JJG729—19911二等標準動態相對法真空裝置檢定規程本規程適用于新制造、使用中和修理后的壓力范圍為10-5Pa~10-1Pa的二等標準動態相對法真空裝置(以下簡稱為裝置)的檢定。該裝置基于氣體連續性原理,給裝置注入一恒定量的氣體,當與泵速平衡、在校準室內形成均勻而穩定的動平衡壓力時,用標準真空計對被檢真空計進行檢定。1校準室結構應符合下述要求:1.1校準室總容積應大于其上處于工作狀態規管總容積的20倍。1.2校準室的形狀為球體或高度與內徑之比為1~3的圓柱體。1.3標準規管和被檢規管的安裝,對球狀校準室,應在球赤道位置;對圓柱體校準室,應在約1/2高度的同一水平面位置。1.4校準室上連接被檢規管過渡管道的流導值,不應小于被檢規管本身支管流導值的10倍。1.5校準室內的有效抽速,不應小于所有規管總抽速的50倍。1.6為獲得動平衡壓力所注入的氣體,最少與校準室內壁碰撞一次后方能進入規管所在位置。2裝置的本底壓力,不應大于裝置校準壓力下限值的2%。31min內壓力穩定度不大于1%。4裝置標準真空計的示值誤差,不大于±10%。(一)環境條件5環境溫度為(23±5)℃,檢定時室溫變化不大于±1℃。6相對濕度不大于80%。7室內不應有明顯的氣流。8裝置附近不應有強電、磁場。(二)檢定用設備9工作用超高真空計1臺。10數字電壓表(0~200V,4位半)1臺。JJG729—19912(三)校準用氣體使用純度不低于99.9%的氮氣。四檢定項目和檢定方法11校準室結構的檢定,采用幾何尺寸計算和審核結構設計合理性的方法,檢查是否符合第1條的要求。12本底壓力的檢定,是在校準室上接1支超高真空規管,對裝置的校準室(包括上面所有的規管)經過必要的烘烤去氣后,在所有規管同時處于正常工作狀態下,用超高真空計測得裝置的本底壓力,應滿足第2條的要求。13壓力穩定度的檢定,是用帶有數顯讀數的標準真空計進行測試。當裝置達到本底壓力和標準真空計處于正常工作狀態后,將裝置分別調節于校準壓力的下限值、上限值和中間值附近,在三個壓力點上分別測出它們的穩定度。每調到一個壓力點,當裝置內壓力基本穩定后(時間不少于5min),由1min內標準真空計的示值變化,反映裝置壓力的穩定度。穩定度δ值由下式進行計算:δ=p最大值(或p起始值×100%每個壓力點的δ值,均應滿足第3條的要求。δ的數值中,應扣除標準真空計自身的變化量。對于指針式的標準真空計,在測試壓力穩定度時,應將真空計的讀數輸出量轉化成電壓值,用外接數字電壓表進行穩定性檢定。14裝置的標準真空計應具有檢定合格證書。五檢定結果處理和檢定周期15經檢定合格的裝置發給檢定證書;檢定不合格的裝置發給檢定結果通知書。16裝置的檢定周期為5年。3附錄1檢定結果記錄格式檢定結果環境溫度:℃檢定氣樣:1校準室結構:2本底壓力:Pa3壓力穩定度:%4壓力校準范圍:Pa5示值誤差:%6標準真空計a名稱:b檢定證書號:c控制單