一.防靜電基礎知識靜電產生的原理:

1.摩擦:絕緣體之間磨擦而產生靜電

AB

————————————————+++++++++++++++2.傳導:電荷的轉移,示意圖如下:

AB

電量相等電荷轉移

++++++++++++++++++++++++3.感應:帶有靜電的物體在電場的作用下使另一個物體也帶有靜電,示意圖如下:AB靜電感應只對導體和半導體才有作用.++++++++++++——++

——++——++三.靜電電荷對微電子工業的影響:

1.微粒污染:在潔凈室裏,靜電是使直徑在0.1~1.0微米之間的顆粒沉積的主要原因.當芯片帶有靜電后就很容易沉積灰塵.2.ESD(ESD中文意思是靜電放電)失效:靜電放電時當放電電流過大,產生過高熱能,將會擊穿集成電路內部線路.3.三種擊穿現象:1>.熱擊穿:P-N破壞2>.介電擊穿:氧化層的破壞3>.金屬汽化:金屬線被汽化而開路四.半導體的靜電敏感度:

裝置型式

靜電放電敏感度範圍(伏)

裝置型式

靜電放電敏感度範圍(伏)

VMOS30~1800散粒(肖特基)二極管300~2500MOSFET100~200薄片電阻(厚,細)300~3000GaASFET100~300雙向晶體管380~7000EPROM100ECL(發射極偶合邏輯電路)500~1500JFET140~7000SCR(可控硅)680~1000SAW150~1500散粒(肖特基)晶體管1000~2500OP-AMP190~2500散粒晶體管邏輯電路1000~2500CMOS250~3000五.靜電放電的三種型式:1.人體型式:當人體活動時身體和衣服之間摩擦產生靜電,若不及時將靜電釋放給大地,而直接把靜電轉移給ESD敏感裝置而造成損壞.2.微電子器件帶電型式:在自動化生產過程中,一些塑料器件因摩擦產生靜電,通過ESD敏感裝置接觸,造成損壞.3.場感應型式:在有強電場圍繞時,能通過感應方法損壞ESD敏感裝置.七.

ESD等級分類：等級電壓範圍典型設備00~100VEPROM,VMOS,MOSFET,GAAS,FET,SAM1100~1000VSCR,JFET,薄膜電阻,二極管21000~4000VProtectedMOS,SCHOTTKY,TTL,OP-AMPandLSI34000~15000V大多其它半導體八.預防措施:

a.人員

凡生產中可能接觸到電子元器件或產品的人遇均需具備一定的靜電防護措施.1、在線生產人員必須佩戴有線防靜電手環方可作業,該有線防靜電手環應與專用之接地線相連;2、非在線之作業員,設備操作員,現場之管理干部及周邊單位(工程、品管、檢測、企劃等)技術員、工程師等需佩戴證明有效的無線式防靜電手環；

3、SMT現場之工作人員,除佩戴相應之防靜電手環外,還應該穿防靜電服與防靜鞋;4、品檢人員應佩戴證明有效的無線式防靜電手環,但當檢驗靜電敏感器件(如IC,電晶體,二極體,晶振)等時,或帶有ESDS器件的產品時的,必須戴有線防靜電手環.

3、焊錫修理等應使用瓷質絕緣的電鉻鐵/吸錫槍,電熱絲部分是低壓控溫并接地(三極插頭),接地電阻低于10Ω,且前端溫度控制在360±20℃;4、各類量測與測試設備同樣必須要有接地.在線測試機和ATE要有專用導線與接地線相連,如使用三極插頭,顯示板表面應定期噴有靜電防止劑(一月一次).

5、靜電壓表、靜電場表應能夠檢驗超過±200伏靜電壓;6、用於查核ESD不間斷接地的測量儀應能檢查出小於1歐姆的電阻值;7、用於測量工作臺表面電阻測量儀應能讀出10^12ohm電阻率及小於它的值.c.接地

1、ESD接地可以是設備的接地(使用三極插座中的第三極),或專用的大地接地,并保證接地電阻低于1Ω.2、專用接地線要使用銅編織線、有線式防靜電手環、導電性桌墊、設備上除電源外和接地器等要通過導線與專用接地線相連，或者使用導線將上述設施與三極插座的接地端相連.九.作業時要注意:

7.1拿取IC時手指不可觸碰到IC腳;拿取電晶體,FET時盡可能手不要接觸到引線腳部分;7.2高頻FET或電晶體盡可能安排在最后插件工站并立即進行焊錫工程;7.3拿取基板成品,半成品時,手不可觸及焊錫面,金手指,測試點及配線等;7.4作業中掉落地板上的電子ESDS類零件(IC,電晶體,二極體,晶振等)不可再用或經過測試再確認OK后才可使用.十.防靜電手環的管制：

1、將有效之防靜電手環戴在手腕上,務必保證其金屬部位緊貼于皮膚.有線式防靜電手環之接線相應扣好,且接線與專用接地線良好接觸;2、所有佩戴防靜電手環的人員于每日上班前檢查其有效性,并將結果記錄于防靜電手環檢測記錄表(編號:FQC11011B)內,如有異常應立即更換,新請購之靜電環手環在驗收時,亦要經過測試以保證其有效性.

3、防靜電手環的檢測方案如下:3.1將校正合格之防靜電手環測試儀HAKK0498之接地線與靜電環的接地線相連(夾緊);3.2以佩戴防靜電手環的手