1TFT-LCD陣列工藝介紹2主要內(nèi)容一、TFT-LCD的基本構(gòu)造二、ARRAY工藝簡(jiǎn)介三、陣列檢查介紹3一籃、T地F價(jià)T握-缸L慣C燭D的映基剩本酷構(gòu)粘造圖1混T貧F遣T慕-競(jìng)L倦C因D液瀉晶蛛顯畏示臨屏迅的轉(zhuǎn)構(gòu)歐造4圖2液重晶山盒免的蔽構(gòu)掏造一持、T鋼F滴T蔽-紛L學(xué)C系D的洋基瞞本稅構(gòu)偵造5二忠、A尺R懷R影A即Y工域藝航介視紹2到.測(cè)1陣恩列惜基太板宮的似構(gòu)落造描和艱功沉能2億.惹2陣松列言基炮板疑的曉制照造掀原檢理2狐.葡3陣僑列泄基盟板輝的嘩制擠造親工削藝頁流景程62皮.削1陣關(guān)列箭基內(nèi)板益的領(lǐng)構(gòu)病造叮和輛功啞能圖3幟A齒R坊R秀A魚Y基貢板耍等概效綢電恥路首圖7GateDriverSourceDriver圖4A宏r舞r惠a付y面池板信土號(hào)塞傳濾輸再說返明2寺.形1陣疏列傾基未板漆的饞構(gòu)頂造墓和肢功不能82擠.狂1陣挪列尋基以板塞的屑構(gòu)閑造跡和捆功伶能圖5叨A色R燙R般A敗Y基抬板滅的粥構(gòu)殊造D滋R宜A惕I湊N端摩子T撤F友T部窩分柵奔極船（G早A毀T抵E）漏障極頂（D過R勢(shì)A嚇I(yè)攻N）源奇極蜘（S陽O義U停R孫C斗E們)9圖6撫T桿F戴T器功件存的寇基已本愛構(gòu)草造G艦A少T怨EG堆-鋪S腦i縫N亂xa小-鐵S焦in車+待a虎-病S紹iD澡R盟A貼I捧NS箱O瞧U刊R役C品EP效-枝S慕i窄N裕xI有T談O像航素割電救極G拴L礎(chǔ)A蘭S雄S接概觸紛孔G工周程I工擁程D工菠程C工輩程P銹I工斤程2而.栗1陣禮列叔基廈板莊的氣構(gòu)忽造譯和舊功恥能1急0當(dāng)V賢g≤V極t邊h時(shí)I否d聰s原=亞0當(dāng)V劉g終>酷V紡t年h且V豆d苗s澡<惰V積g孝-狼V茫t主h時(shí)I床d奇s松=強(qiáng)(帶W電/票L腐)?μC0{槐(茄V旗g老-節(jié)V會(huì)t聾h頑)的V早d滔s汗-問V炎d煉s2/砍2最}當(dāng)V腰g門>斬V輪t竄h且V柄d室s嚇>喊V擾g學(xué)-嬸V性t煩h時(shí)I秒d蟻s柄=些(雷W屋/軌L始)?μC0(夜V劑g粘-鵝V處t撐h明)2/旁2式梁中嶼，V梨t永h傘:閾案值肚電拆壓μ：瞧電湊子邁遷眼移濟(jì)率C0:單留位碎面惕積監(jiān)柵芝絕咐緣港層走電增容V爭(zhēng)gV測(cè)dV荷sI社d嚼s2兵.右1陣插列法基判板夸的萌構(gòu)思造風(fēng)和廈功芹能1綁12團(tuán).凈2陣使列園基擔(dān)板奪的研制慌造輔原敬理A殃R轟R款A(yù)袋Y工倘程鐘由裕成暈?zāi)豕て匠逃取洋R工辭程疫和倉(cāng)刻拴蝕嬸工沸程眠反鋼復(fù)蔥進(jìn)連行4次警或5次捉完儲(chǔ)成話。4次飽：4香M晨A均S世K工鮮藝5次室：5宗M逝A鍬S屢K工狂藝圖7象T展F懸T的口制浴造圈原肉理成膜工程（ＳＰｏｒＣＶＤ）ＰＲ工程（涂布、曝光、顯像）刻蝕工程（ＤＥｏｒＷＥ）ＰＲ剝離1形2工藝名稱

工藝目的濺射（SPUTTER)成Al膜、Cr膜和ITO膜P-CVD成a-Si膜、n+a-Si膜和SiNx膜PR?曝光形成光刻膠圖案濕刻（WE)刻蝕掉未被光刻膠掩蔽的金屬膜干刻（DE)刻蝕掉未被光刻膠掩蔽的非金屬膜剝離去掉殘余的光刻膠2釀.童2陣甲列績(jī)基殲板屬的刑制器造陳原鑼理表1陣俯列湖各造工桂程臘的間說輸明1伸3圖8初始放電和自續(xù)放電示意圖陽極（+）陰極（-）E電子氣體離子氣體分子初期電子所公謂S驅(qū)p刮u溫t下t慈e蠶r是頌指北利降用瞞借樓助卡電全場(chǎng)清加步速箏的辰氣罩體雁離釘子云對(duì)寒靶瀉材使的拼轟啄擊屋，襲從賠而燃使突成屯膜襖材醫(yī)料愧從拋靶滾材阻轉(zhuǎn)含移冰到墾基讓板您上住的括一評(píng)種冤物伶理害成惜膜崗方滑法去。S抽P志U故T介T秋E甘R原討理2拆.周2陣寇列茅基橋板疑的敗制蓬造凍原渠理1罰4P扭C巖V糕D原歪理①電賞子需和岸反賓映蛾氣寧體曬分訊子吩碰航撞你，酷產(chǎn)迫生欠大獻(xiàn)量春的洪活距性披基擱；②步活違性紙基賭被劑吸宿附刷在菠基騙板謎上湯，慰或詢?nèi)∥荽窕[板逗表張面月的H原叛子但；③薦被悲吸龜附則的均原苗子班在哭自掩身鼓動(dòng)順能難和沃基債板爸溫微度眠的抽作兔用熱下地，幕在百基否板芹表捧面讓遷股移億，巷選仍擇嗓能影量搞最效低寶的尖點(diǎn)即安芽定作；④汽同嚴(yán)時(shí)筍，嚇基鳳板密上記的憑原探子貝不才斷六脫丘離批周欺圍澡原智子諸的孩束勝縛傳，宰進(jìn)施入騾等勵(lì)離風(fēng)子姨體講氣鄭氛犯中頸，紙所窗以盯達(dá)煉到兔動(dòng)寧態(tài)汽的舞平址衡資；⑤監(jiān)不炕斷謹(jǐn)?shù)亩蜒a(bǔ)紹充爬原蜘料門氣假體震，篩使釋原雀子抓沉賄積拒速堵度朗大必于幻玉原磨子彼逃特逸知速閑度扣，犯薄淚膜憲持噴續(xù)矛生朽長(zhǎng)環(huán)。2浩.豆2陣國(guó)列需基超板怪的掀制變?cè)炀圃瓐?jiān)理圖9P拒C獨(dú)V迅D成夏膜姑示狹意栗圖1蟻5P押R?曝條光原耀理Photoresist膜基板Photolithography工程Ｐｈｏｔｏｒｅｓｉｓｔ涂布曝光顯影2喪.桌2陣扒列頸基城板涼的充制荒造映原剩理圖1反0P觀R工僑程驚示含意大圖1腫6曝想光認(rèn)原委理橫倍率臺(tái)形Ｍｉｒｒｏｒ凸面Ｍｉｒｒｏｒ凹面ＭｉｒｒｏｒＸ非線形Ｓｃａｎ光源ＣＣＤ弧狀ＳｌｉｔＭａｓｋＦｌｙＥｙｅ2驚.票2陣膏列拳基千板子的壞制聽造誘原只理圖1再1曝江光寺原賭理丹示伸意流圖1短7濕套刻也原宅理■濕汁刻脹是飯通戲過厲對(duì)告象管材你料檢（五一并般的為惠金案屬宿導(dǎo)慚電錢膜克）紗與箏刻堤蝕輕液踐之默間毒的岡化旦學(xué)有反汗應(yīng)癥，緒對(duì)笨對(duì)毒象治材片料靜進(jìn)豆行隙刻旋蝕臥的仗過籮程裕。■端濕叼刻雪的似過窮程刻睜蝕酷液童在縱對(duì)之象善物牽質(zhì)河表吳面浙的州移陸送席階桶段刻摩蝕蒸過疊程烏中蔬，狐刻秋蝕盼液繡不要斷饒被議消既耗歲，史反午應(yīng)舊生深成累物遷不規(guī)斷葵生聚成臺(tái)，飽刻拐蝕沖對(duì)緣瑞象忍周米圍紗形引成郵濃弦度諒梯渴度貓，丸促后使普新友的永刻耀蝕蘋液窮不蘋斷挺向勒刻糧蝕地對(duì)吃象忙輸稠送棵，艷并江將趣反敞應(yīng)悄生逢成赤物站從全其竿表朱面相除蒸去芝，品從困而努使撲新檔的遣刻亞蝕戒液棍與格對(duì)釋象示物跳質(zhì)骨接瞞觸關(guān)。刻暴蝕條液質(zhì)與仆對(duì)附象來物但質(zhì)封的前化狠學(xué)予反之應(yīng)慕階配段指月的性是閑在物對(duì)嗓象雁物嗓質(zhì)副表祖面胃，堆藥夜液和與堂刻墻蝕退對(duì)副象犁之明間凳的位化話學(xué)羽反勒應(yīng)凳過假程稼。ＥｔｃｈｉｎｇＵｎｉｔ水洗Ｕｎｉｔ干燥Ｕｎｉｔ2舉.建2陣崖列竟基攤板昏的磨制需造殖原辟理圖1黑2濕銳刻濤裝宏置喂及獎(jiǎng)原肺理劍示芝意突圖1庭8反說應(yīng)逗氣娛體憂在絲式高磚頻溝電握?qǐng)龆d作狼用粘下汪發(fā)優(yōu)生難等撫離臣子挖體叮（P羊L枕A某S擁M示A）飛放揮電湖。等智離斑子觀體中與蝴基湯板欺發(fā)哥生敗作蜂用場(chǎng)將殿沒飼有燙被椒光驗(yàn)刻疑膠敗掩鞠蔽惠的農(nóng)薄魔膜晉刻臂蝕煩掉涂。E擾T肢C妨H炒I仗N(yùn)勞G翼G盞A扭SP科L浙A礦S尚M惑A干態(tài)刻烏原撒理2侮.暮2陣攝列賀基飲板鑒的叉制足造姓原瓦理圖1增3干釘刻朝原短理教示噸意彈圖1拔9光刻膠膜①初期狀態(tài)②膨潤(rùn)·界面浸透③溶解剝競(jìng)離紐奉原榨理：寇刻佳蝕篇（密干祖刻順、續(xù)濕哭刻穗）種完乒成鑰后燭除夕去舒光熔刻旗膠作的洞過欠程產(chǎn)。2遙.值2陣幼列煙基潤(rùn)板弟的江制著造救原綿理圖1鄭4剝黎離季原遇理權(quán)示逃意寬圖2斗04撞m嫌a押s它kG蓬-擱S治PG曉-踏P眾RG宏-狼W斑EG攤-饑P習(xí)R剝波離1補(bǔ)s司t女S馳i鮮N哪C敬V堪D三汪層C傭V睛DD浩-眾S染PD孤I碑-瘦P遲RD綁1盆-功W漂EI叼/蛙P阿R煤D集ED貧2軟-倡W霞EC鵝H財(cái)-壯D缸ED饞I績(jī)-邊P臣R剝必離P稍A竄-神C投V巷DC屋-綢P逼RC綱-恭D桿EC廉-理P誘R剝跟離P辯I字-吉S幼PP燦I園-杯P雷R(shí)P蓄I(lǐng)雪-口W峰EP勤I翠-賄P慚R剝圣離G匪-裝S百PG殲-斥P嫂RG桶-功W糾EG喝-菌P切R剝宅離1監(jiān)s熟t用S躺i命N壓-功C爽V外D三蠶層C索V飯DI濫-淘P叢RI纏-賤D織EI宅-辰P燃R剝粥離D展-源S射PD潑-著P團(tuán)RD腎-時(shí)W陵EP疊A無-暗C本V港DC紐奉-笨P班RC姜-婆D耍EC塵-鴿P駁R剝網(wǎng)離P受I類-擇S探PP幣I州-消P撿RP極I慮-邁W祝EP沃I柳-完P(guān)炕R剝勺離C堂H雅-織D矛ED谷-好P澆R剝殘離5惕m毅a辰s督k圖1腰5站4像m休a閥s菜k和5址m裁a稿s受k工加藝艙流頓程擠圖2菌.獲3陣糾列孫基師板甩的貴制牲造除工恒藝泰流呈程2乖1三財(cái)、排陣勉列鄭檢妖查繭介幕紹工泄程史檢讓查粗的策目劣的對(duì)婦上羨一鉗工輔序店的朋工正藝埋結(jié)激果透進(jìn)鄭行元監(jiān)華測(cè)嶄，蛛防吃止賽生械產(chǎn)伸線聰上亭不驚符拴合猴工統(tǒng)藝侍管客理腳規(guī)辮格緒的閉不耍良缸品器大形量帳產(chǎn)儉生仆。檢查項(xiàng)目名稱檢查裝置檢查工程顯影CheckMMMG-PR、DIPR、C-PR、PIPR剝離外觀CheckMMMG-PR、DIPR、C-PR、PIPR尺寸測(cè)定SENG-PR、DIPRPR形狀測(cè)定AFMDIPRCVD后自動(dòng)外觀AOIDIPR自動(dòng)外觀AOIG-PR、DIPR、C-PR、PIPR段差測(cè)定DANG-PR、DIPR、C-PR、PIPRELP測(cè)定ELPG絕緣膜、DIPR表2槐A做r滔r廢a摧y工蔥程邀檢葉查瓣項(xiàng)志目艇概號(hào)況2培2工程微觀項(xiàng)目宏觀項(xiàng)目G-PR配列精度&預(yù)對(duì)位精度PR涂敷Mura等G剝離像素異常刻蝕Mura、剝離殘留DIPR像素異常Mura有無DI剝離像素異常刻蝕Mura、剝離殘留C-PRPattern變換、C/D重合精度PR涂敷Mura等C剝離Pattern變換刻蝕Mura、剝離殘留PIPRPattern變換、PI/G重合精度PR涂敷Mura等PI剝離Pattern變換刻蝕Mura、剝離殘留檢偷查賊裝碰置究：幅宏聲觀/微奸觀欄檢肌查唉裝份置踢（M矩M墻M）3賀.剖1顯填影C納h森e辰c師k患&剝輛離礎(chǔ)外冬觀C贊h耐e拘c戚k表3顯拌影著和吳剝悔離剝外皮觀c墓h志e衫c襯k項(xiàng)律目?裝床置毒原程理M瘦i廊c模r躲o検訓(xùn)査光陷學(xué)系做統(tǒng)Ｘ誕，玻Ｙ軸釣可納以象移別動(dòng)表進(jìn)騰行猶目卡視辜觀長(zhǎng)察。明昨／皇暗視魯野、透府過照雹明爹、正干滋渉光甘觀而察等唯。Lens基板ＣＣＤCameraOr接眼目視鏡筒Stage透過照明落斜照明3語6圖1抓6村M獵i曉c豪r傭o裝描置牲示見意賤圖2竄3M總a把c領(lǐng)r霞o(jì)検舒査移柳動(dòng)A柳r綢r風(fēng)a課y基生板核、改硬變照饒明方樹式、從鑒不葛同臘的角抱度留目選視門検灘査基閱板。θｘＹθｙＸB的a幟c像k宇l鳴i溝g伯h糟t擴(kuò)散革光收顆束光各種F病i蟲l賓t買e牲r等Ｚ軸暗驅(qū)尿動(dòng)（可賺有截多暖種方悼式廈）3咐7圖1縫7扯M刻a迎c葉r批o裝共置豈示鏈意示圖2風(fēng)42歡53塌.限2尺澇寸孤測(cè)嫁定工程測(cè)量項(xiàng)目G-PRPR后光刻膠圖形——G線線寬G剝離G剝離后金屬圖型——G線線寬DIPRPR后光刻膠圖形——D線線寬、DI/G重合精度DI剝離DI剝離后圖形——D線線寬、溝道長(zhǎng)度L表4線腰幅c俊h缺e炸c包k項(xiàng)蘋目檢令查公裝佳置四：嶄線吊幅霜測(cè)頸定肝裝杯置波（S團(tuán)E技N）測(cè)頸定書原鴿理鉤：尺自渾動(dòng)其線晌幅隨檢圓測(cè)費(fèi)是宵用U喘V光禮照燙射遷基伙板該待第測(cè)浪區(qū)創(chuàng)域口，暑然癢后西利浮用C鄙C忌D篩C撫a汗m郊e注r眾a采秒集細(xì)基繞板卻上勇的圖俘案褲，斑采辦集腔到今的狹圖刃案唱經(jīng)敢過鉤電筐腦敞進(jìn)抬行務(wù)二采值輸化秀處擦理翁（摧所妖謂躺二柿值舒化稱即拔將談圖輩案姿轉(zhuǎn)倒化中為袍以醋數(shù)悄字0、1表文示的沃黑姜白漲圖釋案欄，打其矩灰含度蟲等燦級(jí)販以2進(jìn)火制盡數(shù)買值黨表軍示怎）寧。額二吹值眉化抗處充理探后劣基渣板蛙上強(qiáng)各攻膜苦層挽、巡壽各低材性料銳就以變不這同燒的滔灰勺度濱加皮以浸區(qū)辛分喚，灑從慕而彩能冷夠愉識(shí)治別福。2極63帽.榜3祥P液R形指狀少測(cè)炭定工程測(cè)量項(xiàng)目DIPRPR后光刻膠圖形——溝道處殘膜厚度檢體查肢裝洲置慌：政原急子捐力輸顯折微拔鏡續(xù)（A頸F余M）Ｇａｔｅ殘膜厚T1.5umChannel長(zhǎng)L傾斜角θＤｒａｉｎResist2臺(tái)73朽.輩4自耐動(dòng)疲外趕觀工程測(cè)量項(xiàng)目G-PRGMask起因共通缺陷檢查DIPRDIMask起因共通缺陷檢查IDEDIMask起因(溝道部分)共通缺陷檢查C-PRCMask起因共通缺陷檢查PIPRPIMask起因共通缺陷檢查檢皇查逃裝御置西：跟自語動(dòng)飛外拿觀靈測(cè)藝定兔裝考置叔（A攔O醬I）原疫理抖：本聲裝燭置通懇過娃對(duì)撲基芬板兩上窗形之成待的妻圖炭案律進(jìn)尺行撓對(duì)獨(dú)比古檢巾查辣，趁檢沃測(cè)冷出欣制際造追過嗎程秤中腥發(fā)落生細(xì)的桿各軟種療類柿型沒的爹缺誼陷械．表5自斥動(dòng)繼外部觀c尾h滲e旋c務(wù)k項(xiàng)隸目D檢F盜l強(qiáng)o僚wD草r瀉a銅i雞n壺E逐t村c必h營(yíng)i介n婚g剝李離完蝕了?檢蜻查結(jié)紛果勾例缺妥陷１Ｘ貸：4蓋2斷0筐.進(jìn)1購(gòu)1襯5Ｙ慣：2寶2枯3弄.貪7抖6乏5自塑動(dòng)饅外束觀延檢詞查D竿r令a對(duì)i衛(wèi)n辯E燙t材c銳h響i育n驚g結(jié)偽束存后檢功查約出遺圖匙案偷上板的匯缺徑陷自古動(dòng)預(yù)外遲觀詞檢清查L(zhǎng)倒a敏s橡e纖rR攀e演p籍a(chǎn)逆i皇r（s時(shí)h站o裕r糾t）L能a愧s礙e鏈rC鬧V臥D（O曉p事e謠n）Ｄ掛－午ＤS雅h嫌o餡r炊tＤO侍p未e沃n點(diǎn)缺閥陷?D-O脂p肚e胃n82躲8S竿y勒s夸t簡(jiǎn)e神m距c遞o鳳n渣t角r體o鞭l預(yù)l做e凡rK思e創(chuàng)y懷b職o綱a得r絹dMouseJoystickQ漲u告a拋d告o微p額t來i睬c品sM澇a浙i絹n扁w犯i數(shù)n銷d挑o曾wR唐e照v位i價(jià)e掩w絞w使i盞n哨d扯o妹wC挺o樓m開m勉u侵n顯i退c殺a撈t捎i遙o嘗n覽s奮t菠a現(xiàn)t忙u證s僚w睡i送n僻d樣o央wS歉y畫s襯t矮e是m麻m催o廊n記i播t幅o宗rI柜m勵(lì)a初g荒e孟c閱o圖m胖p棉u踩t裁e井r8螺b慰i導(dǎo)t抗A互D摟C嶄o狹n僵v撈e仗r扛t蓬e映rM控a遇c蹈h蓮i蛛n樓e揉c零o亦n武t馬r龍o泳l灘l籠e昆r7圖1午8艱A仇O溫I裝裁置吊示姥意缺圖2扒9①畫究像愛取查得②畫揉像處膝理（比輝較）③缺填陷選檢渡出L鵲o魂t在N昏o、P恒a慕n罰e舅l狹N精o、趟缺得陷匯坐書標(biāo)聽、S視i薪z奔e、M肯o世d離e．樂．粒．斗．相辛鄰P險(xiǎn)a踢t旨t烘e技r躁n比紅較Ａ塞ｒ棚ｒ挨ａ喪ｙ監(jiān)基齒板瓶全毫面掃掠描Ｓ冰ｅ侵ｎ鞭ｓ呼ｏ就ｒ確廈定資像體素（仿４向３旺０予、罪１拳５福０竄）a責(zé)r輛e男a州3O來r蔥i緣瑞g敵i絡(luò)n93賴03夸13獅.箱5遇E扯L量P測(cè)劣定工程測(cè)量項(xiàng)目G絕緣膜(G-SiNx)G-SiNx膜厚DIPR(3層CVD后)G-SiNx、a-Si、n+a-Si三層膜厚C-PR(PA-SiNx)PA-SiNx膜厚檢押查漸裝鹿置蠶：E獎(jiǎng)l鑰i倉(cāng)p朋s勺o(hù)軟m頓e牲t棟e纖r（E唇L寨P）表6膜近厚c啄h洲e待c積k項(xiàng)秀目3腔2檢擁測(cè)疊原坊理雷：光除線項(xiàng)經(jīng)敘過置透從明們薄蠅膜保表?xiàng)l面綢進(jìn)廈行僚反慕射掏時(shí)使，廈由皇于靜光網(wǎng)線券在隱薄沫膜索上馬下巾表擺面刷均晉產(chǎn)雙生英反微射蹄，究因摔此希反幅射鳥光怖產(chǎn)床生傍光訴程例差辟Δ（敵圖1所翼示活）艘。濟(jì)當(dāng)刮入懶射結(jié)光澇為臘線段偏安光棒時(shí)遭，抵反晃射朗光年為惱橢奏偏岡光際。筆根甲據(jù)陡光祖線決反舌射胡前澆后雨偏葬振寸狀鎮(zhèn)態(tài)重的互改陳變環(huán)，宇可辟以抖測(cè)瀉量鴉薄過膜幼的叔光忍學(xué)求參臟數(shù)柜和忌膜染厚娛，吹這憐種飄方迫法藥叫寶做E狀l稠l席i革p胡s搭o誓m番e拘t矩r窩y法貴（叼橢攏圓枯偏毅光惠解象析違法顆）匙。入射光反射光1反射光23磚3工程測(cè)量項(xiàng)目G-PRG層Mo-Al金屬膜厚DIPRD層Cr金屬膜厚、溝道干刻量C-PRPASiNx膜厚、G層SiNx膜厚、PIPRPI層ITO膜厚檢巾查水裝盟置期：紋段誦差抓測(cè)咽定科裝植置終（D磚A湖N）測(cè)閱量怖原就理及：躬具技體芬采袖用肉探宰針秀接碗觸巧式蔥方斃法論進(jìn)叔行穿測(cè)靈量攤。3筍.脂6段頁差魔測(cè)房誠(chéng)定表7段墨差c熟h蛙e斜c襪k項(xiàng)本目G蘆a岔t嚴(yán)e糠E繼t丙c陽h多i見n秀g剝懸離完獲了S子h拋o衣r忘t抬&公O盤p巷e雁n缺誤陷先檢突出O接/簡(jiǎn)Sc岸h冷e康c中kＯ璃／荷Ｓc忙h配e省c賀k自幸動(dòng)只外太觀尸檢摟查L(zhǎng)害a杠s封e堂r深R貨e艙p堤a內(nèi)i刪r（S承h霸o鴿r例t）L壞a硬s靈e錢r桂C深V道D（O性p削e近n）G或-認(rèn)O匠p豪e葛nG皮-峽C克o撈m裝s莫h河o君r壁t實(shí)壘例情：息用妖于G極價(jià)斷箏路把和柱短澇路游的檢蜂查3浪.殼7眠O忙/宗S測(cè)棕定3桌4AC200V200KHzSensor

GAP100μm±30μmC容量數(shù)10fF給電側(cè)受電側(cè)AMPGlass基板pattern完全非接觸的測(cè)量方法可以避免玻璃表面的劃傷信號(hào)増幅3,000～10,000倍圖1喂9細(xì)O殲/翅S裝天置葵測(cè)臭定塞原兼理材圖3傻53漫6圖2稀0權(quán)O薦/暫S裝今置衫構(gòu)砌成目寸的并：酷測(cè)象量Ｔ歐Ｆ咱Ｔ像素幅特控性的測(cè)序定吊裝響置?S貧h伙e致e晌t內(nèi)的寺點(diǎn)（千Ｔ技Ｅ偷Ｇ像素胡）???測(cè)定Point??????［誰Ａ儲(chǔ)］［滑Ｖ桑］０Ｖ裙ｇ1六E膏-括1緞01嬸E次-７G身a陵t葛e端風(fēng)子P浮r苗o擊b釋eD丙r負(fù)a磨i渡n端眾子P般i慶x愈e狂l基闊板3引.必8特膏性廣檢辭測(cè)3捉73塔8謝謝栗！9、煤靜腐夜獲四婆無問鄰述，密荒斑居爹舊渾業(yè)菠貧賭。煩。7斬月件-徹2辨37蜘月草-衫2鬼3S織u緞n文d密a夫y推,掛J同u頃l瓶y肺3洞0害,夢(mèng)2型0串2輩31黑0、州雨直中衡黃榴葉飾樹進(jìn)，炒燈喪下屑白凝頭載人兼。吊。2竄2猾:攜1宇9刪:罩3發(fā)62戰(zhàn)2瀉:美1使9胖:仍3影62揭2羞:周1糕97置/爭(zhēng)3拳0曉/坦2標(biāo)0輪2吃3規(guī)1捆0深:仔1次9推:債3誕6煌P厘M1遙1、懸以賊我芹獨(dú)毀沈紐奉久盞，旨愧賭君更相歡見免頻想。淹。7過月屬-鵝2蜜32使2破:取1穿9畝:各3賓62雖2喝:當(dāng)1刃9J怨u逼l帽-趣2磚33里0競(jìng)-燒J均u珠l哪-浴2漫31佩2、迎故蔬人場(chǎng)江旨海玩別慢，維幾僵度攤隔隙山換川偵。扔。2薄2攔:忍1皮9真:排3能62師2罩:柄1求9替:漆3揮62吸2井:趕1掌9S襖u踏n過d反a亮y他,宣J爭(zhēng)u灰l姻y淹3笑0池,房誠(chéng)2厚0閃2跡31輕3、神乍每見蘇翻鳴疑敲夢(mèng)分，扒相柔悲影各偷問簡(jiǎn)年穿。置。7原月萍-悼2惰37厲月驗(yàn)-奔2位32巡壽2轟:就1絨9效:程3風(fēng)62嶄2透:醋1板9續(xù):花3患6J駐u瓜l照y劈燕3斯0痛,走2些0餅2迎31籮4、滑他旅鄉(xiāng)齊生盆白退發(fā)歇，陽舊冤國(guó)杜見叮青除山瞧。繡。3道0譽(yù)七差月嶺2也0卡2須31督0歌:痰1拐9屈:量3象6若下策午2逢2堤:元1貫9漂:顯3竊67黃月煤-蔬2耳31券5、析比毯不略了計(jì)得棒就順不訂比喘，驢得抓不護(hù)到榮的域就羞不柿要帖。捎。。七著月矛2真31揉0嚴(yán):褲1術(shù)9議下威午7察月譽(yù)-畏2優(yōu)32絮2息:亦1泡9J輛u熄l返y磚3勻0殲,丈2黎0務(wù)2腰31冰6、賊行逢動(dòng)由出音成媽果押，懼工館作蒼出怖財(cái)劑富攝。蛛。2鳳0街2澆3烈/采7員/北3孫0搶2脖2挪:挪1局9掙:坡3預(yù)62榮2使:派1侄9愈:滋3貸63諷0頭J恭u俗l依y秩2音0屢2漠31猾7、寒做兆前愚，睛能件夠隱環(huán)委視翼四桌周俗；泄做里時(shí)讀，城你挺只砍能帶或鉗者顆最廳好蒙沿隊(duì)著霜以距腳正為谷起矮點(diǎn)梢的標(biāo)射捉線近向珠前愉。究。1可0萍:亦1聞9稈:里3鄙6番下轎午1嶼0怨:受1般9廈下可午2遮2可:冶1販9丸:蘋3摘67霜月倚-嘆2宿39、務(wù)沒錦有片失螺敗升，騎只晚有掌暫儀時(shí)秩停粒止崗成裝功勁！絮。7紅月甜-陳2斥37栗月仍-晚2以3S圍u災(zāi)n梢d齡a登y承,紛J逼u粉l哨y控3吐0竭,蓄2貨0具2循31城0、萬很墨多枝事浸情承努委力普了乞未安必盾有渾結(jié)尸果薯，龜?shù)问菤埐辉S努吩力船卻掌什山么柿改資變門也貨沒丘有饅。元。2鋒2畫:刷1替9脫:耗3逃62曉2伶:憶1發(fā)9仇:質(zhì)3榮62是2洪:激1攪97脈/虧3章0交/謊2芹0爸2昏3狀1全0念:龍1按9夕:遣3丑6拿P頭M1虛1、門成猛功銅就會(huì)是嗚日扣復(fù)菊一侍日仔那名一魚點(diǎn)把點(diǎn)期小漆小狹努懼力槽的槐積酬累星。暮。7宵月尋-哄2衛(wèi)32蘭2縫:運(yùn)1顆9榨:略3嫩62莊2遇:固1礎(chǔ)9J愚u滾l慰-費(fèi)2鈴33害0弟-微J榴u鉆l性-窗2撲31推2、陣世名間盞成梯事峰，變不浮求邀其瓦絕滋對(duì)芳圓極滿白，覆留迷一液份功不俘足蝴，市可撥得揪無噴限灣完儲(chǔ)美放。星。2進(jìn)2遭:猛1庭9構(gòu):卵3培62旱2索:躁1藝9堪:亂3秩62傅2嘆:碧1曠9S鋪u熄n適d宏a技y新,德J近u銜l累y忽3假0掉,谷2粒0益2怖31迫3、雷不憑知集香取積著寺小，桃數(shù)伙里趣入丑云塞峰波。肺。7報(bào)月叼-年2耐37另月潤(rùn)-兩2匙32濃2叨:希1即9鉗:具3芒62伙2脾:防1逗9安:大3擋6J占u交l犬y涂3爐0若,才2散0諷2憲31繼4、死意雜志賞堅(jiān)伯強(qiáng)興的芬人吼能膊把惕世惰界幼放辭在木手獎(jiǎng)中家像急泥售塊尼一液樣纏任譯意良揉囑捏半。3鍋0趣七褲月批2萄0傘2仍31抗0絹:攀1頃9縱:漢3蔑6盜下青午2交2倒:遲1益9雅:瞞3榜67脫月擾-曠2舟31侍5、葵楚劑塞亡三張湘堂接絮，徹荊筐門榆九駱派蜂通彎。且。。七如月譜2砌31葛0嗚:推1鑼9系下慶午7職月國(guó)-獻(xiàn)2姑32嘴2貫:阿1現(xiàn)9J蘭u核l皺y遼3銜0倉(cāng),蜂2糟0俊2敵31仔6、忠少嗓年秋十老五暑二肥十哄時(shí)艇，虹步睜行采奪秋得感胡報(bào)馬青騎脅。柱。2椅0棵2典3灑/枝7或/透3晝0炮2聯(lián)2倘:敲1粥9蔬:遍3歡62樂2率:諸1幸9境:略3漿63盒0貞J看u讀l碎y廉2蠶0慌2碗31陳7、槍空縫山賊新東雨喇后細(xì)，輪天霧氣搭晚沈來灰秋著。休。1彎0丹:完1挪9曠:止3警6車下妹午1擁0毛:士1浸9躲下?lián)跷?渾2掃:組1勉9倍:離3德67園月迫-穴2速39、紐奉楊雪柳凈散牛和加風(fēng)挖，赴青蒸山斃澹襲吾駝慮蠶。寧。7洞月君-撤2蔑37習(xí)月粥-掩2栗3S遠(yuǎn)u峽n賢d火a管y事,慮J舊u濾l肝y偉3神0狼,庫2渣0矩2擱31耽0、什閱混讀歲一家切唱好水書董如迎同串和與過臨