中華人民共和國國家計量技術規范

JJF1967—2022

激光衍射法反射光柵

校準規范

CalibrationSpecificationforReflectionGratings

byLaserDiffraction

2022-04-29發布2022-10-29實施

國家市場監督管理總局發布

JJF1967—2022

激光衍射法反射光柵

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校準規范??

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GratingsbyLaserDiffraction

歸口單位全國新材料與納米計量技術委員會

:

主要起草單位中國計量科學研究院

:

參加起草單位同濟大學

:

本規范委托全國新材料與納米計量技術委員會負責解釋

JJF1967—2022

本規范主要起草人

:

殷聰中國計量科學研究院

()

石春英中國計量科學研究院

()

參加起草人

:

王建波中國計量科學研究院

()

程鑫彬同濟大學

()

鄧曉同濟大學

()

JJF1967—2022

目錄

引言

………………………(Ⅱ)

范圍

1……………………(1)

引用文件

2………………(1)

術語和計量單位

3………………………(1)

光柵

3.1…………………(1)

反射光柵

3.2……………(1)

間距

3.3…………………(1)

平均間距

3.4……………(1)

利特羅結構

3.5…………(1)

利特羅角

3.6……………(1)

二維光柵正交性

3.7……………………(1)

概述

4……………………(2)

計量特性

5………………(2)

校準條件

6………………(2)

環境條件

6.1……………(2)

測量標準及其他設備

6.2………………(3)

校準項目和校準方法

7…………………(3)

一維反射光柵平均間距

7.1……………(3)

二維反射光柵平均間距

7.2……………(4)

二維反射光柵正交性

7.3………………(4)

校準結果表達

8…………(5)

復校時間間隔

9…………(5)

附錄校準記錄內容

A…………………(6)

附錄校準證書內頁內容

B……………(11)

附錄不確定度評定示例

C……………(13)

附錄衍射法測量反射光柵間距的原理

D……………(22)

Ⅰ

JJF1967—2022

引言

本規范依據通用計量術語及定義國家計量校準規范編寫

JJF1001《》、JJF1071《

規則編制參考了納米技術人造光柵的描述測量和幾何

》,IEC/TS62622:2012《,

量的質量參數

》(Nanotechnologies—Description,measurementanddimensionalquality

一維光柵比對

parametersofartificialgratings)、Nano4(Nano4comparisonon1Dgrat-

二維光柵比對測量不確定度的評

ings)、Nano5(Nano5comparisonon2Dgratings),

定按照測量不確定度評定與表示進行

JJF1059.1《》。

本規范為首次發布

。

Ⅱ

JJF1967—2022

激光衍射法反射光柵

校準規范

1范圍

本規范適用于平均間距為能觀測到衍射現象的一維或二維反

(140~2000)nm、

射光柵的校準

。

2引用文件

本規范引用了下列文件

:

光學儀器術語

GB/T13962—2009

凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本規范凡是不注日期的引用文

,;

件其最新版本包括所有的修改單適用于本規范

,()。

3術語和計量單位

光柵

3.1grating

一種表面排列大量精細的相互平行的等距的周期性的相同的結構的光學器

、、、、

件其周期性結構既可以是直線陣列也可以是沿直線排列的點陣

。,。

注:此處光柵的定義與/—《光學儀器術語》中光柵的定義不同。此處的

GBT1396220096.139

定義僅針對被校準對象的特征。

反射光柵

3.2reflectiongrating

入射光與衍射光在光柵工作面同一側的衍射光柵

。

間距

3.3pitch

光柵上相鄰結構之間的距離

。

注:單位為。

1nm

注:一般用結構的中心距確定間距,有些情況下也可以用結構的邊界確定間距。