人人文庫專用

中華人民共和國國家標準

大宗氣體純化及輸送系統工程

技術規范

TechnicalCodeforbulkgas

purificationanddeliverysystemengineering

GB50724-2011

主編部門：中華人民共和國工業和信息化部

批準部門：中華人民共和國住房和城鄉建設部

施行日期：2012年8月1日

人人文庫專用

中國計劃出版社

2012北京

書

中華人民共和國國家標準

大宗氣體純化及輸送系統工程

技術規范

GB50724-2011

☆

中國計劃出版社出版

（地址：北京市西城區木樨地北里甲11號國宏大廈C座4層）

（郵政編碼：100038電話：6390643363906381）

新華書店北京發行所發行

人人文庫專用北京世知印務有限公司印刷

850×1168毫米1/322.75印張67千字

2012年2月第1版2012年2月第1次印刷

印數1—4000冊

☆

統一書號：1580177·761

定價：17.00元

中華人民共和國住房和城鄉建設部公告

第1111號

關于發布國家標準

《大宗氣體純化及輸送系統工程技術規范》的公告

現批準《大宗氣體純化及輸送系統工程技術規范》為國家標

準，編號為GB50724—2011，自2012年8月1日起實施。其中，第

3.0.3、3.0.4、5.0.5、6.2.2、6.2.3、6.2.5（1、2）、6.4.1、6.4.2、

6.4.3、7.0.1、7.0.3、7.0.4、7.0.6、8.0.1、8.0.4、10.0.3、10.0.5

（1、3）、10.0.8、10.0.10、11.3.7（9、10）條（款）為強制性條文，必

須嚴格執行。

本規范由我部標準定額研究所組織中國計劃出版社出版

發行。

中華人民共和國住房和城鄉建設部

人人文庫專用二○一一年七月二十九日

前言

本規范是根據原建設部《關于印發〈2006年工程建設標準規

范制定、修訂計劃（第二批）〉的通知》（建標〔2006〕136號）的要

求，由信息產業電子第十一設計研究院科技工程股份有限公司、中

國電子系統工程第四建設有限公司會同有關單位共同編制而成。

本規范在編制過程中，編寫組結合我國電子信息產品制造業

等工廠大宗氣體純化站及輸送系統設計、施工、安裝、運行的實際

情況，進行了大量的調研，對國內外相關規范、產品進行了深入研

討，先后完成了初稿、征求意見稿、送審稿、報批稿的編寫，并以多

種方式廣泛征求了國內各設計院、工程公司、生產廠商和使用單位

的意見，并反復討論、修改，最后經審查定稿。

本規范共分11章和3個附錄，主要內容包括：總則、術語、站

房布置、工藝系統、設備選擇、高純氣體輸送系統、建筑結構、采暖

通風與空氣調節、給水排水及消防、電氣及儀表控制、施工及驗

收等。

本規范中以黑體字標志的條文為強制性條文，必須嚴格執行。

本規范由住房和城鄉建設部負責管理和對強制性條文的解

釋，由工業和信息化部人人文庫專用負責日常管理，由信息產業電子第十一設計

研究院科技工程股份有限公司負責具體技術內容的解釋。在本規

范執行過程中，請各有關單位結合工程實踐，認真總結和積累經

驗，如發現需要修改或補充之處，請將意見和建議寄至信息產業電

子第十一設計研究院科技工程股份有限公司（地址：四川省成都

市新華大道雙林路251號，郵政編碼：610021;傳真：028-

84333172），以供今后修訂時參考。

·1·

本規范主編單位、參編單位、參加單位、主要起草人和主要審

查人：

主編單位：信息產業電子第十一設計研究院科技工程股份

有限公司

中國電子系統工程第四建設有限公司

參編單位：中國電子工程設計院

上海正帆科技技術有限公司

成都愛德工程有限公司

上海電子工程設計研究院有限公司

參加單位：上海兄弟微電子技術有限公司

液化空氣（中國）投資有限公司

主要起草人：張家紅劉序忠萬銅良馮衛中申云江

薛長立李東升杜寶強李驥艾生珍

崔永祥范雙懷王鵬亮王世成陳平

王金樹劉采峰

主要審查人：陳霖新王宗存侯文川周禮譽王開源

劉俊超陳奕弢張國興楊湧源王天龍

陳艷程

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·2·

目次

1總則…………………（1）

2術語…………………（2）

3站房布置…………………（5）

4工藝系統…………………（7）

5設備選擇…………………（9）

6高純氣體輸送系統………（11）

6.1一般規定………………（11）

6.2管道設計………………（11）

6.3管材及附件……………（12）

6.4安全及標志……………（13）

7建筑結構…………………（14）

8采暖通風與空氣調節……（15）

9給水排水及消防…………（16）

10電氣及儀表控制…………（17）

11施工及驗收………………（19）

11.1一般人人文庫專用規定………………（19）

11.2氣體純化站的施工……（20）

11.3高純氣體輸送系統的施工………………（21）

11.4改、擴建工程的施工……（25）

11.5工程驗收………………（25）

附錄A高純氣體用BA、EP不銹鋼管道技術要求………（30）

附錄B高純氣體管道氦檢漏方法…………（33）

·1·

附錄C施工驗收測試記錄表………………（34）

本規范用詞說明………………（40）

引用標準名錄…………………（41）

附：條文說明…………………（43）

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·2·

Contents

1Generalprovisions…………（1）

2Terms………（2）

3Purificationstationlayout…………………（5）

4Processsystem……………（7）

5Equipmentselection………（9）

6Deliverysystemofhighpuritygas…………（11）

6.1Generalrequirement………（11）

6.2Pipingdesign……………（11）

6.3Pipingmaterialsandaccessories……………（12）

6.4Safetyandidentification…………………（13）

7Architectureandstructure…………………（14）

8Heating，rentilationandairconditioning…（15）

9Watersupplyanddrainageandfirefighting………………（16）

10Electricalandinstrumentcontrols………（17）

11Constructionandacceptance……………（19）

11.1General人人文庫專用requirement……（19）

11.2Constructionofpurificationstation………（20）

11.3Constructionofdeliverysystemofhighpuritygases…………（21）

11.4Constructionofreconstructionandextensionworks…………（25）

11.5Acceptanceofworks……（25）

AppendixATechnicalspecificationforBA、EPpipe………（30）

AppendixBDetectionmethodofheliumleakagein

·3·

highpuritygaspipes……………（33）

AppendixCRecordsheetsofsystemtestand

acceptance………（34）

Explanationofwordinginthiscode…………（40）

Listofquotedstandards………（41）

Addition：Explanationofprovisions……………（43）

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·4·

1總則

1.0.1為了適應電子工業大宗氣體純化及輸送系統的設計、施工

及驗收，正確貫徹國家工程建設的方針政策，確保安全、節約能源、

保護環境、滿足產品生產要求，制定本規范。

1.0.2本規范適用于電子工業新建、改建和擴建工程的電子工業

大宗氣體純化及輸送系統的設計、施工及驗收。

1.0.3大宗氣體純化及輸送系統的設計、施工及驗收應做到技術

先進、經濟合理、安全可靠、操作、維修方便。

1.0.4大宗氣體純化及輸送系統的設計、施工及驗收除應符合本

規范外，尚應符合國家現行有關標準的規定。

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·1·

2術語

2.0.1大宗氣體bulkgas

電子工業中使用的氮氣、氫氣、氧氣、氬氣、氦氣的統稱。

2.0.2氣體純化站gaspurificationstation

設有大宗氣體純化裝置、氣體過濾器及其輸送管道和輔助設

施的建筑物、構筑物或房間的總稱。

2.0.3高純氣體（超高純氣體）輸送系統（ultra）highpurity

gasdeliverysystems

從大宗氣體純化裝置至高純氣體（超高純氣體）使用點的輸

送系統。

2.0.4制氣站bulkgasgenerationplant

采用相關的制氣工藝制取氣體所需的制氣設施、壓縮儲存設

施、灌充設施、輔助設施及其建筑物、構筑物的總稱。

2.0.5供氣站bulkgassupplystation

不含氣體制取設施，以瓶裝或管道供應大宗氣體的建筑物、構

筑物、儲氣罐或場所的統稱。

2.0.6儲氣罐gasstoragetank

用于儲存氣體的定壓變容積或變壓定容積的容器的總稱。

2.0.7明火人人文庫專用地點openflamesite

室內外有外露火焰或赤熱表面的固定地點。

2.0.8氣瓶集裝格thebundleofgascylinders

由專用框架固定，采用集氣管將多只氣體鋼瓶接口并聯組合

的氣體鋼瓶組單元。

2.0.9實瓶fullcylinder

具有一定灌充壓力的氣瓶，水容積為40L、設計壓力為

·2·

12.0MPa～20.0MPa的氣體鋼瓶。

2.0.10空瓶emptycylinder

無內壓或留有殘余壓力的氣體鋼瓶。

2.0.11氣體純度gaspurity

指氣體主成分的量占氣體總量的比例。

2.0.12普通氣generalgas

氣體純度低于99.99％的氣體。

2.0.13高純氣體highpuritygas

指采用提純技術達到規定等級純度的氣體。通常指純度為

99.99％～99.9999％、有害雜質含量小于或等于1×10-5的氣體。

2.0.14超高純氣體ultrahighpuritygas

指采用提純技術達到的高等級純度的氣體。通常指純度等于

或高于99.9999％和有害雜質總含量小于或等于1×10-6的

氣體。

2.0.15拋光polishing

為了控制儲存和輸送高純氣體的鋼瓶和管線內壁的表面粗糙

度，使其不吸附氣體、無雜質脫落而進行的拋光處理。

2.0.16壓縮氣體compressedgas

指在20℃下，絕對壓力超過101.325kPa的任何一種或多種

氣體混合物。

2.0.17氣體過濾器gasfilter

以碰撞、擴散或截獲機理將氣體中固體粒子去除的裝置。

2.0.18氣體純化人人文庫專用器gaspurifier

為提高大宗氣體純度，脫除氣體中有害雜質的裝置。

2.0.19氦質譜檢漏儀heliummassspectrometerleakdetector

以氦氣為檢測氣體，對設備、管道進行檢漏的質譜儀。

2.0.20AP管annealedandpickledpipe

真空脫碳制造并經酸洗或鈍化的不銹鋼管。

2.0.21BA管brightannealedpipe

·3·

在氫氣保護氣或真空狀態下經高溫熱處理的光亮退火不銹

鋼管。

2.0.22EP管electro-polishedpipe

經電化學拋光，使表層實際面積得到最大程度的減少，表面具

有細密富含氧化鉻氧化膜的不銹鋼管。

2.0.23VCR連接Connectionofvacuumcouplingradiusseal

密封元件采用金屬墊片的金屬面密封接頭進行的管道連接。

2.0.24卡套連接Connectionoflet-lok

通過本體、母套頭、金屬箍套圈進行的連接形式。

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·4·

3站房布置

3.0.1大宗氣體純化站的設置應符合下列規定：

1純化站設置在制氣站、供氣站內時，宜與功能特性相近的

裝置或房間鄰近布置。

2純化站與用氣車間毗連布置時，應在建筑物的首層靠外墻

或端部布置。

3氫氣純化站宜與采用氫氣活化的惰性氣體純化站合建。

4氧氣純化站宜與非氫氣活化的惰性氣體純化站合建。

5當用氣車間設有大宗氣體入口室時，氣體純化站宜與氣體

入口室合建。

6站房內宜留有適當的擴展余地。

3.0.2設置在制氣站、供氣站內的氣體純化站，除應符合本規范

的規定外，還應符合現行國家標準《氫氣站設計規范》GB50177

和《氧氣站設計規范》GB50030的有關規定。

3.0.3氫氣純化站與用氣車間毗連布置時，應符合下列規定：

1氫氣純化站不得設置在人員密集場所和重要部門的鄰近

位置，以及主要通道、疏散口的兩側。

2氫氣純化站不得與相鄰房間直接相通，且與氫氣純化站毗

連的廠房耐火等級人人文庫專用不應低于二級。

3.0.4氫氣純化站的電氣控制室、儀表控制室應布置在與純化設

備相鄰的房間，并應采用耐火極限不低于3.00h的不燃燒體隔墻

分隔。

3.0.5氣體純化站內的設備布置應符合下列規定：

1氣體純化設備之間的凈距不宜小于1.2m;設備與墻壁之

間的凈距不宜小于1.0m，并不宜小于更換純化材料或抽出零部件

·5·

的長度再加0.5m。

2氣體純化設備與其附屬設備之間的凈距可比本條第1款

的規定縮小0.15m～0.30m。

3氣體純化設備雙排布置時，兩排之間的凈距不宜小于

1.5m。

3.0.6有爆炸危險房間的安全出入口不得少于2個，其中1個應

直通室外;但建筑面積不超過100m2時，可只設1個直通室外的出

入口。

3.0.7氣體純化站內，當設備檢修或更換純化材料需要吊裝時，

宜設起吊設施。

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·6·

4工藝系統

4.0.1氣體純化站原料氣的選擇應綜合下列因素確定：

1高純氣體耗氣量和氣體品質要求。

2氣體純化器對原料氣體純度與其雜質含量的要求。

3根據現場制氣或外購氣源的氣體品質參數經技術經濟分

析確定。

4.0.2氣體純化系統的設置應綜合下列因素確定：

1原料氣的純度、雜質含量和壓力。

2產品氣的純度、雜質含量和壓力。

3氣體使用的連續性、負荷變化狀況。

4純化用材料的品種、活化與再生方法等的技術經濟性。

5用戶對系統安全性、可靠性的要求。

4.0.3催化吸附型氣體純化系統應設置下列裝置：

1原料氣的氣水分離或過濾裝置。

2純化反應器及活化、加熱設施。

3吸附器及控制閥組。

4換熱、冷卻設施。

4.0.4金屬吸附劑型氣體純化系統應設置下列裝置：

1原料人人文庫專用氣過濾裝置。

2純化反應器及活化、加熱設施。

3控制閥組。

4換熱、冷卻設施。

4.0.5鈀膜氣體純化系統應設置下列裝置：

1原料氣預純化裝置。

2真空、保護氣設施。

·7·

3鈀膜純化器和控制閥組。

4換熱、冷卻設施。

4.0.6低溫吸附型氣體純化系統應設置下列裝置：

1原料氣預純化裝置。

2吸附器組和控制閥組。

3液氮供給和回收裝置。

4.0.7電子產品生產工藝對同種氣體有不同純化系統時，應根據

原料氣品質、高純氣體用量及其品質要求和純化方法進行技術經

濟比較，確定采用一級或二級氣體純化裝置。當雜質含量要求嚴

格或高純氣體用量較小時，宜在鄰近用氣設備鄰近處設置氣體終

端純化裝置。

4.0.8用氣設備對氣體含塵量有嚴格要求時，應在氣體純化后的

輸氣管道上的鄰近用氣設備處設置高精度終端氣體過濾器。

4.0.9氣體純化裝置的氣體進、出口未設置氣體過濾器時，應在

氣體純化站內設置氣體過濾器，并宜靠近氣體純化裝置。

4.0.10氣體純化系統的設備及其管道內的冷凝水，應設置各自

的專用疏水裝置或排水水封排至室外。

4.0.11氣體純化站應設置每種氣體的原料氣、產品氣的分析取

樣口。

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·8·

5設備選擇

5.0.1氣體純化裝置應綜合下列因素確定：

1原料氣的純度、雜質組分和含量。

2用氣設備對氣體純度、雜質組分與含量和供氣壓力。

3各類高純氣體的用途、使用特點、品質要求、最大小時消耗

量和負荷變化情況。

4各種純化裝置的特性、活化再生方法等。

5.0.2氣體純化裝置的容量、臺數應符合下列規定：

1氣體純化裝置應以最大小時消耗量確定設計容量。

2同一種氣體宜設置1臺純化等級相同的純化裝置，因中斷

高純氣體供應會引發安全事故或巨大經濟損失時，宜設備用純化

裝置。

3氣體純化站內，同一種氣體設置2臺及以上的相同等級的

氣體純化裝置時，宜采用相同的氣體純化裝置。

5.0.3氣體過濾器應綜合下列因素確定：

1原料氣體中的粒徑與含塵量。

2用氣設備對氣體中的粒徑與含塵量的要求。

3氣體壓力與允許壓力降。

4氧化人人文庫專用性氣體過濾器的過濾元件應采用不燃材料制作。

5.0.4氣體純化裝置內壓力容器的設計應符合現行國家標準

《鋼制壓力容器》GB150的有關規定。

5.0.5氫氣純化裝置或采用氫氣活化的惰性氣體純化裝置采用

封閉式整體設備時，氣體純化裝置外殼內應設置氫氣探測器、強制

排風裝置，并應進行連鎖控制。

5.0.6氣體純化站的加熱、冷卻方式或介質應根據氣體純化裝置

·9·

的特點、技術參數和具體供應條件等因素，經技術經濟比較后

確定。

5.0.7氣體純化裝置中高溫工作的單體設備及管道、附件，應按

現行國家標準《工業設備及管道絕熱工程施工規范》GB50126的

有關規定執行。

5.0.8氣體純化器的純化材料為有害物質時，廢棄物處理應符合

現行國家標準《一般工業固體廢物貯存、處置場污染控制標準》

GB18599的有關規定。

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·01·

6高純氣體輸送系統

6.1一般規定

6.1.1各種高純氣體輸送系統的設置宜根據用氣設備對高純氣

體的特性品質、壓力的要求確定。

6.1.2高純氣體輸送系統的設計容量應根據用氣設備的高純氣

體消耗量、使用特點確定，宜以最大小時消耗量計算。

6.1.3高純氣體管道系統設計除應符合本規范的規定外，還應符

合現行國家標準《氫氣站設計規范》GB50177和《氧氣站設計規

范》GB50030的有關規定。

6.2管道設計

6.2.1高純氣體管道的敷設應滿足操作、安裝及維修的要求。室

內高純氫氣、高純氧氣管道應架空敷設，廠區室外高純氫氣、高純

氧氣和窒息性氣體管道也可采用直接埋地敷設。高純氣體管道采

用架空敷設或直接埋地敷設時，均應符合現行國家標準《氫氣站

設計規范》GB50177和《氧氣站設計規范》GB50030的有關規

定。

6.2.2當高純氫氣、高純氧氣管道必須穿過不使用此類氣體的房

間時，應采用人人文庫專用鋼套管或雙層管保護。

6.2.3高純氫氣、高純氧氣管道穿過墻壁或樓板時，應敷設在套

管內，套管內的管段不應有焊縫。管道與套管間應采用不燃材料

填塞。

6.2.4高純大宗氣體管道設計應符合下列規定：

1高純氣體輸送系統管道應短。

2應按管道設計容量、氣體壓力或生產設備要求確定管徑，

·11·

管外徑不宜小于6mm，壁厚不宜小于1mm。

3不得有不易吹除的“盲管”等死空間。

4應設置吹掃口和取樣口。

6.2.5高純氧氣、氫氣管道的末端或最高點應設置放散管，放散

管的設置應符合下列規定：

1氫氣放散管應設置阻火器。

2氫氣、氧氣放散管應引至室外，放散管口應高出屋脊1.0m

以上，并應設置防雷保護措施。

3氫氣、氧氣的放散管應分開布置，間距不宜小于4.5m。

4應采取防雨雪侵入和雜物堵塞的措施。

6.2.6引入電子工廠的廠房或車間的高純氣體管道上的控制閥

門、氣體過濾器、調壓裝置、儀表儀器等，宜集中設置在氣體入

口室。

6.2.7高純氣體管道與閥門、設備的連接，可采用法蘭、雙卡套、

VCR連接等方式。

6.3管材及附件

6.3.1高純氣體管道的材質、潔凈處理以及閥門類型、材質的選

擇，應根據管內輸送氣體純度和雜質含量確定。閥門的材質及表

面處理應與管道匹配。

6.3.2氣體純度低于99.99％，露點低于-40℃的氣體管道，宜

采用AP管或BA管，閥門宜采用不銹鋼球閥。

6.3.3氣體純人人文庫專用度大于或等于99.99％、小于99.999％，露點小于

-60℃的氣體管道，應采用BA管或EP管，閥門應采用同等級低

碳不銹鋼波紋管閥或隔膜閥。

6.3.4純度大于或等于99.999％，露點小于-70℃的氣體管道，

應采用EP管，閥門應采用同等級低碳不銹鋼的隔膜閥或波紋

管閥。

6.3.5高純氣體管道的連接應采用焊接，并應符合現行國家標準

·21·

《電子工業潔凈廠房設計規范》GB50472的有關規定。

6.3.6高純氣體管道采用的BA、EP不銹鋼管，應符合本規范附

錄A的有關規定。

6.3.7液態大宗氣體管道宜采用不銹鋼管道及低溫閥門。兩端

可能關閉的液態氣體管道應設置低溫管道的安全閥。

6.3.8低溫管道保溫應按現行國家標準《工業設備及管道絕熱

工程施工規范》GB50126的有關規定執行。

6.4安全及標志

6.4.1設有高純氫氣管道的下列部位，應設置氣體報警裝置和事

故排風裝置，且報警裝置應與相應的事故排風機連鎖控制：

1氣體入口室或氣體純化站。

2閥門箱內、管廊或技術夾層內的氫氣易積聚處。

3使用高純氫氣處。

6.4.2高純氧氣管道及附件應采取下列安全技術措施：

1管道、閥門及附件必須嚴格脫脂。

2應設置靜電導除裝置。

3廠房入口的管道上應設置自動切斷閥。

6.4.3高純氫氣管道應采取下列安全技術措施：

1廠房入口的管道上應設置自動切斷閥。

2應設置靜電導除裝置。

6.4.4廠房內的高純氫氣管道上設置閥門時，宜設置閥門箱;閥

門箱應設置閥人人文庫專用門、壓力表、吹掃口、取樣口和氣體報警裝置等。

6.4.5高純氣體輸送系統應設置含氧量小于0.5％的氮氣或氬

氣置換吹掃設施。

6.4.6管道涂色宜符合現行國家標準《工業管道的基本識別色、

識別符號和安全標識》GB7231的有關規定。

·31·

7建筑結構

7.0.1氫氣純化站的火災危險性類別應為甲類，氧氣純化站的火

災危險性類別應為乙類，非氫活化的惰性氣體純化站的火災危險

性類別應為戊類。

7.0.2氣體純化站的耐火等級不應低于二級。

7.0.3氫氣純化站等有爆炸危險房間的設計應符合下列規定：

1應采用鋼筋混凝土柱承重的框架或排架結構。當采用鋼

柱承重時，鋼柱應設置防火保護，其耐火極限不得小于2.00h。

2泄壓設施的設置應符合現行國家標準《建筑設計防火規

范》GB50016的有關規定，泄壓面積不得小于屋頂面積或最長一

面墻的面積。

3有爆炸危險房間與無爆炸危險房間之間應采用無門窗洞

的耐火極限不低于3.00h的不燃燒體隔墻分隔。當設置防爆門斗

相通時，應采用甲級防火門，門的耐火極限不應低于1.50h。

4有爆炸危險房間與無爆炸危險房間之間必須穿過管線時，

應采用不燃燒體材料填塞空隙。

7.0.4氧氣純化間與毗連房間之間應采用耐火極限不低于

2.00h的不燃燒體隔墻分隔，隔墻上的門應采用甲級防火門。

7.0.5氣體純化人人文庫專用站的門窗均應向外開啟，有爆炸危險房間的門窗

及地面應采用撞擊時不產生火花的材料制作，其余房間的地面應

平整、耐磨和防滑。

7.0.6氫氣純化站等有爆炸危險房間的上部空間應通風良好。

頂棚的內表面應平整，并應避免死角。

7.0.7氣體純化站屋架下弦的高度應滿足設備安裝和維修的要

求，純化間屋架下弦的高度不宜低于4.5m。

·41·

8采暖通風與空氣調節

8.0.1氣體純化間不得采用明火取暖；設集中采暖時，應采用易

于清除灰塵的散熱器。

8.0.2集中采暖時，純化間不宜低于15℃，控制室不宜低于

18℃。

8.0.3氧氣和非氫氣活化的惰性氣體純化間應設自然通風和事

故排風，自然通風換氣次數不應少于3次/h，事故排風換氣次數不

應少于12次/h。

8.0.4氫氣純化間和采用氫氣活化的惰性氣體純化間應設自然

通風和事故排風，自然通風換氣次數不得少于3次/h；事故排風換

氣次數不得少于12次/h，并應與氫氣檢漏報警裝置連鎖。排風裝

置應設置在房間頂部。

8.0.5有爆炸危險房間事故排風機的選型應符合現行國家標準

《爆炸和火災危險環境電力裝置設計規范》GB50058的有關

規定。

8.0.6氣體純度分析間宜根據分析儀器的要求設置獨立的恒溫

恒濕空調設備，室內溫度宜為18℃～26℃，相對濕度宜為40％～

60％。人人文庫專用

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9給水排水及消防

9.0.1氣體純化站的供水，除因中斷高純氣體供應將造成較大損

失者外，宜采用一路供水。

9.0.2純化站內設置的冷卻水系統應符合下列規定：

1冷卻水系統宜采用集中的閉式循環水。

2閉式冷卻水系統補水應采用軟化水。設備冷卻水入口應

設置過濾器，冷卻水排水應設置水流觀察裝置或排水漏斗。

9.0.3氫氣純化站、氧氣純化站及其控制室應設置干粉滅火器

等，并應符合現行國家標準《建筑滅火器配置設計規范》GB50140

的有關規定。

9.0.4純化站的室內外消防設計應符合現行國家標準《建筑設

計防火規范》GB50016的有關規定。

人人文庫專用

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10電氣及儀表控制

10.0.1氣體純化站的供電應按現行國家標準《供配電系統設計

規范》GB50052的有關規定進行負荷分級，除因中斷供電將造成

較大損失者外，宜為三級負荷。

10.0.2氣體純化站控制系統宜設置應急電源。

10.0.3氫氣純化站等有爆炸危險房間內的電氣設施應按2區爆

炸危險等級設防，并應符合現行國家標準《爆炸和火災危險環境

電力裝置設計規范》GB50058的有關規定。

10.0.4氣體純化站的防雷、防靜電和接地裝置的設計應與制氣

站、供氣站或用氣車間協同設計。氫氣純化站等有爆炸危險的房

間和氫氣管道的防雷、防靜電設計應符合現行國家標準《氫氣站

設計規范》GB50177和《電子工程防靜電設計規范》GB50611的

有關規定。

10.0.5氫氣純化站等有爆炸危險房間的照明設計應符合下列

規定：

1應采用防爆燈具。

2光源宜采用熒光燈等高效光源。

3燈具應裝在較低處，并不得裝在氫氣釋放源的正上方。

10.0.6氣體純化人人文庫專用站內宜設置應急照明，氣體純化裝置等儀表集

中處宜設局部照明。

10.0.7氣體純化站內的電纜及導線敷設應符合現行國家標準

《電力工程電纜設計規范》GB50217的有關規定。敷設的導線或

電纜應采用鋼管保護，并應在下列位置做隔離密封：

1導線或電纜引向電氣設備接頭部件前。

2相鄰的環境之間。

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10.0.8氫氣純化站等有爆炸危險房間內應設置氫氣檢漏報警裝

置，并應與相應的事故排風機連鎖。當空氣中氫氣濃度體積比達

到0.4％時，事故排風機應連鎖自動開啟。

10.0.9氧氣和非氫活化的惰性氣體純化間內宜設置氧氣檢漏報

警裝置，并應與相應的事故排風機連鎖。當空氣中氧氣濃度體積

比低于18％或體積比高于25％時，事故排風機應自動開啟。

10.0.10與氧氣接觸的儀器儀表必須經過脫脂處理。

10.0.11高純氣體輸送系統應按下列規定設置分析儀器：

1應按高純氣體系統分別設置在線露點分析儀、微量氧分

析儀。

2應采用氣相色譜儀或色質聯用儀定期分析高純、超高純氣

體中的雜質含量。

3原料氣純度或組分應連續分析。

4應定期分析高純氣體中的粒子數。

10.0.12高純氣體輸送系統應設置下列計量儀表：

1原料氣體流量計。

2高純氣或外供高純氣流量計。

3成本核算所必需的用電、用水計量儀表。

4車間入口處宜設置高純氣體流量記錄累計儀表。

10.0.13高純氣體輸送系統應在下列部位設置壓力檢測儀表：

1純化站氣體進、出口。

2氣體純化裝置氣體進、出口。

3高純氣體輸送系統人人文庫專用過濾器氣體進、出口。

4冷卻水進、出口。

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11施工及驗收