場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡參數(shù)：工作條件：1.1電源:230V（-6%/+10%）/50Hz（+1%）1.2主機(jī)功耗：＜3.0kVA1.3運(yùn)行環(huán)境溫度：17-23C1.4運(yùn)行環(huán)境：相對(duì)濕度＜80%（無(wú)冷凝）1.5殘余交流磁場(chǎng)＜100nT（非同步頻率）；＜300nT（同步頻率）1.6噪音：＜60dBC1.7干燥無(wú)油壓縮空氣4-6bar1.8儀器運(yùn)行的持久性：可連續(xù)運(yùn)行設(shè)備用途：2.1高分辨掃描電子顯微分析系統(tǒng)主要用于納米材料的超高分辨微觀形貌觀察和微區(qū)分析。獨(dú)特的雙物鏡設(shè)計(jì)以及低電壓成像技術(shù)，對(duì)導(dǎo)電性不好的樣品等適用性更強(qiáng)。具有低真空功能，對(duì)不導(dǎo)電樣品進(jìn)行更全面的分析。技術(shù)規(guī)格3.1電子光學(xué)系統(tǒng)3.1.1分辨率：二次電子（SE）像*3.1.1.1高真空模式：15kV時(shí)優(yōu)于1.0nm；1kV時(shí)優(yōu)于1.4nm（非減速模式）*3.1.1.2低真空模式：30kV時(shí)優(yōu)于1.5nm*3.1.2背散射（BSE）像:100V時(shí)優(yōu)于3.5nm3.1.3放大倍率范圍：1?1,000,000倍（根據(jù)加速電壓和工作距離的改變，放大倍數(shù)自動(dòng)校準(zhǔn)）3.1.4著陸電壓：50V至30kV3.1.5電子槍：高穩(wěn)定度Schottky肖特基場(chǎng)發(fā)射電子槍*3.1.6電子束流：0.6pA?200nA,連續(xù)可調(diào)，既保證對(duì)高分子納米材料高分辨成像所需的低速流，也要保證EDS和EBSD分析所需的高束流高效率。3.1.7束流穩(wěn)定性：每10小時(shí)＜0.4%*3.1.8具有雙物鏡系統(tǒng)（電磁透鏡和靜電透鏡），保證對(duì)納米材料、不導(dǎo)電有機(jī)無(wú)機(jī)材料、合金、磁性材料的全方位分析*3.1.9物鏡光闌：物鏡光欄應(yīng)能自加熱自清潔；無(wú)需拆卸鏡筒即可更換物鏡光闌。至少6孔光闌設(shè)計(jì)3.1.10電子束位移范圍：不小于±110um3.2樣品室和樣品臺(tái)3.2.1樣品室尺寸：不小于360mmX360mm*3.2.2抽屜式大開(kāi)門結(jié)構(gòu)，樣品臺(tái)安裝在倉(cāng)門上，全方位觀察，方便取放樣品，防止碰撞3.2.3樣品臺(tái)：五軸運(yùn)動(dòng)全對(duì)中樣品臺(tái)，有效移動(dòng)范圍：X/Y在110mm,Z沱25mm,T=-10°to+70°,R=360°連續(xù)旋轉(zhuǎn)3.2.4樣品臺(tái)最大承重量不小于2.0kg3.2.5最大樣品高度不小于65mm，分析工作距離不小于5mm3.2.6重復(fù)精度：2um（X/Y方向），步進(jìn)進(jìn)度優(yōu)于100nm3.2.7至少15個(gè)探測(cè)器/附件接口（所有端口程序均免費(fèi)開(kāi)放，可安裝能譜、波譜、EBSD、CL、STEM探頭、紅外探頭、拉曼等），方便后期升級(jí)*3.3探測(cè)器：3.3.1電子探頭：樣品室二次電子檢測(cè)器極靴內(nèi)二次電子探測(cè)器極靴內(nèi)背散射電子探測(cè)器低真空二次電子探測(cè)器3.3.2樣品室鏡頭安裝背散射電子探測(cè)器3.3.3樣品室IR-CCD相機(jī)3.3.4樣品室光學(xué)顯微鏡導(dǎo)航相機(jī)探頭3.4真空系統(tǒng)*3.4.1完全無(wú)油真空系統(tǒng)（標(biāo)配高真空模式和低真空模式，要求有驗(yàn)收指標(biāo)）3.4.2一個(gè)220L/S的渦旋干泵和一個(gè)分子泵3.4.3兩個(gè)離子泵*3.4.4穿過(guò)透鏡的壓差真空系統(tǒng)（列出原理），保證真空條件下避免對(duì)系統(tǒng)的污染。3.4.5樣品室真空度：高真空模式優(yōu)于6X10-4Pa，低真空模式優(yōu)于＜200Pa3.4.6抽真空時(shí)間：＜210秒3.5數(shù)字圖像處理系統(tǒng)*3.5.1圖像掃描：100%數(shù)字化掃描，最大掃描和成像6144x4096像素*3.5.2電子束駐留時(shí)間：0.050-25,0003/像素3.5.3圖像顯示：1920X1200像素，24”LCD顯示器顯示，能顯示和處理圖像*3.5.4配置的探測(cè)器信號(hào)放大器通道不少于4個(gè)，既能實(shí)現(xiàn)同一個(gè)顯示屏上單個(gè)活動(dòng)窗口全屏顯示某一探測(cè)器的圖像信號(hào)，又能在同一顯示屏上多個(gè)活動(dòng)窗口（最多不少于4個(gè)窗口）同時(shí)并列顯示不同探測(cè)器的圖像信號(hào)，圖像信號(hào)可相互實(shí)時(shí)切換，互不干擾3.5.5圖像記錄：TIFF（8位，16位或24位），BMP或JPEG可選3.5.6智能掃描軟件，具有：至少256幅的平均或積分，線積分或平均，隔行掃描，漂移補(bǔ)償幅積分，偽彩色功能，實(shí)時(shí)存儲(chǔ)圖像，圖像處理反像,Gamma，平滑，銳化，增強(qiáng)等），圖像旋轉(zhuǎn)，電子束屏蔽（Beamblank）3.6控制和數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)3.6.1電鏡控制器，最低配置要求：國(guó)際主流品牌計(jì)算機(jī)工作站，IntelXeon四核3.0GHz以上CPU；DDRIII16.0GB內(nèi)存;1000GB硬盤(pán)；1G獨(dú)立專業(yè)圖像顯卡;DVD刻錄機(jī);一臺(tái)1920X1200分辨率的24”LCD曰二取顯示器Windows7的64位圖形操作系統(tǒng)3.6.3操作方式：鍵盤(pán)、鼠標(biāo)3.6.4可自動(dòng)調(diào)節(jié)：電子槍對(duì)中、自動(dòng)亮度對(duì)比度、自動(dòng)聚焦、自動(dòng)聚焦消像散、自動(dòng)電子束設(shè)定、自動(dòng)合軸、真空控制、動(dòng)態(tài)聚焦、旋轉(zhuǎn)補(bǔ)償、傾斜補(bǔ)償?shù)?.6.5建立數(shù)據(jù)讀取網(wǎng)絡(luò)。（電鏡控制電腦+數(shù)據(jù)讀取電腦）3.6.6操作臺(tái)：原裝進(jìn)口實(shí)驗(yàn)臺(tái)。3.7應(yīng)用軟件3.7.1應(yīng)具有樣品臺(tái)圖像導(dǎo)航功能3.7.2應(yīng)具有雙擊鼠標(biāo)移動(dòng)樣品功能3.7.3應(yīng)具有鼠標(biāo)拖曳式放大及對(duì)中功能3.7.4應(yīng)具有圖像拼接功能，保證超大視野的圖像3.7.5應(yīng)具備操作導(dǎo)航功能，自動(dòng)引導(dǎo)用戶完成高分辨觀察、分析等操作3.7.6應(yīng)具備數(shù)據(jù)顯示（加速電壓、放大倍數(shù)、微標(biāo)尺、工作距離、日期、時(shí)間、真空度、探頭種類）3.7.7應(yīng)具備標(biāo)注功能（圖形類（圈、矩形、箭頭、測(cè)量線）、文字等）3.7.8應(yīng)具有測(cè)量功能，能測(cè)量試件的長(zhǎng)寬高、直徑、周長(zhǎng)、面積等3.7.9應(yīng)提供內(nèi)嵌式的實(shí)時(shí)幫助文件，保證操作者的使用直觀便捷化。*3.8冷卻循環(huán)單元3.8.1采用比空氣冷卻更高效、更精準(zhǔn)控制的水冷內(nèi)循環(huán)系統(tǒng)，分別用于冷卻掃描電鏡鏡筒及其它部件，高效散熱，保證長(zhǎng)期使用電壓要求：200-230VAC,50/60Hz3.8.3溫度調(diào)節(jié)控制范圍：+5C?+40C3.8.4控溫精度：土0.1C3.8.5容量：不小于5L3.8.6配有進(jìn)口空壓機(jī)一套3.9附件3.9.1UPS穩(wěn)壓電源：1套，國(guó)際品牌TimesTop,不低于10kVA3.9.2電子干燥柜：1臺(tái)，上下雙門，容積不低于240L，全自動(dòng)電子除濕，無(wú)塵，無(wú)滴水，無(wú)噪音3.9.3無(wú)人基站用直流變頻空調(diào)：1臺(tái)，不低于3P，具有除濕功能，且遇停電再恢復(fù)供電后能夠自動(dòng)恢復(fù)運(yùn)轉(zhuǎn)狀態(tài)；制冷容量不低于7.2kW，制熱容量不低于8.0kW3.9.4冷暖兩用空調(diào)：知名品牌，1臺(tái)，掛機(jī)，1.5P3.9.5超聲波清洗器：2臺(tái)，容量為6L；超聲功率為150W，頻率40kHz；溫控范圍0?80°C，加熱功率200W；外殼采用優(yōu)質(zhì)不銹鋼板；1~20分鐘內(nèi)任意設(shè)定超聲時(shí)間3.9.6計(jì)算機(jī)：1套，國(guó)際品牌，配置不低于：I52.8GHz處理器，4GB內(nèi)存，1TB硬盤(pán)，獨(dú)立顯卡，DVD刻錄機(jī)，22英寸液晶顯示器，光電鼠標(biāo)，黑白激光打印機(jī)，滿足\4、B5紙張尺寸打?。籛indows7或以上正版；電腦桌、椅1套。*3.10儀器室配套設(shè)施：保證儀器室磁場(chǎng)、震動(dòng)、噪音等滿足安裝要求。4.產(chǎn)品配置要求4.1主機(jī)系統(tǒng)一套4.2電鏡控制計(jì)算機(jī)一套4.3電鏡用24寸液晶顯示器一臺(tái)4.4樣品室二次電子探測(cè)器一個(gè)4.5極靴內(nèi)二次電子探測(cè)器一個(gè)4.6極靴內(nèi)背散射電子探測(cè)器一個(gè)4.7低真空二次電子探測(cè)器一個(gè)4.8樣品室角度選擇背散射電子探測(cè)器一個(gè)4.9樣品室紅外CCD相機(jī)一個(gè)4.104.11樣品室光學(xué)顯微鏡導(dǎo)航相機(jī)探頭隨機(jī)進(jìn)口空壓機(jī)一個(gè)一臺(tái)4.12冷卻循環(huán)單元（內(nèi)循環(huán)）一臺(tái)4.13導(dǎo)電碳膠帶三卷4.14導(dǎo)電銀漿一瓶4.15Win764位正版操作系統(tǒng)一套4.16MSOffice正版系統(tǒng)一套4.17備用場(chǎng)發(fā)射電子源一套4.18備用鉬制物鏡光闌一套4.19進(jìn)口高分辨測(cè)試標(biāo)準(zhǔn)樣品一個(gè)4.20附件一批需要附件包括：不間斷電源、電子干燥柜、無(wú)人基站用直流變頻空調(diào)、冷暖兩用空調(diào)、計(jì)算機(jī)，以上附件各一套、超聲波清洗器2臺(tái)。4.21其它必備備品備件 一套需要備件、特殊工具和消耗品包括：專用工具、物鏡光闌、整套密封圈、整套保險(xiǎn)絲、閃爍體、真空