ICS31.030L90廊DB1310坊市地方標準DB/T227—2020廊坊市市場監(jiān)督管理局發(fā)布IDB1310/T227—2020前言本標準按照GB/T1.1—2009給出的規(guī)則起草。本標準由大廠回族自治縣市場監(jiān)督管理局提出。本標準起草單位：廊坊赫爾勞斯太陽能光伏有限公司。本標準主要起草人：賈建亮、黃永恩、賈建恩、孫艷、關海華、李繼東。1DB1310/T227—2020電子專用材料單晶硅生長用石英坩堝工藝技術規(guī)范1范圍本文件規(guī)定了電子專用材料單晶硅生長用石英坩堝的術語和定義、從業(yè)人員、設備、原輔材料、工藝過程、環(huán)境要求和管理要求。本文件適用于電子專用材料單晶硅生長用石英坩堝工藝技術。2規(guī)范性引用文件下列文件對于本文件的應用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，僅所注日期的版本適用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本(包括所有的修改單)適用于本文件。GB8978污水綜合排放標準GB12348工業(yè)企業(yè)廠界環(huán)境噪聲排放標準GB16297大氣污染物綜合排放標準GB18597危險廢物貯存污染控制標準GB18599一般工業(yè)固體廢物貯存、處置場污染控制標準GB50034建筑照明設計標準GB50073潔凈廠房設計規(guī)范GBZ2.1工作場所有害因素職業(yè)接觸限值(第一部分化學有害因素)GBZ188職業(yè)健康監(jiān)護技術規(guī)范GBZ/T189.8工作場所物理因素測量第8部分：噪聲3術語和定義下列術語和定義適用于本文件。3.1電弧熔制arcfusion利用高溫電弧熔融石英砂原料的過程3.2涂層coating在石英坩堝內壁或外壁涂覆特種材料的過程。4從業(yè)人員4.1職業(yè)健康2DB1310/T227—2020應按照GBZ188的要求，對從業(yè)人員進行崗前、崗中、離崗職業(yè)健康體檢，同時配備符合要求的個體防護用品，保證從業(yè)人員符合職業(yè)健康安全管理要求。4.2崗位技能從業(yè)人員應通過三級安全教育、崗位技能培訓，經(jīng)考核合格后方可上崗。5設備5.1熔制設備應具有電極開閉、升降、旋轉、冷卻、弧變、除塵等裝置。5.2外表面處理設備應具有噴砂、研磨等功能。5.3切邊倒棱設備應具有對中、切制、內倒角、外倒角等功能。5.4純水清洗設備5.4.1手動純水清洗設備應具有純水沖洗等裝置。5.4.2自動純水清洗設備應具有產品自動化傳輸、純水自動沖洗等裝置。5.5涂層設備應具有加熱、旋轉、噴霧、冷卻專用涂層等裝置。6原輔材料6.1石英砂石英砂雜質元素含量應符合表1的規(guī)定。3DB1310/T227—2020表1石英砂雜質元素含量位置元素名稱鈣Ca鎂Mg鋇Ba鉻Cr銅Cu鐵Fe鎳Ni錳Mn鋰Li鈉Na鉀K鋯Zr鈦Ti鍺Ge磷P硼B(yǎng)內層113.520.10.10.10.10.50.10.10.80.80.80.52.02.00.10.1內層27.70.80.050000.2000.10.20.100.70<0.1外層16.020.10.10.10.10.50.10.10000.52.02.00.10.1注1：鋰、鈉、鉀3種元素之和≤2.0。注2：雜質元素含量小于或等于表中所示值。6.2石墨電極應符合以下要求：a)體積密度：≥1.65g/cm3；b)電阻率：≤8.5μΩ?m；c)灰分：≤50μg/g；d)抗壓強度:≥35MPa；e)抗折強度：≥15MPa。6.3涂層原料6.3.1涂層原料試劑純度≥99.99%。6.4純水7工藝過程7.1熔制7.1.1上料成型利用離心力和成型裝置，將石英砂原料在旋轉的坩堝模具內形成一定的形狀和厚度。7.1.2堝坯電弧熔制以高溫電弧為熱源，對坩堝模具內的石英砂原料進行高溫熔制。7.2外表面處理4DB1310/T227—2020坩堝端口朝下放置于作業(yè)平臺，利用研磨設備或各類噴砂設備去除坩堝外表面未完全熔融的石英砂。7.3切邊倒棱利用切邊倒棱設備的對中裝置對坩堝進行校正后，按高度要求用切斷裝置對坩堝進行切斷，再利用內、外倒角裝置，按要求對坩堝切斷端面進行倒角處理。7.4純水清洗7.4.1手動清洗將坩堝浸入盛放純水的浸泡池內，規(guī)定時間內取出，對坩堝內、外表面及端口進行純水清洗。7.4.2自動清洗將坩堝放置于自動進料傳輸平臺，按相應工藝參數(shù)對設備進行設置，然后對坩堝內、外表面及端口進行純水清洗。7.5涂層7.5.1手動涂層人工利用手動涂層裝置將配比好的特種材料涂覆在坩堝內表面和(或)外表面上。7.5.2自動涂層按相應工藝參數(shù)對設備進行設置，自動將配比好的特種材料涂覆在坩堝內表面和(或)外表面上。8環(huán)境要求8.1總則企業(yè)應為員工提供適宜的作業(yè)環(huán)境，作業(yè)場所的潔凈度、溫度、濕度、照度、通風換氣、作業(yè)場所噪聲、粉塵、廢棄物排放應在適宜的范圍內。8.2潔凈度、溫度和濕度應符合表2的規(guī)定。表2各工序工作潔凈度、溫度和濕度范圍工序名稱空氣潔凈要求溫度/℃相對濕度RH/%堝坯電弧熔制16~3810~60外表面處理新風初效處理16~3310~80切邊倒棱新風初效處理16~3310~80純水清洗16~3310~60涂層20~3810~505DB1310/T227—20208.3照度照度應符合GB50034的規(guī)定。8.4通風換氣作業(yè)場所應通風良好，設置適宜的局部排風除塵設施和新風補償設施，應保證每人不小于20m3/h的新風量。8.5作業(yè)場所噪聲作業(yè)場所噪聲應符合GBZ/T189.8的規(guī)定.8.6粉塵粉塵應符合GBZ2.1的規(guī)定.8.7廢棄物排放8.7.1廢水廢水經(jīng)過處理后的排放標準應符合GB8978及相應的地方法律法規(guī)的規(guī)定。8.7.2廢氣廢氣經(jīng)過處理后的排放標準應符合GB16297及相應的地方法律法規(guī)的規(guī)定。8.7.3廠界噪聲廠界噪聲應符合GB12348及相應的地方法律法規(guī)的規(guī)定.8.7.4固體廢物固體廢物的收集、處置應符合GB18599及相應的地方法律法規(guī)的規(guī)定。8.7.5危險廢物危險廢物的處置應符合GB18597及相應的地方法律法規(guī)的規(guī)定。9管理要求9.1作業(yè)現(xiàn)場應建立管理制度，設置人員專用安全通道，明確提示、禁止標識。9.2作業(yè)現(xiàn)場的設備及器