標準解讀

《GB/T 38867-2020 電子工業用四氯化硅》是中國國家標準之一，專門針對電子工業中使用的四氯化硅產品制定了詳細的技術要求和測試方法。該標準適用于半導體材料加工、太陽能電池板制造以及其他相關領域內作為原料或中間體的四氯化硅的質量控制。

根據此標準，首先明確了四氯化硅產品的分類依據其純度分為不同等級，以滿足各種應用場景下的需求。接著對每種級別的四氯化硅規定了具體的物理化學性質指標，如外觀、密度、熔點等，并且對于雜質含量也做了嚴格限制，包括但不限于金屬離子、非金屬元素及其他有機物等可能影響最終產品質量的因素。

此外，《GB/T 38867-2020》還提供了詳盡的檢測方法指導，確保能夠準確地測定上述各項參數。這些方法覆蓋了從樣品準備到實際操作流程的所有步驟，并且對于儀器設備的選擇與校準也有明確說明，旨在提高測試結果的一致性和可靠性。

最后，該標準還包括了包裝、標志、運輸及儲存等方面的要求，強調在處理四氯化硅時應注意的安全措施和個人防護裝備使用指南，以保障工人健康與環境安全。通過遵循這些規定，可以有效保證電子工業用四氯化硅在整個供應鏈中的品質穩定性和安全性。


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  • 現行
  • 正在執行有效
  • 2020-07-21 頒布
  • 2021-02-01 實施
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文檔簡介

ICS7110020

G86..

中華人民共和國國家標準

GB/T38867—2020

電子工業用四氯化硅

Silicontetrachlorideforelectronicindustry

2020-07-21發布2021-02-01實施

國家市場監督管理總局發布

國家標準化管理委員會

中華人民共和國

國家標準

電子工業用四氯化硅

GB/T38867—2020

*

中國標準出版社出版發行

北京市朝陽區和平里西街甲號

2(100029)

北京市西城區三里河北街號

16(100045)

網址

:

服務熱線

:400-168-0010

年月第一版

20207

*

書號

:155066·1-65089

版權專有侵權必究

GB/T38867—2020

前言

本標準按照給出的規則起草

GB/T1.1—2009。

本標準由全國半導體設備和材料標準化技術委員會提出并歸口

(SAC/TC203)。

本標準起草單位湖北晶星科技股份有限公司湖北省標準化與質量研究院洛陽中硅高科技有限

:、、

公司唐山三孚電子材料有限公司湖北光谷標準創新科技有限公司廣東華特氣體股份有限公司浙江

、、、、

西亞特電子材料有限公司上海華愛色譜分析技術有限公司大連大特氣體有限公司上海市計量測試

、、、

技術研究院聯雄投資上海有限公司隨州市信息與標準化所達州市質量技術監督檢驗測試中心

、()、、、

西南化工研究設計院有限公司

。

本標準主要起草人徐德張國光黃娣劉暢楊劍趙雄楚東旭王春英戴帥張競黃國菲

:、、、、、、、、、、、

廖恒易陳艷珊楊利于青玉方華曹作斌曲慶陳鷹李春華黃輝譚鵬程鄧遠方周鵬云徐龍

、、、、、、、、、、、、、、

趙帥德唐霞梅

、。

Ⅰ

GB/T38867—2020

電子工業用四氯化硅

1范圍

本標準規定了電子工業用四氯化硅的技術要求檢驗規則試驗方法標志包裝運輸儲存及安全

、、、、、、

的要求

。

本標準適用于工業四氯化硅精制提純后的電子工業用四氯化硅

。

2規范性引用文件

下列文件對于本文件的應用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

危險貨物包裝標志

GB190

化學試劑雜質測定用標準溶液的制備

GB/T602

工業用化學產品采樣安全通則

GB/T3723

氬

GB/T4842

鋼質無縫氣瓶

GB/T5099

紅外光譜分析方法通則

GB/T6040

液體化工產品采樣通則

GB/T6680

氣瓶顏色標志

GB/T7144

電子級水

GB/T11446.1—2013

化學品安全標簽編寫規定

GB15258

氣瓶警示標簽

GB/T16804

氣體分析氦離子化氣相色譜法

GB/T28726

不銹鋼焊接氣瓶

GB/T32566

電子工業用氣體中金屬含量的測定電感耦合等離子體質譜法

GB/T34972

氣瓶安全技術監察規程

TSGR0006

危險化學品安全管理條例年月日中華人民共和國國務院令第號公布年月

(2002126344,20112

日國務院第次常務會議修訂通過

16144)

特種設備安全監察條例版中華人民共和國國務院令第號

(2009,549)

3技術要求

四氯化硅的技術要求應符合表的規定光纖用四氯化硅還應增加相對透過率的要求

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