐路、西的物料進行平衡分析。經篩選，本次評價擬對銅、鎳、錫、銀、CN-及非甲入方序號物料名稱用量元素含量純量產品/中間產品廢氣廢水（液）1銅靶材50個（0.252t）0.999990.2525.267/0.155.1862銅板610（7.936t）0.999997.9363補充劑9.4320.2562.415合計10.60310.603入方序號物料名稱用量元素含量純量產品/中間產品廢氣廢水1硫酸鎳0.1020.22140.0230.204/0.03230.54872氨基磺酸鎳3.060.17680.5413鎳陽極（0.221t）0.99990.221合計0.7850.785表2-11錫物料平衡（單位：t/a）入方序物料名用量元素含量純量廢氣元素含量純量廢氣廢水產品1錫球0.1470.99990.14720.710.3830.27220.710.3830.2720.3850.0240.00560.3014酸錫56個（0.297t56個（0.297t）0.99990.297合計0.7160.716入方序號物料名稱用量元素含量純量產品/中間產品廢氣廢水12電鍍錫銀（甲基磺酸銀）0.003550.5320.001890.01517/0.000040.00136銀離子添加劑（甲基磺酸銀）0.02760.5320.01468合計0.016570.01657入方序號物料名稱用量元素含量純量產品/中間產品廢氣廢水固廢（液）1二氰金酸鉀2.8770.683//0.3672二氰金酸鉀0.04110.6830.028合計本項目CN源于電鍍金補充液（二氰金酸鉀、氰化鉀），去向主要包入方序號物料名稱用量元素比例純量產品/中間產品廢氣廢水分解1二氰金酸鉀2.9180.18060.527/0.0230.00290.0681.10712氰化鉀0.4000.674合計去向主要包括廢氣及廢液；有機廢氣經RTO處理后有組織排放，廢液作為入方序號物料名稱用量元素比例純量有組織排放無組織排放1冰乙酸0.320.40.01283.1060.32829.779631.96482助焊劑0.00720.420.0033助焊劑清洗液0.760.950.7224切割液0.060.965異丙醇400.99739.886光刻膠80.655.27顯影液300.9829.48漂洗液5500.98539邊框清9洗液9洗液合計665.1778665.1778本項目勞動定員880人，配套員工倒班樓（含淋浴）及食堂，年運行），），），本項目循環冷卻系統總循環水量為13600m3/h（10771.2），），純水制備棄水直接接管市政污水管網進入南京浦口經濟開發區工業廢工藝流程和產排污環節垃圾和噪聲污染，其他污染物（如工人生活共同用作填土材料。填土施工時，將軟弱土層挖至天夯實是利用起重機械吊起特制的重錘來沖擊基土表面，使地基受到壓切、接長、彎曲等物理過程，然后進行鋼筋的綁扎，攪拌機料斗中依次加入砂、水泥、石子和水，裝料量為攪拌機幾何容積的1/2～1/3。拌制完后，根據澆注量、運輸距離選用運輸工具球狀的焊錫（錫球）焊至需要連接的地方，使用無鉛焊錫，焊接溫度約為觀檢查時只需要觸碰繃膜環便可，防止工作人員直接觸碰晶圓造成材料污將背面貼膜后的晶圓采用烤箱進行烘烤，烘烤溫度為150℃,熱源為電。此過程會產生烘烤廢氣G1-4。利用激光的高能量，將產品型號及客戶要求印字內容打印在塑封體表將貼膜后的晶圓采用烤箱進行烘烤，烘烤溫度為150℃,熱源為電。此過程會產生烘烤廢氣G1-6。表2-16WLCSP生產線主要污染工序及污染物一覽表類別污染物編號產生工序性質污染物廢水W1-1酸洗后水洗水洗廢水pH、COD、SSW1-2清洗后水洗水洗廢水COD、SSW1-3晶圓研磨研磨廢水COD、SSW1-4激光切割切割廢水COD、SSW1-5刀片切割切割廢水COD、SS廢氣G1-1酸洗有機廢氣揮發性有機物G1-2植球、回流焊焊接煙塵錫及其化合物G1-3焊接有機廢氣非甲烷總烴G1-4烘烤烘烤廢氣熱排氣G1-5激光打印打印粉塵顆粒物G1-6烘烤烘烤廢氣熱排氣噪聲N設備運行機械噪聲噪聲固廢S1-1酸洗酸洗廢液含廢酸（冰乙酸）S1-2植球、回流焊廢助焊劑樹脂S1-3清洗清洗廢液含助焊劑清洗液S1-4正面貼膜廢貼膜廢棄膠膜底材S1-5正面揭膜廢貼膜廢棄研磨貼布S1-6背面貼膜廢貼膜廢棄膠膜底材S1-7貼膜廢貼膜廢棄膠膜底材S1-8編帶廢載蓋帶廢載蓋帶S1-9外觀檢查不合格品不合格品本項目Bumping生產工藝主要是在晶圓的焊盤上形成凸點。其主要工藝為晶圓表面鈍化、濺鍍鈦/銅、電鍍銅、鎳以及錫銀、濺鍍鈦鎢/金、電鍍表2-17晶圓清洗產污環節及污染類別污染物編號產生工序性質污染物廢水W2-1-1水洗水洗廢水COD、SS廢氣烘烤烘烤廢氣熱排氣），高防護材料在后續過程